JP2003269662A

JP2003269662A - 真空システム用フレキシブルチューブ

Info

Publication number: JP2003269662A
Application number: JP2002246564A
Authority: JP
Inventors: Eiji Takaara; 永次高荒
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 2002-03-13
Filing date: 2002-08-27
Publication date: 2003-09-25
Anticipated expiration: 2022-08-27
Also published as: JP4553548B2

Abstract

(57)【要約】【課題】外部からの機械的衝撃に強く、内部と外部の
気圧差によっても変形、破壊の起こりにくいフレキシブ
ルチューブを提供する。【解決手段】真空システム用フレキシブルチューブ１
０は、真空状態を維持する真空チャンバー１６と、この
真空チャンバー１６を真空引きする真空ポンプ１４との
間に設けられる。フレキシブルチューブ１０は、凸部２
２aと凹部２２ｂとを有し、硬い材料で形成されたチュ
ーブ本体２２と、このチューブ本体２２の外部表面に設
けられ、弾性材料で形成されたカバー２４とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】この発明は真空システムに用
いるフレキシブルチューブに関するものである。真空シ
ステムにおいては、真空装置間がフレキシブルチューブ
によって接続される。

【０００２】

【従来の技術】フレキシブルチューブは、２つ以上の真
空装置間を接続するのに用いられる。従来のフレキシブ
ルチューブは薄い金属シートで構成され、凹凸がある表
面を有していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】フレキシブルチューブ
表面の凸部に機器や他の硬いものがぶつかった場合、こ
の凸部が変形したり壊れたりして、真空が保たれず、リ
ークしてしまうことがあった。真空システムのフレキシ
ブルチューブは、通常真空下の気圧と大気圧との大きな
気圧差のもとで使われることが多い。したがって、この
ようなフレキシブルチューブは内部と外部の気圧差によ
って変形したり、壊れたりする。また、フレキシブルチ
ューブが電気配線と偶然接触した場合、ショートが起こ
りフレキシブルチューブに小さな穴が形成されることも
ある。

【０００４】この発明の目的は、気圧差に耐えることが
でき、機械的強度に優れたフレキシブルチューブを提供
することにある。この発明の他の目的、新規な特徴およ
び利点は、一部は詳細に記載され、またその一部はその
記載から当業者が明らかになるものであり、この発明を
実施することにより理解できる。この発明の目的と利点
は、記載された特許請求の範囲に指摘された構成、組み
合わせから実現され、達成される。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の真空システム用フレキシブルチューブ
は、硬い材料で構成され、凸部と凹部とを有するチュー
ブ本体と、このチューブ本体の外側表面に形成されたカ
バーとを有し、このカバーは弾性材料で構成される。好
ましくは、フレキシブルチューブは真空チャンバーを真
空引きする真空ポンプと真空チャンバー間に設けられ、
真空状態を維持する働きをする。

【０００６】

【発明の実施の形態】この発明の好適な実施例を添付し
た図面を参照しつつ説明する。なお、記載している好適
な実施例は、当業者が実施可能なように詳細に説明して
いる。この実施例以外に、発明の主旨を逸脱しない範囲
内において論理的、機械的または電気的な変更を施した
他の好適な実施例が存在することは容易に理解できる。
しかたがって、以下に記載する事項は、この発明の範囲
を限定するものではなく、発明の範囲は特許請求の範囲
に記載された事項のみにより定義されるものである。

【０００７】図１はこの発明によるフレキシブルチュー
ブを用いた真空システム１２を示す概略図である。真空
システム１２は、フレキシブルチューブ１０、真空引き
する真空ポンプ１４および真空状態を維持する真空チャ
ンバー１６を有する。フレキシブルチューブ１０は、真
空ポンプ１４と真空チャンバー１６との間に設けられ
る。また、フレキシブルチューブ１０の両端は、接続ポ
ート１８、２０に固定されている。

【０００８】図２（A）は、この発明の第１の実施例に
係るフレキシブルチューブ１０の構造を示す断面図であ
る。また、図２（B）は、図２（A）に示したフレキシブ
ルチューブ１０の一部拡大断面図である。フレキシブル
チューブ１０は、ステンレス金属材料などの薄い金属シ
ートで構成されるチューブ本体２２と弾性カバー２４と
を有する。図３は、この発明で用いられるチューブ本体
２２の部分切り欠き断面図である。チューブ本体は柔軟
性を得るために、凸部２２aと凹部２２ｂとを有する。
弾性カバー２４は、チューブ本体２２の外部表面上に設
けられている。弾性カバー２４はゴムのような弾性材で
形成されており、約１〜２ｍｍの厚さｔ１を有してい
る。チューブ本体２２の厚さｔ０は、約０．１５〜０．
３ｍｍである。

【０００９】製造過程において、チューブ本体２２は単
に弾性カバー２４に挿入される。弾性カバー２４はシリ
ンダー形状をしており、チューブ本体２２の凸部２２a
と接触するが、凹部２２ｂとは接触しない内部表面を有
する。第１の実施例においては、機器や他の硬いものが
フレキシブルチューブ１０にぶつかった場合でもフレキ
シブルチューブ１０は、簡単には変形したり、壊れたり
はしない。また、フレキシブルチューブ１０の内部およ
び外部の気圧差によっても、フレキシブルチューブ１０
は、簡単には変形したり、壊れたりはしない。さらに、
フレキシブルチューブ１０が電気配線と偶然接触した場
合でも、チューブ本体２２が絶縁性を有する弾性カバー
２４で覆われているため、ショートが起こらない。

【００１０】図４（A）は、この発明の第２の実施例に
係るフレキシブルチューブ３０の構造を示す断面図であ
る。また、図４（B）は、図４（A）に示したフレキシブ
ルチューブ１０の一部拡大断面図である。図４(C)は、
図４(B)に示したフレキシブルチューブの変形例の構造
を示す断面図である。フレキシブルチューブ３０は、図
１に示した真空システム１２に第１の実施例と同様に用
いられる。第２の実施例において、第１の実施例と同一
部分には同一符号を付してその説明を省略する。

【００１１】図４(A)及び図４(B)において、フレキシブ
ルチューブ３０は、ステンレス金属材料などの薄い金属
シートで構成されるチューブ本体２２と弾性カバー３２
とを有する。弾性カバー３２は、チューブ本体２２の凸
部２２a及び凹部２２ｂを含む外部表面全体にわたって
接触するように形成されている。弾性カバー３２はシリ
コンのような熱収縮性を有する弾性材で形成されてい
る。図４(C)においても、フレキシブルチューブ３０
は、ステンレス金属材料などの薄い金属シートで構成さ
れるチューブ本体２２を有する。図４(C)において、弾
性カバー３２aは、チューブ本体２２の凸部近傍におい
てはチューブ本体２２と接触している。しかしながら、
チューブ本体２２の凹部近傍においては、弾性カバー３
２aはチューブ本体と接触しておらず、空隙３４が形成
される。フレキシブルチューブの直径にもよるが、弾性
カバー２４は約１〜２ｍｍの厚さｔ１を有している。ま
た、チューブ本体２２の厚さｔ０は、約０．１５〜０．
３ｍｍである。

【００１２】製造過程においては、チューブ本体の外部
直径よりも大きな内部直径を有するシリンダー形状の弾
性カバー３２が準備される。次に、チューブ本体２２が
弾性カバー３２に挿入される。その後弾性カバー３２は
均一に熱処理が施され、弾性カバー３２が収縮してチュ
ーブ本体２２の外部表面全体にわたって接触する。第２
の実施例において、機器や他の硬いものがフレキシブル
チューブ３０にぶつかった場合でもフレキシブルチュー
ブ３０は、簡単には変形したり、壊れたりはしない。ま
た、フレキシブルチューブ３０の内部および外部の気圧
差によっても、フレキシブルチューブ３０は、簡単には
変形したり、壊れたりはしない。さらに、フレキシブル
チューブ３０が電気配線と偶然接触した場合でも、チュ
ーブ本体２２が絶縁性を有する弾性カバー３２で覆われ
ているため、ショートが起こらない。

【００１３】図５（A）は、この発明の第３の実施例に
係るフレキシブルチューブ４０の構造を示す断面図であ
る。また、図５（B）は、図５（A）に示したフレキシブ
ルチューブ４０の一部拡大断面図である。フレキシブル
チューブ４０は、図１に示した真空システム１２に第１
の実施例と同様に用いられる。第３の実施例において、
第１及び第２の実施例と同一部分には同一符号を付して
その説明を省略する。

【００１４】フレキシブルチューブ４０は、ステンレス
金属材料などの薄い金属シートで構成されるチューブ本
体２２と弾性カバー４２とを有する。弾性カバー４２
は、チューブ本体２２の凸部２２a及び凹部２２ｂを含
む外部表面全体にわたって接触するように形成されてい
る。弾性カバー４２はゴムのような弾性材で形成されて
いる。チューブ本体２２の厚さｔ０は、約０．１５〜
０．３ｍｍである。図５Bに示すように、弾性カバー４
２の凸部２２aにおける厚さｔ１は約１〜２ｍｍであ
る。

【００１５】製造過程においては、溶融したゴムがチュ
ーブ本体２２を完全に覆うまで、チューブ本体２２の凹
部２２ｂに充填される。第３の実施例において、機器や
他の硬いものがフレキシブルチューブ４０にぶつかった
場合でもフレキシブルチューブ４０は、簡単には変形し
たり、壊れたりはしない。また、フレキシブルチューブ
４０の内部および外部の気圧差によっても、フレキシブ
ルチューブ４０は、簡単には変形したり、壊れたりはし
ない。さらに、フレキシブルチューブ４０が電気配線と
偶然接触した場合でも、チューブ本体２２が絶縁性を有
する弾性カバー４２で覆われているため、ショートが起
こらない。

【００１６】図６（A）は、この発明の第４の実施例に
係るフレキシブルチューブ５０の構造を示す断面図であ
る。また、図６（B）は、図６（A）に示したフレキシブ
ルチューブ５０の一部拡大断面図である。フレキシブル
チューブ５０は、図１に示した真空システム１２に第１
の実施例と同様に用いられる。第４の実施例において、
第１ないし第３の実施例と同一部分には同一符号を付し
てその説明を省略する。

【００１７】フレキシブルチューブ５０は、ステンレス
金属材料などの薄い金属シートで構成されるチューブ本
体２２と弾性カバー５２とを有する。弾性カバー５２
は、チューブ本体２２の凸部２２a及び凹部２２ｂを含
む外部表面全体にわたって接触するように形成されてい
る。弾性カバー５２はゴムのような弾性材で形成されて
いる。チューブ本体２２の厚さｔ０は、約０．３ｍｍで
ある。図６Bに示すように、弾性カバー５２の凸部２２a
における厚さｔ１は約１ｍｍである。弾性カバー５２
は、チューブ本体２２の凹部２２ｂにおいてV型スリッ
ト５２aが形成されている。V型スリット５２aは、チュ
ーブ本体２２の外部表面を露出させないよう、チューブ
本体２２の外部表面までとどかない深さで形成されてい
る。

【００１８】製造過程においては、溶融したゴムがチュ
ーブ本体２２を完全に覆うまで、チューブ本体２２の凹
部２２ｂに充填される。その後、V型スリット５２aがチ
ューブ本体２２の凹部２２ｂに形成される。第４の実施
例において、機器や他の硬いものがフレキシブルチュー
ブ５０にぶつかった場合でもフレキシブルチューブ５０
は、簡単には変形したり、壊れたりはしない。また、フ
レキシブルチューブ５０の内部および外部の気圧差によ
っても、フレキシブルチューブ５０は、簡単には変形し
たり、壊れたりはしない。さらに、フレキシブルチュー
ブ５０が電気配線と偶然接触した場合でも、チューブ本
体２２が絶縁性を有する弾性カバー５２で覆われている
ため、ショートが起こらない。加えて、第４の実施例に
おいては弾性カバー５２にV型スリット５２aが形成され
ているので、フレキシブルチューブ５０の柔軟性は第３
の実施例に比べて改善される。これにより屈曲半径がよ
り小さくなる。

【００１９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明の
フレキシブルチューブによれば、外部からの機械的衝撃
に強く、内部と外部の気圧差によっても変形、破壊の起
こりにくいフレキシブルチューブが提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるフレキシブルチューブを用いた
真空システムを示す概略図である。

【図２】この発明の第１の実施例に係るフレキシブルチ
ューブの構造を示す断面図で、図２（B）は、図２（A）
に示したフレキシブルチューブの一部拡大断面図であ
る。

【図３】チューブ本体の部分切り欠き断面図である。

【図４】この発明の第２の実施例に係るフレキシブルチ
ューブの構造を示す断面図で、図４（B）は、図４（A）
に示したフレキシブルチューブの一部拡大断面図、図４
(C)は、図４(B)に示したフレキシブルチューブの変形例
の構造を示す断面図である。

【図５】この発明の第３の実施例に係るフレキシブルチ
ューブの構造を示す断面図で、図５（B）は、図５（A）
に示したフレキシブルチューブの一部拡大断面図であ
る。

【図６】この発明の第４の実施例に係るフレキシブルチ
ューブの構造を示す断面図で、図６（B）は、図６（A）
に示したフレキシブルチューブの一部拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１０、３０、４０、５０フレキシブルチューブ１２真空システム２２チューブ本体２２a 凸部２２ｂ凹部２４、３２、４２、５２弾性カバー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空システム用フレキシブルチューブに
おいて、凸部と凹部とを有し、硬い材料で形成されたチューブ本
体と、前記チューブ本体の外部表面に設けられ、弾性材料で形
成されたカバーとを有するフレキシブルチューブ。
【請求項２】前記チューブ本体の厚さは約１〜２ｍｍ
であり、前記カバーとの厚さは約０．１５〜０．３ｍｍ
である請求項１記載のフレキシブルチューブ。
【請求項３】前記カバーはシリコンで形成される請求
項１記載のフレキシブルチューブ。
【請求項４】前記カバーはゴムで形成される請求項１
記載のフレキシブルチューブ。
【請求項５】前記カバーはシリンダー形状で、その内
部表面は前記チューブ本体の凸部と接触するが、凹部と
は接触しない請求項１記載のフレキシブルチューブ。
【請求項６】前記カバーは前記チューブ本体の凸部お
よび凹部を含む表面全体と接触する形状を有する請求項
１記載のフレキシブルチューブ。
【請求項７】前記カバーは、シリンダー形状のカバーを準備し、チューブ本体を前記シリンダー形状のカバーに挿入し、カバーに熱処理を施すことによりカバーを収縮させてチ
ューブ本体の外部表面全体にわたってカバーを接触させ
るように形成することを特徴とする請求項６記載のフレ
キシブルチューブ。
【請求項８】前記カバーは、その内部表面は前記チュ
ーブ本体の凸部近傍で接触し、凹部近傍では接触せず、
前記カバーと前記チューブ本体との間に空隙が形成され
る請求項１記載のフレキシブルチューブ。
【請求項９】前記カバーは、チューブ本体の外部表面
にシリコンを充填することにより形成される請求項１記
載のフレキシブルチューブ。
【請求項１０】前記カバーは、チューブ本体の凹部に
おいてV型スリットが設けられた請求項９記載のフレキ
シブルチューブ。
【請求項１１】前記V型スリットは、チューブ本体の
凹部に到達しない請求項１０記載のフレキシブルチュー
ブ。
【請求項１２】前記チューブ本体の厚さは約１〜２ｍ
ｍであり、前記カバーとの厚さは約０．１５〜０．３ｍ
ｍである請求項９記載のフレキシブルチューブ。
【請求項１３】前記フレキシブルチューブは真空状態
を維持する真空チャンバーと真空チャンバーを真空引き
する真空ポンプとの間に設けられる請求項１記載のフレ
キシブルチューブ。
【請求項１４】前記チューブ本体の厚さは約１〜２ｍ
ｍであり、前記カバーとの厚さは約０．１５〜０．３ｍ
ｍである請求項１３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項１５】前記カバーはシリコンで形成される請
求項１３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項１６】前記カバーはゴムで形成される請求項
１３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項１７】前記カバーはシリンダー形状で、その
内部表面は前記チューブ本体の凸部と接触するが、凹部
とは接触しない請求項１３記載のフレキシブルチュー
ブ。
【請求項１８】前記カバーは前記チューブ本体の凸部
および凹部を含む表面全体と接触する形状を有する請求
項１３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項１９】前記カバーは、シリンダー形状のカバーを準備し、チューブ本体を前記シリンダー形状のカバーに挿入し、カバーに熱処理を施すことによりカバーを収縮させてチ
ューブ本体の外部表面全体にわたってカバーを接触させ
るように形成することを特徴とする請求項１８記載のフ
レキシブルチューブ。
【請求項２０】前記カバーは、その内部表面は前記チ
ューブ本体の凸部近傍で接触し、凹部近傍では接触せ
ず、前記カバーと前記チューブ本体との間に空隙が形成
される請求項１３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項２１】前記カバーは、チューブ本体の外部表
面にシリコンを充填することにより形成される請求項１
３記載のフレキシブルチューブ。
【請求項２２】前記カバーは、チューブ本体の凹部に
おいてV型スリットが設けられた請求項２１記載のフレ
キシブルチューブ。
【請求項２３】前記V型スリットは、チューブ本体の
凹部に到達しない請求項２２記載のフレキシブルチュー
ブ。
【請求項２４】前記チューブ本体の厚さは約１〜２ｍ
ｍであり、前記カバーとの厚さは約０．１５〜０．３ｍ
ｍであり、前記カバーの厚さはチューブ本体の凸部上で
計測されたものである請求項１８記載のフレキシブルチ
ューブ。