JPS61289633A - フレキシブルチユ−ブ - Google Patents
フレキシブルチユ−ブInfo
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- JPS61289633A JPS61289633A JP13223785A JP13223785A JPS61289633A JP S61289633 A JPS61289633 A JP S61289633A JP 13223785 A JP13223785 A JP 13223785A JP 13223785 A JP13223785 A JP 13223785A JP S61289633 A JPS61289633 A JP S61289633A
- Authority
- JP
- Japan
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- gas
- flexible tube
- bellows
- flexible
- corrosive
- Prior art date
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- Pending
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- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガスニーＩチング、プラズマエツチングを被
加工物忙施すためのドライエツチング装置並びに、気相
成長装置の反応容器からガス排気装置にガスを気密性を
保持して輸送するためのフレキシブルチューブに関する
ものである。
加工物忙施すためのドライエツチング装置並びに、気相
成長装置の反応容器からガス排気装置にガスを気密性を
保持して輸送するためのフレキシブルチューブに関する
ものである。
従来の技術
近年、半導体デバイスの製造工程においては、ドライエ
ツチング装置、気相成長装置は、製造上、欠くことので
きないものとなった。また、それらの装置は、真空ポン
プ等の排気手段をクリーンルーム外に設置することによ
って、クリーンルームの占有面積を小さくする取組みが
行なわれるよう罠なってきた。クリーンルーム内の装置
本体とクリーンルーム外に配置されたガス排気装置間を
気密に接続するチューブは、装置のレイアウト変更等の
観点よりフレキシブルチューブが用いられることが多い
。
ツチング装置、気相成長装置は、製造上、欠くことので
きないものとなった。また、それらの装置は、真空ポン
プ等の排気手段をクリーンルーム外に設置することによ
って、クリーンルームの占有面積を小さくする取組みが
行なわれるよう罠なってきた。クリーンルーム内の装置
本体とクリーンルーム外に配置されたガス排気装置間を
気密に接続するチューブは、装置のレイアウト変更等の
観点よりフレキシブルチューブが用いられることが多い
。
以下図面を参照しながら、上述した従来のフレキシブル
チューブの一例について説明する。
チューブの一例について説明する。
第４図、第６図は、従来のドライエツチング装置の概略
図、従来の７レキシブルチユーブの概略断面図を示すも
のである。
図、従来の７レキシブルチユーブの概略断面図を示すも
のである。
第４図において、１は真空状態の維持が可能な真空容器
、２は真空容器１内にガスプラズマを発生することが可
能であり、高周波電力が供給される電極、３は電極２上
に保持され、ドライエツチングされる被加工物である試
料、４はアース接地されたアース電極、６は真空容器１
内にガスを導入するためのガス供給用のパイプ、ｅは真
空容器１内を減圧排気するための真空ポンプ−８は圧力
制御装置、９は排ガス処理装置、７は真空容器１と真空
ポンプ６および、真空ポンプ６と排ガス処理装置９とを
気密に接続し、かつ、容易に方向を変えることを可能に
するため、薄肉構造であるフレキシブルチューブである
。第６図は、上記フレキシブルチューブ７の概略断面図
を示しており、成形ベローズまたは、溶接ベローズを用
いて製作している。
、２は真空容器１内にガスプラズマを発生することが可
能であり、高周波電力が供給される電極、３は電極２上
に保持され、ドライエツチングされる被加工物である試
料、４はアース接地されたアース電極、６は真空容器１
内にガスを導入するためのガス供給用のパイプ、ｅは真
空容器１内を減圧排気するための真空ポンプ−８は圧力
制御装置、９は排ガス処理装置、７は真空容器１と真空
ポンプ６および、真空ポンプ６と排ガス処理装置９とを
気密に接続し、かつ、容易に方向を変えることを可能に
するため、薄肉構造であるフレキシブルチューブである
。第６図は、上記フレキシブルチューブ７の概略断面図
を示しており、成形ベローズまたは、溶接ベローズを用
いて製作している。
以上のように構成されたドライエツチング装置およびフ
レキシブルチューブ７について以下、試料上に形成され
たアルミニウム薄膜をドライエツチング法によって、ア
ルミニウム配線回路にするための動作について説明する
。
レキシブルチューブ７について以下、試料上に形成され
たアルミニウム薄膜をドライエツチング法によって、ア
ルミニウム配線回路にするための動作について説明する
。
まず、真空容器１内を真空ポンプ６によ、９１ｍＴｏｒ
ｒ以下に真空排気した後、真空容器１内にバイブロを通
して、塩素基を含むガスすなわち、塩素と塩化はう素の
混合ガスを導入し、真空容器１内の圧力を１０ｍＴｏｒ
ｒ程度の一定圧力に保持する。次に１電極２に周波数１
３．５６ＭＨｚの高周波電力を供給することによって、
試料３を含む空間すなわち、電極２とアース電極４との
空間に低温プラズマを発生させ、塩素と塩化はう素の混
合ガスを電気的に励起し活性状態にする。試料３は、レ
ジストマスクにより、アルミニウムがパターン状に露呈
しており、アルミニウムが前記活性状態のガスと接触す
る。その結果、パターン通りに、アルミニウムは、エツ
チングされ、アルミニウム配線回路を形成することが可
能である。ここで、エツチングに際し、有効に使用され
なかった励起状態のガスおよび、励起されなかった混合
ガスおよびドライエツチングの結果、生成される反応生
成ガスは、フレキシブルチューブ７を通して真空ポンプ
６に輸送され排気される。通常、この排気ガスは、排ガ
ス処理装置９を介して大気へ放出される。
ｒ以下に真空排気した後、真空容器１内にバイブロを通
して、塩素基を含むガスすなわち、塩素と塩化はう素の
混合ガスを導入し、真空容器１内の圧力を１０ｍＴｏｒ
ｒ程度の一定圧力に保持する。次に１電極２に周波数１
３．５６ＭＨｚの高周波電力を供給することによって、
試料３を含む空間すなわち、電極２とアース電極４との
空間に低温プラズマを発生させ、塩素と塩化はう素の混
合ガスを電気的に励起し活性状態にする。試料３は、レ
ジストマスクにより、アルミニウムがパターン状に露呈
しており、アルミニウムが前記活性状態のガスと接触す
る。その結果、パターン通りに、アルミニウムは、エツ
チングされ、アルミニウム配線回路を形成することが可
能である。ここで、エツチングに際し、有効に使用され
なかった励起状態のガスおよび、励起されなかった混合
ガスおよびドライエツチングの結果、生成される反応生
成ガスは、フレキシブルチューブ７を通して真空ポンプ
６に輸送され排気される。通常、この排気ガスは、排ガ
ス処理装置９を介して大気へ放出される。
ところで、７レキシプルチユーブ７は、フレキシブル性
を有するために、その肉厚を１１１１１以下に薄くして
製作するのが一般的である。また、前記活性ガスに対応
すべくその材質を５ＵＳ３１６等の耐食性のステンレス
を使用することが多い。
を有するために、その肉厚を１１１１１以下に薄くして
製作するのが一般的である。また、前記活性ガスに対応
すべくその材質を５ＵＳ３１６等の耐食性のステンレス
を使用することが多い。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、７レキシプルチユ
ーブ７の材質を耐食性としても、塩素系の励起状態のガ
スは活性度が強く、化学反応が、生じやすい。特に曲り
部等応力集中している部分は、特に反応しやすく、さら
に、肉厚が薄い場合、腐食が進むと、輸送経路外に、そ
の輸送ガスがもれる危険性が大きい。塩素系ガスは、人
体に有害であり、従って、装置の安全性並びに装置機能
の寿命を低下するという問題点を有していた。
ーブ７の材質を耐食性としても、塩素系の励起状態のガ
スは活性度が強く、化学反応が、生じやすい。特に曲り
部等応力集中している部分は、特に反応しやすく、さら
に、肉厚が薄い場合、腐食が進むと、輸送経路外に、そ
の輸送ガスがもれる危険性が大きい。塩素系ガスは、人
体に有害であり、従って、装置の安全性並びに装置機能
の寿命を低下するという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、腐食性ガスと接触するフ
レキシブルチューブの管路壁が腐食された場合において
も、腐食性ガス輸送用フレキシブルチューブから輸送ガ
スがもれないようにした腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブを提供するものである。
レキシブルチューブの管路壁が腐食された場合において
も、腐食性ガス輸送用フレキシブルチューブから輸送ガ
スがもれないようにした腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブを提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために１本発明の流体輸送用フレ
キシブルチューブは、流体を輸送するフレキシブルな管
の外周部に、少なくとも１つ、気密性を保持し、かつ、
フレキシブルなカバーを配置するという構成を備えたも
のである。
キシブルチューブは、流体を輸送するフレキシブルな管
の外周部に、少なくとも１つ、気密性を保持し、かつ、
フレキシブルなカバーを配置するという構成を備えたも
のである。
作 用
本発明は、上記した構成によって、腐食性ガス等と接触
するフレキシブルチューブの管路壁が腐食され、輸送ガ
スがもれた際、気密性を有し、かつ、フレキシブルなカ
バーを配置しているため、輸送経路以外へ、輸送ガスが
もれる危険性がなくなることとなる。
するフレキシブルチューブの管路壁が腐食され、輸送ガ
スがもれた際、気密性を有し、かつ、フレキシブルなカ
バーを配置しているため、輸送経路以外へ、輸送ガスが
もれる危険性がなくなることとなる。
実施例
以下本発明の一実施例の腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブ忙ついて、図面を参照しながら説明する。
チューブ忙ついて、図面を参照しながら説明する。
第１図は、本発明の第１の実施例における腐食性ガス輸
送用フレキシブルチューブの概略断面図を示すものであ
る。第３図は、本発明の第１の実施例における腐食性ガ
ス輸送用フレキシブルチューブを適用したドライエツチ
ング装置の概略図を示すものである。
送用フレキシブルチューブの概略断面図を示すものであ
る。第３図は、本発明の第１の実施例における腐食性ガ
ス輸送用フレキシブルチューブを適用したドライエツチ
ング装置の概略図を示すものである。
第１図において、１１は固定配管ま゛たは、装置のガス
輸送系部品とＱリングシール部品等を用いて気密に接続
するための７ランジ、１２は流体を輸送するだめの管を
形成するベローズであり７ランジ１１のエツジ部分１１
ａで溶接により気密に接合され、かつ、内部が、腐食性
ガスの輸送経路となる成形法または、溶接法で作られた
材質が耐食性ステンレス（５ＵＳ３１ ａ）Ｋよって構
成されている。１３は、フランジ１１のエツジ部分１１
ｂで溶接により、気密に接合されたフレキシブル性を有
し、材質が５ＵＳ３１６のカバー、１４はフランジ１１
と気密に接合された圧力計または、ガス配管が接続可能
なポートである。第３図において、２１は真空状態の維
持が可能な真空容器、２２は真空容器２１内にガスプラ
ズマを発生することが可能であり、周波数１３．５６Ｍ
Ｈｚの高周波電力が供給される電極、２３は電極２２に
保持され、ドライエツチングされる被加工物であるとこ
ろの試料、２４はアース接地されたアース電極、２６は
真空容器２１内にガスを導入するためのガス供給用のパ
イプ、２６は真空容器２１内を真空排気するための真空
ポンプ、２９は真空ポンプ２６により排気される排気ガ
スを人体に無害にし、たとえば、吸気法の採用によって
排気ガスを処理し、大気放出する排ガス処理装置、３０
は排気経路のコンダクタンスを変化することが可能であ
り、真空容器２１内の圧力を制御する圧力調整器、２７
は第１図に示した本発明の第１の実施例における腐食性
ガス輸送用７レキシプルチユーブ、２８は圧力計である
。
輸送系部品とＱリングシール部品等を用いて気密に接続
するための７ランジ、１２は流体を輸送するだめの管を
形成するベローズであり７ランジ１１のエツジ部分１１
ａで溶接により気密に接合され、かつ、内部が、腐食性
ガスの輸送経路となる成形法または、溶接法で作られた
材質が耐食性ステンレス（５ＵＳ３１ ａ）Ｋよって構
成されている。１３は、フランジ１１のエツジ部分１１
ｂで溶接により、気密に接合されたフレキシブル性を有
し、材質が５ＵＳ３１６のカバー、１４はフランジ１１
と気密に接合された圧力計または、ガス配管が接続可能
なポートである。第３図において、２１は真空状態の維
持が可能な真空容器、２２は真空容器２１内にガスプラ
ズマを発生することが可能であり、周波数１３．５６Ｍ
Ｈｚの高周波電力が供給される電極、２３は電極２２に
保持され、ドライエツチングされる被加工物であるとこ
ろの試料、２４はアース接地されたアース電極、２６は
真空容器２１内にガスを導入するためのガス供給用のパ
イプ、２６は真空容器２１内を真空排気するための真空
ポンプ、２９は真空ポンプ２６により排気される排気ガ
スを人体に無害にし、たとえば、吸気法の採用によって
排気ガスを処理し、大気放出する排ガス処理装置、３０
は排気経路のコンダクタンスを変化することが可能であ
り、真空容器２１内の圧力を制御する圧力調整器、２７
は第１図に示した本発明の第１の実施例における腐食性
ガス輸送用７レキシプルチユーブ、２８は圧力計である
。
以上のように構成されたドライエツチング装置および腐
食性ガス輸送用フレキシブルチューブについて、以下、
試料２３上に形成されたアルミニウム薄膜をドライエツ
チング法によってエツチングするための動作について説
明する。
食性ガス輸送用フレキシブルチューブについて、以下、
試料２３上に形成されたアルミニウム薄膜をドライエツ
チング法によってエツチングするための動作について説
明する。
まず、真空容器２１内を真空ポンプ２６により１ｍＴｏ
ｒｒ以下に真空排気した後、真空容器２１内にパイプ２
５を通して、塩素基を含むガス、すなわち、塩素と塩化
はう素の混合ガスを導入し、かつ、圧力調整器３０を操
作して、真空容器２１内の圧力を１０ ｍ Ｔｏｒｒに
一定保持する。次に、電極２２に、１３．５６ ＭＭ・
２の高周波電力を供給することによって、試料２３を含
む空間すなわち、電極２２とアース電極２４との空間に
低温プラズマを発生させ、塩素と塩化はう素の混合ガス
を電気的に励起し活性状態にする。この動作により、試
料２３上のアルミニウム薄膜は、この励起されと塩化は
う素の混合ガスおよび、ドライエ・フランジの結果生成
された反応生成ガスは、腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブ２７のベローズ１２の内部を通って輸送され、
真空ポンプ２６、さらに１同席食性ガス輸送用フレキシ
ブルチューブ２７のベローズ１２の内部を通り、排ガス
処理装置２９で処理された後、大気に放出される。
ｒｒ以下に真空排気した後、真空容器２１内にパイプ２
５を通して、塩素基を含むガス、すなわち、塩素と塩化
はう素の混合ガスを導入し、かつ、圧力調整器３０を操
作して、真空容器２１内の圧力を１０ ｍ Ｔｏｒｒに
一定保持する。次に、電極２２に、１３．５６ ＭＭ・
２の高周波電力を供給することによって、試料２３を含
む空間すなわち、電極２２とアース電極２４との空間に
低温プラズマを発生させ、塩素と塩化はう素の混合ガス
を電気的に励起し活性状態にする。この動作により、試
料２３上のアルミニウム薄膜は、この励起されと塩化は
う素の混合ガスおよび、ドライエ・フランジの結果生成
された反応生成ガスは、腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブ２７のベローズ１２の内部を通って輸送され、
真空ポンプ２６、さらに１同席食性ガス輸送用フレキシ
ブルチューブ２７のベローズ１２の内部を通り、排ガス
処理装置２９で処理された後、大気に放出される。
ところで、ベローズ１２の外周部には、気密なカバー１
３が配置されているため、ベローズ１２が腐食された場
合においても、前記ガスが大気くもれることはない。本
実施例では、ベローズ１２とカバー１３との間の空間に
は、空気又は窒素を１又は２気圧に封入し、ポート１４
には、圧力計２８を取り付けているため、ベローズ１２
とカバー１３との間の空間の圧力が変動すれば、圧力計
２８によって検知することができる。従って、ベローズ
１２が、前記輸送ガスとの接触で腐食され、ピンホール
等があいた場合は、すみゃかに、圧力計２８の表示が変
化するため、ガス輸送系の安全管理を容易にすることが
できる。
３が配置されているため、ベローズ１２が腐食された場
合においても、前記ガスが大気くもれることはない。本
実施例では、ベローズ１２とカバー１３との間の空間に
は、空気又は窒素を１又は２気圧に封入し、ポート１４
には、圧力計２８を取り付けているため、ベローズ１２
とカバー１３との間の空間の圧力が変動すれば、圧力計
２８によって検知することができる。従って、ベローズ
１２が、前記輸送ガスとの接触で腐食され、ピンホール
等があいた場合は、すみゃかに、圧力計２８の表示が変
化するため、ガス輸送系の安全管理を容易にすることが
できる。
以上のようＫ、本実施例によれば、腐食性ガスを輸送す
るフレキシブルチューブであるベローズ１２の外周部に
気密性を保持し、かつ、フレキシブルなカバー１３を配
置し、さらに、ベローズ１２とカバー１３との間の圧力
変化管ボート１４に取付けた圧力計２８によシ管理する
ことによって、腐食性ガス輸送用フレキシブルチューブ
２７から、輸送ガスがもれないようにすると共Ｋ、ガス
輸送系の安全管理を容易にすることができる。
るフレキシブルチューブであるベローズ１２の外周部に
気密性を保持し、かつ、フレキシブルなカバー１３を配
置し、さらに、ベローズ１２とカバー１３との間の圧力
変化管ボート１４に取付けた圧力計２８によシ管理する
ことによって、腐食性ガス輸送用フレキシブルチューブ
２７から、輸送ガスがもれないようにすると共Ｋ、ガス
輸送系の安全管理を容易にすることができる。
以下、本発明の第２の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第２図は、本発明の第２の実施例を示す腐食性ガス輸送
用フレキシブルチューブを示す概略断面図である。同図
において、１１はフランジ、１２は内部を輸送ガスが通
る材質が５ＵＳ３１６のベローズ、１６は透明の樹脂で
作られたフレキシブル性を有し、フランジ１１の部分１
１Ｃで気密に接合されたプラスチック製チューブ、１６
はリドマス試験紙である。ここで、ベローズ１２とプラ
スチ・ンク製チューブ１６の間には、湿度の高い空気を
封入しておく。
用フレキシブルチューブを示す概略断面図である。同図
において、１１はフランジ、１２は内部を輸送ガスが通
る材質が５ＵＳ３１６のベローズ、１６は透明の樹脂で
作られたフレキシブル性を有し、フランジ１１の部分１
１Ｃで気密に接合されたプラスチック製チューブ、１６
はリドマス試験紙である。ここで、ベローズ１２とプラ
スチ・ンク製チューブ１６の間には、湿度の高い空気を
封入しておく。
上記のように構成された腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブについて、以下その動作を説明する０ エツチングに際し、有効に使用されなかった励 ゛起状
態のガスおよび励起されなかったガスおよびドライエツ
チングの結果生成された反応生成ガスは、腐食性ガス輸
送用フレキシブルチューブ２７のベローズ１２の内部を
第１の実施例と同様に輸送される。この場合も、ベロー
ズ１２が腐食され、微小穴があいた際には、気密なプラ
スチック製チューブ１６で外周部が覆われているため、
外部にそれ一ガスがもれることはない。また、塩素系の
ガスと湿度の高い空気が反応し、塩化水素ガスがベロー
ズ１２とプラスチック製チューブ１６との間に生成し、
リドマス試験紙１６を変色させるため、リドマス試験紙
１６により、ガス輸送系の安全管理を容易にする。
チューブについて、以下その動作を説明する０ エツチングに際し、有効に使用されなかった励 ゛起状
態のガスおよび励起されなかったガスおよびドライエツ
チングの結果生成された反応生成ガスは、腐食性ガス輸
送用フレキシブルチューブ２７のベローズ１２の内部を
第１の実施例と同様に輸送される。この場合も、ベロー
ズ１２が腐食され、微小穴があいた際には、気密なプラ
スチック製チューブ１６で外周部が覆われているため、
外部にそれ一ガスがもれることはない。また、塩素系の
ガスと湿度の高い空気が反応し、塩化水素ガスがベロー
ズ１２とプラスチック製チューブ１６との間に生成し、
リドマス試験紙１６を変色させるため、リドマス試験紙
１６により、ガス輸送系の安全管理を容易にする。
以上のように１本実施例によれば、腐食性ガスを輸送す
るフレキシブルチューブであるベローズ１２の外周部に
気密性を保持し、かつ、フレキシブルなプラスチック製
チューブ１６を設けることＫより、腐食性の輸送ガスが
もれないようにすると共に、ベローズ１２とプラスチッ
ク製チューブ１６との間に湿度の高い空気を封入すると
共に、リドマス試験紙を挿入しておくととＫよって、腐
食性ガスの輸送系の安全管理を容易にすることができる
。
るフレキシブルチューブであるベローズ１２の外周部に
気密性を保持し、かつ、フレキシブルなプラスチック製
チューブ１６を設けることＫより、腐食性の輸送ガスが
もれないようにすると共に、ベローズ１２とプラスチッ
ク製チューブ１６との間に湿度の高い空気を封入すると
共に、リドマス試験紙を挿入しておくととＫよって、腐
食性ガスの輸送系の安全管理を容易にすることができる
。
発明の効果
以上のように本発明は、流体輸送用のフレキシブルな管
の外周部に、少なくとも１つ、気密性を有し・７レキシ
プル性を有するカバーを配置することによって、腐食性
ガス等が輸送される際直接大気中にもれる可能性を低減
すると共に、例えば腐食性の流体を輸送する場合などに
おいてフレキシブルチューブを用いた装置機能の信頼性
を向上させることができる。
の外周部に、少なくとも１つ、気密性を有し・７レキシ
プル性を有するカバーを配置することによって、腐食性
ガス等が輸送される際直接大気中にもれる可能性を低減
すると共に、例えば腐食性の流体を輸送する場合などに
おいてフレキシブルチューブを用いた装置機能の信頼性
を向上させることができる。
第１図は本発明の第１の実施例における腐食性ガス輸送
用フレキシブルチューブの概略断面図、第２図は本発明
の第２の実施例における腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブの概略断面図、第３図は本発明の第１の実施例
における腐食性ガス輸送用７レキシプルチユーブを用い
たドライエ・フチング装置の概略図、第４図は従来の腐
食性ガス輸送用フレキシブルチューブを用いたドライエ
ツチング装置の概略図、第６図は従来のフレキシブルチ
ューブの概略断面図である。 １２・・・・・・ベローズ（管）、１３・・・・・・カ
バー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ｆｆｆｉ−−−１−１）−ズ １３−一η４− ｔｂ 第２図 第３図 第４図 第５図
用フレキシブルチューブの概略断面図、第２図は本発明
の第２の実施例における腐食性ガス輸送用フレキシブル
チューブの概略断面図、第３図は本発明の第１の実施例
における腐食性ガス輸送用７レキシプルチユーブを用い
たドライエ・フチング装置の概略図、第４図は従来の腐
食性ガス輸送用フレキシブルチューブを用いたドライエ
ツチング装置の概略図、第６図は従来のフレキシブルチ
ューブの概略断面図である。 １２・・・・・・ベローズ（管）、１３・・・・・・カ
バー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ｆｆｆｉ−−−１−１）−ズ １３−一η４− ｔｂ 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 流体を輸送するフレキシブルな管の外周部に、気密かつ
、フレキシブルなカバーを配置したフレキシブルチュー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13223785A JPS61289633A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | フレキシブルチユ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13223785A JPS61289633A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | フレキシブルチユ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61289633A true JPS61289633A (ja) | 1986-12-19 |
Family
ID=15076571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13223785A Pending JPS61289633A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | フレキシブルチユ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61289633A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000150387A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-05-30 | Applied Materials Inc | 配管系構造及び配管系ユニット |
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