JP2003206011A - 搬送装置およびこれを用いた洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型の部品であっても発塵等の問題が生じず
搬送が可能な搬送装置と、これを用いて効率良く搬送物
を洗浄することが可能な洗浄装置を提供する。 【解決手段】 搬送装置であって、少なくとも２つの搬
送ユニットが搬送路の両側に対向配置されており、前記
搬送ユニットは、少なくとも動力源と動力伝達手段と複
数の搬送軸を具備するものであり、前記動力伝達手段
は、前記動力源からの動力を磁力により非接触状態で伝
達して各搬送軸を回転させるものを含み、前記搬送軸
は、その回転軸が搬送路に対して直角方向に並列配置さ
れるとともに、その先端に搬送物の側縁部を片支持する
搬送ローラを具備し、前記対向配置された２つの搬送ユ
ニットの対向する搬送ローラにより搬送軸の直角方向に
形成される搬送路に沿って搬送物を搬送する搬送装置。
およびこの搬送装置に、先端から搬送物に洗浄液を噴射
して搬送物を洗浄するための洗浄ノズルが設けられた洗
浄装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フラットパネルデ
ィスプレイ、半導体関連部品、及び光関連部品などの精
密部品の搬送および洗浄に極めて好適な搬送装置および
これを用いた洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フラットパネルディスプレイ、半導体関
連部品、光関連部品等の精密部品の製造においては、例
えば、その洗浄工程において、リンス→洗浄→リンス→
乾燥、といった一連の処理が行われる。このような場
合、作業効率を向上させるため、ローラやベルトを利用
したコンベア等の搬送装置により被処理物を自動的に搬
送させつつ、リンスや洗浄等の処理が連続して行われて
いる。

【０００３】一方、近年のフラットパネルディスプレ
イ、半導体関連部品、及び光関連部品等の精密部品等で
は、小型化が急速に進み、３ｃｍ×４ｃｍのパネルや、
１２ｍｍ×１２ｍｍ角の小型の部品が製造、使用される
ようになっている。

【０００４】このような小型部品を、上記のようなベル
トを利用した搬送装置を用いて搬送・洗浄を行った場
合、搬送物について洗浄等の処理を施すことができるの
は、搬送用のベルトに接していない方の面のみである。
また、ベルトを利用した搬送装置では、ベルトの摩耗や
発塵、接触騒音を発生する欠点があり、前記精密部品を
汚染させてしまうという問題がある。さらに、ベルトが
破断した場合には、搬送路の全区域について搬送が不可
能になってしまうという欠点もある。

【０００５】また、ローラを利用した搬送装置について
も、ローラに対しての動力伝達は、歯車、ベルト等を用
いて行っているため動力の伝達が滑らかではなく、搬送
物の大きさが一辺が５０ｍｍ以下、直径５０ｍｍ以下程
度に小さくなってくると搬送が困難となってくる。ま
た、このような搬送装置でも搬送物に近接した箇所で歯
車やベルトの摩耗や発塵が生じ、微細なパターンを持つ
フラットパネルディスプレイ等を汚染してしまうという
問題が生じる。また、このような装置でも、搬送物はそ
の下面が搬送用のローラに接している状態で搬送される
ため、搬送用のローラに接していない上面しか洗浄等を
行うことができないという欠点がある。

【０００６】さらに、従来の搬送装置に設けられている
洗浄ノズルは例えば図８に示すようなものであった。図
８は、このような洗浄に用いられる洗浄ノズルの一例を
示した説明図である。この洗浄ノズル５０では、その内
部に洗浄液と気体を混合する混合室３２が設けられてい
る。混合室３２には、洗浄液供給口３３と気体供給口３
５および洗浄液噴射口３６が設けられている。洗浄時に
は、洗浄液供給口３３から溶剤、洗剤、純水等の洗浄液
が供給され、気体供給口３５からは圧搾空気等の気体が
供給される。気体の供給圧により混合室３２の内部で洗
浄液と気体とが混ざり、微粒子化する。そして、微粒子
化した洗浄液を洗浄液噴射口３６から搬送物（被洗浄
物）に噴射することにより、搬送物を洗浄する。

【０００７】しかし、このような洗浄ノズルは近年の高
集積化した精密部品等を洗浄するには欠点があった。す
なわち、このような洗浄ノズルは、洗浄液を微粒子化し
て噴射する動力の大部分を液体または気体の供給圧に依
存している。そのため、洗浄液を十分に微細なサイズに
微粒子化して、必要な噴射圧で噴射させるためには、液
体または気体の供給圧力を非常に高くする必要があっ
た。そのため、８０ｋｇ以上の高圧ポンプ等を必要と
し、洗浄作業の高コスト化を招く場合があった。

【０００８】また、前述のような洗浄ノズルでは、噴射
される洗浄液の液体微粒子のサイズが大きく、液体微粒
子の密度も不十分であり、さらに噴射される洗浄液の液
体微粒子にムラがあるという欠点があった。そのため、
近年の高集積化した精密部品を洗浄した場合には、微細
なパターンに付着したサブミクロン程度のサイズの塵や
パーティクルを完全に除去しきれず、必要とされる洗浄
効果が得られないことがあった。また、十分な洗浄効果
を得ようとして、気体の供給圧を一層大きくした場合に
は、精密部品の微細なパターンに損傷を与える場合があ
った。また、気体の供給圧を高くすると、必要以上に洗
浄液を浪費してしまい、洗浄コストを悪化させてしま
う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
搬送装置では、近年の小型化した精密部品を搬送するに
は問題があり、また、それに洗浄ノズルを設けた洗浄装
置についても、洗浄ノズルが精密部品を洗浄するために
は、洗浄効果が不十分であるという欠点があった。

【００１０】本発明の目的は、上記従来の搬送装置およ
びこれを用いた洗浄装置が持つ欠点を改善して、小型の
部品であっても発塵等の問題が生じず搬送が可能な搬送
装置と、これを用いて効率良く搬送物を洗浄することが
可能な洗浄装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、搬送装置であって、少なくとも２つの搬送
ユニットが搬送路の両側に対向配置されており、前記搬
送ユニットは、少なくとも動力源と動力伝達手段と複数
の搬送軸を具備するものであり、前記動力伝達手段は、
前記動力源からの動力を磁力により非接触状態で伝達し
て各搬送軸を回転させるものを含み、前記搬送軸は、そ
の回転軸が搬送路に対して直角方向に並列配置されると
ともに、その先端に搬送物の側縁部を片支持する搬送ロ
ーラを具備し、前記対向配置された２つの搬送ユニット
の対向する搬送ローラにより搬送軸の直角方向に形成さ
れる搬送路に沿って搬送物を搬送するものであることを
特徴とする搬送装置である（請求項１）。

【００１２】このように本発明の搬送装置は、搬送路の
両側に２つの搬送ユニットが対向配置されており、この
両搬送ユニットにより搬送物を支持、搬送するようにさ
れている。この搬送ユニットは動力源と動力伝達手段と
複数の搬送軸を具備している。ここで、動力伝達手段と
して、歯車、ベルト等ではなく動力源からの動力を磁力
により非接触状態で伝達するものを用いる。そのため、
従来の歯車、ベルト等と異なり、滑らかに動力を伝達で
き、摩耗、発塵といった問題がほとんど生じず、小型の
搬送物の搬送に適したものとなるという利点を有する。
また、磁力により駆動させるため、一つの搬送軸が停止
しても他の搬送軸の運転には影響を与えないという利点
がある。

【００１３】さらに、本発明の搬送装置では、搬送ユニ
ットに具備する複数の搬送軸を回転させるものであり、
その搬送軸は、その回転軸が搬送路に対して直角方向に
並列配置されるとともに、その先端に搬送物の側縁部を
片支持する搬送ローラにより搬送軸の直角方向に形成さ
れる搬送路に沿って搬送物を搬送するものである。この
ように本発明の搬送装置では、搬送路の両側に搬送ロー
ラが並列配置され、各々搬送ローラにより搬送物の側縁
部を片支持するようにされていることによって、小型の
搬送物の搬送に適したものとなる。また搬送物はその側
縁部のみで支持されることになるため、搬送物の上下面
は空いており、搬送しながら搬送物を上下両面を同時に
ムラなく洗浄することができる。

【００１４】この場合、少なくとも前記動力伝達手段
は、長軸状の駆動磁気車と前記各搬送軸について設けら
れた従動磁気車から成り、前記駆動磁気車は、前記各搬
送軸に直交して配置され、動力源からの動力で回転し、
表面にＮ極帯とＳ極帯が交互に螺旋状に設けられている
ものであり、前記従動磁気車は、前記駆動磁気車に非接
触状態で近接して配置され、その表面にＮ極帯とＳ極帯
が交互に設けられていることが好ましい（請求項２）。

【００１５】このように、前記動力伝達手段が、上記の
ような長軸状の駆動磁気車と各搬送軸について設けられ
た従動磁気車から成るものであれば、簡単な構造で非接
触式の動力伝達手段を設けることができ、滑らかに動力
を伝達することが可能となり、摩耗、発塵の弊害も防ぐ
ことができる。また、このように長軸状の駆動磁気車に
より各搬送軸に設けられた従動磁気車を回転されるた
め、何らかの原因で１つの搬送軸が停止したとしても、
他の搬送軸には影響は及ばず、そのまま搬送作業を進め
ることができる。

【００１６】この場合、前記各搬送ユニットの上部に少
なくとも２つの補助用の搬送ユニットが搬送路の両側に
対向配置されており、前記補助用の搬送ユニットの搬送
ローラは搬送路の全部または一部の区間において搬送物
の側縁部を上から支持するようにすることができる（請
求項３）。

【００１７】このように、補助用の搬送ユニットを設け
ることにより、搬送路の全部または一部の区間において
搬送物の側縁部を上から支持するようにされていること
により、搬送物をより確実に支持することができ、例え
ば、洗浄液の噴射圧により搬送物が動いたり、吹き飛ば
されたりすることを防止することができる。

【００１８】この場合、前記各搬送ユニットの運転を同
期制御する同期制御手段を具備するものであることが好
ましい（請求項４）。このように、各搬送ユニットの運
転を同期制御する同期制御手段を具備することにより、
搬送物をより確実に搬送路に沿って滑らかに搬送するこ
とができるものとなる。

【００１９】この場合、一辺が５０ｍｍ以下または直径
が５０ｍｍ以下の板状の搬送物を搬送するものとするこ
とができる（請求項５）。このように、本発明の搬送装
置は一辺が５０ｍｍ以下または直径が５０ｍｍ以下の小
型の搬送物でも、確実に搬送することができるものとな
る。そのため、例えば３ｃｍ×４ｃｍや１２ｍｍ×１２
ｍｍ角といった小サイズの部品でも容易に搬送できるも
のとなる。

【００２０】また、本発明は本発明の搬送装置に、先端
から搬送物に洗浄液を噴射して搬送物を洗浄するための
洗浄ノズルが設けられたものであることを特徴とする洗
浄装置である（請求項６）。このように、本発明の搬送
装置に洗浄ノズルが設けられた洗浄装置は、搬送装置が
小型の搬送物を確実に搬送できるものであるため、近年
の小型化した液晶パネル等を洗浄する際に非常に有益で
ある。また、本発明の搬送装置では、搬送物の側縁部の
みを支持して搬送することが可能なため、搬送物の上下
面は開放されており、搬送物の上下両面から洗浄液を噴
射して両面の洗浄を同時に行うことも容易である。

【００２１】この場合、前記洗浄ノズルは、少なくとも
洗浄液供給口と液体放出口を有する攪拌室と、該攪拌室
と前記液体放出口により連通し、気体供給口と洗浄液噴
射口を有する混合室を具備し、前記攪拌室は、前記洗浄
液供給口から供給される洗浄液を攪拌して攪拌室内壁に
衝突させることにより気体微粒子を生成して気体微粒子
を含む液を前記液体放出口から放出し、前記混合室は、
前記液体放出口から供給される気体微粒子を含む液と気
体供給口から供給される気体を混合して前記洗浄液噴射
口から洗浄液を噴射するものであるのが好ましい（請求
項７）。

【００２２】このように、洗浄液を攪拌して気体微粒子
を生成する攪拌室を備えていることにより、従来の洗浄
ノズルよりも気体の供給圧力を低めたとしても、洗浄液
中の気体を十分に微細なサイズまで微粒子化して、必要
とされる噴射圧で搬送物に供給することができるものと
なる。また、最初に洗浄液中の気体を攪拌室で微粒子化
するため、生成される洗浄液の気体微粒子は、従来より
も微細なサイズで高密度かつ均一なものとなり、洗浄効
果も向上する。従って、微細な精密パターンを有する部
品、デバイス等も、極めて均一かつ高精度に洗浄できる
ものとなる。さらに、洗浄液中の気体微粒子は従来より
も微細なサイズとなるため、精密部品の表面に損傷を与
えることもないし、必要以上に洗浄液を浪費することも
ない。

【００２３】この場合、２以上の洗浄ノズルが前記搬送
路の上下に対向配置されているものであることが好まし
い（請求項８）。このように、２以上の洗浄ノズルが搬
送路の上下に対向配置されているものであれば、搬送物
を上下両面から効率良く洗浄することができる。さら
に、２つの洗浄ノズルが上下に対向配置されていること
により、その噴射される洗浄液の噴射圧も上下で相殺さ
れるため、搬送物の支持も容易となる。

【００２４】この場合、前記搬送物をリンスするリンス
手段を具備しているものとすることができる（請求項
９）。このように搬送物をリンスするリンス手段を具備
しているものとすれば、例えば、洗浄ノズルの前段にリ
ンス手段を配置して、前工程からのパーティクル等を除
去してから、洗浄ノズルによる洗浄をさらに効率良く行
うことができる。あるいは、例えば、洗浄ノズルの後段
にリンス手段を配置して、洗浄ノズルによる洗浄での洗
浄液をリンス手段により洗い流すようにすることもでき
る。

【００２５】この場合、前記搬送物を最終的に乾燥させ
る乾燥手段を具備しているものとすることができる（請
求項１０）。このように搬送物を最終的に乾燥させる乾
燥手段を具備しているものとすれば、例えば、洗浄→乾
燥といった洗浄工程を搬送物を搬送しつつ連続的に行う
ことができるため、液晶パネル等の小型精密部品製造の
効率を向上させることができる。

【００２６】この場合、前記搬送物に超音波を印加した
洗浄液を噴射する超音波ノズルをさらに具備しているも
のとすることができる（請求項１１）。このように、搬
送物に超音波を印加した洗浄液を噴射する超音波ノズル
を具備しているものとすることにより、洗浄効果をさら
に高めることができる。

【００２７】また、前記洗浄ノズルの攪拌室は開口を有
する隔壁により複数段に分割されているものであること
が好ましい（請求項１２）。このように、攪拌室が複数
段に分割されていることにより、洗浄液中の気体を微粒
子化する効率が一層向上し、さらに噴射口で微小なサイ
ズの気体微粒子を含んだ洗浄液を搬送物に噴射すること
ができる。

【００２８】また、この場合、前記洗浄ノズルの洗浄液
噴射口および液体放出口ならびに開口はスリット形状で
あるものとすることができる（請求項１３）。このよう
に、前記洗浄液噴射口および液体放出口ならびに開口が
スリット形状であれば、洗浄液は洗浄液噴射口からムラ
なく噴射することになり、同時に広範囲をムラなく洗浄
することが可能となる。そのため、フラットパネルディ
スプレイ等の基板状の搬送物の洗浄に特に適したものと
なる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明について実施の形態
を図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに限
定されるものではない。図１および図２は、本発明の搬
送装置（洗浄装置）の一例を示した概略図である。この
本発明の搬送装置１００は、少なくとも２つの搬送ユニ
ット２が搬送路１の両側に対向配置された構成となって
いる。搬送ユニット２は、少なくとも動力源３と、動力
伝達手段４と、複数の搬送軸５を具備するものとなって
いる。

【００３０】図１および図２に示すように、搬送軸５
は、その回転軸が搬送路１に対して直角方向に並列配置
されるとともに、その先端に搬送物６０の側縁部６１を
片支持する搬送ローラ６を具備し、対向する２つの搬送
ユニット２の対向する搬送ローラ６により搬送軸５の直
角方向に形成される搬送路１に沿って搬送物６０を搬送
するようにされている。このように搬送ローラ６は搬送
物６０の側縁部６１のみを支持して搬送するようにされ
ているため、搬送物６０の表裏面は搬送路の全区間にお
いて側縁部以外露出しており、搬送物の上下から搬送物
の上下両面の洗浄、リンス等が容易に行えるようにされ
ている。

【００３１】また図２に示すように、動力伝達手段４は
動力源３からの動力を磁力により非接触状態で伝達して
各搬送軸５を回転させるようにされている。すなわち、
図２に示すように、動力伝達手段４は、長軸状の駆動磁
気車７と各搬送軸５に対応して設けられた従動磁気車８
から成る。図２に示すように、駆動磁気車７は各搬送軸
５に直交して配置されており、動力源３に接続されて動
力源３からの動力で回転し、表面にＮ極帯１０とＳ極帯
１１が交互に螺旋状に設けられている。従動磁気車８は
駆動磁気車７に非接触状態で近接して配置され、その表
面にＮ極帯１２とＳ極帯１３が交互に設けられている。
これらのＮ極帯とＳ極帯は各々対応するピッチとされて
いる。各従動磁気車８および搬送軸５の回転は、他の従
動磁気車８および搬送軸５と独立しており、例えば１本
の回転が何らかの原因で停止したとしても、他の搬送軸
５の回転に影響を与えないようにされている。なお、こ
の図２における長軸状の駆動磁気車７は長手方向のほぼ
全域にわたってＮ極帯１０とＳ極帯１１が交互に設けら
れているが、本発明における長軸状の駆動磁気車はこの
ような形態に限定されるものではない。例えば、図９に
示すように個々の従動磁気車８に対応して、駆動磁気車
７の従動磁気車８に近接した部分にのみ短筒状のＮ極帯
１０とＳ極帯１１が設けられているような形態とするこ
ともできる。あるいは、駆動磁気車７を長軸状のもので
はなく短筒状のものとし、１つの駆動磁気車７と１つの
従動磁気車８を一対一で対応させ、駆動させることも可
能である。

【００３２】この実施態様では、搬送軸５にも小径の磁
気車９が配置されており、従動磁気車８と非接触状態で
近接して配置され、その表面にＮ極帯１２とＳ極帯１３
が交互に設けられている。しかし、搬送軸５に直接従動
磁気車８を設け、直接搬送軸５を回転させるようにして
も良いし、逆に搬送軸５と従動磁気車８の間にさらに複
数の磁気車を設けて、搬送軸５を回転させるようにして
も良い。また、この図２に示す実施態様では、従動磁気
車８ひとつに対して磁気車９ひとつが対応している。し
かし、図１０に示すように、駆動磁気車７により回転さ
れる１つの従動磁気車８について２以上の磁気車９を配
置して、１つの従動磁気車８で２以上の搬送軸５を駆動
することも可能である。

【００３３】また、この実施態様では図２に示すよう
に、１つの動力源３により、２本の駆動磁気車７を回転
させるようになっている。そして、各駆動磁気車７は、
並列配置された搬送軸５を１本おきに交互に駆動する構
成とされている。しかし、本発明はこれに限定されるも
のではなく、単一の駆動磁気車７により全搬送軸５を駆
動する構成としても良いし、さらに複数の動力源と駆動
磁気車により搬送軸を駆動する構成としても良い。これ
らは、各構成部材の空間配置等の都合により決定すれば
よい。

【００３４】さらに、各搬送ユニット２は、その運転を
同期制御する不図示の同期制御手段が設けられており、
搬送装置１００の運転時には、各搬送軸５は同じ速度で
運転するようにされている。

【００３５】この搬送装置１００の運転時には、動力源
３からの動力により動力伝達手段４の駆動磁気車７は所
定の運転速度で回転させられる。このとき、駆動磁気車
７の表面の螺旋状のＮ極帯１０とＳ極帯１１は回転に伴
って、駆動磁気車７の軸方向に向けて連続的に移動す
る。

【００３６】一方、駆動磁気車７と非接触状態で近接す
る従動磁気車８の表面には、前述のように駆動磁気車７
の螺旋状のＮ極帯１０とＳ極帯１１と同ピッチでＮ極帯
１２とＳ極帯１３が交互に設けられている。そのため、
駆動磁気車７と従動磁気車８の各々のＮ極帯１０とＳ極
帯１３、Ｓ極帯１１とＮ極帯１２とは、磁界による吸引
力により常時最接近した状態を維持しようとする。よっ
て、駆動磁気車７が動力により回転して、表面の螺旋状
のＮ極帯１０とＳ極帯１１が軸方向に連続して移動する
と、従動磁気車８もＮ極帯１０とＳ極帯１１の移動を追
って、表面のＮ極帯１２とＳ極帯１３が次々に移動して
回転することになる。搬送軸５にも同様の磁気車９が設
けられているため、従動磁気車８が回転するとそれに伴
って、搬送軸５も回転することとなる。

【００３７】このような本発明の搬送装置では、各搬送
軸５は他の搬送軸５と独立して回転しているため、何ら
かの原因により、１本の搬送軸５が回転を停止したとし
ても、他の搬送軸５は影響を受けず回転し、搬送を続行
することができる。また、磁力により動力を伝達してい
るため、回転は滑らかなものとなり、小型搬送物の搬送
に適したものとなる。さらに、このような伝達手段４は
非接触状態で動力の伝達を行うため、摩耗や発塵のおそ
れはほとんどなく、液晶パネル等の高精度部品を清浄に
保ち搬送することができる。

【００３８】さらに、搬送軸５は同期手段により所定の
同期速度で回転するようにされているため、搬送物が蛇
行する等の搬送に乱れが生じることがなく、滑らかに搬
送物６０を搬送路１に沿って流すことができる。さら
に、搬送ローラ６は搬送物６０の側縁部６１のみを支持
するため、搬送中の搬送物６０の上下から洗浄、リンス
等の処理を加えることができる。

【００３９】また、本発明の搬送装置は、図３に示すよ
うに、前記のような搬送ユニット２の上部に少なくとも
２つの補助用の搬送ユニット２０を搬送路の両側に対向
配置することができる。この態様の搬送装置２００で
は、図４に示すように、補助用の搬送ユニット２０は、
搬送ユニット２と同様に動力源２３、動力伝達手段２４
を具備するとともに、搬送軸２５の先端の搬送ローラ２
６は、搬送路１の一部の区間において、搬送物６０の側
縁部６１を上から支持するようにされている。これによ
り、例えば、搬送物６０に対して、強い噴射圧により洗
浄液を噴射して洗浄を行う区間では、上記補助用の搬送
ユニット２０の搬送ローラ２６により搬送物６０を上か
ら支持し、洗浄液の噴射圧により搬送物６０が動かない
ように確実に支持し、搬送を行うことができる。この補
助用の搬送ユニット２０による支持は、通常より強い支
持が必要な搬送路１の区間にのみ行うようにしても良い
し、搬送路１の全範囲にわたって行うようにすることも
できる。さらに、これらの補助用の搬送ユニット２０も
前述のように同期手段により他の搬送ユニット２、２０
と同期を取るようにされているため、搬送物６０を滑ら
かに真っ直ぐに搬送することができる。

【００４０】次に、図５は、前述した搬送装置２００
に、先端から搬送物６０に洗浄液を噴射して搬送物を洗
浄するための洗浄ノズル３０が設けられている洗浄装置
３００を示したものである。この洗浄装置３００では、
図５に示すように、２つの洗浄ノズル３０が搬送路１の
上下に対向配置されており、搬送物６０を上下から効率
良く洗浄することができるようにされている。

【００４１】また、この洗浄装置３００には、洗浄ノズ
ル３０の他に、洗浄ノズル３０の前後にリンス手段４１
が設けられており、前段のリンス手段４１は洗浄前の搬
送物６０をリンスして、これ以前に行われた加工等によ
るパーティクル等を除去し、後段のリンス手段４１は洗
浄ノズル３０による洗浄液をリンスして除去する働きを
する。さらに、搬送路１の終端付近には、最終的に搬送
物６０を乾燥させる乾燥手段４２を具備している。ま
た、この装置においては、さらに洗浄力を向上させるた
めに、搬送物６０に超音波を印加した洗浄液を噴射する
不図示の超音波ノズルを別途設けることもできる。以上
のような構成により、本発明の洗浄装置３００は、リン
ス→洗浄→リンス→乾燥といった工程を搬送物６０を搬
送させつつ連続して自動的に行うことができるようにさ
れており、液晶パネル等の搬送物の両面を効率良く洗浄
することができる。

【００４２】ここで、図６は、本発明の洗浄装置に設け
られる洗浄ノズルの一例を示した説明図である。この本
発明の洗浄ノズル３０の内部には、攪拌室３１と混合室
３２の２室が設けられている。攪拌室３１は、洗浄液供
給口３３とスリット形状の液体放出口３４を有してい
る。混合室３２は気体供給口３５とスリット形状の洗浄
液噴射口３６を有しており、攪拌室３１とは液体放出口
３４により連通している。共にスリット形状の液体放出
口３４および洗浄液噴射口３６は、液体放出口３４より
も洗浄液噴射口３６の方が小面積とされている。しか
し、洗浄液噴射口３６の方が液体放出口３４よりも大面
積とされる場合もある。

【００４３】この洗浄ノズル３０の特徴は、図６に示し
たような従来の洗浄ノズル５０に設けられていた混合室
３２の他に、洗浄液を攪拌して気体微粒子化する攪拌室
３１が別途設けられていることにある。

【００４４】従来の洗浄ノズルでは、図８に示すよう
に、混合室３２において直接供給された洗浄液と気体と
を混合していたため、混合室３２内で生成される洗浄液
中の気体微粒子のサイズは、気体供給口３５から供給さ
れる気体の供給圧に依存しており、比較的サイズが大き
く、ムラのある気体微粒子しか生成させることができな
かった。そのため、要求を満たすほど微小化したサイズ
の気体微粒子を得るためには、気体供給圧を非常に大き
くする必要があった。

【００４５】一方、この洗浄ノズルでは、図６に示すよ
うに、まず攪拌室３１において、洗浄液供給口３３から
供給される洗浄液を攪拌して攪拌室３１内壁に衝突させ
ることにより気体微粒子を生成する。洗浄液供給口３３
から例えば２００Ｌ／ｍｉｎ程度の流量で供給された洗
浄液は、攪拌室３１内で攪拌され、その内壁に衝突し散
乱する。散乱した洗浄液は洗浄液中に溶存した気体およ
び攪拌室３１中に当初から存在した空気等と一緒に攪拌
室３１内で攪拌、混合され、気体微粒子が発生する。こ
の気体微粒子を含む液は、スリット形状の液体放出口３
４から連通する混合室３２に送られる。

【００４６】混合室３２では、この気体微粒子を含む液
を、気体供給口３５から供給される気体と混合し、スリ
ット形状である洗浄液噴射口３６から気体と混合して洗
浄液として噴射する。本発明の洗浄ノズル３０において
は、混合室の前段にある攪拌室３１において、すでに洗
浄液が気体微粒子化されている。そのため、従来の洗浄
ノズルのように、専ら供給される気体の圧力のみにより
洗浄液を微粒子化する必要はなく、供給する気体の圧力
を過度に高くする必要がない。さらに、すでに気体微粒
子を含んだ洗浄液を気体と混合して搬送物に噴射するた
め、洗浄液は均一に気体混合液体になり、その微粒子の
サイズも従来よりも微細なものとすることができる。そ
のため、高い洗浄効率で洗浄できるし、搬送物に損傷を
与えることを防ぐことができる。また、供給する気体の
圧力を小さくできるので、使用する洗浄液の流量も小さ
くすることが可能であり、洗浄コストの低減がはかれ
る。

【００４７】図６に示す洗浄ノズル３０においては、気
体供給口３５は２つ設けられているが、同一種類の気体
を供給しなければならないわけではなく、実際の使用目
的に応じて、例えば、一方の気体供給口からは圧搾空
気、もう一方の気体供給口からは他の気体（炭酸ガス）
等を供給し、両者と液体放出口３４から供給される気体
微粒子を含む液とを混合して、洗浄液噴射口３６から噴
射させることもできる。また、供給される気体は混合気
体（例えば空気と炭酸ガス等）とし、同じ供給口から供
給することもできる。あるいは、他に別途気体供給口を
設け、さらに複数種類の気体を供給して混合使用するこ
ともできる。

【００４８】洗浄液はスリット形状の洗浄液噴射口３６
から噴射され、搬送物に供給される。洗浄液噴射口３６
は、スリット形状を有するため、フラットパネルディス
プレイ、半導体関連部品などの中で基板形状の物を洗浄
する場合に、広範囲を均一に洗浄することができる。搬
送物に洗浄液が達すると、気体微粒子を含んだ洗浄液中
の気体は搬送物表面で圧潰し、同時に微弱な超音波を発
生し、表面に付着したパーティクル、汚物を効率よく除
去することができ、精密なパターンがあってもそれに損
傷を与えることがない。

【００４９】図７は、本発明の洗浄装置における洗浄ノ
ズルの別の態様を示した図である。この態様では、攪拌
室３１が開口３８を有する隔壁３７により複数段に分割
されている。洗浄液噴射口３６および液体放出口３４
は、図６の洗浄ノズル３０と同様にスリット形状とされ
ており、開口３８も同様にスリット形状とされている。
また、開口３８、液体放出口３４、洗浄液噴射口３６
は、攪拌室３１の最下段（上流段）から混合室３２の洗
浄液噴射口３６に至るにつれて小面積とするのが好まし
い。

【００５０】この洗浄ノズル４０により洗浄を行う際に
は、まず、隔壁３７により分割された攪拌室３１の下段
側に洗浄液供給口３３から洗浄液が供給され、図６の洗
浄ノズルと同様に、洗浄液は攪拌され下段側の攪拌室３
１内壁に衝突することにより気体微粒子が生成される。
この気体微粒子を含む液は隔壁３７の開口３８より攪拌
室３１の上段側に移り、ここでも、下段側と同様に攪
拌、衝突を繰り返す。この攪拌室３１の上段側では、す
でに下段側で気体微粒子を含む洗浄液を、さらに攪拌、
衝突させるため、より微細な粒子となった洗浄液が得ら
れる。このより微細な気体微粒子を含む液は開口３８よ
りも小さいスリット形状の液体放出口３４から放出さ
れ、混合室３２内で気体と混合され、搬送物に向けて噴
射される。

【００５１】なお、この図７の態様では、攪拌室３１は
１つの隔壁３７により２段に分割されているが、隔壁３
７を複数設けることにより、攪拌室をさらに多段に分割
することもできる。この場合でも、開口３８は下段から
上段に至るにしたがって小面積とされていることが好ま
しく、洗浄液を効率良く気体微粒子と混合して噴射する
ことが出来る。

【００５２】このような本発明の洗浄装置３００は、例
えば３ｃｍ×４ｃｍや１２ｍｍ×１２ｍｍ角の小サイズ
の液晶パネル等であっても、確実に支持して搬送するこ
とができ、効率の良い洗浄ノズルにより、リンス→洗浄
→リンス→乾燥といった一連の工程を連続して行い、搬
送物の両面を効率良く洗浄を行うことができる。

【００５３】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００５４】

【発明の効果】以上詳細に説明した通り、本発明の搬送
装置によれば、近年の小型化した精密部品を確実に効率
良く清浄度を保って搬送することができる。さらに、こ
の搬送装置に洗浄ノズルが設けられた洗浄装置は、搬送
物を上下から同時に効率良く洗浄することができる。特
に本発明の攪拌室と混合室を有する洗浄ノズルを用いた
場合は、従来と同じ気体供給量であっても最終的な洗浄
液の噴射圧や洗浄力を高めることができ、洗浄液は従来
より微小なサイズの均一な気体微粒子を含むものとなる
ため、近年の微細なパターンを有するフラットパネルデ
ィスプレイ関連部品、半導体関連部品等を極めて均一に
効率良く洗浄することができ、使用洗浄液量も減少させ
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送装置を上面から見た概略図であ
る。

【図２】本発明の搬送装置の搬送ユニットの構造を示す
概略図である。

【図３】本発明の搬送装置の別の一例を示した概略図で
ある。

【図４】本発明の搬送装置の別の一例における搬送ロー
ラの周辺の配置を示す説明図である。

【図５】本発明の洗浄装置の一例を示した概略図であ
る。

【図６】本発明の洗浄装置における洗浄ノズルの一例を
示した説明図である。

【図７】本発明の洗浄装置における洗浄ノズルの別の一
例を示した説明図である。

【図８】従来の洗浄ノズルの構造を示した説明図であ
る。

【図９】本発明の搬送装置における搬送ユニットの動力
伝達手段の別の態様を示す概略図である。

【図１０】本発明の搬送装置における搬送ユニットの動
力伝達手段の別の態様を示す概略図である。

【符号の説明】

１…搬送路、 ２…搬送ユニット、 ３…動力源、４…
動力伝達手段、５…搬送軸、 ６…搬送ローラ、 ７…
駆動磁気車、 ８…従動磁気車、９…磁気車、 １０，
１２…Ｎ極帯、 １１，１３…Ｓ極帯、２０…補助用搬
送ユニット、 ２３…動力源、 ２４…動力伝達手段、
２５…搬送軸、 ２６…搬送ローラ、３０，４０，５０
…洗浄ノズル、 ３１…攪拌室、 ３２…混合室、３３
…洗浄液供給口、 ３４…液体放出口、 ３５…気体供
給口、３６…洗浄液噴射口、 ３７…隔壁、 ３８…開
口、４１…リンス手段、 ４２…乾燥手段、６０…搬送
物、 ６１…側縁部、１００，２００…搬送装置、３０
０…洗浄装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 13/00 Ｂ６５Ｇ 13/00 Ａ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ (72)発明者 新津 栄一 長野県岡谷市成田町二丁目11番６号 マル ヤス機械株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA21 FA30 3B201 AA01 AB14 BB38 BB90 BB92 BB98 CC01 CC11 3F033 BA01 BA06 BB05 BB12 BC03 BC07 4D074 AA09 BB02 DD16 4F033 QA09 QB02Y QB03X QB12Y QB15X QC02 QD02 QD05 QD16 QE01 QE14 QF07Y

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送装置であって、少なくとも２つの搬
   送ユニットが搬送路の両側に対向配置されており、前記
   搬送ユニットは、少なくとも動力源と動力伝達手段と複
   数の搬送軸を具備するものであり、前記動力伝達手段
   は、前記動力源からの動力を磁力により非接触状態で伝
   達して各搬送軸を回転させるものを含み、前記搬送軸
   は、その回転軸が搬送路に対して直角方向に並列配置さ
   れるとともに、その先端に搬送物の側縁部を片支持する
   搬送ローラを具備し、前記対向配置された２つの搬送ユ
   ニットの対向する搬送ローラにより搬送軸の直角方向に
   形成される搬送路に沿って搬送物を搬送するものである
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の搬送装置であって、少
   なくとも前記動力伝達手段は、長軸状の駆動磁気車と前
   記各搬送軸について設けられた従動磁気車から成り、前
   記駆動磁気車は、前記各搬送軸に直交して配置され、動
   力源からの動力で回転し、表面にＮ極帯とＳ極帯が交互
   に螺旋状に設けられているものであり、前記従動磁気車
   は、前記駆動磁気車に非接触状態で近接して配置され、
   その表面にＮ極帯とＳ極帯が交互に設けられているもの
   であることを特徴とする搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の搬送装
   置であって、前記各搬送ユニットの上部に少なくとも２
   つの補助用の搬送ユニットが搬送路の両側に対向配置さ
   れており、前記補助用の搬送ユニットの搬送ローラは搬
   送路の全部または一部の区間において搬送物の側縁部を
   上から支持するようにされているものであることを特徴
   とする搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれか１項
   に記載の搬送装置であって、前記各搬送ユニットの運転
   を同期制御する同期制御手段を具備するものであること
   を特徴とする搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれか１項
   に記載の搬送装置であって、一辺が５０ｍｍ以下または
   直径が５０ｍｍ以下の板状の搬送物を搬送するものであ
   ることを特徴とする搬送装置
6. 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれか１項
   に記載の搬送装置に、先端から搬送物に洗浄液を噴射し
   て搬送物を洗浄するための洗浄ノズルが設けられたもの
   であることを特徴とする洗浄装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の洗浄装置であって、前
   記洗浄ノズルは、少なくとも洗浄液供給口と液体放出口
   を有する攪拌室と、該攪拌室と前記液体放出口により連
   通し、気体供給口と洗浄液噴射口を有する混合室を具備
   し、前記攪拌室は、前記洗浄液供給口から供給される洗
   浄液を攪拌して攪拌室内壁に衝突させることにより気体
   微粒子を生成して気体微粒子を含む液を前記液体放出口
   から放出し、前記混合室は、前記液体放出口から供給さ
   れる気体微粒子を含む液と気体供給口から供給される気
   体を混合して前記洗浄液噴射口から洗浄液を噴射するも
   のであることを特徴とする洗浄装置。
8. 【請求項８】 請求項６または請求項７に記載の洗浄装
   置であって、２以上の洗浄ノズルが前記搬送路の上下に
   対向配置されているものであることを特徴とする洗浄装
   置。
9. 【請求項９】 請求項６ないし請求項８のいずれか１項
   に記載の洗浄装置であって、前記搬送物をリンスするリ
   ンス手段を具備していることを特徴とする洗浄装置。
10. 【請求項１０】 請求項６ないし請求項９のいずれか１
    項に記載の洗浄装置であって、前記搬送物を最終的に乾
    燥させる乾燥手段を具備していることを特徴とする洗浄
    装置。
11. 【請求項１１】 請求項６ないし請求項１０のいずれか
    １項に記載の洗浄装置であって、前記搬送物に超音波を
    印加した洗浄液を噴射する超音波ノズルを具備している
    ことを特徴とする洗浄装置。
12. 【請求項１２】 請求項７ないし請求項１１のいずれか
    １項に記載の洗浄装置であって、前記洗浄ノズルの攪拌
    室は開口を有する隔壁により複数段に分割されているも
    のであることを特徴とする洗浄装置。
13. 【請求項１３】 請求項７ないし請求項１２のいずれか
    １項に記載の洗浄装置であって、前記洗浄ノズルの洗浄
    液噴射口および液体放出口ならびに開口はスリット形状
    であることを特徴とする洗浄装置。