JP2003136623A - モジュール部品、コア基板要素集合体、多層基板、コア基板要素集合体の製造方法、多層基板の製造方法、及びモジュール部品の製造方法 - Google Patents

モジュール部品、コア基板要素集合体、多層基板、コア基板要素集合体の製造方法、多層基板の製造方法、及びモジュール部品の製造方法

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JP2003136623A JP2002194810A JP2002194810A JP2003136623A JP 2003136623 A JP2003136623 A JP 2003136623A JP 2002194810 A JP2002194810 A JP 2002194810A JP 2002194810 A JP2002194810 A JP 2002194810A JP 2003136623 A JP2003136623 A JP 2003136623A
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稔 高谷
Toshiichi Endo
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Abstract

(57)【要約】 【課題】湿気を吸収することにより生じる電気特性の劣
化を防止し得るモジュール部品を提供する。 【解決手段】中間層70は、第1の層20と、第2の層
30と、芯層10とを含む。芯層10は、第1の層20
及び第2の層30よりも強度が高い材質からなり、平面
状に広がる網状構造を有し、外周11が第1の層20及
び第2の層30の外周よりも内側に配置され、第1の層
20と第2の層30との間に封止されている。上側層7
1は、中間層70の上面に積層されている。下側層72
は、中間層70の下面に積層されている。搭載部品74
は、上側層71又は下側層72に搭載されている

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、モジュール部品、
コア基板要素集合体、多層基板、コア基板要素集合体の
製造方法、多層基板の製造方法、及びモジュール部品の
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】通信用、民生用、産業用等に用いられる
回路用多層基板においては、基板強度の向上、電気特性
の向上が要求される。例えば、特開平8−139424
号公報に開示された多層基板は、基板強度を高める手段
として、多層基板の芯層にガラスクロスを用いる。
【0003】特開平8−139424号公報に開示され
た多層基板は、まず、多数のガラス繊維の束を格子状に
織ったガラスクロスと、このガラスクロスに含浸させた
合成樹脂とからなるワークシートを用意し、このワーク
シートをガラス繊維の束と交差する方向に分割し、個片
化して製造する。この多層基板は、ワークシートをガラ
ス繊維の束と交差する方向に分割して製造するので、側
面においてガラスクロスの切断面と合成樹脂とが露出し
た構造となる。
【0004】ガラスクロスは、合成樹脂との接着性が低
いので、上述した特開平8−139424号公報に開示
された多層基板のように、側面においてガラスクロスの
切断面と合成樹脂とが露出した構造を有する場合、ガラ
スクロスと合成樹脂との境界面から湿気を吸収し、絶縁
性等の電気特性が劣化するという問題があった。
【0005】また、ガラスクロスは、多数のガラス繊維
を束ねた構造からなり、ガラス繊維間にはガラス繊維の
数に応じた空隙が存在する。このため、ガラスクロスの
切断面には多数の空隙が現われるので、この空隙から多
量の湿気を吸収し、絶縁性等の電気特性が著しく劣化す
るという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、基板
強度が高いモジュール部品を提供することである。
【0007】本発明のもう一つの課題は、湿気を吸収す
ることにより生じる電気特性の劣化を防止し得るモジュ
ール部品を提供することである。
【0008】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
モジュール部品の製造に適したコア基板要素集合体を提
供することである。
【0009】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
モジュール部品の製造に適した多層基板を提供すること
である。
【0010】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
コア基板要素集合体の製造に適した製造方法を提供する
ことである。
【0011】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
多層基板の製造に適した製造方法を提供することであ
る。
【0012】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
モジュール部品の製造に適した製造方法を提供すること
である。
【0013】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係るモジュール部品は、中間層と、上側
層と、下側層と、搭載部品とを含む。
【0014】中間層は、第1の層と、第2の層と、芯層
とを含む。
【0015】芯層は、第1の層及び第2の層よりも強度
が高い材質からなり、平面状に広がる網状構造を有し、
外周が第1の層及び第2の層の外周よりも内側に配置さ
れ、第1の層と第2の層との間に封止される。
【0016】上側層は、中間層の上面に積層される。下
側層は、中間層の下面に積層される。搭載部品は、上側
層又は下側層に搭載される。
【0017】本発明に係るモジュール部品において、芯
層は第1の層及び第2の層よりも強度が高い材質からな
り、平面状に広がっている。このため、芯層の主面に直
交する方向の強度が高くなる。
【0018】また、本発明に係るモジュール部品におい
て、芯層は第1の層と第2の層との間に封止され、第1
の層、第2の層、及び芯層が一体化される。このため、
本発明に係るモジュール部品は、芯層の主面に直交する
方向の強度が高くなる。したがって、モジュール部品の
中間層に必要な強度を確保することができる。
【0019】本発明に係るモジュール部品は、芯層の外
周が第1の層及び第2の層の外周よりも内側に配置され
ている。このため、第1の層及び第2の層として、互い
に接着性が高い樹脂材料を選択し、芯層を介して第1の
層及び第2の層を重ね合わせることにより、芯層を確実
に封止することが可能になる。
【0020】また、芯層は網状構造を有するので、網状
構造の隙間から、第1の層と第2の層とが結合する。こ
のため、第1の層及び第2の層として、互いに接着性が
高い樹脂材料を選択することにより、第1の層、第2の
層、及び芯層の結合強度を高めることが可能となる。ま
た、芯層は網状構造を有するので、芯層を避けてスルー
ホールを形成することが可能になる。
【0021】また、本発明に係るモジュール部品におい
て、芯層は第1の層と第2の層との間に封止され、外部
に露出していない。このため、第1の層及び第2の層
と、芯層との接着性が低い場合であっても、芯層の境界
面から湿気が吸収されることがなく、モジュール部品の
回路要素の電気特性の劣化を防止し得る。
【0022】また、本発明に係るモジュール部品におい
て、上側層は中間層の上面に積層され、下側層は中間層
の下面に積層され、中間層を介して上側層及び下側層が
一体化される。このため、中間層により強度を確保する
ことができるので、上側層及び下側層が強度を有しない
場合であっても、モジュール部品全体として基板強度を
確保できる。
【0023】また、上側層及び下側層としては、任意の
材料を用いることが可能であり、上側層及び下側層に
は、任意の回路要素を構成することが可能である。
【0024】また、本発明に係るモジュール部品におい
て、搭載部品は上側層又は下側層に搭載されている。こ
のため、中間層、上側層又は下側層に形成された回路要
素と、搭載部品とが一体化され、モジュール部品として
の機能を発揮することが可能となる。
【0025】更に、本発明は、上述したモジュール部品
の製造方法、上述したモジュール部品の製造に適したコ
ア基板要素集合体及び多層基板、及び上述したコア基板
要素集合体及び多層基板の製造方法を開示する。
【0026】
【発明の実施の形態】図1は、本発明に係るモジュール
部品の構成を示す斜視図である。図示されたモジュール
部品1は、中間層70と、上側層71と、下側層72
と、実装部品74とを含む。
【0027】図2は図1に示したモジュール部品に含ま
れる中間層の正面図、図3は図2に示した中間層の正面
断面図、図4は図2に示した中間層の分解斜視図であ
る。図2乃至図4において、中間層70は、モジュール
部品のコアを構成する基板であり、第1の層20と、第
2の層30と、芯層10と、導電パターン41、42、
50と、スルーホール60とを含む。
【0028】芯層10は、第1の層20及び第2の層3
0よりも強度が高い材質からなり、平面状に広がる網状
構造を有する。例えば、芯層10は、セラミックス成分
と、第1の熱硬化性樹脂とが混合されてなる。
【0029】セラミックス成分は、ガラス系セラミック
ス、アルミナ系セラミックス、又は石英から選択された
少なくとも一種を含むことが好ましい。第1の熱硬化性
樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、BT樹脂、ポ
リイミド樹脂、又はベニルベンジル樹脂から選択された
少なくとも一種を含むことが好ましい。
【0030】第1の層20及び、第2の層30は、互い
に接着性が高い材料を選択することが好ましい。例え
ば、第1の層20及び第2の層30に同じ組成の材料を
用いることにより、互いに接着性が高い材料を構成する
ことができる。また、第1の層20及び第2の層30
は、互いに異なる組成の材料を用いてもよい。
【0031】第1の層20及び、第2の層30として
は、例えば、樹脂、又は、樹脂にセラミックス、誘電材
料、磁性材料等を混合したハイブリッド材料を用いるこ
とができる。
【0032】具体的には、第1の層20及び、第2の層
30として、樹脂を用いる場合、エポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂、BTレジン、PPE、PPO、ポリイミド樹
脂、又はベニルベンジル樹脂から選択された少なくとも
一種を含むことが好ましい。
【0033】また、セラミックス成分と樹脂とを混合し
たハイブリッド材料を用いる場合、セラミックス成分
は、ガラス系セラミックス、アルミナ系セラミックス、
フォルステライト系セラミックス、チタバリ系セラミッ
クス、BaTiO3-BaZrO3系セラミックス、BaO-TiO2-Nd2O3
系セラミックス、BaO-4TiO2系セラミックスから選択さ
れた少なくとも一種を含み、樹脂は、エポキシ樹脂、フ
ェノール樹脂、BTレジン、PPE、PPO、ポリイミ
ド樹脂、又はベニルベンジル樹脂から選択された少なく
とも一種を含むことが好ましい。
【0034】本実施例において、第1の層20及び、第
2の層30は、第2の熱硬化性樹脂を用いた。この第2
の熱硬化性樹脂は、第1の熱硬化性樹脂よりも熱硬化温
度が高い樹脂材料であり、例えば、エポキシ樹脂、フェ
ノール樹脂、BT樹脂、ポリイミド樹脂、又はベニルベ
ンジル樹脂から選択された少なくとも一種を含む樹脂で
ある。
【0035】そして、芯層10は、外周11が第1の層
20及び第2の層30の外周よりも内側に配置され、第
1の層20と第2の層30との間に封止される。
【0036】導電パターン41、42は、第2の層30
における芯層10が設けられていない側の主面に設けら
れる。導電パターン50は、第1の層20における芯層
10が設けられていない側の主面に設けられる。導電パ
ターン41、42、50は、任意の形状とすることがで
きる。この導電パターン41、42、50は、コンデン
サやコイル等の受動素子や、配線パターンを構成する。
【0037】スルーホール60は、芯層10が配置され
た部分をさけて、第1の層20及び第2の層30に設け
られる。このスルーホール60には、めっき膜(図示せ
ず)が施されている。
【0038】図1を参照すると、上側層71及び下側層
72は、複数の回路形成層75と、導電パターン73と
を含み、コンデンサやコイル等の回路要素を構成してい
る。回路形成層75は、有機成分を主成分とし、互いに
積層されている。導電パターン73は、回路形成層75
の間に設けられている。上側層71は、中間層70の上
面に積層され、下側層72は、中間層70の下面に積層
されている。
【0039】実装部品74は、例えば、抵抗、コンデン
サ、コイル等の受動素子、トランジスタ等の能動素子、
又はICなどである。この実装部品74は、上側層71
の最上面に配置されている。また、実装部品74は、下
側層72上に配置されていてもよい。
【0040】本実施例に係るモジュール部品において、
芯層10は第1の層20及び第2の層30よりも強度が
高い材質からなり、平面状に広がっている。このため、
芯層10の主面に直交する方向の強度が高くなる。
【0041】また、本実施例に係るモジュール部品にお
いて、芯層10は第1の層20と第2の層30との間に
封止され、第1の層20、第2の層30、及び芯層10
が一体化される。このため、本実施例に係るモジュール
部品は、芯層10の主面に直交する方向の強度が高くな
る。したがって、モジュール部品の中間層に必要な強度
を確保することができる。
【0042】本実施例に係るモジュール部品は、芯層1
0の外周11が第1の層20及び第2の層30の外周よ
りも内側に配置されている。このため、第1の層20及
び第2の層30として、互いに接着性が高い樹脂材料を
選択し、芯層10を介して第1の層20及び第2の層3
0を重ね合わせることにより、芯層10を確実に封止す
ることが可能になる。
【0043】また、芯層10は網状構造を有するので、
網状構造の隙間から、第1の層20と第2の層30とが
結合する。このため、第1の層20及び第2の層30と
して、互いに接着性が高い樹脂材料を選択することによ
り、第1の層20、第2の層30、及び芯層10の結合
強度を高めることが可能となる。また、芯層10は網状
構造を有するので、芯層10を避けてスルーホールを形
成することが可能になる。
【0044】また、本実施例に係るモジュール部品にお
いて、芯層10は第1の層20と第2の層30との間に
封止され、外部に露出していない。このため、第1の層
20及び第2の層30と、芯層10との接着性が低い場
合であっても、芯層10の境界面から湿気が吸収される
ことがなく、モジュール部品の回路要素の電気特性の劣
化を防止し得る。
【0045】また、本実施例に係るモジュール部品にお
いて、上側層71は中間層70の上面に積層され、下側
層72は中間層70の下面に積層され、中間層70を介
して上側層71及び下側層72が一体化される。このた
め、中間層70により強度を確保することができるの
で、上側層71及び下側層72が強度を有しない場合で
あっても、モジュール部品全体として基板強度を確保で
きる。
【0046】また、上側層71及び下側層72として
は、任意の材料を用いることが可能であり、上側層71
及び下側層72には、任意の回路要素を構成することが
可能である。
【0047】また、本実施例に係るモジュール部品にお
いて、搭載部品74は上側層71又は下側層72に搭載
されている。このため、中間層70、上側層71又は下
側層72に形成された回路要素と、搭載部品74とが一
体化され、モジュール部品1としての機能を発揮するこ
とが可能となる。
【0048】次に、図1に示したモジュール部品の製造
に適した本発明に係るコア基板要素集合体を説明する。
図5は、本発明に係るコア基板要素集合体の一実施例を
示す分解斜視図である。
【0049】図5において、本実施例に係るコア基板要
素集合体400は、第1のシート410と、第2のシー
ト420と、芯層10の群とを含む。
【0050】第1のシート410は、第2の熱硬化性樹
脂200と導電パターン50とスルーホール60(図示
せず)とを含む。第2のシート420は、第2の熱硬化
性樹脂200と導電パターン41、42とスルーホール
60とを含む。芯層10の群は、互いに所定の間隔をお
いて配置された複数の芯層10からなる。
【0051】本実施例において、第1のシート410及
び第2のシート420は、第2の熱硬化性樹脂を用いて
いるが、上述した第1の層20及び第2の層30と同一
の材料、例えば、樹脂にセラミックス、誘電材料、磁性
材料等を混合したハイブリッド材料を用いてもよい。
【0052】導電パターン50は、第1のシート410
の第2の熱硬化性樹脂200の主面に設けられている。
導電パターン41、42は、第2のシート420の第2
の熱硬化性樹脂200の主面に設けられている。
【0053】芯層10の群は、第1のシート410の熱
硬化性樹脂200と、第2のシート420の熱硬化性樹
脂200との間に配置されている。
【0054】本実施例に係るコア基板要素集合体400
は、図1に示した中間層70が連続的に配列された構成
を有する。このため、芯層10同士の間隔内、例えば図
5に示した一点鎖線で切断することにより、容易にモジ
ュール部品1の中間層70を製造することができる。
【0055】次に、本発明に係るコア基板要素集合体の
製造方法を説明する。図6乃至図13は、本発明に係る
コア基板要素集合体の製造方法の一実施例を示す工程図
であり、シート積層法を用いた製造方法である。
【0056】本実施例に係るコア基板要素集合体400
の製造方法においては、まず、金属箔100と、スラリ
ー状の芯層材料331と、スラリー状の第2の熱硬化性
樹脂200とを用意する。
【0057】金属箔100は、例えば、金、銀、銅、ア
ルミニウムなど導電率の良好な金属のなかから好適なも
のを用いればよい。これらのなかでも特に銅が好まし
い。金属箔100を作製する方法としては、電解、圧延
法等種々の公知の方法を用いることができるが、箔ピー
ル強度をとりたい場合には電解箔を、高周波特性を重視
したい場合には、表面凹凸による表皮効果の影響の少な
い圧延箔を使用するとよい。芯層材料331は、セラミ
ックス成分と、第1の熱硬化性樹脂とが混合されてな
る。
【0058】次に、図6に示すように、スラリー状の第
2の熱硬化性樹脂200を金属箔100上に塗布し、ド
クターブレード300を用いて第2の熱硬化性樹脂20
0の厚みを均一にし、乾燥機310で乾燥させる。
【0059】次に、図7、図8に示すように、乾燥した
第2の熱硬化性樹脂200と金属箔100とをダイサ3
20で切断し、第1のシート410及び第2のシート4
20を形成する。本実施例において、第1のシート41
0及び第2のシート420は、同一の形状、構造を有す
るシートであるが、それぞれ異なる形状、構造を有する
シートを用いてもよい。
【0060】次に、図7、図9に示すように、スクリー
ン印刷版330に供給されたスラリー状の芯層材料33
1をスキージ332で押出し、所定の間隔をおいて芯層
材料331を印刷し、芯層10の群を形成する。この
後、芯層10の群及び第1のシート410を加熱、乾燥
させて、芯層10を硬化させる。
【0061】図10は、図9を更に具体的に示す平面図
である。図10に示したように、芯層10は、例えばn
行m列(n、mは任意の自然数)に配列され、群を構成
している。
【0062】次に、図11に示すように、第1のシート
410の芯層10が設けられた側の主面に、第2のシー
ト420の第2の熱硬化性樹脂200が設けられた側の
主面を重ね合わせ、加圧、加熱する。これにより、第2
の熱硬化性樹脂200同士が芯層10を介して接着する
とともに、硬化する。この加熱温度は、例えば、200
℃程度である。
【0063】次に、図12に示すように、芯層10をさ
けて、第1のシート410、第2のシート420にスル
ーホール60を形成する。形成したスルーホール60に
は、めっき膜(図示せず)を施す。
【0064】最後に、図13に示すように、金属箔10
0に所定パターンのレジストを塗布し、エッチングし
て、導電パターン41、42、50を形成する。
【0065】また、本発明に係るコア基板要素集合体4
00は、連続コーティング法を用いても製造することが
できるが、詳細な説明は省略する。
【0066】次に、図1に示したモジュール部品の製造
に適した本発明に係る多層基板を説明する。図14は、
本発明に係る多層基板の一実施例を示す分解斜視図であ
る。
【0067】図14において、本実施例に係る多層基板
2は、コア基板要素集合体400と、上側シート710
と、下側シート720とを含む。
【0068】上側シート710及び下側シート720
は、複数の回路形成シート750と導電パターン73と
を含む。回路形成シート750は、回路形成層75と同
一の材料からなり、互いに積層されている。導電パター
ン73は、回路形成シート750の間に設けられてい
る。上側シート710は、コア基板要素集合体400の
上面に積層され、下側シート720は、コア基板要素集
合体400の下面に積層されている。
【0069】本実施例に係る多層基板2は、図1に示し
たモジュール部品1が連続的に配列された構成を有す
る。このため、芯層10同士の間隔内、例えば図14に
示した一点鎖線で切断することにより、容易にモジュー
ル部品1を製造することができる。
【0070】次に、本発明に係る多層基板の製造方法を
説明する。図15乃至図18は、本発明に係る多層基板
の製造方法の一実施例を示す工程図である。本実施例に
係る多層基板2の製造方法においては、まず、図15に
示すように、コア基板要素集合体400の上面及び下面
に回路形成シート750を積層する。
【0071】次に、図16に示すように、回路形成シー
ト750上に導電パターン73を形成する。次に、図1
7に示すように、回路形成シート750上で、他の回路
形成シート750を積層して、上側シート710及び下
側シート720を形成する工程を必要回数繰返すことに
より、図18に示す多層基板2を製造できる。
【0072】最後に、本発明に係るモジュール部品の製
造方法を説明する。図19乃至図22は、本発明に係る
モジュール部品の製造方法の一実施例を示す工程図であ
る。
【0073】本実施例に係るモジュール部品1の製造方
法においては、まず、多層基板2と、実装部品74とを
用意する。
【0074】次に、図19に示すように、搭載部品72
を多層基板2に搭載する。そして、多層基板2を芯層1
0同士の間隔内、例えば図19に示した一点鎖線で切断
して、複数のモジュール部品1を製造する。更に具体的
には、図20乃至22に示すように、搭載部品72を搭
載した多層基板2を横方向であるx11、x12で切断
し、その後、縦方向であるy21、y22で切断するこ
とにより、モジュール部品1を製造することができる。
【0075】本実施例に係るモジュール部品1の製造方
法は、多層基板2を用いるので、同一構造を有するモジ
ュール部品1を容易に量産することが可能となる。
【0076】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 (a)基板強度が高いモジュール部品を提供することが
できる。 (b)湿気を吸収することにより生じる電気特性の劣化
を防止し得るモジュール部品を提供することができる。 (c)上述したモジュール部品の製造に適したコア基板
要素集合体を提供することができる。 (d)上述したモジュール部品の製造に適した多層基板
を提供することができる。 (e)上述したコア基板要素集合体の製造に適した製造
方法を提供することができる。 (f)上述した多層基板の製造に適した製造方法を提供
することができる。 (g)上述したモジュール部品の製造に適した製造方法
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るモジュール部品の構成を示す斜視
図である。
【図2】図1に示したモジュール部品に含まれる中間層
の正面図である。
【図3】図2に示した中間層の正面断面図である。
【図4】図2に示した中間層の分解斜視図である。
【図5】本発明に係るコア基板要素集合体の構成を示す
分解斜視図である。
【図6】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法の
一実施例を示す工程図である。
【図7】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法の
一実施例を示す別の工程図である。
【図8】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法の
一実施例を示す更に別の工程図である。
【図9】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法の
一実施例を示す更に別の工程図である。
【図10】図9を更に具体的に示す平面図である。
【図11】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法
の一実施例を示す更に別の工程図である。
【図12】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法
の一実施例を示す更に別の工程図である。
【図13】本発明に係るコア基板要素集合体の製造方法
の一実施例を示す更に別の工程図である。
【図14】本発明に係る多層基板の構成を示す分解斜視
図である。
【図15】本発明に係る多層基板の製造方法の一実施例
を示す工程図である。
【図16】本発明に係る多層基板の製造方法の一実施例
を示す別の工程図である。
【図17】本発明に係る多層基板の製造方法の一実施例
を示す更に別の工程図である。
【図18】本発明に係る多層基板の製造方法の一実施例
を示す更に別の工程図である。
【図19】本発明に係るモジュール部品の製造方法の一
実施例を示す工程図である。
【図20】本発明に係るモジュール部品の製造方法の一
実施例を示す別の工程図である。
【図21】本発明に係るモジュール部品の製造方法の一
実施例を示す更に別の工程図である。
【図22】本発明に係るモジュール部品の製造方法の一
実施例を示す更に別の工程図である。
【符号の説明】
1 モジュール部品 20 第1の層 30 第2の層 10 芯層 41、42、50 導電パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/46 H01L 23/12 N Fターム(参考) 4F100 AA19A AA21A AD00A AG00A AK33A AK49A AK53A AK54A AR00A AT00B AT00C AT00D AT00E BA05 BA06 BA07 DC11A GB41 JB13A JD04 JK01A 5E346 AA02 AA06 AA12 AA15 AA60 BB01 CC08 CC09 CC10 CC13 CC17 CC18 CC31 DD01 DD32 EE31 FF45 GG26 GG28 HH08

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中間層と、上側層と、下側層と、搭載部
    品とを含むモジュール部品であって、 前記中間層は、第1の層と、第2の層と、芯層とを含
    み、 前記芯層は、前記第1の層及び前記第2の層よりも強度
    が高い材質からなり、平面状に広がる網状構造を有し、
    外周が前記第1の層及び前記第2の層の外周よりも内側
    に配置され、前記第1の層と前記第2の層との間に封止
    され、 前記上側層は、前記中間層の上面に積層され、 前記下側層は、前記中間層の下面に積層され、 前記搭載部品は、前記上側層又は前記下側層に搭載され
    るモジュール部品。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載されたモジュール部品で
    あって、 前記芯層は、セラミックス成分と、第1の熱硬化性樹脂
    とが混合されてなるモジュール部品。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載されたモジュール部品で
    あって、 前記セラミックス成分は、ガラス系セラミックス、アル
    ミナ系セラミックス、又は石英から選択された少なくと
    も一種を含み、 前記第1の熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール
    樹脂、BT樹脂、ポリイミド樹脂、又はベニルベンジル
    樹脂から選択された少なくとも一種を含むモジュール部
    品。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3の何れかに記載されたモ
    ジュール部品であって、 前記第1の層、又は、前記第2の層は、樹脂からなるモ
    ジュール部品。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載されたモジュール部品で
    あって、 前記樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、BTレジ
    ン、PPE、PPO、ポリイミド樹脂、又はベニルベン
    ジル樹脂から選択された少なくとも一種を含むモジュー
    ル部品。
  6. 【請求項6】 請求項4又は5に記載されたモジュール
    部品であって、 前記第1の層、及び前記第2の層は、第2の熱硬化性樹
    脂からなり、 前記第2の熱硬化性樹脂の熱硬化温度は、前記第1の熱
    硬化性樹脂の熱硬化温度よりも高いモジュール部品。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至3の何れかに記載されたモ
    ジュール部品であって、 前記第1の層、又は、前記第2の層は、セラミックス成
    分と、樹脂とが混合されてなるモジュール部品。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載されたモジュール部品で
    あって、 前記セラミックス成分は、ガラス系セラミックス、アル
    ミナ系セラミックス、フォルステライト系セラミック
    ス、チタバリ系セラミックス、BaTiO3-BaZrO3系セラミ
    ックス、BaO-TiO2-Nd2O3系セラミックス、BaO-4TiO2
    セラミックスから選択された少なくとも一種を含み、 前記樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、BTレジ
    ン、PPE、PPO、ポリイミド樹脂、又はベニルベン
    ジル樹脂から選択された少なくとも一種を含むモジュー
    ル部品。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至8の何れかに記載されたモ
    ジュール部品であって、前記中間層は導電パターンを含
    み、 前記導電パターンは、前記第1の層又は前記第2の層に
    おける前記芯層が設けられていない側の面に設けられて
    いるモジュール部品。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至9の何れかに記載された
    モジュール部品であって、 前記上側層又は前記下側層は、回路形成層と、導電パタ
    ーンとを含み、 前記回路形成層は、互いに積層され、 前記導電パターンは、前記回路形成層の間に設けられて
    いるモジュール部品。
  11. 【請求項11】 モジュール部品の中間層を製造するた
    めに用いられるコア基板要素集合体であって、第1のシ
    ートと、第2のシートと、芯層の群とを含み、 前記芯層は、前記第1のシート及び前記第2のシートに
    よりも強度が高い材質からなり、平面状に広がる網状構
    造を有し、 前記芯層の群は、互いに所定の間隔をおいて配置された
    複数の前記芯層からなり、前記第1のシートと前記第2
    のシートとの間に配置されているコア基板要素集合体。
  12. 【請求項12】 コア基板要素集合体の製造方法であっ
    て、 第1のシートと、第2のシートと、芯層材料とを用意
    し、 前記第1のシート上に、所定の間隔をおいて前記芯層材
    料を印刷して、芯層の群を形成し、 前記芯層の群が形成された前記第1のシート上に、前記
    第2のシートを積層する工程を含むコア基板要素集合体
    の製造方法。
  13. 【請求項13】 請求項12に記載されたコア基板要素
    集合体の製造方法であって、 前記第1のシート及び前記第2のシートは、前記芯層の
    群が形成されていない側の面に金属箔が設けられている
    コア基板要素集合体の製造方法。
  14. 【請求項14】 コア基板要素集合体と、上側シート
    と、下側シートとを含む多層基板であって、 前記コア基板要素集合体は、請求項11に記載されたも
    のでなり、 前記上側シート及び前記下側シートは、回路形成シート
    と、導電パターンとを含み、 前記回路形成シートは、互いに積層され、 前記導電パターンは、前記回路形成シートの間に設けら
    れている多層基板。
  15. 【請求項15】 多層基板の製造方法であって、 コア基板要素集合体と、複数の回路形成シートとを用意
    し、 前記コア基板要素集合体は、請求項11に記載されたも
    のでなり、 前記コア基板要素集合体の上面及び下面に前記回路形成
    シートを積層し、 前記回路形成シート上に導電パターンを形成し、 次に、前記回路形成シート上で、他の回路形成シートを
    積層して、上側シート及び下側シートを形成する工程を
    必要回数繰返す工程を含む多層基板の製造方法。
  16. 【請求項16】 モジュール部品の製造方法であって、 多層基板と、搭載部品とを用意し、 前記多層基板は、請求項14に記載されたものでなり、 前記多層基板に前記搭載部品を搭載し、 前記多層基板を、前記芯層の前記間隔内で切断する工程
    を含むモジュール部品の製造方法。
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