JP4140050B2 - フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4140050B2 JP4140050B2 JP2002086946A JP2002086946A JP4140050B2 JP 4140050 B2 JP4140050 B2 JP 4140050B2 JP 2002086946 A JP2002086946 A JP 2002086946A JP 2002086946 A JP2002086946 A JP 2002086946A JP 4140050 B2 JP4140050 B2 JP 4140050B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- containing water
- sludge
- tank
- magnesium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃水などのフッ素含有水から、フッ素を効果的に除去するフッ素含有水の処理方法、及びこの処理方法に用いるフッ素含有水処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃水などには、種々の金属イオンと共にフッ素が含まれており、このようなフッ素含有廃水からフッ素を除去する方法として、これまで種々の方法が行われている。例えば、(1)フッ素含有廃水に水酸化カルシウムや塩化カルシウムなどを添加し、フッ化カルシウムとして除去する方法、(2)フッ素含有廃水に硫酸アルミニウムやポリ塩化アルミニウム(PAC)などを添加し、水酸化アルミニウムとの共沈により除去する方法、あるいは上記(1)と(2)を組み合わせた処理方法などが採られている。
具体的には、以下に示す方法が一般的に用いられている。
図1は、従来の一般的なフッ素含有廃水の処理方法の1例を示す系統図である。
この処理方法においては、第1中和槽1aにおいて、原水に水酸化カルシウムを添加すると共に、pH調整剤(酸)を添加して、pH6.5以上でフッ素をフッ化カルシウムとして析出させる。次いで、第1凝集槽2aにおいて、上記第1中和槽1aの処理水に高分子凝集剤(ポリマー)を添加して凝集処理し、この凝集処理水を第1沈殿槽3aで固液分離する。次に、第2中和槽1bにおいて、該第1沈殿槽3aの分離水にアルミニウム塩とpH調整剤[Ca(OH)2]を添加して、pH6.5前後の条件で、残留するフッ素を水酸化アルミニウムと共沈させたのち、第2凝集槽2bにて、該第2中和槽1bの処理水に高分子凝集剤(ポリマー)を添加して凝集処理し、さらに、この凝集処理水を第2沈殿槽3bで固液分離する。
しかしながら、このような2段処理法では、得られる汚泥の沈降性が悪く、かつ汚泥濃度が1〜5重量%程度と低い上、難脱水性であり、その結果、沈殿槽が大型化し、排出汚泥量が多くなるのを免れず、その処分も困難であるという欠点があった。
このような問題を解決するものとして、High Density Solids方式(以下、HDS方式と称す。)と称するフッ素含有廃水の処理方法が実用化されている。
図2は、従来のHDS方式によるフッ素含有廃水の処理方法の1例を示す系統図である。
このHDS方式は、図2で示すように、返送汚泥処理槽4を設け、この返送汚泥処理槽4にて、第1沈殿槽3aで分離し、返送された汚泥に、Ca(OH)2を添加し、その処理汚泥を原水に添加する点が、前記図1に示す方法とは異なる。
このようなHDS方式によれば、原水中のフッ素は、汚泥表面のCa(OH)2と反応して、該汚泥表面でCaF2が生成し、結晶が成長する。この結晶汚泥の循環により、一層結晶が成長し、汚泥は重質化して沈降性及び脱水性が向上し、その結果、汚泥濃度は15〜30重量%程度と高くなり、かつ汚泥発生量は少なくなって、その処分も容易となる。
しかしながら、このような従来の一般的なフッ素含有廃水の処理方法やHDS方式によるフッ素含有廃水の処理方法においては、フッ素の除去率については必ずしも十分ではなく、特にフッ素が他の金属イオンと錯体を形成している場合には、フッ素を十分に除去することができないという問題がある上、2段処理法であるため、処理コストも比較的高くつくという問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような事情のもとで、半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃水などのフッ素含有水から、フッ素を高い除去率で除去することができ、かつ処理コストの低いフッ素含有水の処理方法、及びこの処理方法に用いるフッ素含有水処理装置を提供することを目的としてなされたものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ素含有水のpHをマグネシウムイオンの存在下に、ある値以上に調整する工程、及びこのpH調整フッ素含有水を固液分離する工程、あるいは、これらの工程と、上記固液分離工程において分離された汚泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加して、上記pH調整工程に返送する工程を含むフッ素含有水の処理方法、及びこの処理方法を実施し得る構成要素を有するフッ素含有水処理装置により、その目的を達成し得ることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
(1)フッ素含有水からフッ素を除去する方法において、(A)該フッ素含有水のpHを、マグネシウムイオンの存在下で8以上に調整する工程、及び(B)上記(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離する工程、さらに、(C)該(B)工程で分離された汚泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加し、これを(A)工程に返送する工程を含むことを特徴とするフッ素含有水の処理方法、
(2)(A)工程に供給されるフッ素含有水が、カルシウム化合物の添加によって予め処理されてなる第1項記載のフッ素含有水の処理方法、
(3)原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するためのマグネシウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調整により生成したフッ素含有水中の汚泥を分離するための固液分離手段とを主要構成要素とし、該固液分離手段で分離された汚泥を返送汚泥処理槽に返送するための第一の返送経路と、返送された汚泥をカルシウム化合物で処理するためのカルシウム化合物添加手段及び返送汚泥処理槽と、この返送汚泥処理槽で処理された汚泥をpH調整槽に返送するための第二の返送経路を設けてなることを特徴とするフッ素含有水処理装置、及び
(4)さらに、マグネシウム化合物添加手段の前段に、フッ素含有水をカルシウム化合物により処理するためのカルシウム化合物添加手段を設けてなる第3項記載のフッ素含有水処理装置、
を提供するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明のフッ素含有水の処理方法においては、以下に示す(A)工程及び(B)工程、好ましくはさらに(C)工程が施され、フッ素含有水からフッ素が効率よく除去される。
本発明方法が適用されるフッ素含有水としては、例えば半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃水などが挙げられるが、特にフッ素が他の金属イオンと錯体を形成している廃水に対して、本発明方法を好適に適用することができる。フッ素がHF、NaF、NH4Fなどの形態で含まれている場合には、カルシウム塩の添加によりCaF2として容易に除去することができるが、例えばAlF6 3-、SiF6 2-、BF4 -などの錯イオンを形成している場合は安定であって、CaF2として除去することが困難となる。通常は、前述の従来の技術において説明したように、硫酸バンド(硫酸アルミニウム)の添加により除去されるが、本発明方法においては、マグネシウムイオンの存在下でpHをアルカリ性にすることにより、水酸化マグネシウムを形成させ、その際の共沈捕集作用により、上記のフッ素を含む錯イオンが効果的に除去される。したがって、マグネシウムの量が重要となる。本発明においては、pH調整後のフッ素含有水中には、マグネシウムをフッ素に対して、5〜20倍重量程度になるように含むことが好ましい。
【0006】
(A)工程:
この(A)工程においては、処理すべきフッ素含有水のpHを、マグネシウムイオンの存在下に8以上に調整する。この場合、フッ素含有水中のマグネシウムイオンの含有量が、前記の量より少ない場合には、マグネシウム化合物を添加して不足分を補う。添加するマグネシウム化合物の種類としては、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、硝酸マグネシウム、硫酸マグネシウムアンモニウムなどの水可溶性マグネシウム塩、あるいは水酸化マグネシウムなどが挙げられるが、これらの中で、水酸化マグネシウムが好ましい。このマグネシウム化合物の添加は原水槽、原水槽から中和槽に至る経路及び中和槽のいずれに行ってもよい。
フッ素含有水のマグネシウムイオンの存在下でのpH調整は、フッ素濃度が低い場合には、水酸化マグネシウム化合物などのマグネシウム化合物のみで行うことができるが、フッ素濃度が高い場合には、通常水酸化マグネシウムなどのマグネシウム化合物と、水酸化カルシウムなどのカルシウム化合物の両方を用いて、行われる。この場合、マグネシウム化合物は、前述のように、原水槽、原水槽から中和槽に至る経路及び中和槽のいずれに添加してもよいが、カルシウム化合物は中和槽に添加するのが好ましい。
このpH調整は、後で説明するように(C)工程を設け、HDS方式を採用する場合には、pH9以上、好ましくは9〜10程度でよいが、HDS方式を採用しない場合は、通常pH10以上に調整される。このようにして、フッ素の一部は難溶性のCaF2を形成し、CaF2を形成しないフッ素を含む錯イオンなどは、このpH調整により生成する水酸化マグネシウムに吸着捕集される。
なお、この(A)工程においては、必要に応じ、フッ素含有水に予めカルシウム化合物を加え、CaF2を形成させたのち、マグネシウム化合物を添加することができる。この場合、形成されたCaF2を除去後、マグネシウム化合物を添加してもよいし、CaF2を除去せず、該CaF2を含むフッ素含有水にマグネシウム化合物を添加してもよい。
【0007】
(B)工程:
この(B)工程においては、上記(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離処理し、生成した汚泥を分離する。この固液分離処理においては、所望により高分子凝集剤を用いることができる。該高分子凝集剤としては、例えばポリアクリル酸アミドの加水分解物や、アクリルアミドとアクリル酸との共重合体などのポリアクリルアミド系のアニオン性ポリマーを好ましく挙げることができる。
また、この固液分離処理においては、脱水機として、通常ベルトプレス型脱水機が用いられるが、スクリュープレス型脱水機やフィルタープレス型脱水機なども使用することができる。
本発明方法においては、含水率の低い汚泥を得るために、HDS方式を採用し、前記(A)及び(B)の必須工程に加えて、下記の(C)工程を設けることができる。
(C)工程:
この(C)工程においては、前記(B)工程で分離された汚泥にカルシウム化合物を添加して、これを前記(A)工程のpH調整工程に返送する。すなわち、(A)工程におけるpH調整は、このカルシウム化合物によって処理された返送汚泥により行われる。
このようなHDS方式を採用することにより、(B)工程の固液分離工程において、汚泥濃度が高くなると共に、汚泥の沈降性及び脱水性が向上し、含水率の低い汚泥を得ることができる。この際、汚泥に添加されるカルシウム化合物としては、水酸化カルシウムを、一般に好ましく用いることができる。
このHDS方式を採用することにより、採用しない場合に比べて、(A)工程でのpH調整を約1程度低くすることができるので、pH調整剤の添加量を少なくすることができる。この点からも汚泥量が減少する。さらに、処理水のpH再調整によるpH調整剤の量も少なくすることができる。
この(C)工程における汚泥返送比は、通常10〜50程度である。
【0008】
このような本発明のフッ素含有水の処理方法によれば、例えばフッ素含有水中に含まれる280mg/L程度のフッ素を、10mg/L未満まで低下させることができる。なお、このフッ素含有水を水酸化カルシウムのみで処理した場合には、フッ素濃度を50mg/L程度までしか低下させることができない。
従来、このようなフッ素含有水中のフッ素濃度を10mg/L未満にするためには、前述のように2段処理が必要であって、硫酸バンドも3000mg/L程度用いなければならず、処理コストが高くつくのを免れなかった。これに対し、水酸化マグネシウムはスラリー状で入手が可能で安価であって、本発明方法は、従来法に比べて処理コストが低く、経済的に有利である。
本発明はまた、前記本発明のフッ素含有水の処理方法を実施するためのフッ素含有水処理装置をも提供する。
本発明のフッ素含有水処理装置は、原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するためのマグネシウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調整により生成したフッ素含有水中の汚泥を分離するための固液分離手段とを主要構成要素とするものである。そして、HDS方式を採用する場合には、さらに、上記固液分離手段で分離された汚泥を返送汚泥処理槽に返送するための第一の返送経路と、返送された汚泥をカルシウム化合物で処理するためのカルシウム化合物添加手段及び返送汚泥処理槽と、この返送汚泥処理槽で処理された汚泥を上記pH調整槽に返送するための第二の返送経路が設けられる。また、必要に応じ、マグネシウム化合物添加手段の前段に、フッ素含有水をカルシウム化合物により処理するためのカルシウム化合物添加手段を設けることができる。
【0009】
次に、添付図面に従って、本発明の好適な実施態様について説明する。
図3は、本発明のフッ素含有水の処理方法を、HDS方式で実施するための1例の系統図であって、原水(フッ素含有水)は、原水タンク11から、中和槽12に供給される。この際、原水中のマグネシウムイオンが、含有フッ素に対して、所定量より少ない場合は、マグネシウム化合物、例えば水酸化マグネシウムを原水中に添加する。図では現水槽11と中和槽12間の経路に加えているが、現水槽11に加えてもよいし、中和槽12に加えてもよい。次いで、中和層12に、返送汚泥槽15においてカルシウム化合物、例えば水酸化カルシウムが添加されて処理された返送汚泥を、第二の返送経路17を通して供給し、フッ素含有水のpHを9.0以上、好ましくは9.0〜9.5の範囲に調整する。この中和槽において、フッ素の一部は難溶性のCaF2になると共に、残りのフッ素は生成した水酸化マグネシウムに吸着捕集され、共沈する。中和槽12でpH調整され、生成した固形物を含むフッ素含有水は、凝集槽13に供給され、この凝集槽13において、高分子凝集剤、例えばアニオン性ポリマーが添加され、凝集処理されたのち、沈殿槽14に供給される。この沈殿槽14において沈降分離した汚泥は、一部が返送汚泥として、第一の返送経路16を通って返送汚泥槽15に返送され、カルシウム化合物、例えば水酸化カルシウムが添加されたのち、中和槽12に供給される。
沈殿槽14において、汚泥が沈降分離された上澄みは、処理水として系外へ排出されると共に、余剰汚泥は排泥として系外に排出され、ベルトプレス型脱水機などにより、脱水処理される。
【0010】
【実施例】
次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
実施例1
フッ素濃度280mg/Lのフッ素含有水500mLに、水酸化マグネシウムを2500mg/Lとなるように添加し、消石灰でpH10に調整したのち、アニオン性ポリマーの「クリフロックPA362」[栗田工業(株)製]を2mg/Lとなるように添加し、凝集処理後、放置して沈殿させた。得られた上澄水のフッ素濃度は7mg/Lであった。
比較例1
実施例1において、水酸化マグネシウムを添加しなかったこと以外は、実施例1と同様にして、フッ素含有水を処理した。得られた上澄水のフッ素濃度は53mg/Lであった。
比較例2
実施例1において、水酸化マグネシウムの代わりに硫酸バンド2500mg/Lを添加した以外は、実施例1と同様にして、フッ素含有水を処理した。得られた上澄水のフッ素濃度は18mg/Lであった。
比較例3
比較例2において、硫酸バンド3000mg/Lを添加した以外は、比較例2と同様にして、フッ素含有水を処理した。得られた上澄水のフッ素濃度は8mg/Lであった。
実施例2
図3に示す系統図に従って、実施例1で用いたものと同じフッ素含有水に水酸化マグネシウムを2500mg/Lになるように添加し、HDS方式による連続通水試験を行った。
第1表に示した条件で運転したところ、処理水のフッ素濃度は5mg/Lであった。
【0011】
【表1】
【0012】
【発明の効果】
本発明方法によれば、半導体製造廃水、鉄鋼廃水、肥料製造廃水などのフッ素含有水から、フッ素を効率よく、低い処理コストで除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、従来の一般的なフッ素含有廃水の処理方法の1例を示す系統図である。
【図2】図2は、従来のHDS方式によるフッ素含有廃水の処理方法の1例を示す系統図である。
【図3】図3は、本発明のフッ素含有水の処理方法を、HDS方式で実施するための1例の系統図である。
【符号の説明】
1a 第1中和槽
1b 第2中和槽
2a 第1凝集槽
2b 第2凝集槽
3a 第1沈殿槽
3b 第2沈殿槽
4 返送汚泥処理槽
11 原水タンク
12 中和槽
13 凝集槽
14 沈殿槽
15 返送汚泥槽
16 第一の返送経路
17 第二の返送経路
Claims (4)
- フッ素含有水からフッ素を除去する方法において、(A)該フッ素含有水のpHを、マグネシウムイオンの存在下で8以上に調整する工程、及び(B)上記(A)工程でpH調整されたフッ素含有水を固液分離する工程、さらに、(C)該(B)工程で分離された汚泥の少なくとも一部にカルシウム化合物を添加し、これを(A)工程に返送する工程を含むことを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
- (A)工程に供給されるフッ素含有水が、カルシウム化合物の添加によって予め処理されてなる請求項1記載のフッ素含有水の処理方法。
- 原水槽と、フッ素含有水のpHを調整するためのマグネシウム化合物添加手段及びpH調整槽と、pH調整により生成したフッ素含有水中の汚泥を分離するための固液分離手段とを主要構成要素とし、該固液分離手段で分離された汚泥を返送汚泥処理槽に返送するための第一の返送経路と、返送された汚泥をカルシウム化合物で処理するためのカルシウム化合物添加手段及び返送汚泥処理槽と、この返送汚泥処理槽で処理された汚泥をpH調整槽に返送するための第二の返送経路を設けてなることを特徴とするフッ素含有水処理装置。
- さらに、マグネシウム化合物添加手段の前段に、フッ素含有水をカルシウム化合物により処理するためのカルシウム化合物添加手段を設けてなる請求項3記載のフッ素含有水処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002086946A JP4140050B2 (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002086946A JP4140050B2 (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003275772A JP2003275772A (ja) | 2003-09-30 |
JP4140050B2 true JP4140050B2 (ja) | 2008-08-27 |
Family
ID=29207343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002086946A Expired - Fee Related JP4140050B2 (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4140050B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102086078A (zh) * | 2010-12-16 | 2011-06-08 | 北京中兵北方环境科技发展有限责任公司 | 一种处理钢厂废水并回收利用的方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006061754A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Aquatech:Kk | フッ素含有廃水の処理方法およびフッ素含有廃水の処理設備 |
WO2008120704A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Kurita Water Industries Ltd. | フッ素含有排水の処理装置および処理方法 |
JP5692278B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2015-04-01 | 栗田工業株式会社 | フッ化物含有水の処理方法及び処理装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5061396A (ja) * | 1973-10-01 | 1975-05-26 | ||
JPS5346163A (en) * | 1976-10-08 | 1978-04-25 | Isamu Kumaki | Removement of fluorine ion from aqueous solution such as industrial drainge and like |
JPS5813230B2 (ja) * | 1980-07-28 | 1983-03-12 | 栗田工業株式会社 | フツ化物イオン含有水の処理方法 |
JPS5943237B2 (ja) * | 1981-07-03 | 1984-10-20 | 栗田工業株式会社 | フツ化物イオン含有水の処理方法 |
JPS6097090A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Kurita Water Ind Ltd | フツ化物および硫酸イオン含有水の処理方法 |
JP3282648B2 (ja) * | 1994-06-16 | 2002-05-20 | 環境エンジニアリング株式会社 | フッ素含有排水の処理方法 |
JP4380825B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2009-12-09 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | フッ素含有水の処理方法 |
JP2001038368A (ja) * | 1999-08-02 | 2001-02-13 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
JP2001340870A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-12-11 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | フッ素含有排水の処理方法 |
-
2002
- 2002-03-26 JP JP2002086946A patent/JP4140050B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102086078A (zh) * | 2010-12-16 | 2011-06-08 | 北京中兵北方环境科技发展有限责任公司 | 一种处理钢厂废水并回收利用的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003275772A (ja) | 2003-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100200021B1 (ko) | 중급속을 함유하는 배수의 처리방법 | |
JP4572812B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JPS60117B2 (ja) | フッ化物含有水の処理方法 | |
JP2000084570A (ja) | フッ素含有廃水の処理方法及び処理装置 | |
JP3112613B2 (ja) | フッ素・リン含有排水の処理方法 | |
JP4140050B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法及びフッ素含有水処理装置 | |
JP4351867B2 (ja) | フッ素またはリン含有水処理装置 | |
JP2001340870A (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
JP2005296838A (ja) | フッ素、リン含有水の処理方法および装置 | |
JP3903591B2 (ja) | フッ素及びリン含有排水の処理方法 | |
JP4689186B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JP3942235B2 (ja) | ホウ素含有水の処理方法 | |
JP2912237B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
TWI263623B (en) | Effluent water treatment method | |
JP2006167631A (ja) | リン酸を含むフッ素含有排水の処理方法及び処理装置 | |
JP2004000962A (ja) | フッ素イオンの除去方法及び除去剤 | |
JP3399276B2 (ja) | 弗素含有排水の処理方法 | |
JPH0576876A (ja) | 弗素およびマンガン含有廃水の処理方法 | |
JP3709156B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
JP4350078B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
JPH06134471A (ja) | フッ素含有廃水のフッ素除去方法 | |
JP4136194B2 (ja) | フッ素含有廃水の処理方法 | |
JP3592175B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
JPH06343977A (ja) | 廃水の処理方法 | |
CN110436671A (zh) | 一种烧结湿式脱硫废水的零排放处理方法和系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080519 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080601 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4140050 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130620 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140620 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |