JPS59194183A - レーザー管部材 - Google Patents

レーザー管部材

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JPS59194183A
JPS59194183A JP59058553A JP5855384A JPS59194183A JP S59194183 A JPS59194183 A JP S59194183A JP 59058553 A JP59058553 A JP 59058553A JP 5855384 A JP5855384 A JP 5855384A JP S59194183 A JPS59194183 A JP S59194183A
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JP
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oxide
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densely sintered
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pipe member
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JP59058553A
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JPH0211790B2 (ja
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ヴアルトラウト・ヴエルデツカ−
フリツツ・アルデインガ−
ライナ−・ニツチエ
クラウス−ル−トヴイヒ・シフ
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WC Heraus GmbH and Co KG
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WC Heraus GmbH and Co KG
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/581Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/0305Selection of materials for the tube or the coatings thereon

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  • Optics & Photonics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は緻密に焼結されたセラミック材料からなる管部
材に関する。
従来技術 良好な熱伝導性と大きな電気抵抗をもつために酸化アル
ミニウムは管部材として使用され、必要条件が酸化アル
ミニウムセラミックによってはもはや満されない場合に
は管部材用に緻密に焼結された酸化ベリリウムが使用さ
れる(ウルマン・エンシクロペディア・デクoテヒニツ
シエン拳ヘミー第弘版、/9りq年、/y巻、s、2s
−sコア頁)。
緻密に焼結された酸化ベリリウムは非常に良好な諸性質
をもつが、高価であり且つ酸化ベリリウム粉末が有狗で
あるために、広く使用されるには至っていない@ 発明の目的 本発明の目的は緻密に焼結した酸化べIJ IJウムと
同様な良好な諸性質をもち、しかもコスト的に有利で健
康上の危害なく製造、加工できる管部材用材料を見出す
にある。
発明の概要 この本発明の目的は緻密に焼結された窒化アルミニウム
により達成される。
本発明による緻密に焼結された窒化アルミニウムからな
る管部材は高強度、艮好な温度変化安定性、高電気抵抗
及び良好な誘電特性をもつ。
緻密に焼結された窒化アルミニウム管部材は酸化べIJ
 IJウムからなる管部材と異って高温度においても良
好な熱伝導性を保持するから、この部材はレーザー管に
特に適する。
本発明による管部材は緻密に焼結された窒化アルミニウ
ムが比較的大きい熱膨張率をもつために金属とよく結合
する。
本発明による管部材を製造するための原料は好ましくは
窒化アルミニウムとO0l〜IO重量饅の酸化物添加物
との粉末状混合物である。この混合物を冷間プレスによ
り生成形体を造り、この生成形体を不活性雰囲気、好ま
しくは窒素オ囲気下で緻密焼結体に焼結する。
緻密に焼結された窒化アルミニウムの熱膨張係数及び熱
伝導性は酸化物添加物の種類及び量によって所望のよう
に変えることができる。
酸化物添加物としてはアルカリ土類金属の酸化物、希土
類金属(スカンジウム、イツトリウム、及びランタンな
いしルテシウムの金属)の酸化物、周期表第■族、第■
族及び第■族の遷移金属の酸化物、酸化アルミニウム及
び酸化ケイ素を単独または複数種使用できる。
特に酸化イツl−IJウムが好適である。
酸化イツトリウムを含鳴する緻密に焼結された屋化アル
ミニウムは意外にも湿気に対して特に安定である。
本発明による管部拐は有利には下記の実施例に記載のよ
うにして行われる。
実施例 粉末状窒化アルミニウム9ヂ重盪−と粉末状酸化イツト
リウム1重量−とからなる混合物Sθoogをボールミ
ル中で磁器磨砕材を用いて保護ガスとしてアルゴンを用
いて4!0時間磨砕し、次いでiooμのふるい目のふ
るいで分級した。
分級ζこより得たiooμ未満の粒子寸法の粉末を等圧
冷間プレス(圧力2300バール)により管状圧さく体
を造り、電熱焼結炉中に置いた。
lθ−5ミリバール(mbar)に減圧後に焼結炉中に
窒素を圧力Sミリバールになる才で導入した。
この圧力を保ちながら焼結炉を3時間以内にハ200”
Qに達するまで加熱した。次いで窒素圧力を/ 4tO
ミIJバールに、温度を1時間以内にitsθ℃に高め
た。この時点で窒素圧力は/にOミリバールに高まった
この温度と圧力を一時間にわたって保ち、次いで冷却し
た。焼結炉を換気後、緻密に焼結した管部材を取出した
こうして製造した管部材は熱膨張係数がダ×(4′) 10−ンキログラム(K)で、熱伝導率がコ00W/m
Kで、曲げ強さが3.20 N/mm2であった。
第1頁の続き (72)発 明 者 クラウス−ルートヴイヒ・シフド
イツ連邦共和国6454ブルツク ケーベル・ゲシュヴイスター− ショルーシュトラーセ1 539−−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 l 緻密に焼結された窒化アルミニウムからなることを
    特徴とする、緻密に焼結されたセラミック材料からなる
    管部材。 2、  /種またはそれ以上の酸化物添加物を含む特許
    請求の範囲第1項記載の管部材。 3 酸化物添加物がアルカリ土類金属の酸化物、希土類
    金属の酸化物、周期表■族、V族、または■族の遷移元
    素の酸化物、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素である
    特許請求の範囲第二項記載の管部材。 ダ 酸化物添加物の含祉がo、1−io重it%である
    特許請求の範囲第一項または第3項記載の管部材。 S 酸化物添加物が酸化イツトリウムである時許崗求の
    範囲第一項ないし第q項のいずれかに記載の管部材。 ム 管部材がレーザー用管部材である特許請求の範囲第
    1項ないし第5項のいずれかに記載の管部材。
JP59058553A 1983-04-16 1984-03-28 レーザー管部材 Granted JPS59194183A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3313836.2 1983-04-16
DE19833313836 DE3313836C2 (de) 1983-04-16 1983-04-16 Verwendung von Aluminiumnitrid für Laserröhrenbauteile

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59194183A true JPS59194183A (ja) 1984-11-02
JPH0211790B2 JPH0211790B2 (ja) 1990-03-15

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CH (1) CH658855A5 (ja)
DE (1) DE3313836C2 (ja)
FR (1) FR2544305B1 (ja)
GB (1) GB2140458B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61117160A (ja) * 1984-11-08 1986-06-04 株式会社東芝 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JPH01219067A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Kyocera Corp 窒化アルミニウム質焼結体及びその製造法
JPH0226872A (ja) * 1988-07-12 1990-01-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 高周波透過用ウィンドウ
JPH09175867A (ja) * 1997-01-06 1997-07-08 Toshiba Corp 窒化アルミニウム焼結体

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3247985C2 (de) * 1982-12-24 1992-04-16 W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau Keramischer Träger
US4547471A (en) * 1983-11-18 1985-10-15 General Electric Company High thermal conductivity aluminum nitride ceramic body
US4578234A (en) * 1984-10-01 1986-03-25 General Electric Company Process of pressureless sintering to produce dense high thermal conductivity ceramic body of deoxidized aluminum nitride
US4578233A (en) * 1984-11-01 1986-03-25 General Electric Company Pressureless sintering process to produce high thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride
US4746637A (en) * 1984-11-08 1988-05-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Aluminum nitride sintered body and process for producing the same
US4578365A (en) * 1984-11-26 1986-03-25 General Electric Company High thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride
US4578364A (en) * 1984-12-07 1986-03-25 General Electric Company High thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride
US4578232A (en) * 1984-12-17 1986-03-25 General Electric Company Pressureless sintering process to produce high thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride
DE3627317A1 (de) * 1985-08-13 1987-02-19 Tokuyama Soda Kk Sinterbare aluminiumnitridzusammensetzung, sinterkoerper aus dieser zusammensetzung und verfahren zu seiner herstellung
GB2213500B (en) * 1985-08-13 1990-05-30 Tokuyama Soda Kk Sinterable aluminum nitride composition
US4897372A (en) * 1985-12-18 1990-01-30 General Electric Company High thermal conductivity ceramic body
FR2595876A1 (fr) * 1986-03-13 1987-09-18 Roulot Maurice Tube pour generateur laser du type a gaz ionise
US4764321A (en) * 1986-03-28 1988-08-16 General Electric Company High thermal conductivity ceramic body
US4818455A (en) * 1986-05-30 1989-04-04 General Electric Company High thermal conductivity ceramic body
US5242872A (en) * 1986-07-18 1993-09-07 Tokuyama Soda Kabushiki Kaisha Process for producing aluminum nitride sintered body
JPH0717455B2 (ja) * 1986-07-18 1995-03-01 株式会社トクヤマ 窒化アルミニウム焼結体の製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5554793A (en) * 1978-10-12 1980-04-22 Campbell Frank Jun Shaped piece of refractory ceramic fibers
JPS57179080A (en) * 1981-04-27 1982-11-04 Nippon Kagaku Togyo Kk Sintered ceramic pipe end sealing method

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3108887A (en) * 1959-05-06 1963-10-29 Carborundum Co Refractory articles and method of making same
DE1209409B (de) * 1959-12-24 1966-01-20 Deutsche Edelstahlwerke Ag Heisspressform
BE620323A (ja) * 1961-07-21
US3436179A (en) * 1964-07-27 1969-04-01 Tokyo Shibaura Electric Co Method of preparing sintered masses of aluminum nitride
DE1906522B2 (de) * 1968-02-10 1972-01-13 Tokyo Shibaura Electric Co. Ltd., Kawasaki, Kanagawa (Japan) Verfahren zur herstellung eines gesinterten aluminiumnitrid yttriumoxid gegenstands
JPS48100407A (ja) * 1972-03-31 1973-12-18
JPS5855377A (ja) * 1981-09-28 1983-04-01 株式会社東芝 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
DE3333406A1 (de) * 1982-09-17 1984-03-22 Tokuyama Soda K.K., Tokuyama, Yamaguchi Feines aluminiumnitridpulver, verfahren zu seiner herstellung und es enthaltendes mittel

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5554793A (en) * 1978-10-12 1980-04-22 Campbell Frank Jun Shaped piece of refractory ceramic fibers
JPS57179080A (en) * 1981-04-27 1982-11-04 Nippon Kagaku Togyo Kk Sintered ceramic pipe end sealing method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61117160A (ja) * 1984-11-08 1986-06-04 株式会社東芝 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JPH01219067A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Kyocera Corp 窒化アルミニウム質焼結体及びその製造法
JPH0226872A (ja) * 1988-07-12 1990-01-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 高周波透過用ウィンドウ
JPH09175867A (ja) * 1997-01-06 1997-07-08 Toshiba Corp 窒化アルミニウム焼結体

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Publication number Publication date
GB8406819D0 (en) 1984-04-18
GB2140458B (en) 1986-03-19
GB2140458A (en) 1984-11-28
DE3313836C2 (de) 1985-08-29
DE3313836A1 (de) 1984-10-18
CH658855A5 (de) 1986-12-15
FR2544305B1 (fr) 1990-05-04
JPH0211790B2 (ja) 1990-03-15
FR2544305A1 (fr) 1984-10-19

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