JPS6090649U - リ−クテスト装置 - Google Patents
リ−クテスト装置Info
- Publication number
- JPS6090649U JPS6090649U JP18289183U JP18289183U JPS6090649U JP S6090649 U JPS6090649 U JP S6090649U JP 18289183 U JP18289183 U JP 18289183U JP 18289183 U JP18289183 U JP 18289183U JP S6090649 U JPS6090649 U JP S6090649U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test device
- chamber
- internal
- leak test
- leak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案にかかるリークテスト装置の一実施例
の構成を略示した説明図である。第2図は複数個の被試
験体を測定する場合の実施例を略示した説明図である。 1・・・・・・内部チャンバ、2・胃・・外部チャンバ
、3・・・・・・ベースプレート、10・・・・・・被
試験体、20・・・・・・ホルダ、23・・・・・・小
孔、30・・曲≠ヤック部。
の構成を略示した説明図である。第2図は複数個の被試
験体を測定する場合の実施例を略示した説明図である。 1・・・・・・内部チャンバ、2・胃・・外部チャンバ
、3・・・・・・ベースプレート、10・・・・・・被
試験体、20・・・・・・ホルダ、23・・・・・・小
孔、30・・曲≠ヤック部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被試験体にプローブガスを導入して、そのリーク量を検
出するリークテスト装置において、前記リークテスト装
置は内部チャンバによって形成される内部真空室と、内
部チャンバと外部チャンバによって形成される外部真空
室とを備え、前記内部真空室は被試験体とホルダとの接
合部のリークパスに連通し、真空排気手段に接続される
ものであり、 外部真空室は少なくとも被試験体の検査部分を収納し、
真空排気手段とリークデテクタに接続されるものである
ことを特徴とするリークテスト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18289183U JPS6090649U (ja) | 1983-11-27 | 1983-11-27 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18289183U JPS6090649U (ja) | 1983-11-27 | 1983-11-27 | リ−クテスト装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6090649U true JPS6090649U (ja) | 1985-06-21 |
JPH02673Y2 JPH02673Y2 (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=30395959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18289183U Granted JPS6090649U (ja) | 1983-11-27 | 1983-11-27 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6090649U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003505690A (ja) * | 1999-07-27 | 2003-02-12 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | フォイル漏洩探知室 |
-
1983
- 1983-11-27 JP JP18289183U patent/JPS6090649U/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003505690A (ja) * | 1999-07-27 | 2003-02-12 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | フォイル漏洩探知室 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02673Y2 (ja) | 1990-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6090649U (ja) | リ−クテスト装置 | |
JPS6169138U (ja) | ||
JPS60183879U (ja) | 半導体試験装置の接触子 | |
JPS58134748U (ja) | 気密検査装置 | |
JPS59151158U (ja) | 半導体試験装置 | |
JPS58165603U (ja) | うず電流検査装置用検査コイル | |
JPS58148662U (ja) | 校正試験管 | |
JPS60176156U (ja) | リ−クテスト装置 | |
JPS58175440U (ja) | 容器の漏れ検査装置 | |
JPS6025938U (ja) | 洩れ計測装置 | |
JPS5851248U (ja) | スニファプロ−ブ式リ−クテスト装置 | |
JPS58191507U (ja) | 厚さ計 | |
JPS58129133U (ja) | 密閉度検査装置 | |
JPS58163806U (ja) | うず電流検査装置用検査コイル | |
JPS6052036U (ja) | 板材供給装置における2枚板検出装置 | |
JPS5985969U (ja) | 回路チエツカ | |
JPS59152441U (ja) | 高圧水素透過量測定用治具 | |
JPS60131840U (ja) | ガス漏洩検出装置 | |
JPS6061674U (ja) | クライオスタツト | |
JPS58162005U (ja) | 測定装置 | |
JPS5974358U (ja) | 含水比測定装置 | |
JPS6191109U (ja) | ||
JPS6076490U (ja) | 火災センサの試験装置 | |
JPS582654U (ja) | 引張試験片 | |
JPS58127369U (ja) | Pnpトランジスタ用測定装置 |