JP2003173672A - メモリアレイ内の温度変動に対する書込み電流による補償 - Google Patents

メモリアレイ内の温度変動に対する書込み電流による補償

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JP2003173672A JP2002331788A JP2002331788A JP2003173672A JP 2003173672 A JP2003173672 A JP 2003173672A JP 2002331788 A JP2002331788 A JP 2002331788A JP 2002331788 A JP2002331788 A JP 2002331788A JP 2003173672 A JP2003173672 A JP 2003173672A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】メモリアレイ内の保磁力の変化を正確に補償す
ることができるメモリデバイスを提供する。 【解決手段】本発明のメモリデバイス(50)は、基板を有
するメモリアレイ(100)、基板上に配置されたメモリセ
ル(130)のアレイ、メモリセル(130)に結合された行導体
(110)及び列導体(120)を備える。メモリデバイス(50)
は、また、メモリアレイ(100)の温度変化に応答する可
変の書込み電流を生成する電流源(700,800)を備える。
可変の書込み電流は、アレイの温度が変化するに従い変
化するメモリセル(130)の保持力の変化を調整するよう
に生成される。電流源(700,800)は、書込み電流を正確
に調整することができるようにするために、電流センサ
に対して連続的かつ即時に出力を提供する温度センサ(7
50,850)を備えることができる。メモリデバイス(50)の
動作を停止して電流源を較正する必要はない。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明の技術分野は交点メモ
リデバイス(交差点メモリデバイスともいう。尚、本明
細書においては、デバイスには装置も含まれる)であ
る。より具体的には、本発明の技術分野は、メモリアレ
イ内の温度変動の結果として生じる保磁力変化を補償す
るために、書込み電流を変化させる書込み回路を有する
メモリデバイスである。 【0002】 【従来の技術】磁気ランダムアクセスメモリ(MRA
M)は1つの提案されているタイプの不揮発性メモリで
ある。MRAMデバイスからのデータのアクセスは、ハ
ードドライブのような従来の長期記憶デバイスからのデ
ータのアクセスよりはるかに速い。図1は、行導体14
と列導体16との交点に配置された抵抗性メモリセル1
2を有する従来のMRAMメモリアレイ10を示す。各
メモリセル12は、「1」および「0」の二値状態を格
納することができる。 【0003】図2は従来のMRAMメモリセル12を示
す。メモリセル12はピン止め層(pinned layer:ピン
止めされた層)24および自由層(フリー層)18を含
む。ピン止め層24は、矢印26によって示される、固
定された向きを有する磁化を有する。自由層18の磁化
は、双方向の矢印28によって示されており、自由層1
8の「容易軸」に沿った2つの方向のうちのいずれかに
向けられることができる。自由層18およびピン止め層
24の磁化が同じ方向である場合には、メモリセル12
の向きは「平行」である。それらの磁化が逆方向である
場合には、向きは「逆平行」である。2つの向きはそれ
ぞれ「1」および「0」の二値状態に対応する。自由層
18およびピン止め層24は、絶縁性トンネル障壁層2
0によって分離される。絶縁性トンネル障壁層20によ
って、自由層18とピン止め層24との間に、量子力学
的トンネル効果が生じることが可能になる。このトンネ
ル効果は電子スピン依存であり、このため、メモリセル
12の抵抗は、自由層18およびピン止め層24の相対
的な磁化の向きの関数になる。 【0004】メモリアレイ10内の各メモリセル12
は、書込み動作によって変更される二値状態を有するこ
とができる。選択されたメモリセル12において交差す
る行導体14および列導体16に供給される書込み電流
IxおよびIyが、ピン止め層24に対して平行と逆平
行との間で自由層18の磁化を切り替える。列導体16
を通って電流Iyが流れる結果として磁界Hxが生じ、
行導体14を通って電流Ixが流れる結果として磁界H
yが生じる。磁界HxとHyは合成されて、メモリセル
12の磁化の向きを平行から逆平行に切り替える。電流
Ixとともに電流−Iyを加えて、メモリセル12(の
磁化)を平行に戻すことができる。 【0005】メモリセル12の状態を平行から逆平行
に、あるいはその逆に切り替えるために、+/−Hxお
よびHyによって生成される合成磁界は、メモリセル1
2の臨界切替え磁界(critical switching field)Hc
よりも大きくなる。IxおよびIyのための電流の大き
さは、HxおよびHyが小さすぎると、選択されたメモ
リセル12の向きが切り替わらないので、注意深く選択
されなければならない。HxおよびHyが大きすぎる
と、選択されたメモリセル12の行導体14あるいは列
導体16上のメモリセル12が、単独で作用するHxあ
るいはHyのいずれか一方の作用によって切り替えられ
る場合がある。これらの選択されないメモリセル12
は、「半分選択された」メモリセルと呼ばれる。 【0006】1つのアレイを動作させ、周囲温度が変化
することにより、そのアレイの温度が変動し、それによ
りメモリセルの保磁力が変化するようになるので、従来
のMRAMアレイにおいては問題が生じる。メモリセル
の保磁力の変化は、臨界切替え磁界Hcを変化させ、そ
れはさらに、セルの状態を切り替えるために必要とされ
る磁界HxおよびHyを変化させる。この条件によっ
て、IxまたはIy単独の作用に起因して半分選択され
たメモリセルの行全体または列全体がプログラムされる
ことになる可能性が高くなるか、あるいは書込み電流I
xおよびIyが選択されたメモリセルを切り替えるには
不十分になる可能性が高くなる。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】それゆえ、本発明の目
的は、メモリアレイ内の保磁力の変化を正確に補償する
ことができるメモリデバイスを提供することである。本
発明の別の目的は、過度に複雑にすることなく、保磁力
の変化を補償することができるメモリデバイスを提供す
ることである。 【0008】 【課題を解決するための手段】第1の態様によれば、メ
モリデバイスは、基板と、基板上に配置されるメモリセ
ルのアレイと、メモリセルに結合される複数の行導体
と、メモリセルに結合される複数の列導体とを有するメ
モリアレイを含む。また、そのメモリデバイスは、メモ
リアレイ内の温度変化に応じて、可変の書込み電流を生
成する1つあるいは複数の電流源も含む。可変書込み電
流は、アレイの温度が変化する際のメモリセルの保磁力
の変化を吸収または調整するように生成される。電流源
は、電流源によって生成される書込み電流を正確に調整
できるようにするために、継続的に直ちに出力を与える
ことができる温度センサを含む。 【0009】第1の態様によれば、電流源は、温度セン
サからの出力に応じて、アレイ内の温度変動を自動的に
補償することができる。電流源を較正するために、メモ
リデバイスの動作を停止する必要はない。また、第1の
態様によれば、出力を生成するために温度センサによっ
て用いられる温度が書込み電流の生成と同時に得られる
ので、電流源は書込み電流に対して正確な調整を行うこ
とができる。 【0010】また、第1の態様によれば、書込み電流の
調整を、温度センサからのアナログ入力によって行うこ
とができる。書込み電流を調整するためにデジタル処理
が必要とされないため、メモリデバイスの複雑さが低減
される。 【0011】第2の態様によれば、メモリデバイスにお
いて書込み電流を生成する方法は、温度センサに第1の
電圧を印加するステップと、書込み電流が複数の導体の
うちの1つに流れるようにするステップと、電流源にお
いて温度センサからの出力を受信するステップと、温度
センサからの出力に応じて書込み電流を調整するステッ
プとを含む。 【0012】第2の態様によれば、デバイスの動作を停
止することなく、生成される書込み電流を調整すること
ができる。出力を生成するために温度センサによって用
いられる温度を書込み電流の生成と同時に得ることがで
きので、その書込み電流はメモリアレイ内のメモリセル
を切り替えるのに適している。さらに、書込み電流を、
書込みプロセスの複雑さを低減するアナログ動作を用い
て生成することができる。 【0013】他の態様および利点は、添付の図面と共
に、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。 【0014】 【発明の実施の形態】以下に添付の図面を参照して本発
明の詳細な説明を行う。なお、図面において、同じの参
照番号は同じまたは同様の構成要素を指している。 【0015】メモリデバイスにおける温度変動を補償す
るために可変の書込み電流を与えることができるメモリ
デバイスを、好ましい実施形態および図面を用いて説明
する。 【0016】図3はメモリデバイス50の概略図であ
る。メモリデバイス50は、コントローラ52と、列デ
コーダ54と、行デコーダ56と、メモリアレイ100
と、書込み選択スイッチのバンク200と、読出し/書
込み選択スイッチのバンク300と、読出し/書込み選
択スイッチのバンク400と、書込み終了選択スイッチ
のバンク500と、センス増幅器600と、電流源70
0とを含む。メモリデバイス50は3つの同じ電流源7
00を有するものとして示されているが、電流源の他の
実施形態を、メモリデバイス50の1つあるいは複数の
場所において用いることができる。電流源の実施形態に
ついては、図7〜図10を参照して詳細に後述する。 【0017】コントローラ52は、メモリデバイス50
の読出しおよび書込み動作を制御する。コントローラ5
2は行デコーダ56に接続され、行デコーダ56に、読
出し/書込み(R/W)データおよびアドレスデータを
含むコマンドを送信する。行デコーダ56はスイッチバ
ンク400および500内のスイッチのゲートに接続さ
れ、コントローラ52からの命令にしたがってスイッチ
を開閉する。同様に、コントローラ52は列デコーダ5
4に接続され、列デコーダ54はスイッチバンク200
および300内のスイッチのゲートに接続される。メモ
リデバイス50のスイッチはトランジスタとして示され
ている。しかしながら、たとえば、FETやMOSFE
Tスイッチのようなスイッチ、および他のスイッチを用
いることもできる。 【0018】メモリアレイ100はメモリデバイス50
のためのデータを格納する。メモリアレイ100では、
行導体110が水平な行方向に延在し、列導体120が
垂直な列方向に延在する。行導体110は、メモリセル
130において列導体120と交差する。各メモリセル
130は、1または0のいずれかの二値状態を格納する
ことができる。図3には、説明のために、24個のメモ
リセル130において交差する、3行の行導体110と
8列の列導体120が示されている。実際には、たとえ
ば、1024×1024以上のメモリセルのアレイを使
用することができる。 【0019】書込み選択スイッチのバンク200は、列
導体120を、電流源700からの列書込み電流Iy
に、または、スイッチ214を介してグランド(アー
ス)に選択的に接続する。バンク200に接続される電
流源700は、列書込み電流源として機能する。スイッ
チ212は、列書込み電流源700を、書込み選択スイ
ッチのバンク200に選択的に接続する。読出し/書込
み選択スイッチのバンク300は、列導体120を、電
流源700からの列書込み電流Iyに、またはスイッチ
314を介してグランドに選択的に接続する。またバン
ク300は、列導体120をセンス増幅器600にも選
択的に接続する。バンク300に接続される電流源70
0は、列書込み電流源として機能する。読出し/書込み
選択スイッチのバンク400は、行導体110を、スイ
ッチ414を介して読出し電圧Vrに、またスイッチ4
12を介して行書込み電流Ixに選択的に接続する。書
込み終了選択スイッチのバンク500は、行導体110
をグランドに選択的に接続する。バンク400に接続さ
れる電流源700は行書込み電流源として機能する。 【0020】1の状態、すなわち逆平行状態をメモリア
レイ100内のメモリセル130に書き込むために、バ
ンク200に接続された電流源700から、選択された
メモリセル130が配置される列の列導体120に、列
書込み電流Iyが供給される。同時に、行書込み電流I
xが、選択されたメモリセル130が配置される行の行
導体110に供給される。書込み電流IxおよびIyに
よって生成される磁界HxおよびHyは合成されて、メ
モリセル130の二値状態を0から1に変化させる。0
の状態をメモリセル130に書き込むために、行書込み
電流Ixが上記のように加えられ、列書込み電流Iy
が、バンク300に接続された電流源700から加えら
れる。バンク300に接続された電流源700からの書
込み電流Iyを「−Iy」とみなすことができ、バンク
200に接続された電流源700からの書込み電流Iy
を「+Iy」とみなすことができる。 【0021】メモリデバイス50の動作中に、書込み電
流IxおよびIyはメモリアレイ100内に熱を生成す
る。さらに、メモリデバイス50内の関連する回路が熱
を生成する。変化する周囲温度とともに、これらの要因
によって、メモリデバイス50の温度が変動するように
なる。温度が変化することにより、メモリセル130の
保磁力、それゆえ臨界切替え磁界Hcが、デバイス50
の動作中に変動するようになる。図3に示すメモリデバ
イス50では、電流源700が保磁力の変化を補償する
ために変動する可変書込み電流Iy、Ixを生成する。
電流源700は、温度センサを含むことができ、また
は、電流源700を温度センサに接続することができ
る。温度センサは、メモリアレイ100の温度を検知
し、電流源700に出力を与える。温度センサからの出
力はIxおよびIyを調整し、メモリセル130内の保
磁力の変化を補償する。保磁力と温度との間の関係を、
図4を参照して以下に説明する。 【0022】図4は、メモリセル130のための保磁
力、すなわち臨界切替え磁界Hc対温度のグラフであ
る。メモリセル130を逆平行から平行に切り替えるた
めの臨界切替え磁界Hcは、温度が増加するとともに減
少する。メモリセル130を平行から逆平行に切り替え
るための臨界切替え磁界Hcは、温度が増加するととも
に増加する。いずれの場合においても、Hcの大きさは
温度が増加するとともに減少する。図4に示されるデー
タは、二値状態間の切替えの対称性を示すシミュレーシ
ョンデータである。書込み電流IxおよびIyがメモリ
アレイ100内の選択されたメモリセル130に加えら
れる場合のような、メモリデバイス50の動作中に、メ
モリアレイ100の温度は変動するであろう。それゆ
え、メモリアレイ100内の温度変動により、必要とさ
れる書込み電流IxおよびIyが変化する。 【0023】図5は、メモリセルの抵抗と、メモリセル
をプログラムするために用いられる書込み電流との関係
を示す、メモリセル切替え曲線のグラフである。実線
は、1および0の状態がメモリセルに書き込まれる際の
室温におけるメモリセルについての相対的な抵抗値を示
す。破線は、高温におけるメモリセルについての相対的
な抵抗値を示す。 【0024】図6は、温度変動に対する書込み電流Iに
よる補償を示すプロセス図である。書込み電流IはIx
またはIyを表すことができる。構成要素10として記
号的に表されている温度センサは、加算装置(または加
算器)16において、公称書込み電流14と加算され
る、補償された電流12を生成するための入力を与え
る。書込み電流Iの生成については以下でさらに詳述す
る。 【0025】図7は、温度センサ750を含む電流源7
00の一実施形態の概略図である。電流源700は、図
3に示される電流源700のうちの任意のものに対応さ
せることができる。電流源700は、温度センサ750
からの出力を用いて、温度センサ750からの出力に応
答して変化する可変電流Iを与える。図7では、温度セ
ンサ750からの出力は、温度センサ750の両端の電
圧Vである。可変電流Iは、温度センサ750によって
検出されるアレイ100内の温度変動に起因して生じる
メモリセル130内の保磁力変動を補償するように変化
する。可変電流Iには、電流源700が行導体に接続さ
れるか、列導体に接続されるかに応じて、行書込み電流
Ixまたは列書込み電流Iyのいずれかを用いることが
できる。電流源700は、行導体110または列導体1
20に対応させる(または一致させる)ことができる導
体に接続されるものとして示されている。抵抗Rは、
選択された行導体110または列導体120の抵抗を示
している。 【0026】また電流源700は、設定公称電流回路7
60と、出力電流回路770とを含む。設定公称電流回
路760は、バイアス電圧VBIASを与えるためのプ
ログラマブルデジタル−アナログ変換器(DAC)76
2を含む。バイアス電圧V IASは、抵抗Rを通し
てトランジスタ764のエミッタに接続される。温度セ
ンサ750は、温度が変化するのに応じて抵抗を変化さ
せるn個の能動デバイス(アクティブデバイス)752
を含む。温度センサ750の両端の電圧Vは、トランジ
スタ764のベースに接続される。能動デバイス752
の数nは、トランジスタ764における電圧Vが、メモ
リセル130の保磁力の変化を補償するために機能する
ように選択される。出力電流回路770は、トランジス
タ764のコレクタに流れ込む電流IREFをミラーリ
ングして、書込み電流Iを生成するためのカレントミラ
ー774を含む。 【0027】電流源700は以下のように動作する。電
圧VDDが温度センサ750および出力電流回路770
に印加される。DAC762からのバイアス電圧V
BIASが、公称動作温度における公称動作電流I
REFを設定する。たとえば、選択されたメモリセル1
30に書込みを行うために書込み電流Iが生成されるこ
とになる場合には、DAC762によって、低いバイア
ス電圧VBIASが生成される。書込み電流Iを生成す
るために電流源700が用いられていない場合には、イ
ネーブル制御線740によって、VBIASを高い電圧
値に設定することができる。DAC762はコントロー
ラ52(図3を参照)に接続されることができ、選択さ
れたメモリセル130に書込みが行われるときに、コン
トローラ52からコマンドを受信することができる。D
AC762は、メモリアレイ100内の温度変動を補償
するためにVBIASを変更するようにプログラムされ
る必要はない。代わりに、VBIASを、メモリアレイ
が所定の公称温度であるときに、選択されたメモリセル
130をプログラムするのに適するように選択されるI
RE のための公称値を生成するように設定することが
できる。トランジスタ764のベースにおいて検知され
る温度センサ750の両端の出力電圧Vが、メモリアレ
イ100の現在の温度にしたがって公称IREFを調整
する。その後、カレントミラー774において電流I
REFに対するミラー電流が生成され、導体110また
は120に書込み電流Iとして加えられる。電流I
REFを適切に調整するために、温度センサ750の両
端の電圧Vは、メモリアレイ100の温度が変動する際
に、メモリセル130の保磁力の変化にしたがって変化
する。 【0028】上記の実施形態では、トランジスタ764
は、電流IREFを調整する制御要素として動作する。
トランジスタ764は、IREFを調整するためにベー
ス−エミッタ間電圧VBE(すなわち、VBE「O
N」)を使用する三端子デバイスとして示されている。
しかしながら、他の制御要素を用いることもできる。 【0029】上記の実施形態によれば、電圧Vの作用に
よって、書込み電流Iがメモリアレイ100内の温度変
動を自動的に補償する。それゆえ、書込み電流源700
を較正するために、メモリデバイス50の動作を停止す
る必要はない。さらに、書込み電流Iを調整するために
用いられるアレイ100の温度は、メモリセル130の
現在の温度である。 【0030】温度センサ750の両端の電圧Vを、温度
センサ750に対する能動デバイス752(このデバイ
スは、ある既知の特性を有する)の数nを適切に選択す
ることにより、メモリセル130の保磁力の変化に応じ
て変化するように構成することができる。能動デバイス
752の数nの選択について以下で説明する。 【0031】図7では、能動デバイス752はダイオー
ドとして示されている。ダイオードの両端の電圧VBE
は、式(1)にしたがって変化することがわかってい
る。 【数1】 ただし、VBEはダイオードの両端の電圧(VBE「O
N」)であり、kはダイオードの特性に依存する定数
である。 【0032】一実施形態では、シリコンVBEダイオー
ドの場合に、k=−2である。抵抗Rには、たとえ
ば薄膜抵抗を用いることができる。薄膜抵抗は式(2)
にしたがって変動することがわかっている。 【数2】 ただし、kは薄膜抵抗を製造するために用いられる材
料およびプロセスに依存する定数である。 【0033】一実施形態では、薄膜抵抗Rについて、
=1500である。図7から、n個のダイオード間
の電圧降下Vは以下のとおりである。 V=n・VBE (3) 【0034】電流IREFは、カレントミラーによって
生成されるような電流Iに基本的に等しい。すなわち、 【数3】 である。 【0035】それゆえ、IREFは以下のように表すこ
とができる。 【数4】 ただし、VBIASはDAC762によって供給される
バイアス電圧である。 【0036】それゆえ、温度Tに対する電流Iの変化は
以下のように表すことができる。 【数5】 【0037】アレイ100の温度Tに対する電流Iの変
化率を、温度Tに対するメモリセル130の保磁力、す
なわちHcの変化率の実験的な測定値によって決定する
ことができる。図4は、アレイ100について∂I/∂
Tを計算するために用いることができる、保磁力対温度
データの一例である。 【0038】一旦、保磁力の変化率が決定されたなら、
必要とされる書込み電流の変化率∂I/∂Tを計算する
ことができる。必要とされる書込み電流Iの変化とメモ
リセル130の保磁力の変化との間の較正係数も、実験
データによって決定することができる。それゆえ、能動
デバイスの数nは、式(6)を用いて求めることができ
る。 【0039】温度センサ750において、適切な数nの
能動デバイス752を用いることにより、温度センサ7
50は、適切な出力電圧Vを、設定公称電流回路760
に与える。それゆえ、設定公称電流回路760によっ
て、書込み電流Iが、メモリアレイ100内の温度変動
によって引き起こされる保磁力変動を補償するために直
ちに調整されるようにすることができる。 【0040】温度センサ750は、メモリセル130の
温度を検出することができるメモリデバイス50のどこ
にでも配置することができる。有利なことに、温度セン
サ750を、メモリアレイ100の下に配置することが
できる。たとえば、メモリデバイス50は半導体基板
(図示せず)を含むことができ、温度センサ750は、
メモリセル130の近辺の基板上に配置することがで
き、あるいは、基板にわたっての温度が比較的一様な場
合には他の場所に配置することができる。図3を参照す
ると、各電流源700は個別の温度センサ750を含む
ことができ、または、共通の温度センサ750を、電流
源700のうちの2つ以上に接続することができる。ア
レイ100の温度をアレイ100にわたって比較的一様
にすることができ(または、そのような場合があり)、
温度センサ750を、電流源700の一部として一体化
することができる。それゆえ、温度センサをメモリセル
130に近接して配置する必要はない。 【0041】上記の説明は、メモリセル130ついての
保磁力対温度の関数が、図4に示されるように、水平な
線について対称であるものと仮定している。平行−逆平
行および逆平行−平行切替え関数が、温度変動に対して
非対称である場合には、電流源700は、選択されたメ
モリセル130に書き込まれることになる状態に応じて
変化するバイアス電圧VBIASを用いることができ
る。 【0042】図7では、能動デバイス752はVBE
イオードとして示されている。そのダイオードは、アレ
イ100の温度を、電流源700によって用いるための
出力に変換するための変換器として動作する。ダイオー
ドに加えて、温度が変化するとともに抵抗が変化する他
の能動デバイスを変換器として用いることもできる。別
の変換器デバイスの例には、サーミスタ、ツェナーダイ
オードおよび薄膜抵抗が含まれる。これらのデバイス
は、電流源700への出力を与えるために、単独で、あ
るいは他の温度検知変換器デバイスとともに用いること
ができる。 【0043】図8は温度センサ850を有する代替的な
電流源800を示す。電流源800は、図3に示される
電流源700の任意のものの代わりに用いることができ
る。電流源800は、温度センサ850からの出力を用
いて、温度センサ850からの出力に応答する可変電流
Iを与える。図8では、温度センサからの出力は、温度
センサ850の両端の電圧Vである。可変電流Iには、
行書込み電流Ixあるいは列書込み電流Iyのいずれか
を用いることができる。 【0044】電流源800は、設定公称電流回路860
と、出力電流回路870とを含む。設定公称電流回路8
60は、バイアス電圧VBIASを与えるためのプログ
ラマブル(すなわち、プログラム可能な)DAC862
を含む。バイアス電圧VBI ASは、抵抗Rを介し
て、トランジスタ864のコレクタに接続される。温度
センサ850は、アレイの温度が変化するのに応じて抵
抗が変化するn個の能動デバイス852を含む。数nの
選択については、詳細に後述する。温度センサ850の
両端の電圧Vは、トランジスタ制御要素764のベース
に接続され、温度が変動するのに応じてIREFを調整
するように動作する。出力電流回路870は、トランジ
スタ864のエミッタから流れ出る電流IREFのミラ
ー電流を生成するためのカレントミラー874を含む。 【0045】電流源800は以下のように動作する。電
圧VDDが温度センサ850に印加される。Vの電圧
が導体110、120に印加される。ここで、V
は、電流源800がメモリデバイス50においていかに
用いられるかに応じて、VDDあるいはVDD/2のい
ずれかを用いることができる。 【0046】DAC862からのバイアス電圧V
BIASは、電圧VDDが書込み電流Iを生成するため
に用いられることになるか否かを決定する。書込み電流
Iを生成するために電流源800が用いられていない場
合には、VBIASを、イネーブル制御線840によっ
て高電圧値に設定することができる。DAC862は、
コントローラ52(図3を参照)に接続されることがで
き、選択されたメモリセル130に書き込むときに、コ
ントローラ52からコマンドを受信することができる。
DAC862を、メモリアレイ100内の温度変動を補
償するためにVBIA を変化させるようにプログラム
する必要はない。代わりに、VBIASを、電流I
REFのための公称値を生成するように設定することが
できる。トランジスタ864のベースにおいて検知され
る、温度センサ850の両端の出力電圧Vは、メモリア
レイ100の現在の温度にしたがってIREFを調整す
る。その後、カレントミラー874において電流I
REFに対するミラー電流が生成される。 【0047】上記の実施形態では、トランジスタ864
は、温度変動を補償するために電流IREFを調整する
制御要素として動作する。トランジスタ864は、ベー
ス−エミッタ間VBE電圧(すなわち、VBE「O
N」)をIREFを調整するために用いる三端子デバイ
スとして示されている。しかしながら、他の制御要素を
用いることもできる。 【0048】能動デバイス852の数nを以下のように
選択することができる。図8から以下の式が得られる。 【数6】 【0049】Iは以下の式により計算することができ
る。 【数7】 【0050】それゆえ、以下の式が成り立つ。 【数8】 【0051】温度に対する電流の変化は以下のように表
すことができる。 【数9】 【0052】∂I/∂Tは以下のように書き直すことが
できる。 【数10】 【0053】これらの式から、能動デバイス852の数
nは、能動デバイス852および抵抗Rについての実
験データおよび既知の特性を用いて計算することができ
る。 【0054】図9は、図3に示されるメモリデバイス5
0内のメモリアレイ100についての書込み動作を示す
簡略化した図である。図9に示される書込み構成におい
ては、電流源700および800のうちのいずれかを用
いることができる。図9では、アレイ100内の左側に
あるメモリセル130は、二値状態のうちの1を有する
ようにプログラムされ、右側にあるメモリセル130は
二値状態のうちの0を有するようにプログラムされる。
スイッチバンク200、300、400および500、
ならびに図3からの他の構成要素は図9には示されてい
ない。 【0055】アレイ100をプログラムするために書込
み電流源700が用いられる場合には、グランド電位の
電圧Vを用いることができる。アレイ100をプログ
ラムするために書込み電流源800が用いられる場合に
は、図7および図8に示すように、導体110、120
にVDDの電圧が印加される。電圧VDDを、図8に示
すように、アレイ100の側面の、電流源800の場所
とは反対側において、行導体110または列導体120
に印加することができる。 【0056】図10は、メモリアレイ100についての
代替的な書込み動作を示す簡略化した図である。図10
では、行書込み電流Ixを生成するために、電流源70
0または800のうちのいずれかを用いることができ
る。二値状態のうちの1を書き込むために、電流源70
0を用いて、列書込み電流Iyを生成することができ、
二値状態のうちの0を書き込むために、電流源800を
用いることができる。列導体120に対する電流源70
0および800の選択的な接続は、スイッチ140によ
って達成することができる。 【0057】図10の概略図では、スイッチ140に接
続される電流源700、800は、共通の温度センサと
の接続を共有できることが有利である。この特徴は、ア
レイ100内の導体に電流源700、800を接続する
スイッチの数を低減する。 【0058】図11は、メモリデバイス50の選択され
たメモリセル130をプログラムするための書込み電流
Iを生成するための方法を示す流れ図である。その方法
を、図7に示した電流源700を参照して説明する。し
かしながら、その方法は、図8に示される電流源800
を用いて書込み電流Iを生成するためにも適合するもの
である。書込み電流Iを、書込み電流IxまたはIyと
して用いることができる。 【0059】ステップS10では、温度センサ750に
電圧が印加され、ステップS12では、電流源700に
電圧が印加される。温度センサ750および電流源70
0が図7に示されるように共通の電圧VDDに接続され
る場合には、電圧の印加を同時に行うことができる。図
7に示す実施形態では、電圧VDDは、温度センサ75
0と出力電流回路770の両方に印加される。温度セン
サ750と出力電流回路770(または、電流源70
0)に印加される電圧を、メモリデバイス50の動作中
に継続的に印加することができる。電流源700の出力
は、選択された行導体あるいは列導体の一方の側に接続
され、グランド電位はその選択された導体の他方の側に
印加される。 【0060】ステップS14では、書込み動作がDAC
762によって許可される(すなわち、イネーブルにさ
れる)。コントローラ52(図3を参照)は、DAC7
62に、書込み電流Iが電流源700によって生成され
ることになることを示す信号を送信することにより、書
込み動作を許可することができる。その後、DAC76
2は、VBIASを設定して、IREFがトランジスタ
制御要素764のコレクタに流れ込むようにすることが
できる。電流IおよびIREFは、書込み動作を許可す
る結果として流れる。書込み電流Iは、基準電流I
REFをミラーリングすることにより(ミラー電流とし
て)生成される。 【0061】ステップS16では、温度センサ750
が、制御要素764に出力電圧Vを与える。電圧VDD
が、メモリデバイス50の動作中に温度センサ750に
継続的に印加される場合には、電圧Vがトランジスタ7
64のベースにおいて保持されるであろう。また出力電
圧Vは、メモリアレイ100の温度が変動する際に、連
続的に変化するであろう。 【0062】ステップS18では、書込み電流Iが、ト
ランジスタ764において受け取られる電圧Vにしたが
って調整される。書込み電流Iは、出力電圧Vがトラン
ジスタ制御要素764を介してIREFに影響を及ぼす
ことにより調整される。このプロセスは個別のステップ
として示されているが、実際には、温度センサ750か
らの出力電圧Vは書込み電流Iを連続的に調整するであ
ろう。なぜなら、能動デバイス752の抵抗値がアレイ
の温度とともに連続的に変動することになるためであ
る。 【0063】選択されたメモリセル130をプログラム
するために、IxおよびIyとすることができる2つの
書込み電流Iがそれぞれ行導体110および列導体12
0に沿って加えられる。上記の方法を用いて、Ixおよ
びIyの両方を生成することができる。 【0064】書込み電流Iを生成するための上記の方法
によれば、温度センサ750は、メモリアレイ100内
の温度変動を補償するために、書込み電流Iが連続して
調整されるようにする。それゆえ、その方法は、書込み
回路を較正するために、メモリデバイス50の動作を停
止する必要はない。書込み動作が許可されると、書込み
電流Iは、メモリアレイ100内の温度変動を補償する
ように自動的に調整される。 【0065】さらに別の利点として、アレイの温度の変
動に対して電流源700を較正するために、書込み回路
をプログラムし直す必要がない。一旦、温度センサ75
0が、メモリセル130の保磁力の変化を補償するよう
に構成されたなら、メモリデバイス50は、較正するこ
となく動作することができる。さらに、この方法によれ
ば、現在の温度値を用いて、書込み電流Iを調整できる
ようになる。 【0066】図3に示すセンス増幅器600は、メモリ
デバイス50内のメモリセル130の二値状態を検出す
るためのセンシングデバイスの一例である。実際には、
たとえば、トランスインピーダンスセンス増幅器(tran
s-impedance sense amplifier)、電荷注入センス増幅
器(charge-injection sense amplifier)、差動センス
増幅器、あるいはデジタル差動センス増幅器のような他
のセンシングデバイスを用いることもできる。メモリセ
ル130の二値状態を読み取るために、1つのセンス増
幅器600が図3に示されている。実際には、メモリア
レイに、さらに多くのセンシングデバイスを接続するこ
とができる。たとえば、メモリアレイ内の各列導体に対
して1つの増幅器を設けることができる。 【0067】メモリアレイ内に0および1の状態を書き
込むための電流に関する取り決めは自由であり、メモリ
デバイス50の任意の所望の用途に適合するように割り
当て直すことができる。 【0068】メモリアレイ100において用いられるメ
モリセル130には、書込み電流に応答する任意のタイ
プのメモリセルを用いることができる。たとえば、巨大
磁気抵抗(GMR)デバイス、磁気トンネル接合(MT
J)および他のタイプのメモリセルのようなメモリセル
を、メモリアレイ100において用いることができる。 【0069】メモリデバイス50は、幅広い用途におい
て用いられることができる。1つの用途は、MRAM記
憶モジュールを有するコンピューティングデバイスであ
る。MRAM記憶モジュールは、長期記憶のために1つ
あるいは複数のMRAMメモリアレイを含む場合があ
る。 【0070】MRAM記憶モジュールは、ラップトップ
コンピュータ、パーソナルコンピュータおよびサーバの
ような装置に使用することができる。 【0071】上記の実施形態による温度補償型電圧源
を、メモリアレイとともに用いることもできる。 【0072】メモリデバイス50を典型的な実施形態を
参照して説明したが、多くの変更形態が当業者には容易
に明らかであり、本開示はそのような変形形態を網羅す
ることを意図している。 【0073】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 1.メモリデバイス(50)であって、メモリアレイ
(100)と、第1の電流源(700、800)と、第
2の電流源(700、800)とを備え、前記メモリア
レイ(100)は、基板と、該基板上に配置されるメモ
リセル(130)のアレイ(100)と、前記メモリセ
ル(130)に結合される複数の第1の導体(110)
と、前記メモリセル(130)に結合される複数の第2
の導体(120)とを備え、前記第1の導体(110)
は前記第2の導体(120)と前記メモリセル(13
0)において交差し、前記第1の電流源(700、80
0)は、前記第1の導体(110)に選択的に結合さ
れ、選択された第1の導体(110)に第1の書込み電
流を与えることが可能であり、前記第1の電流源は、前
記メモリアレイ(100)の温度を検知するために配置
される第1の温度センサ(750、850)を備え、前
記第1の温度センサ(750、850)は、前記第1の
書込み電流を調整し、前記メモリアレイ(100)内の
温度変動を補償するための出力を与え、前記第2の電流
源(700、800)は、前記第2の導体(120)に
選択的に結合されることからなる、メモリデバイス。 2.前記第1の温度センサ(750、850)は、温度
とともに変動する抵抗を有する複数の能動デバイス(7
52、852)を含む、上項1に記載のメモリデバイ
ス。 3.前記第1の温度センサ(750、850)は、前記
第1の電流源(700、800)の制御要素(764、
864)に結合される、上項1に記載のメモリデバイ
ス。 4.前記制御要素(764、864)は基準電流の流れ
を制御する、上項3に記載のメモリデバイス。 5.前記電流源(700、800)は、前記基準電流か
ら前記第1の書込み電流を生成する、上項7に記載のメ
モリデバイス。 6.前記第1の温度センサ(750、850)は、第1
の書込み電流が生成される間に前記出力を与える、上項
1に記載のメモリデバイス。 7.前記第2の電流源(700、800)は、前記メモ
リアレイ(100)の温度を検知するために配置される
第2の温度センサ(750、850)を備え、前記第2
の温度センサ(750、850)は、前記第2の電流源
(700、800)によって生成される第2の書込み電
流を調整し、前記メモリアレイ(100)内の温度変動
を補償するための出力を与える、上項1に記載のメモリ
デバイス。 8.メモリデバイス(50)において書込み電流を生成
する方法であって、前記メモリデバイス(50)は、メ
モリセル(130)のアレイ(100)と、前記メモリ
セル(130)に結合される複数の第1の導体と、前記
メモリセル(130)に結合される複数の第2の導体
(120)と、少なくとも1つの温度センサ(750、
850)を有する少なくとも1つの電流源(700、8
00)とを備え、前記方法は、書込み電流が前記第1の
導体(110)のうちの1つに流れることができるよう
にするステップと、前記電流源(700、800)の前
記温度センサ(750、850)からの出力を受け取る
ステップと、前記温度センサ(750、850)からの
前記出力を用いて、前記書込み電流を生成するステップ
含む、方法。 9.前記温度センサ(750、850)からの出力を受
け取る前記ステップは、前記電流源(700、800)
の制御要素(764、864)において、前記温度セン
サ(750、850)の電圧を受け取るステップを含
む、上項8に記載の方法。10.前記書込み電流を生成
する前記ステップは、前記書込み電流が生成される間
に、該書込み電流を調整するステップを含む、上項8に
記載の方法。 【0074】本発明のメモリデバイス(50)は、基板を有
するメモリアレイ(100)、基板上に配置されたメモリセ
ル(130)のアレイ、メモリセルに結合された行導体(11
0)、メモリセル(130)に結合された列導体(120)を備え
る。メモリデバイス(50)は、また、メモリアレイ(100)
の温度変化に応答する可変の書込み電流を生成する電流
源(700,800)を備える。可変の書込み電流は、アレイの
温度が変化するに従い変化するメモリセル(130)の保持
力の変化を調整するように生成される。電流源(700,80
0)は、書込み電流を正確に調整することができるように
するために、電流センサに対して連続的かつ即時に出力
を提供する温度センサ(750,850)を備えることができ
る。メモリデバイス(50)の動作を停止して電流源を較正
する必要はない。さらに、電流源(700,800)は、書込み
電流を正確に調整することができる。なぜなら、出力を
生成するために温度センサによって使用される温度を、
書込み電流の生成と同時に取得することができるからで
ある。 【0075】 【発明の効果】本発明によれば、過度に複雑にすること
なく、メモリアレイ内の保磁力の変化を正確に補償する
ことができるメモリデバイスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】従来のメモリアレイを示す図である。 【図2】従来のメモリセルの二値状態を示す図である。 【図3】メモリデバイスの一実施形態の概略図である。 【図4】メモリセルについての、保磁力、すなわち臨界
切替え電流対温度のグラフである。 【図5】メモリセル切替え曲線を示す図である。 【図6】温度変動に対する書込み電流による補償を示す
プロセス図である。 【図7】第1の実施形態による電流源の概略図である。 【図8】第2の実施形態による電流源の概略図である。 【図9】図3に示すメモリアレイについての書込み動作
を示す概略図である。 【図10】図3に示すメモリアレイについての代替の書
込み動作を示す概略図である。 【図11】書込み電流を生成するための方法を示す流れ
図である。 【符号の説明】 50 メモリデバイス 100 メモリアレイ 110 行導体 120 列導体 130 メモリセル 700、800 電流源 750、850 温度センサ
フロントページの続き (72)発明者 マノイ・ケイ・バッタチャーヤ アメリカ合衆国カリフォルニア州95014, クパチーノ,パーム・アベニュー・22434

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】メモリデバイス(50)であって、 メモリアレイ(100)と、第1の電流源(700、8
    00)と、第2の電流源(700、800)とを備え、 前記メモリアレイ(100)は、 基板と、 該基板上に配置されるメモリセル(130)のアレイ
    (100)と、 前記メモリセル(130)に結合される複数の第1の導
    体(110)と、 前記メモリセル(130)に結合される複数の第2の導
    体(120)とを備え、 前記第1の導体(110)は前記第2の導体(120)
    と前記メモリセル(130)において交差し、 前記第1の電流源(700、800)は、前記第1の導
    体(110)に選択的に結合され、選択された第1の導
    体(110)に第1の書込み電流を与えることが可能で
    あり、前記第1の電流源は、前記メモリアレイ(10
    0)の温度を検知するために配置される第1の温度セン
    サ(750、850)を備え、前記第1の温度センサ
    (750、850)は、前記第1の書込み電流を調整
    し、前記メモリアレイ(100)内の温度変動を補償す
    るための出力を与え、 前記第2の電流源(700、800)は、前記第2の導
    体(120)に選択的に結合されることからなる、メモ
    リデバイス。
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