JP2004095804A - 受動素子内蔵プリント配線板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基材上11に配線パターンが形成された回路基板20上に、一方の面に導体層21が他方の面にキャパシタ用下部電極41が形成されたCステージ状誘電体積層シート10aをガラスクロスに樹脂を含浸させたプリプレグ30を介して積層して、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、ガラスクロス入り絶縁層31、キャパシタ用下部電極41a、誘電体層52及び導体層41が形成されたの積層回路板60を作製した後、キャパシタ用上部電極45、コンフォーマブルビア44及び配線パターン46を形成して、受動素子内蔵プリント配線板を得る。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は受動素子内蔵のプリント配線板に関し、さらに詳しくはCステージ状誘電体をキャパシタ素子の誘電体として用いた受動素子内蔵のプリント配線板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器の小型化、高密度化、高性能化が進んでいる中で、そこに用いられるプリント配線板も小型化、高密度化、高速化の要求が高まっており、それらの要求を満たしたプリント配線板が求められている。
プリント配線板は、回路基板とプリプレグシートを積層して、配線パターン、ビアホールを形成してプリント配線板を形成していく方式から、回路基板上に絶縁層、配線回路パターンを交互に積み上げていくビルドアップ方式のプリント配線板へと移行しつつある。
【0003】
近年、電子機器の高性能化に伴い、信号伝達速度の高速化が進められているが、これによって電気的雑音が増大することが問題になっている。この課題を解決するために、回路板上にデカップリング用のキャパシタを設ける等の措置がとられている。
また、電子機器の高密度化、高性能化を図るために、回路部品であるキャパシタ、インダクタ、抵抗等の受動素子を内蔵したプリント配線板の開発が行われている。
【0004】
従来のキャパシタ素子を内蔵したプリント配線板の一例を図4に示す。
キャパシタ素子内蔵のプリント配線板の作製法は、絶縁基材11の両面に第1配線パターン21a、第1配線パターン21b、絶縁層32、第2配線パターン47a、第2配線パターン47b及びキャパシタ用下部電極47cが形成された積層回路板70のキャパシタ用下部電極47c及び絶縁層32上に誘電材を混入した樹脂溶液をスクリーン印刷等で塗膜を形成する方法、またはBステージ状誘電体シートをラミネートする方法等で誘電体層53を形成し、表面を研磨し、キャパシタ用上部電極61を形成してキャパシタ素子を形成し、キャパシタ素子内蔵のプリント配線板を作製するというものであった。
ここで、上記Bステージ状とは、加熱、加圧することにより、他の層との接着、硬化が行える半硬化状態を言う。
【0005】
キャパシタ素子の容量は、面積に比例し、電極間距離に反比例するので、小面積で高容量のキャパシタ素子を得るためには、薄くて、均一な膜を有する高誘電率の誘電体層を如何に形成するかにある。
上記誘電材を混入した樹脂溶液をスクリーン印刷等で塗膜を形成する方法では、表面が平坦な塗膜面を形成するのが難しく、表面研磨等で平坦化する必要がある。また、Bステージ状誘電体シートをラミネートする方法では基材上の導体密度や電極の大きさ、あるいは積層時の圧力によって誘電体層厚が変わってくるので、均一な、膜厚精度に優れた誘電体層を得るのが難しいという問題を有する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、容量精度が高く、且つバラツキの少ないキャパシタ素子が形成された受動素子内蔵のプリント配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項1においては、少なくともキャパシタ素子が内蔵されたプリント配線板であって、前記キャパシタ素子の誘電体がCステージ状誘電体層で形成され、且つCステージ状誘電体層と回路基板とがガラスクロス入りの接着層で接合されていることを特徴とする受動素子内蔵プリント配線板としたものである。
【0008】
また、請求項2においては、請求項1記載の受動素子内蔵プリント配線板の製造法であって、少なくとも以下の工程を備えることを特徴とする受動素子内蔵プリント配線板の製造方法としたものである。
(a)Cステージ状誘電体層の一方の面に導体層を、他方の面にキャパシタ素子用下部電極を形成したCステージ状誘電体積層シートを作製する工程。
(b)少なくとも配線パターンが形成された回路基板を作製する工程。
(c)前記Cステージ状誘電体積層シートと前記回路基板とをガラスクロスに樹脂を含浸したプリプレグを介して積層し、積層回路板を形成する工程。
(d)前記積層回路板の一方の面の導体層をパターニング処理して、キャパシタ素子用上部電極及び配線パターンを形成して、キャパシタ素子を作製し、受動素子内蔵プリント配線板を作製する工程。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
請求項1に係る本発明の受動素子内蔵プリント配線板は、配線パターンが形成された回路基板上にCステージ状誘電体層で形成された誘電体層をキャパシタ素子50の誘電体として用い、且つCステージ状誘電体層と回路基板とがガラスクロス入りの接着層で接合されているもので、誘電体層の膜厚精度が高く、容量精度の高いキャパシタ素子が得られるようにしたものである(図1参照)。
ここで、Cステージ状とは、それ自体では他の層と接着しない状態をいう。
【0010】
図1に本発明の受動素子内蔵プリント配線板の一実施例を示す模式構成部分断面図を示す。
本発明の受動素子内蔵プリント配線板100は、予め絶縁基材上11に配線パターンが形成された回路基板20上に、一方の面に導体層21が他方の面にキャパシタ用下部電極41が形成されたCステージ状誘電体積層シート10aをガラスクロスに絶縁樹脂を含浸したプリプレグ30を介して積層して、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、ガラスクロス入り絶縁層31、キャパシタ用下部電極41a、誘電体層52及び導体層41が形成された4層(2+2)の積層回路板60を形成した後、キャパシタ用上部電極45、コンフォーマブルビア44及び配線パターン46を形成して、キャパシタ素子50及び回路基板20の配線パターン21aとビア接続された配線パターン46を形成したものである。
ここでは、回路基板20として2層の両面配線板を用いた事例について説明したが、回路基板20の配線層数には特に限定されるものではなく、必要に応じて任意の層数の回路基板を使用できる。
また、内蔵する受動素子についても、キャパシタ素子だけでなく、インダクタ素子、抵抗素子を必要に応じて設けることができる。
【0011】
以下、受動素子内蔵プリント配線板の製造方法について説明する。
図2(a)〜(d)、図3(e)〜(g)は、請求項2に係る受動素子内蔵プリント配線板の製造方法の一実施例を工程順に示す模式構成部分断面図である。
まず、樹脂と、誘電体フィラーと、硬化触媒と、溶媒とを混合して誘電体樹脂溶液を作製し、誘電体樹脂溶液を銅箔上にロールコーター等により塗布し、加熱、乾燥して、銅箔上に半硬化誘電体層を形成する。さらに、この半硬化誘電体層上に別の銅箔41を重ね合わせ、所定の真空度、圧力、温度で真空加熱プレスしてCステージ状誘電体層を形成し、Cステージ状誘電体層51の両面に銅箔からなる導体層41が形成された誘電体積層シート10を作製する(図2(a)参照)。
ここで、半硬化誘電体層を真空加熱プレスする際加熱温度、圧力、プレス時間等は使用する樹脂によって各最適条件が設定される。
【0012】
誘電体樹脂溶液を構成している樹脂としては、ポリイミド、ポリアミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、PEEK、PTFE等を上げることができる。
誘電体フィラーとしては、公知のものを用いることができ、比誘電率が50以上のものが好ましい。このようなものとして、例えば、二酸化チタンセラミックス、チタン酸バリウム系セラミックス、チタン酸カルシウム系セラミックス、チタン酸ストロンチウム系セラミックス、ジルコン酸塩系セラミックスを上げることができ、これらを単独もしくは混合して用いることができる。
【0013】
Cステージ状誘電体層51の膜厚は、5〜50μmが好適であるが、これに限定されるものではない。
導体層41を形成している銅箔は、5〜25μm厚の電解銅箔が使用できる。
【0014】
次に、誘電体積層シート10下部の導体層41をパターニング処理して、キャパシタ用下部電極41aを形成した誘電体積層シート10aを作製する(図2(b)参照)。
【0015】
次に、絶縁基材11の両面に銅箔からなる導体層21が形成された両面銅貼り積層板の導体層をパターニング処理して、第1配線パターン21a及び第1配線パターン21bが形成された回路基板20を作製する(図2(c)参照)。
ここで、回路基板20は、両面に配線パターンが形成された両面配線板の事例について説明したが、配線層数には特に限定されるものではなく、各種の積層回路板が適用できる。
【0016】
次に、回路基板20上にガラスクロスに絶縁樹脂を含浸させたプリプレグ30及びキャパシタ用下部電極41aが形成された誘電体積層板10aを重ね合わせ、所定の真空度、圧力、温度で真空加熱プレスして、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、ガラスクロス入り絶縁層31、キャパシタ用下部電極41a、誘電体層52及び導体層41が形成された4層(2+2)の積層回路板60を作製する(図2(d)参照)。
積層時のプレス圧は1〜10kg/cm2が好ましい。1kg/cm2以下だとプリプレグ30の流動性が充分でないので回路基板20との充分な密着性が得られず、10kg/cm2以上ではプリプレグ30の流動性が高くなり、樹脂流れを起こす。
また、積層時の温度、時間は、150〜250℃で、1〜5時間の範囲で適宜設定する。
【0017】
ガラスクロスに絶縁樹脂を含浸させたプリプレグ30は、樹脂単独、あるいは樹脂と無機フィラーを混合させた樹脂溶液をガラスクロスに含浸させ、加熱、乾燥してBステージ状の樹脂層を形成したものである。樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリフェニレンエーテル等公知のものが使用できるが、成形性、経済性の点からエポキシ樹脂が好適である。また、含浸用の絶縁樹脂として樹脂単独でもよいが、積層プレス時の流動性制御及びレーザー孔開け加工性を考慮すると、シリカ等の無機成分を入れると好都合である。
【0018】
次に、積層回路板60の導体層41、誘電体層52及び絶縁層31の所定位置にレーザー加工にてビア用孔42を形成する(図3(e)参照)。
レーザー加工のレーザーとしては、エキシマレーザー、UV−YAGレーザー、CO2レーザー等を用いることができるが、作業性、加工速度の点からCO2レーザーが好適である。
【0019】
次に、導体層41上及びビア用孔42内に無電解銅めっき等にて薄膜導体層(特に図示せず)を形成し、薄膜導体層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の導体層43及びコンフォーマブルビア44を形成する(図3(f)参照)。
次に、導体層41及び導体層43をパターニング処理して、キャパシタ用上部電極45及び第2配線パターン46を形成して、キャパシタ素子50及び第1配線パターン21aとビア接続された及び第2配線パターン46を作製し、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、キャパシタ素子及び第2配線パターン46が形成された4層(2+2)の受動素子内蔵プリント配線板100を得る(図3(g)参照)。
【0020】
本発明の受動素子内蔵のプリント配線板は、キャパシタ素子の誘電体層としてCステージ状誘電体層を用いているため、誘電体層の膜厚精度に優れ、容量精度の高いキャパシタ素子を得ることができる。
【0021】
【実施例】
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
まず、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート828(商品名):油化シェルエポキシ社製)54.2重量部と、ビスフェノールF型エポキシ(830LVP(商品名):大日本インキ化学工業社製)45.6重量部と、硬化触媒として2−エチル−4−メチルイミダゾール0.2重量部と、高誘電フィラーとしてチタン酸バリウム(BT−05(商品名):堺化学工業社製)400.0重量部とを、練り込みロールで混練し、高誘電体樹脂溶液を得た。
【0022】
上記高誘電体樹脂溶液をロールコーターにて18μm厚の電解銅箔上に塗布し、加熱乾燥して半硬化誘電体層を形成した。さらに、半硬化誘電体層面に18μm厚の電解銅箔を重ね合わせ、1330kPaの減圧下で、温度:200℃、圧力:10kgf/cm2の条件で2時間積層プレスして、Cステージ状誘電体層を形成し、Cステージ状誘電体層51の両面に銅箔からなる導体層41が形成された誘電体積層シート10を作製した(図2(a)参照)。
【0023】
次に、誘電体積層シート10下部の導体層41をパターニング処理して、キャパシタ用下部電極41aが形成された誘電体積層シート10aを作製した(図2(b)参照)。
【0024】
次に、ガラス不織布にエポキシ樹脂を含浸させた絶縁基材11の両面に18μmの銅箔を貼り合わせた銅張り積層板FR−4(R−1766(商品名):松下電工社製)を用い、銅箔をパターニング処理して絶縁基材11の両面に第1配線層21a及び第1配線層21bを形成した回路基板20を作製した(図2(c)参照)。
【0025】
次に、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エピコート828(商品名):油化シェルエポキシ社製)54.2重量部と、ビスフェノールF型エポキシ(830LVP(商品名):大日本インキ化学工業社製)45.6重量部と、硬化触媒として2−エチル−4−メチルイミダゾール0.2重量部と、無機フィラーとしてシリカ(SO−C1(商品名):アドマファイン社製)25.0重量部とを、練り込みロールで混練し、ガラスクロス含浸用樹脂溶液を得た。
【0026】
次に、ガラスクロスに上記ガラスクロス含浸用樹脂溶液を含浸させ、90℃、30分間加熱乾燥して半硬化樹脂層を形成し、ガラスクロス入りの70μm厚のプリプレグ30を作製した(図2(c)参照)。
【0027】
次に、上記回路基板20上にガラスクロス入りプリプレグ30及びキャパシタ用下部電極41aが形成された誘電体積層シート10aを重ね合わせ、1330kPaの減圧下で、温度:180℃、圧力:20kgf/cm2の条件で2時間積層プレスして、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、ガラスクロス入り絶縁層31、キャパシタ用下部電極41a、誘電体層52及び導体層41が形成された4層(2+2)の積層回路板60を作製した(図2(d)参照)。
【0028】
次に、積層回路板60の導体層41、誘電体層52及びガラスクロス入り絶縁層31の所定位置をレーザー加工してビア用孔42を形成し(図3(e)参照)、さらに、導体層41上及びビア用孔42内に無電解銅めっき等にて薄膜導体層(特に図示せず)を形成し、薄膜導体層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の導体層43及びコンフォーマブルビア44を形成した(図3(e)参照)。
【0029】
次に、導体層41及び導体層43をパターニング処理して、キャパシタ用上部電極45及び第2配線パターン46を形成して、キャパシタ素子50及び第1配線パターン21aとビア接続された及び第2配線パターン46を作製し、絶縁基材11の一方の面に第1配線層21bが、他方の面に、第1配線パターン21a、キャパシタ素子50及び第2配線パターン46が形成された4層(2+2)の受動素子内蔵のプリント配線板100を得た(図3(g)参照)。
【0030】
【発明の効果】
本発明の受動素子内蔵プリント配線板は、キャパシタ素子の誘電体層としてCステージ状誘電体層を用いているため、誘電体層の膜厚精度に優れた、容量精度の高いキャパシタ素子を得ることができる。
さらに、Cステージ状誘電体層と回路基板とがガラスクロス入りの絶縁層で接合されているため、得られた受動素子内蔵プリント配線板は構造的に強化され、外力に対して耐性を有し、安定した使用状態が期待される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の受動素子内蔵プリント配線板の一実施例を示す模式部分構成断面図である。
【図2】(a)〜(d)は、請求項2に係る本発明の受動素子内蔵プリント配線板の製造方法における工程の一部を示す模式部分構成断面図である。
【図3】(e)〜(g)は、請求項2に係る本発明の受動素子内蔵プリント配線板の製造方法における工程の一部を示す模式部分構成断面図である。
【図4】従来のキャパシタ素子内蔵の多層回路板の一例を示す模式部分構成断面図である。
【符号の説明】
10……誘電体積層シート
10a……キャパシタ用下部電極が形成された誘電体積層シート
11……絶縁基材
21a、21b……第1配線層
20……回路基板
30……ガラスクロスに絶縁樹脂を含浸させたプリプレグ
31……ガラスクロス入り絶縁層
32……絶縁層
41、43……導体層
41a、47c……キャパシタ用下部電極
42……ビア用孔
44……コンフォーマブルビア
45、61……キャパシタ用上部電極
46、47a、47b……第2配線層
50……キャパシタ素子
51……Cステージ状誘電体層
52、53……誘電体層
60、70……積層回路板
100……受動素子内蔵プリント配線板
Claims (2)
- 少なくともキャパシタ素子が内蔵されたプリント配線板であって、前記キャパシタ素子の誘電体がCステージ状誘電体層で形成され、且つCステージ状誘電体層と回路基板とがガラスクロス入りの接着層にて接合されていることを特徴とする受動素子内蔵プリント配線板。
- 請求項1記載の受動素子内蔵プリント配線板の製造法であって、少なくとも以下の工程を備えることを特徴とする受動素子内蔵プリント配線板の製造方法。
(a)Cステージ状誘電体層の一方の面に導体層を、他方の面にキャパシタ素子用下部電極を形成したCステージ状誘電体積層シートを作製する工程。
(b)少なくとも配線パターンが形成された回路基板を作製する工程。
(c)前記Cステージ状誘電体積層シートと前記回路基板とをガラスクロスに樹脂を含浸したプリプレグを介して積層し、積層回路板を作製する工程。
(d)前記積層回路板一方の面の導体層をパターニング処理して、キャパシタ素子用上部電極及び配線パターンを形成して、キャパシタ素子を作製し、受動素子内蔵プリント配線板を作製する工程。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006135132A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 固体電解コンデンサを内蔵した配線基板の製造方法 |
KR100665366B1 (ko) | 2006-01-16 | 2007-01-09 | 삼성전기주식회사 | 캐패시터 내장형 인쇄회로기판과 그 제조방법 |
KR100669826B1 (ko) | 2006-03-14 | 2007-01-16 | 대덕전자 주식회사 | 적층 공법을 이용한 캐패시터 내장형 인쇄 회로 기판 및제조 방법 |
JP2009027138A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | キャパシタ内蔵型印刷回路基板の製造方法 |
US7554187B2 (en) | 2005-06-10 | 2009-06-30 | Nec System Technology, Ltd. | Connecting structure, printed substrate, circuit, circuit package and method of forming connecting structure |
JP5678657B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2015-03-04 | 味の素株式会社 | 絶縁樹脂シート及び該絶縁樹脂シートを用いた多層プリント配線板の製造方法 |
JP2017130656A (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板 |
-
2002
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006135132A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 固体電解コンデンサを内蔵した配線基板の製造方法 |
JP4599997B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-12-15 | 凸版印刷株式会社 | 固体電解コンデンサを内蔵した配線基板の製造方法 |
US7554187B2 (en) | 2005-06-10 | 2009-06-30 | Nec System Technology, Ltd. | Connecting structure, printed substrate, circuit, circuit package and method of forming connecting structure |
KR100665366B1 (ko) | 2006-01-16 | 2007-01-09 | 삼성전기주식회사 | 캐패시터 내장형 인쇄회로기판과 그 제조방법 |
KR100669826B1 (ko) | 2006-03-14 | 2007-01-16 | 대덕전자 주식회사 | 적층 공법을 이용한 캐패시터 내장형 인쇄 회로 기판 및제조 방법 |
JP2009027138A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | キャパシタ内蔵型印刷回路基板の製造方法 |
US7886414B2 (en) | 2007-07-23 | 2011-02-15 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method of manufacturing capacitor-embedded PCB |
US8302270B2 (en) | 2007-07-23 | 2012-11-06 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method of manufacturing capacitor-embedded PCB |
JP5678657B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2015-03-04 | 味の素株式会社 | 絶縁樹脂シート及び該絶縁樹脂シートを用いた多層プリント配線板の製造方法 |
JP2017130656A (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | プリント回路基板 |
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