JPS6090649U - リ−クテスト装置 - Google Patents

リ−クテスト装置

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JPS6090649U
JPS6090649U JP18289183U JP18289183U JPS6090649U JP S6090649 U JPS6090649 U JP S6090649U JP 18289183 U JP18289183 U JP 18289183U JP 18289183 U JP18289183 U JP 18289183U JP S6090649 U JPS6090649 U JP S6090649U
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JP
Japan
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test device
chamber
internal
leak test
leak
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JP18289183U
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JPH02673Y2 (ja
Inventor
横山　佳興
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株式会社島津製作所
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  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案にかかるリークテスト装置の一実施例
の構成を略示した説明図である。第２図は複数個の被試
験体を測定する場合の実施例を略示した説明図である。 １・・・・・・内部チャンバ、２・胃・・外部チャンバ
、３・・・・・・ベースプレート、１０・・・・・・被
試験体、２０・・・・・・ホルダ、２３・・・・・・小
孔、３０・・曲≠ヤック部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被試験体にプローブガスを導入して、そのリーク量を検
    出するリークテスト装置において、前記リークテスト装
    置は内部チャンバによって形成される内部真空室と、内
    部チャンバと外部チャンバによって形成される外部真空
    室とを備え、前記内部真空室は被試験体とホルダとの接
    合部のリークパスに連通し、真空排気手段に接続される
    ものであり、 外部真空室は少なくとも被試験体の検査部分を収納し、
    真空排気手段とリークデテクタに接続されるものである
    ことを特徴とするリークテスト装置。
JP18289183U 1983-11-27 1983-11-27 リ−クテスト装置 Granted JPS6090649U (ja)

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JP18289183U JPS6090649U (ja) 1983-11-27 1983-11-27 リ−クテスト装置

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JP18289183U JPS6090649U (ja) 1983-11-27 1983-11-27 リ−クテスト装置

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Publication Number Publication Date
JPS6090649U true JPS6090649U (ja) 1985-06-21
JPH02673Y2 JPH02673Y2 (ja) 1990-01-09

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ID=30395959

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JP18289183U Granted JPS6090649U (ja) 1983-11-27 1983-11-27 リ−クテスト装置

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JP (1) JPS6090649U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003505690A (ja) * 1999-07-27 2003-02-12 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング フォイル漏洩探知室

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003505690A (ja) * 1999-07-27 2003-02-12 インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング フォイル漏洩探知室

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Publication number Publication date
JPH02673Y2 (ja) 1990-01-09

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