JP2003275772A - フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 - Google Patents

フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】フッ素含有水から、フッ素を高い除去率で除去
することができ、かつ処理コストの低いフッ素含有水の
処理方法、及びこの処理方法に用いるフッ素含有水処理
装置を提供する。 【解決手段】(A)フッ素含有水のpHを、マグネシウム
イオンの存在下で8以上に調整する工程、及び(B)上
記(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離す
る工程、さらに場合により(C)該(B)工程で分離さ
れた汚泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加
し、これを(A)工程に返送する工程を含むフッ素含有
水の処理方法、並びにこの処理方法を実施するためのフ
ッ素含有水処理装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有水の処
理方法及びフッ素含有水処理装置に関する。さらに詳し
くは、本発明は、半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造
廃水などのフッ素含有水から、フッ素を効果的に除去す
るフッ素含有水の処理方法、及びこの処理方法に用いる
フッ素含有水処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃
水などには、種々の金属イオンと共にフッ素が含まれて
おり、このようなフッ素含有廃水からフッ素を除去する
方法として、これまで種々の方法が行われている。例え
ば、(1)フッ素含有廃水に水酸化カルシウムや塩化カ
ルシウムなどを添加し、フッ化カルシウムとして除去す
る方法、(2)フッ素含有廃水に硫酸アルミニウムやポ
リ塩化アルミニウム(PAC)などを添加し、水酸化ア
ルミニウムとの共沈により除去する方法、あるいは上記
(1)と(2)を組み合わせた処理方法などが採られて
いる。具体的には、以下に示す方法が一般的に用いられ
ている。図1は、従来の一般的なフッ素含有廃水の処理
方法の1例を示す系統図である。この処理方法において
は、第1中和槽1aにおいて、原水に水酸化カルシウム
を添加すると共に、pH調整剤(酸)を添加して、pH6.
5以上でフッ素をフッ化カルシウムとして析出させる。
次いで、第1凝集槽2aにおいて、上記第1中和槽1a
の処理水に高分子凝集剤(ポリマー)を添加して凝集処
理し、この凝集処理水を第1沈殿槽3aで固液分離す
る。次に、第2中和槽1bにおいて、該第1沈殿槽3a
の分離水にアルミニウム塩とpH調整剤[Ca(OH)2
を添加して、pH6.5前後の条件で、残留するフッ素を
水酸化アルミニウムと共沈させたのち、第2凝集槽2b
にて、該第2中和槽1bの処理水に高分子凝集剤(ポリ
マー)を添加して凝集処理し、さらに、この凝集処理水
を第2沈殿槽3bで固液分離する。しかしながら、この
ような2段処理法では、得られる汚泥の沈降性が悪く、
かつ汚泥濃度が1〜5重量%程度と低い上、難脱水性で
あり、その結果、沈殿槽が大型化し、排出汚泥量が多く
なるのを免れず、その処分も困難であるという欠点があ
った。このような問題を解決するものとして、High
Density Solids方式(以下、HDS方
式と称す。)と称するフッ素含有廃水の処理方法が実用
化されている。図2は、従来のHDS方式によるフッ素
含有廃水の処理方法の1例を示す系統図である。このH
DS方式は、図2で示すように、返送汚泥処理槽4を設
け、この返送汚泥処理槽4にて、第1沈殿槽3aで分離
し、返送された汚泥に、Ca(OH)2を添加し、その処
理汚泥を原水に添加する点が、前記図1に示す方法とは
異なる。このようなHDS方式によれば、原水中のフッ
素は、汚泥表面のCa(OH)2と反応して、該汚泥表面
でCaF2が生成し、結晶が成長する。この結晶汚泥の
循環により、一層結晶が成長し、汚泥は重質化して沈降
性及び脱水性が向上し、その結果、汚泥濃度は15〜3
0重量%程度と高くなり、かつ汚泥発生量は少なくなっ
て、その処分も容易となる。しかしながら、このような
従来の一般的なフッ素含有廃水の処理方法やHDS方式
によるフッ素含有廃水の処理方法においては、フッ素の
除去率については必ずしも十分ではなく、特にフッ素が
他の金属イオンと錯体を形成している場合には、フッ素
を十分に除去することができないという問題がある上、
2段処理法であるため、処理コストも比較的高くつくと
いう問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃
水などのフッ素含有水から、フッ素を高い除去率で除去
することができ、かつ処理コストの低いフッ素含有水の
処理方法、及びこの処理方法に用いるフッ素含有水処理
装置を提供することを目的としてなされたものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ素含有水
のpHをマグネシウムイオンの存在下に、ある値以上に調
整する工程、及びこのpH調整フッ素含有水を固液分離す
る工程、あるいは、これらの工程と、上記固液分離工程
において分離された汚泥の少なくとも一部にカルシウム
化合物を添加して、上記pH調整工程に返送する工程を含
むフッ素含有水の処理方法、及びこの処理方法を実施し
得る構成要素を有するフッ素含有水処理装置により、そ
の目的を達成し得ることを見出し、この知見に基づいて
本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、
(1)フッ素含有水からフッ素を除去する方法におい
て、(A)該フッ素含有水のpHを、マグネシウムイオン
の存在下で8以上に調整する工程、及び(B)上記
(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離する
工程、を含むことを特徴とするフッ素含有水の処理方
法、(2)さらに、(C)該(B)工程で分離された汚
泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加し、これ
を(A)工程に返送する工程を含む第1項記載のフッ素
含有水の処理方法、(3)(A)工程に供給されるフッ
素含有水が、カルシウム化合物の添加によって予め処理
されてなる第1項又は第2項記載のフッ素含有水の処理
方法、(4)原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するた
めのマグネシウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調
整により生成したフッ素含有水中の汚泥を分離するため
の固液分離手段とを主要構成要素とすることを特徴とす
るフッ素含有水処理装置、(5)固液分離手段で分離さ
れた汚泥を返送汚泥処理槽に返送するための第一の返送
経路と、返送された汚泥をカルシウム化合物で処理する
ためのカルシウム化合物添加手段及び返送汚泥処理槽
と、この返送汚泥処理槽で処理された汚泥をpH調整槽に
返送するための第二の返送経路を設けてなる第4項記載
のフッ素含有水処理装置、及び(6)さらに、マグネシ
ウム化合物添加手段の前段に、フッ素含有水をカルシウ
ム化合物により処理するためのカルシウム化合物添加手
段を設けてなる第4項又は第5項記載のフッ素含有水処
理装置、を提供するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明のフッ素含有水の処理方法
においては、以下に示す(A)工程及び(B)工程、好
ましくはさらに(C)工程が施され、フッ素含有水から
フッ素が効率よく除去される。本発明方法が適用される
フッ素含有水としては、例えば半導体製造廃水、鉄鋼廃
水、肥料製造廃水などが挙げられるが、特にフッ素が他
の金属イオンと錯体を形成している廃水に対して、本発
明方法を好適に適用することができる。フッ素がHF、
NaF、NH4Fなどの形態で含まれている場合には、
カルシウム塩の添加によりCaF2として容易に除去す
ることができるが、例えばAlF6 3-、SiF6 2-、BF
4 -などの錯イオンを形成している場合は安定であって、
CaF2として除去することが困難となる。通常は、前
述の従来の技術において説明したように、硫酸バンド
(硫酸アルミニウム)の添加により除去されるが、本発
明方法においては、マグネシウムイオンの存在下でpHを
アルカリ性にすることにより、水酸化マグネシウムを形
成させ、その際の共沈捕集作用により、上記のフッ素を
含む錯イオンが効果的に除去される。したがって、マグ
ネシウムの量が重要となる。本発明においては、pH調整
後のフッ素含有水中には、マグネシウムをフッ素に対し
て、5〜20倍重量程度になるように含むことが好まし
い。
【0006】(A)工程:この(A)工程においては、
処理すべきフッ素含有水のpHを、マグネシウムイオンの
存在下に8以上に調整する。この場合、フッ素含有水中
のマグネシウムイオンの含有量が、前記の量より少ない
場合には、マグネシウム化合物を添加して不足分を補
う。添加するマグネシウム化合物の種類としては、硫酸
マグネシウム、塩化マグネシウム、硝酸マグネシウム、
硫酸マグネシウムアンモニウムなどの水可溶性マグネシ
ウム塩、あるいは水酸化マグネシウムなどが挙げられる
が、これらの中で、水酸化マグネシウムが好ましい。こ
のマグネシウム化合物の添加は原水槽、原水槽から中和
槽に至る経路及び中和槽のいずれに行ってもよい。フッ
素含有水のマグネシウムイオンの存在下でのpH調整は、
フッ素濃度が低い場合には、水酸化マグネシウム化合物
などのマグネシウム化合物のみで行うことができるが、
フッ素濃度が高い場合には、通常水酸化マグネシウムな
どのマグネシウム化合物と、水酸化カルシウムなどのカ
ルシウム化合物の両方を用いて、行われる。この場合、
マグネシウム化合物は、前述のように、原水槽、原水槽
から中和槽に至る経路及び中和槽のいずれに添加しても
よいが、カルシウム化合物は中和槽に添加するのが好ま
しい。このpH調整は、後で説明するように(C)工程を
設け、HDS方式を採用する場合には、pH9以上、好ま
しくは9〜10程度でよいが、HDS方式を採用しない
場合は、通常pH10以上に調整される。このようにし
て、フッ素の一部は難溶性のCaF2を形成し、CaF2
を形成しないフッ素を含む錯イオンなどは、このpH調整
により生成する水酸化マグネシウムに吸着捕集される。
なお、この(A)工程においては、必要に応じ、フッ素
含有水に予めカルシウム化合物を加え、CaF2を形成
させたのち、マグネシウム化合物を添加することができ
る。この場合、形成されたCaF2を除去後、マグネシ
ウム化合物を添加してもよいし、CaF2を除去せず、
該CaF2を含むフッ素含有水にマグネシウム化合物を
添加してもよい。
【0007】(B)工程:この(B)工程においては、
上記(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離
処理し、生成した汚泥を分離する。この固液分離処理に
おいては、所望により高分子凝集剤を用いることができ
る。該高分子凝集剤としては、例えばポリアクリル酸ア
ミドの加水分解物や、アクリルアミドとアクリル酸との
共重合体などのポリアクリルアミド系のアニオン性ポリ
マーを好ましく挙げることができる。また、この固液分
離処理においては、脱水機として、通常ベルトプレス型
脱水機が用いられるが、スクリュープレス型脱水機やフ
ィルタープレス型脱水機なども使用することができる。
本発明方法においては、含水率の低い汚泥を得るため
に、HDS方式を採用し、前記(A)及び(B)の必須
工程に加えて、下記の(C)工程を設けることができ
る。(C)工程:この(C)工程においては、前記
(B)工程で分離された汚泥にカルシウム化合物を添加
して、これを前記(A)工程のpH調整工程に返送する。
すなわち、(A)工程におけるpH調整は、このカルシウ
ム化合物によって処理された返送汚泥により行われる。
このようなHDS方式を採用することにより、(B)工
程の固液分離工程において、汚泥濃度が高くなると共
に、汚泥の沈降性及び脱水性が向上し、含水率の低い汚
泥を得ることができる。この際、汚泥に添加されるカル
シウム化合物としては、水酸化カルシウムを、一般に好
ましく用いることができる。このHDS方式を採用する
ことにより、採用しない場合に比べて、(A)工程での
pH調整を約1程度低くすることができるので、pH調整剤
の添加量を少なくすることができる。この点からも汚泥
量が減少する。さらに、処理水のpH再調整によるpH調整
剤の量も少なくすることができる。この(C)工程にお
ける汚泥返送比は、通常10〜50程度である。
【0008】このような本発明のフッ素含有水の処理方
法によれば、例えばフッ素含有水中に含まれる280mg
/L程度のフッ素を、10mg/L未満まで低下させるこ
とができる。なお、このフッ素含有水を水酸化カルシウ
ムのみで処理した場合には、フッ素濃度を50mg/L程
度までしか低下させることができない。従来、このよう
なフッ素含有水中のフッ素濃度を10mg/L未満にする
ためには、前述のように2段処理が必要であって、硫酸
バンドも3000mg/L程度用いなければならず、処理
コストが高くつくのを免れなかった。これに対し、水酸
化マグネシウムはスラリー状で入手が可能で安価であっ
て、本発明方法は、従来法に比べて処理コストが低く、
経済的に有利である。本発明はまた、前記本発明のフッ
素含有水の処理方法を実施するためのフッ素含有水処理
装置をも提供する。本発明のフッ素含有水処理装置は、
原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するためのマグネシ
ウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調整により生成
したフッ素含有水中の汚泥を分離するための固液分離手
段とを主要構成要素とするものである。そして、HDS
方式を採用する場合には、さらに、上記固液分離手段で
分離された汚泥を返送汚泥処理槽に返送するための第一
の返送経路と、返送された汚泥をカルシウム化合物で処
理するためのカルシウム化合物添加手段及び返送汚泥処
理槽と、この返送汚泥処理槽で処理された汚泥を上記pH
調整槽に返送するための第二の返送経路が設けられる。
また、必要に応じ、マグネシウム化合物添加手段の前段
に、フッ素含有水をカルシウム化合物により処理するた
めのカルシウム化合物添加手段を設けることができる。
【0009】次に、添付図面に従って、本発明の好適な
実施態様について説明する。図3は、本発明のフッ素含
有水の処理方法を、HDS方式で実施するための1例の
系統図であって、原水(フッ素含有水)は、原水タンク
11から、中和槽12に供給される。この際、原水中の
マグネシウムイオンが、含有フッ素に対して、所定量よ
り少ない場合は、マグネシウム化合物、例えば水酸化マ
グネシウムを原水中に添加する。図では現水槽11と中
和槽12間の経路に加えているが、現水槽11に加えて
もよいし、中和槽12に加えてもよい。次いで、中和層
12に、返送汚泥槽15においてカルシウム化合物、例
えば水酸化カルシウムが添加されて処理された返送汚泥
を、第二の返送経路17を通して供給し、フッ素含有水
のpHを9.0以上、好ましくは9.0〜9.5の範囲に調
整する。この中和槽において、フッ素の一部は難溶性の
CaF2になると共に、残りのフッ素は生成した水酸化
マグネシウムに吸着捕集され、共沈する。中和槽12で
pH調整され、生成した固形物を含むフッ素含有水は、凝
集槽13に供給され、この凝集槽13において、高分子
凝集剤、例えばアニオン性ポリマーが添加され、凝集処
理されたのち、沈殿槽14に供給される。この沈殿槽1
4において沈降分離した汚泥は、一部が返送汚泥とし
て、第一の返送経路16を通って返送汚泥槽15に返送
され、カルシウム化合物、例えば水酸化カルシウムが添
加されたのち、中和槽12に供給される。沈殿槽14に
おいて、汚泥が沈降分離された上澄みは、処理水として
系外へ排出されると共に、余剰汚泥は排泥として系外に
排出され、ベルトプレス型脱水機などにより、脱水処理
される。
【0010】
【実施例】次に、本発明を実施例により、さらに詳細に
説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定
されるものではない。 実施例1 フッ素濃度280mg/Lのフッ素含有水500mLに、水
酸化マグネシウムを2500mg/Lとなるように添加
し、消石灰でpH10に調整したのち、アニオン性ポリマ
ーの「クリフロックPA362」[栗田工業(株)製]を
2mg/Lとなるように添加し、凝集処理後、放置して沈
殿させた。得られた上澄水のフッ素濃度は7mg/Lであ
った。 比較例1 実施例1において、水酸化マグネシウムを添加しなかっ
たこと以外は、実施例1と同様にして、フッ素含有水を
処理した。得られた上澄水のフッ素濃度は53mg/Lで
あった。 比較例2 実施例1において、水酸化マグネシウムの代わりに硫酸
バンド2500mg/Lを添加した以外は、実施例1と同
様にして、フッ素含有水を処理した。得られた上澄水の
フッ素濃度は18mg/Lであった。 比較例3 比較例2において、硫酸バンド3000mg/Lを添加し
た以外は、比較例2と同様にして、フッ素含有水を処理
した。得られた上澄水のフッ素濃度は8mg/Lであっ
た。 実施例2 図3に示す系統図に従って、実施例1で用いたものと同
じフッ素含有水に水酸化マグネシウムを2500mg/L
になるように添加し、HDS方式による連続通水試験を
行った。第1表に示した条件で運転したところ、処理水
のフッ素濃度は5mg/Lであった。
【0011】
【表1】
【0012】
【発明の効果】本発明方法によれば、半導体製造廃水、
鉄鋼廃水、肥料製造廃水などのフッ素含有水から、フッ
素を効率よく、低い処理コストで除去することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、従来の一般的なフッ素含有廃水の処理
方法の1例を示す系統図である。
【図2】図2は、従来のHDS方式によるフッ素含有廃
水の処理方法の1例を示す系統図である。
【図3】図3は、本発明のフッ素含有水の処理方法を、
HDS方式で実施するための1例の系統図である。
【符号の説明】
1a 第1中和槽 1b 第2中和槽 2a 第1凝集槽 2b 第2凝集槽 3a 第1沈殿槽 3b 第2沈殿槽 4 返送汚泥処理槽 11 原水タンク 12 中和槽 13 凝集槽 14 沈殿槽 15 返送汚泥槽 16 第一の返送経路 17 第二の返送経路

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フッ素含有水からフッ素を除去する方法に
    おいて、(A)該フッ素含有水のpHを、マグネシウムイ
    オンの存在下で8以上に調整する工程、及び(B)上記
    (A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離する
    工程、を含むことを特徴とするフッ素含有水の処理方
    法。
  2. 【請求項2】さらに、(C)該(B)工程で分離された
    汚泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加し、こ
    れを(A)工程に返送する工程を含む請求項1記載のフ
    ッ素含有水の処理方法。
  3. 【請求項3】(A)工程に供給されるフッ素含有水が、
    カルシウム化合物の添加によって予め処理されてなる請
    求項1又は2記載のフッ素含有水の処理方法。
  4. 【請求項4】原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するた
    めのマグネシウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調
    整により生成したフッ素含有水中の汚泥を分離するため
    の固液分離手段とを主要構成要素とすることを特徴とす
    るフッ素含有水処理装置。
  5. 【請求項5】固液分離手段で分離された汚泥を返送汚泥
    処理槽に返送するための第一の返送経路と、返送された
    汚泥をカルシウム化合物で処理するためのカルシウム化
    合物添加手段及び返送汚泥処理槽と、この返送汚泥処理
    槽で処理された汚泥をpH調整槽に返送するための第二の
    返送経路を設けてなる請求項4記載のフッ素含有水処理
    装置。
  6. 【請求項6】さらに、マグネシウム化合物添加手段の前
    段に、フッ素含有水をカルシウム化合物により処理する
    ためのカルシウム化合物添加手段を設けてなる請求項4
    又は5記載のフッ素含有水処理装置。
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