JPS59194183A - レーザー管部材 - Google Patents
レーザー管部材Info
- Publication number
- JPS59194183A JPS59194183A JP59058553A JP5855384A JPS59194183A JP S59194183 A JPS59194183 A JP S59194183A JP 59058553 A JP59058553 A JP 59058553A JP 5855384 A JP5855384 A JP 5855384A JP S59194183 A JPS59194183 A JP S59194183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- member according
- densely sintered
- tube member
- pipe member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0305—Selection of materials for the tube or the coatings thereon
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
本発明は緻密に焼結されたセラミック材料からなる管部
材に関する。
材に関する。
従来技術
良好な熱伝導性と大きな電気抵抗をもつために酸化アル
ミニウムは管部材として使用され、必要条件が酸化アル
ミニウムセラミックによってはもはや満されない場合に
は管部材用に緻密に焼結された酸化ベリリウムが使用さ
れる(ウルマン・エンシクロペディア・デクoテヒニツ
シエン拳ヘミー第弘版、/9りq年、/y巻、s、2s
−sコア頁)。
ミニウムは管部材として使用され、必要条件が酸化アル
ミニウムセラミックによってはもはや満されない場合に
は管部材用に緻密に焼結された酸化ベリリウムが使用さ
れる(ウルマン・エンシクロペディア・デクoテヒニツ
シエン拳ヘミー第弘版、/9りq年、/y巻、s、2s
−sコア頁)。
緻密に焼結された酸化ベリリウムは非常に良好な諸性質
をもつが、高価であり且つ酸化ベリリウム粉末が有狗で
あるために、広く使用されるには至っていない@ 発明の目的 本発明の目的は緻密に焼結した酸化べIJ IJウムと
同様な良好な諸性質をもち、しかもコスト的に有利で健
康上の危害なく製造、加工できる管部材用材料を見出す
にある。
をもつが、高価であり且つ酸化ベリリウム粉末が有狗で
あるために、広く使用されるには至っていない@ 発明の目的 本発明の目的は緻密に焼結した酸化べIJ IJウムと
同様な良好な諸性質をもち、しかもコスト的に有利で健
康上の危害なく製造、加工できる管部材用材料を見出す
にある。
発明の概要
この本発明の目的は緻密に焼結された窒化アルミニウム
により達成される。
により達成される。
本発明による緻密に焼結された窒化アルミニウムからな
る管部材は高強度、艮好な温度変化安定性、高電気抵抗
及び良好な誘電特性をもつ。
る管部材は高強度、艮好な温度変化安定性、高電気抵抗
及び良好な誘電特性をもつ。
緻密に焼結された窒化アルミニウム管部材は酸化べIJ
IJウムからなる管部材と異って高温度においても良
好な熱伝導性を保持するから、この部材はレーザー管に
特に適する。
IJウムからなる管部材と異って高温度においても良
好な熱伝導性を保持するから、この部材はレーザー管に
特に適する。
本発明による管部材は緻密に焼結された窒化アルミニウ
ムが比較的大きい熱膨張率をもつために金属とよく結合
する。
ムが比較的大きい熱膨張率をもつために金属とよく結合
する。
本発明による管部材を製造するための原料は好ましくは
窒化アルミニウムとO0l〜IO重量饅の酸化物添加物
との粉末状混合物である。この混合物を冷間プレスによ
り生成形体を造り、この生成形体を不活性雰囲気、好ま
しくは窒素オ囲気下で緻密焼結体に焼結する。
窒化アルミニウムとO0l〜IO重量饅の酸化物添加物
との粉末状混合物である。この混合物を冷間プレスによ
り生成形体を造り、この生成形体を不活性雰囲気、好ま
しくは窒素オ囲気下で緻密焼結体に焼結する。
緻密に焼結された窒化アルミニウムの熱膨張係数及び熱
伝導性は酸化物添加物の種類及び量によって所望のよう
に変えることができる。
伝導性は酸化物添加物の種類及び量によって所望のよう
に変えることができる。
酸化物添加物としてはアルカリ土類金属の酸化物、希土
類金属(スカンジウム、イツトリウム、及びランタンな
いしルテシウムの金属)の酸化物、周期表第■族、第■
族及び第■族の遷移金属の酸化物、酸化アルミニウム及
び酸化ケイ素を単独または複数種使用できる。
類金属(スカンジウム、イツトリウム、及びランタンな
いしルテシウムの金属)の酸化物、周期表第■族、第■
族及び第■族の遷移金属の酸化物、酸化アルミニウム及
び酸化ケイ素を単独または複数種使用できる。
特に酸化イツl−IJウムが好適である。
酸化イツトリウムを含鳴する緻密に焼結された屋化アル
ミニウムは意外にも湿気に対して特に安定である。
ミニウムは意外にも湿気に対して特に安定である。
本発明による管部拐は有利には下記の実施例に記載のよ
うにして行われる。
うにして行われる。
実施例
粉末状窒化アルミニウム9ヂ重盪−と粉末状酸化イツト
リウム1重量−とからなる混合物Sθoogをボールミ
ル中で磁器磨砕材を用いて保護ガスとしてアルゴンを用
いて4!0時間磨砕し、次いでiooμのふるい目のふ
るいで分級した。
リウム1重量−とからなる混合物Sθoogをボールミ
ル中で磁器磨砕材を用いて保護ガスとしてアルゴンを用
いて4!0時間磨砕し、次いでiooμのふるい目のふ
るいで分級した。
分級ζこより得たiooμ未満の粒子寸法の粉末を等圧
冷間プレス(圧力2300バール)により管状圧さく体
を造り、電熱焼結炉中に置いた。
冷間プレス(圧力2300バール)により管状圧さく体
を造り、電熱焼結炉中に置いた。
lθ−5ミリバール(mbar)に減圧後に焼結炉中に
窒素を圧力Sミリバールになる才で導入した。
窒素を圧力Sミリバールになる才で導入した。
この圧力を保ちながら焼結炉を3時間以内にハ200”
Qに達するまで加熱した。次いで窒素圧力を/ 4tO
ミIJバールに、温度を1時間以内にitsθ℃に高め
た。この時点で窒素圧力は/にOミリバールに高まった
。
Qに達するまで加熱した。次いで窒素圧力を/ 4tO
ミIJバールに、温度を1時間以内にitsθ℃に高め
た。この時点で窒素圧力は/にOミリバールに高まった
。
この温度と圧力を一時間にわたって保ち、次いで冷却し
た。焼結炉を換気後、緻密に焼結した管部材を取出した
。
た。焼結炉を換気後、緻密に焼結した管部材を取出した
。
こうして製造した管部材は熱膨張係数がダ×(4′)
10−ンキログラム(K)で、熱伝導率がコ00W/m
Kで、曲げ強さが3.20 N/mm2であった。
Kで、曲げ強さが3.20 N/mm2であった。
第1頁の続き
(72)発 明 者 クラウス−ルートヴイヒ・シフド
イツ連邦共和国6454ブルツク ケーベル・ゲシュヴイスター− ショルーシュトラーセ1 539−−
イツ連邦共和国6454ブルツク ケーベル・ゲシュヴイスター− ショルーシュトラーセ1 539−−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 l 緻密に焼結された窒化アルミニウムからなることを
特徴とする、緻密に焼結されたセラミック材料からなる
管部材。 2、 /種またはそれ以上の酸化物添加物を含む特許
請求の範囲第1項記載の管部材。 3 酸化物添加物がアルカリ土類金属の酸化物、希土類
金属の酸化物、周期表■族、V族、または■族の遷移元
素の酸化物、酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素である
特許請求の範囲第二項記載の管部材。 ダ 酸化物添加物の含祉がo、1−io重it%である
特許請求の範囲第一項または第3項記載の管部材。 S 酸化物添加物が酸化イツトリウムである時許崗求の
範囲第一項ないし第q項のいずれかに記載の管部材。 ム 管部材がレーザー用管部材である特許請求の範囲第
1項ないし第5項のいずれかに記載の管部材。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3313836.2 | 1983-04-16 | ||
DE19833313836 DE3313836C2 (de) | 1983-04-16 | 1983-04-16 | Verwendung von Aluminiumnitrid für Laserröhrenbauteile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59194183A true JPS59194183A (ja) | 1984-11-02 |
JPH0211790B2 JPH0211790B2 (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=6196574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59058553A Granted JPS59194183A (ja) | 1983-04-16 | 1984-03-28 | レーザー管部材 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59194183A (ja) |
CH (1) | CH658855A5 (ja) |
DE (1) | DE3313836C2 (ja) |
FR (1) | FR2544305B1 (ja) |
GB (1) | GB2140458B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61117160A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH01219067A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Kyocera Corp | 窒化アルミニウム質焼結体及びその製造法 |
JPH0226872A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高周波透過用ウィンドウ |
JPH09175867A (ja) * | 1997-01-06 | 1997-07-08 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3247985C2 (de) * | 1982-12-24 | 1992-04-16 | W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau | Keramischer Träger |
US4547471A (en) * | 1983-11-18 | 1985-10-15 | General Electric Company | High thermal conductivity aluminum nitride ceramic body |
US4578234A (en) * | 1984-10-01 | 1986-03-25 | General Electric Company | Process of pressureless sintering to produce dense high thermal conductivity ceramic body of deoxidized aluminum nitride |
US4578233A (en) * | 1984-11-01 | 1986-03-25 | General Electric Company | Pressureless sintering process to produce high thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride |
US4746637A (en) * | 1984-11-08 | 1988-05-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body and process for producing the same |
US4578365A (en) * | 1984-11-26 | 1986-03-25 | General Electric Company | High thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride |
US4578364A (en) * | 1984-12-07 | 1986-03-25 | General Electric Company | High thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride |
US4578232A (en) * | 1984-12-17 | 1986-03-25 | General Electric Company | Pressureless sintering process to produce high thermal conductivity ceramic body of aluminum nitride |
DE3627317A1 (de) * | 1985-08-13 | 1987-02-19 | Tokuyama Soda Kk | Sinterbare aluminiumnitridzusammensetzung, sinterkoerper aus dieser zusammensetzung und verfahren zu seiner herstellung |
GB2213500B (en) * | 1985-08-13 | 1990-05-30 | Tokuyama Soda Kk | Sinterable aluminum nitride composition |
US4897372A (en) * | 1985-12-18 | 1990-01-30 | General Electric Company | High thermal conductivity ceramic body |
FR2595876A1 (fr) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Roulot Maurice | Tube pour generateur laser du type a gaz ionise |
US4764321A (en) * | 1986-03-28 | 1988-08-16 | General Electric Company | High thermal conductivity ceramic body |
US4818455A (en) * | 1986-05-30 | 1989-04-04 | General Electric Company | High thermal conductivity ceramic body |
US5242872A (en) * | 1986-07-18 | 1993-09-07 | Tokuyama Soda Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride sintered body |
JPH0717455B2 (ja) * | 1986-07-18 | 1995-03-01 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5554793A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-22 | Campbell Frank Jun | Shaped piece of refractory ceramic fibers |
JPS57179080A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-04 | Nippon Kagaku Togyo Kk | Sintered ceramic pipe end sealing method |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3108887A (en) * | 1959-05-06 | 1963-10-29 | Carborundum Co | Refractory articles and method of making same |
DE1209409B (de) * | 1959-12-24 | 1966-01-20 | Deutsche Edelstahlwerke Ag | Heisspressform |
BE620323A (ja) * | 1961-07-21 | |||
US3436179A (en) * | 1964-07-27 | 1969-04-01 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of preparing sintered masses of aluminum nitride |
DE1906522B2 (de) * | 1968-02-10 | 1972-01-13 | Tokyo Shibaura Electric Co. Ltd., Kawasaki, Kanagawa (Japan) | Verfahren zur herstellung eines gesinterten aluminiumnitrid yttriumoxid gegenstands |
JPS48100407A (ja) * | 1972-03-31 | 1973-12-18 | ||
JPS5855377A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-04-01 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
DE3333406A1 (de) * | 1982-09-17 | 1984-03-22 | Tokuyama Soda K.K., Tokuyama, Yamaguchi | Feines aluminiumnitridpulver, verfahren zu seiner herstellung und es enthaltendes mittel |
-
1983
- 1983-04-16 DE DE19833313836 patent/DE3313836C2/de not_active Expired
-
1984
- 1984-02-14 CH CH71484A patent/CH658855A5/de not_active IP Right Cessation
- 1984-03-15 GB GB08406819A patent/GB2140458B/en not_active Expired
- 1984-03-28 JP JP59058553A patent/JPS59194183A/ja active Granted
- 1984-04-16 FR FR8405985A patent/FR2544305B1/fr not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5554793A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-22 | Campbell Frank Jun | Shaped piece of refractory ceramic fibers |
JPS57179080A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-04 | Nippon Kagaku Togyo Kk | Sintered ceramic pipe end sealing method |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61117160A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH01219067A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Kyocera Corp | 窒化アルミニウム質焼結体及びその製造法 |
JPH0226872A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高周波透過用ウィンドウ |
JPH09175867A (ja) * | 1997-01-06 | 1997-07-08 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8406819D0 (en) | 1984-04-18 |
GB2140458B (en) | 1986-03-19 |
GB2140458A (en) | 1984-11-28 |
DE3313836C2 (de) | 1985-08-29 |
DE3313836A1 (de) | 1984-10-18 |
CH658855A5 (de) | 1986-12-15 |
FR2544305B1 (fr) | 1990-05-04 |
JPH0211790B2 (ja) | 1990-03-15 |
FR2544305A1 (fr) | 1984-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59194183A (ja) | レーザー管部材 | |
JPH0217508B2 (ja) | ||
JPS5849510B2 (ja) | チツカアルミニウムシヨウケツタイノ セイゾウホウホウ | |
JPH0649613B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JPH0712981B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JP2900711B2 (ja) | 半導体装置実装用低温焼結型磁器の製造方法 | |
JPS63295479A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JP2535139B2 (ja) | 放熱基板 | |
JP2772580B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 | |
JPH09175867A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
JPS6110073A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
JPH075378B2 (ja) | 黒色窒化アルミニウム焼結体とその製造方法 | |
JPS63295478A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JPS63195175A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体用組成物 | |
JPH0518778B2 (ja) | ||
JP2772581B2 (ja) | 黒色窒化アルミニウム質焼結体 | |
JPS6317262A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JPS61146766A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JPS63260866A (ja) | 複合焼結体及びその製造方法 | |
JPS62256772A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
JPH0535107B2 (ja) | ||
JPS61158870A (ja) | セラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
JPS61205665A (ja) | 電気絶縁性基板およびその製造方法 | |
JPS61232274A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JPS63107867A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |