JP2003313079A5 - - Google Patents

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JP4556162B2 (ja) * 2004-03-11 2010-10-06 日立金属株式会社 窒化珪素質焼結体及びその製造方法、並びにそれを用いた回路基板
JP5245405B2 (ja) * 2005-04-28 2013-07-24 日立金属株式会社 窒化珪素基板、その製造方法、それを用いた窒化珪素配線基板及び半導体モジュール
CN101646518B (zh) * 2007-03-22 2011-08-03 日本特殊陶业株式会社 刀片与切削工具
CN102105418A (zh) * 2008-07-03 2011-06-22 日立金属株式会社 氮化硅基板及其制造方法,以及使用该氮化硅基板的氮化硅电路基板和半导体模块
JP5142889B2 (ja) * 2008-08-27 2013-02-13 京セラ株式会社 窒化珪素質焼結体およびその製法ならびに回路基板、パワー半導体モジュール
CN103813997A (zh) * 2012-02-13 2014-05-21 三井金属矿业株式会社 氮化硅烧结体及其制造方法
JP5729519B2 (ja) * 2012-03-26 2015-06-03 日立金属株式会社 窒化珪素焼結体基板及びその製造方法
JP7145222B2 (ja) * 2018-08-28 2022-09-30 京セラ株式会社 インサートおよび切削工具
JP7201103B2 (ja) * 2019-12-11 2023-01-10 Ube株式会社 板状の窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法
WO2024111402A1 (ja) * 2022-11-21 2024-05-30 株式会社 東芝 窒化珪素焼結体、窒化珪素基板、窒化珪素回路基板、及び半導体装置

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