JP2003124381A - 半導体パッケージ - Google Patents
半導体パッケージInfo
- Publication number
- JP2003124381A JP2003124381A JP2001320022A JP2001320022A JP2003124381A JP 2003124381 A JP2003124381 A JP 2003124381A JP 2001320022 A JP2001320022 A JP 2001320022A JP 2001320022 A JP2001320022 A JP 2001320022A JP 2003124381 A JP2003124381 A JP 2003124381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- dielectric
- hole
- mounting
- semiconductor package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/2612—Auxiliary members for layer connectors, e.g. spacers
- H01L2224/26152—Auxiliary members for layer connectors, e.g. spacers being formed on an item to be connected not being a semiconductor or solid-state body
- H01L2224/26175—Flow barriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/27—Manufacturing methods
- H01L2224/27011—Involving a permanent auxiliary member, i.e. a member which is left at least partly in the finished device, e.g. coating, dummy feature
- H01L2224/27013—Involving a permanent auxiliary member, i.e. a member which is left at least partly in the finished device, e.g. coating, dummy feature for holding or confining the layer connector, e.g. solder flow barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/83009—Pre-treatment of the layer connector or the bonding area
- H01L2224/83051—Forming additional members, e.g. dam structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1515—Shape
- H01L2924/15153—Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
成した穴と半導体の間にできる垂直方向の間隙へ、接着
剤あるいはロウ材がせり上がり、半導体または誘電体表
面へ流れ出し、付着することを防ぐ。 【解決手段】 半導体1を実装するために形成した穴よ
り更に大きい穴を形成した誘電体9を、半導体1の下に
位置する誘電体10の上方向へ少なくとも1枚積層し、
更にその上へ積層する誘電体7及び8には半導体1を実
装するための穴を形成することで半導体パッケージおよ
び基板構造を構成する。
Description
および基板構造に関するものである。
して構成する半導体パッケージおよび基板構造の断面図
の概略を図2に示す。図2において、はじめに誘電体1
0および誘電体11を積層する。更に半導体1を実装す
るために、誘電体7、誘電体8および誘電体12に穴1
3を形成して積層することで半導体パッケージおよび基
板構造を構成する。半導体1を実装するために形成した
穴13の底面16へ接着剤あるいはロウ材6を塗布した
後、半導体1を接着し、誘電体7上面には例えば導電性
のパターン4および導電性のパターン5を形成し、ボン
ディングワイヤ2およびボンディングワイヤ3で半導体
1と接続する。
た例では、半導体1を実装するために形成した穴13の
底面16へ接着剤あるいはロウ材6を塗布し、半導体1
を接着すると、誘電体7、誘電体8および誘電体12と
半導体1の間にできる垂直方向の間隙に、接着剤あるい
はロウ材6が半導体1の底面16からはみ出し、せり上
がる。接着剤あるいはロウ材6の分量が多すぎ、かつ誘
電体7、誘電体8および誘電体12の厚みが半導体1よ
り薄い場合、誘電体7、誘電体8および誘電体12と半
導体1の間にできる垂直方向の間隙に、接着剤あるいは
ロウ材6が半導体1の底面16からはみ出し、せり上が
り、誘電体7の表面に流れだし、付着する。また、接着
剤あるいはロウ材6の分量が多すぎ、かつ誘電体7、誘
電体8及び誘電体12の厚みが半導体1より厚い場合、
誘電体7、誘電体8及び誘電体12と半導体1の間にで
きる垂直方向の間隙に接着剤あるいはロウ材6が半導体
1の底面16からはみ出し、せり上がり、半導体1の表
面に流れだし、付着する。また、接着剤あるいはロウ材
6の分量が多すぎる場合、誘電体7、誘電体8及び誘電
体12と半導体1の間にできる垂直方向の間隙に、接着
剤あるいはロウ材6が半導体1の底面16からはみ出
し、せり上がり、誘電体7、誘電体8、誘電体12およ
び半導体1の表面に流れだし、付着する。本発明はこれ
らの欠点を除去し、積層した誘電体に半導体を実装する
ために形成した穴と半導体の間にできる垂直方向の間隙
へ、接着剤あるいはロウ材がせり上がり、半導体または
誘電体表面へ流れ出し、付着することを防ぐことを目的
とする。
するため、半導体を実装するために形成した穴より更に
大きい穴を形成した誘電体を、半導体の下に位置する誘
電体の上方向へ1枚または複数枚積層し、更にその上へ
積層する誘電体には半導体を実装するための穴を形成す
ることで半導体パッケージおよび基板構造を構成する。
する。図1は本発明を適用した半導体パッケージおよび
基板構造の断面図である。図1において誘電体10およ
び誘電体11を積層する。更に、半導体1を実装するた
めに穴13を誘電体7および誘電体8に形成して積層
し、その下へ半導体1を実装するために形成した穴13
より更に大きな穴14を形成した誘電体9を積層するこ
とで半導体パッケージおよび基板構造を構成する。上記
本発明の構造を用い、半導体1を実装するために形成し
た穴13の底面16へ、接着剤あるいはロウ材6を塗布
した後、半導体1を接着し、誘電体7上面に導電性のパ
ターン4および導電性のパターン5を形成し、ボンディ
ングワイヤ2およびボンディングワイヤ3で半導体1と
接続する。このとき半導体1を実装するために形成した
穴13より更に大きな穴14を形成した誘電体9の水平
方向にできる間隙部分へ、接着剤あるいはロウ材6が流
れ込み、誘電体7、誘電体8および誘電体12と半導体
1の間にできる垂直方向の間隙への接着剤あるいはロウ
材6のせり上がりが防止できる。図3は、本発明を適用
した半導体パッケージおよび基板構造の正面図である。
図3において、積層した誘電体へ半導体1を実装するた
めに形成した穴13と、その下に半導体1を実装するた
めに形成した穴13より一部の方向へのみ大きい穴14
を形成することにより回路基板またはパッケージを構成
する。この穴14の底に接着剤あるいはロウ材6を塗布
した後、半導体1を接着する。
導電性のパターン5を形成し、ボンディングワイヤ2お
よびボンディングワイヤ3で半導体1と接続する。この
とき、半導体1を実装するために形成した穴13より一
部の方向へのみ大きい穴14と半導体1の間にできる水
平方向の間隙部分へ、接着剤あるいはロウ材6が流れ込
むことで、垂直方向の間隙への接着剤あるいはロウ材6
のせり上がりを、防止できる。図4は、本発明を適用し
た半導体パッケージおよび基板構造の正面図である。図
4において、積層した誘電体へ半導体1を実装するため
に形成した穴13と、その下に半導体1を実装するため
に形成した穴13より大きい穴15を形成することによ
って、回路基板またはパッケージを構成する。この穴1
5の底に接着剤あるいはロウ材6を塗布した後、半導体
1を接着する。誘電体表面には導電性のパターン4およ
び導電性のパターン5を形成し、ボンディングワイヤ2
およびボンディングワイヤ3で半導体1と接続する。こ
のとき半導体1を実装するために形成した穴13より大
きい穴15と、半導体1の間にできる水平方向の間隙部
分へ、接着剤あるいはロウ材6が流れ込むことで、垂直
方向の間隙への接着剤あるいはロウ材6のせり上がりが
防止できる。
層した誘電体へ半導体を実装するために形成した穴より
大きい穴と半導体の間にできる水平方向の間隙部分へ、
接着剤あるいはロウ材6が流れ込むことで、垂直方向の
間隙への接着剤あるいはロウ材6のせり上がり、半導体
または誘電体表面へ流れ出し、付着することを防止でき
る。
す断面図
示す断面図
す平面図
電性のパターン、6:接着剤あるいはロウ材、7,8,
9,10,11,12:誘電体、13,14,15:
穴、16:底面。
Claims (3)
- 【請求項1】 アルミナ、セラミック等の誘電体基板を
積層して構成する半導体パッケージにおいて、少なくと
も半導体等を実装するために形成した穴の側面の一部
に、該半導体等を実装するために形成した穴より大きな
穴を形成することを特徴とする半導体パッケージ。 - 【請求項2】 アルミナ、セラミック等の誘電体基板を
積層して構成する半導体パッケージにおいて、少なくと
も半導体等を実装するために形成した穴の側面の周囲に
半導体等を実装するために形成した穴より大きな穴を形
成することを特徴とするた半導体パッケージ。 - 【請求項3】 請求項1または2において、上記半導体
パッケージを高周波回路装置あるいは無線通信装置に用
いたことを特徴とする半導体パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001320022A JP2003124381A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001320022A JP2003124381A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体パッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003124381A true JP2003124381A (ja) | 2003-04-25 |
Family
ID=19137472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001320022A Pending JP2003124381A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003124381A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006147822A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Murata Mfg Co Ltd | 多層セラミック基板およびその製造方法 |
JP2010199621A (ja) * | 2010-05-31 | 2010-09-09 | Murata Mfg Co Ltd | 多層セラミック基板 |
KR101544488B1 (ko) * | 2013-12-18 | 2015-08-17 | 한국원자력연구원 | 반도체 센서를 표면 실장하는 실장 기판 및 그 실장 방법 |
-
2001
- 2001-10-17 JP JP2001320022A patent/JP2003124381A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006147822A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Murata Mfg Co Ltd | 多層セラミック基板およびその製造方法 |
JP4581643B2 (ja) * | 2004-11-19 | 2010-11-17 | 株式会社村田製作所 | 多層セラミック基板の製造方法 |
JP2010199621A (ja) * | 2010-05-31 | 2010-09-09 | Murata Mfg Co Ltd | 多層セラミック基板 |
KR101544488B1 (ko) * | 2013-12-18 | 2015-08-17 | 한국원자력연구원 | 반도체 센서를 표면 실장하는 실장 기판 및 그 실장 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3408987B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR970067892A (ko) | 고주파 집적회로장치 및 그 제조방법 | |
JP3109847U (ja) | 特性インピーダンスを低減できる樹脂パッケージ半導体装置 | |
CN100380653C (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
JP3438711B2 (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2958692B2 (ja) | ボールグリッドアレイ半導体パッケージ用部材、その製造方法、及びボールグリッドアレイ半導体パッケージの製造方法 | |
US10373930B2 (en) | Package structure and the method to fabricate thereof | |
JPH0452623B2 (ja) | ||
JP2003124381A (ja) | 半導体パッケージ | |
JP2001257437A (ja) | 電子回路基板及びその製造方法 | |
JP2006295186A (ja) | 無テープのダイアタッチ方式による集積回路パッケージプロセス | |
JP2006005019A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
TW200837922A (en) | Multi-chip stack package efficiently using a chip attached area on a substrate and its applications | |
KR20070099429A (ko) | 전자 장치 부착용 기구 및 전자 장치 부착 방법 | |
JP3272889B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH01258446A (ja) | 混成集積回路の多層厚膜基板 | |
JPH04119654A (ja) | ハイブリッド型半導体装置 | |
JP3325410B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR101791102B1 (ko) | 초음파를 이용한 반도체 칩의 부착방법 | |
JP2000174039A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20050248029A1 (en) | Embedded chip semiconductor without wire bondings | |
JP2004303885A (ja) | 実装基板および電子デバイス | |
JPS63181436A (ja) | 回路装置 | |
JPH08153738A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR101898479B1 (ko) | 복수 캐리어 기판을 이용한 인쇄회로기판 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060515 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060719 |