JPS60176156U - リ−クテスト装置 - Google Patents
リ−クテスト装置Info
- Publication number
- JPS60176156U JPS60176156U JP6456884U JP6456884U JPS60176156U JP S60176156 U JPS60176156 U JP S60176156U JP 6456884 U JP6456884 U JP 6456884U JP 6456884 U JP6456884 U JP 6456884U JP S60176156 U JPS60176156 U JP S60176156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust system
- leak test
- chamber
- test
- test device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示す糸路説明図である。
１・・・・・・チャンバ、４・・・・・・初期排気系路
、５・・・・・・主排気系路、１８・・・・・・清掃用
系路、１９・・・・・・糸路切換手段、Ａ・・・・・・
被試験体（ＩＣパッケージ）。
、５・・・・・・主排気系路、１８・・・・・・清掃用
系路、１９・・・・・・糸路切換手段、Ａ・・・・・・
被試験体（ＩＣパッケージ）。
Claims (1)
- 被試験体を収容する密閉可能なチャンバと、このチャン
バ内を排気する排気系路と、排気系路に接続され前記被
試験体からリークするプローブガスを検出するガス検出
手段とを備え、前記被試験体のリーク試験を行なうよう
に構成したリークテスト装置において、排気系路から分
枝し先端に前記チャンバ内の塵芥を吸込むための吸込口
を有した清掃用系路を設けるとともに、前記排気系路と
清掃用系路とを択一的に開成させる糸路切換手段を設け
たことを特徴とするリークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6456884U JPS60176156U (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6456884U JPS60176156U (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | リ−クテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176156U true JPS60176156U (ja) | 1985-11-21 |
| JPH0226048Y2 JPH0226048Y2 (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=30595776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6456884U Granted JPS60176156U (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176156U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147337A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-07-01 | ウエブ、テクノロジ−、インコ−ポレ−テツド | 電子部品パッケージの密閉度試験方法 |
| JP2012242316A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Fukuda:Kk | リークテスト用掃除装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1240491B1 (de) * | 1999-12-22 | 2008-10-08 | Inficon GmbH | Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher |
-
1984
- 1984-04-30 JP JP6456884U patent/JPS60176156U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147337A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-07-01 | ウエブ、テクノロジ−、インコ−ポレ−テツド | 電子部品パッケージの密閉度試験方法 |
| JP2012242316A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Fukuda:Kk | リークテスト用掃除装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0226048Y2 (ja) | 1990-07-17 |
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