JP2003110049A - 高周波icパッケージ、高周波icパッケージを使用する高周波ユニット及び、その製造方法 - Google Patents

高周波icパッケージ、高周波icパッケージを使用する高周波ユニット及び、その製造方法

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博明 松木
Masayoshi Ikuno
雅義 生野
Tomohiko Tamaoki
智彦 玉置
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Denso Ten Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波ICパッケージと高周波ユニットを簡
単で小型なものとし、その製造方法の工程数を低減す
る。 【解決手段】 高周波ICパッケージ5の封止14の外
に、高周波ICチップの特性を決める部品9を配置す
る。部品は、パッケージの基板7、回路基板4又は筐体
シャーシ1に配置することができる。部品を封止の外に
設けることにより、パッケージ及びそれを搭載する高周
波ユニット6を小型化できる。部品を回路基板に設ける
場合は、部品をその他の表面実装部品と共に実装するこ
とができ、製造工程を低減できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波ICパッケ
ージ、高周波ICパッケージを使用する高周波ユニット
及び、高周波ユニットの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】車載用高周波レーダに使用するミリ波又
はマイクロ波ユニット(高周波ユニット)は、筐体シャ
ーシに、表面に各種部品を実装した回路基板と、MMI
Cパッケージ(MMIC:モノリシックマイクロ波I
C、Monolithic Microwave Integrated Circuit)(高周
波ICパッケージ)を搭載して構成される。
【0003】図1は、従来の高周波ユニットの構成を示
し、(A)は概略平面図、(B)は(A)のB−B線か
ら見た断面図である。筐体シャーシ1に、導電性接着剤
(以下、単に「接着剤」という。)2、3により、回路
基板4と6個の高周波ICパッケージ(MMICパッケ
ージ)5が搭載される。回路基板4には更にコネクタ2
5などの他の部品が実装され、筐体シャーシ1に導波管
26が形成されることにより、高周波ユニット6が構成
される。接着剤は、はんだや金スズ等を使用しても良
い。
【0004】図2を用いて、高周波ICパッケージ5の
構成を説明する。(A)は側面断面図であり、(B)
は、キャップ14を取り除いた状態の高周波ICパッケ
ージを下から見た図である。高周波ICパッケージ5の
基板7の下面に、高周波ICチップ8に接続される配線
パターン11が形成される。基板7の上面に、外部の回
路と接続するための配線パターン12が形成される。下
面の配線パターン11が、バイアホール13を通して上
面の配線パターン12と接続される。
【0005】基板7の下面の配線パターン11上に高周
波ICチップ8が実装される。配線パターン11上にバ
イパスコンデンサ9が実装される。バイパスコンデンサ
9は、高周波ICの特性を決める部品である。例えば高
周波ICの発振を防止するために設けられる。基板7の
下面にグラウンドパターン10が形成される。バイパス
コンデンサ9の一方の電極は、ワイヤボンディング接続
15により、グラウンドパターン10に接続される。高
周波ICチップ8とバイパスコンデンサ9は、キャップ
14にて封止される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の高周波IC
パッケージは、バイパスコンデンサ9を高周波ICチッ
プ8と一緒にキャップ14内に収納するため、MCM実
装(マルチチップモジュール実装)を行わなければなら
ず、技術的に困難であった。また、パッケージが大型化
し、製造工程が多工程となるため、ローコスト化が困難
であった。また、このような高周波ICパッケージを使
用したミリ波ユニットも、小型化及びローコスト化が困
難であった。
【0007】本発明は、高周波ICパッケージ及びこの
パッケージを使用する高周波ユニットの構成を簡単化及
び小型化することを目的とするものである。また、本発
明は、高周波ICパッケージ及び高周波ユニットの製造
方法の工程数を低減することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたものである。本発明の第1の態様
は、基板上に高周波ICチップを封止した高周波ICパ
ッケージにおいて、高周波ICチップの特性を決める部
品(特に特性補償用の部品)を高周波ICパッケージの
封止の外側の基板上に実装する。上記の部品としては、
例えば、バイパスコンデンサ、カップリングコンデン
サ、温度補償コンデンサ、温度補償抵抗、インピーダン
ス調整用インダクタンスがある。
【0009】前記部品は、高周波ICパッケージを搭載
する基板の、高周波ICチップを取り付けた面又は反対
側の面のいずれにも取り付けることができる。本発明に
よれば、従来は封止の内側に実装していた部品を封止の
外側に実装するため、高周波ICパッケージを小型化で
きると共に、MCM実装を不要とし、チップ接続不良を
減少させ、歩留りを向上させることができる。
【0010】本発明の第2の態様は、高周波ICパッケ
ージと、その周辺回路を搭載する回路基板と、高周波I
Cパッケージと回路基板とを搭載する筐体シャーシから
構成される高周波ユニットにおいて、高周波ICパッケ
ージの特性を決める部品を、周辺回路を搭載する回路基
板に実装する。
【0011】本発明の第3の態様は、高周波ICパッケ
ージとその周辺回路を搭載する回路基板と、高周波IC
パッケージと回路基板とを搭載する筐体シャーシから構
成される高周波ユニットにおいて、高周波ICパッケー
ジの特性を決める部品を、筐体シャーシに実装する。本
発明の第2及び第3の態様によれば、マウンターによる
自動搭載により高周波ICパッケージの特性を決める部
品を実装することが可能となる。これにより、上記第1
の態様に比べて工程数を低減し、ローコスト化すること
ができる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明をミリ波ユニットに適用し
た例について図を用いて説明する。なお、以下の例で
は、高周波ICチップの特性を決める部品としてバイパ
スコンデンサを使用する例について説明するが、前にも
説明したように、カップリングコンデンサ、温度補償コ
ンデンサ、温度補償抵抗、インピーダンス調整用インダ
クタンス等を部品として使用することができる。
【0013】(実施形態1)図3、図4を用いて、本発
明を適用した高周波ICパッケージの構成を説明する。
図3(A)は高周波ユニットの構成を示す概略平面図
で、(B)は(A)のB−B線から見た詳細断面図であ
る。図4は高周波ICパッケージを上から見た状態を示
す。
【0014】高周波ユニット6は、筐体シャーシ1に、
回路基板4と例えば2個の高周波ICパッケージ5が、
導電性接着剤(以下、単に「接着剤」という。)2、3
により搭載されて構成される。回路基板4には更にコネ
クタ25などの他の部品が実装され、筐体シャーシ1に
導波管26が形成される。更に、図3において二点鎖線
で示した回路基板4上の領域38には、高周波ICパッ
ケージ5の入力側の電源回路、出力側のアンプ回路等、
高周波ICパッケージ5に対する入出力回路(周辺回
路)を構成する表面実装部品が配置される。
【0015】なお、本発明においては、回路基板4と2
個の高周波ICパッケージ5とを筐体シャーシ1に接着
する接着剤2、3の代わりに、ハンダや金スズ等の他の
接合部材により接合することが可能である。また、回路
基板4と2個の高周波ICパッケージ5との接合手段は
別に設けて、図に示す部分では単に電気的に接触させる
ようにしても良い。
【0016】高周波ICパッケージ5の基板7の下面
に、高周波ICチップ8を実装するための配線パターン
11が形成される。上面に外部の回路と接続するための
配線パターン12及びグラウンドパターン19が形成さ
れる。配線パターン11と12の間は、バイアホール1
3を通して接続される。基板7の下面の配線パターン1
1上に高周波ICチップ8が実装され、高周波ICチッ
プ8と各配線パターン11との間の接続がされる。高周
波ICチップ8はキャップ14にて封止される。なお、
本発明における封止は、キャップ14による封止に限ら
れず、モールド等による封止であってもよい。このよう
な封止は高周波ICチップ8を保護するための部材を意
味する。
【0017】基板7の上面側、即ち高周波ICチップ8
の反対側の面に、高周波ICパッケージ5の高周波発振
防止用のバイパスコンデンサ9が実装される。バイパス
コンデンサ9は、例えば角型であって、単層セラミック
などの誘電体16と2枚の電極17、18から形成され
る。配線パターン12から、グラウンドパターン19と
対向する突出部23が形成される。バイパスコンデンサ
9の一方の電極17がグラウンドパターン19と、他方
の電極18が突出部23と、それぞれ接着剤21により
接続される。バイパスコンデンサ9が接続される配線パ
ターン12は、外部の電源回路と接続するためバイアス
パターンとなる。これにより、バイパスコンデンサ9
が、バイアスパターンとグラウンドの間に接続される。
【0018】基板7の上面側に、更に、高周波ICパッ
ケージ5の信号線に挿入されるカップリングコンデンサ
31が実装される。カップリングコンデンサ31は、バ
イパスコンデンサ9と同様に、2枚の電極17、18を
有する。カップリングコンデンサ31は、配線パターン
12の中間に実装される。カップリングコンデンサ31
と接続される配線パターン12は、信号線パターンを形
成する。
【0019】高周波ICパッケージ5の配線パターン1
2と回路基板4の配線パターン24との間が、ワイヤボ
ンディング接続15により接続される。なお、本発明に
おいては、ワイヤボンディング接続15の代わりにリボ
ンを用いたボンディング接続、あるいは、ボンディング
接続以外のその他の任意の接続手段を用いることができ
る。
【0020】図5を用いて、図3の高周波ユニット6の
製造工程を説明する。なお、以下の工程は1例であり、
その順序は適宜変更が可能なものである。回路基板4
に、クリームはんだ等によるはんだ印刷を行い(工程
1)、SMD(表面実装部品)をはんだ印刷上に搭載し
(工程2)、はんだ印刷のリフローによりSMDを回路
基板4上に固着する(工程3)。筐体シャーシ1に接着
剤3を塗布して(工程4)、高周波ICパッケージ5を
搭載し(工程5)、接着剤3を硬化して、高周波ICパ
ッケージ5を筐体シャーシ1上に固着する(工程6)。
【0021】筐体シャーシ1と高周波ICパッケージ5
上に接着剤2,21を塗布し(工程7)、回路基板4を
筐体シャーシ1に搭載し(工程8)、バイパスコンデン
サ9、カップリングコンデンサ31を高周波ICパッケ
ージ5に搭載し(工程9)、接着剤2,21を硬化して
(工程10)、バイパスコンデンサ9、カップリングコ
ンデンサ31と回路基板4を固着する。最後に、高周波
ICパッケージ5の配線パターン12と回路基板4の配
線パターン24との間をワイヤボンディング接続15で
接続する(工程11)。
【0022】本実施形態1によれば、バイパスコンデン
サ9、カップリングコンデンサ31をキャップ14内に
実装しないため、高周波ICパッケージ5を小型化する
ことができる。また、高周波ICチップ8とバイパスコ
ンデンサ9とカップリングコンデンサ31をMCM実装
する必要がなくなり、チップの接続不良が減少し、歩留
りが向上する。
【0023】(実施形態1/変形例1)図6を用いて、
実施形態1の第1の変形例について説明する。図6
(A)は高周波ICパッケージを上から見た状態を示
し、(B)は(A)のB−B線から見た断面図である。
なお、以下の説明においては、上記の実施形態1と異な
る点を中心として説明をし、重複する説明は省略する。
【0024】バイパスコンデンサ9として、単層セラミ
ック等の誘電体16の上下に電極17、18を配置した
上下電極型単層セラミックコンデンサを採用する。下電
極18がグラウンドパターン19の上に接着剤27によ
り接着されて実装される。上電極17が、ワイヤボンデ
ィング接続15により、配線パターン12に接続され
る。グラウンドパターン19はバイアホール13により
基板7下面のグラウンドパターン10に接続される。カ
ップリングコンデンサ31は(B)に示されていない
が、バイパスコンデンサ9と同様に構成される。
【0025】(実施形態1/変形例2)図7を用いて、
実施形態1の第2の変形例について説明する。図7は、
高周波ICパッケージを上から見た状態を示す。本例が
上記変形例1と異なる点について説明すると、バイパス
コンデンサ9が、配線パターン12上に実装され、基板
7下面のグラウンドパターン10に接続されるバイアホ
ール13との間がワイヤボンディング接続15で接続さ
れる。また、カップリングコンデンサ31は、バイアホ
ール13側の配線パターン12に実装されている。
【0026】(実施形態2)上記実施形態1の高周波I
Cパッケージ5は、上記のような利点があるものの、バ
イパスコンデンサ9及びカップリングコンデンサ31を
接着剤21により高周波ICパッケージ5上に実装する
工程(図5、工程7、9、10)が必要となっている。
本実施形態2は、この工程を削除するものである。
【0027】図8は、高周波ユニット6の側面断面図で
ある。以下の説明では、上述の実施形態1と異なる点を
中心に説明し、重複する説明を省略する。本実施形態2
では、バイパスコンデンサ9は回路基板4に実装され
る。バイパスコンデンサ9の2枚の電極17、18が、
回路基板4の下面側に形成された配線パターン29の上
に、リフローにより実装され、はんだ27により固着さ
れる。バイパスコンデンサ9がリフローにより固着され
る点は、回路基板4上のその他の表面実装部品と同様で
ある。
【0028】配線パターン29は、バイアホール30を
通して上面の配線パターン28と接続される。下面の配
線パターン29は、回路基板4が接着剤2により筐体シ
ャーシ1に実装されたとき、筐体シャーシ1と電気的に
接続されてグラウンドされる。また、高周波ICパッケ
ージ5の配線パターン12が、回路基板4の上面の配線
パターン28とワイヤボンディング接続15により接続
される。これにより、バイパスコンデンサ9は、高周波
ICパッケージ5のバイアスパターンとグラウンドの間
に接続される。
【0029】図8では、カップリングコンデンサの図示
は省略しているが、バイパスコンデンサ9と同様の手段
により回路基板4の下面に配置される。また、図8に示
すように、筐体シャーシ1の高周波ICパッケージ5を
実装する部分と回路基板4を実装する部分に段差33を
形成することにより、高周波ICパッケージ5と回路基
板4の高さをそろえることができる。これにより高周波
ICパッケージ5と回路基板4を面一にすることがで
き、ワイヤボンディングを容易に行うことができる。
【0030】図9を用いて、図8に示した高周波ユニッ
ト6の製造工程を説明する。なお、以下の工程も1例で
あり、その順序は適宜変更可能なものである。回路基板
4に、クリームはんだ等によりはんだ印刷を行い(工程
1)、バイパスコンデンサ9、カップリングコンデンサ
31を含むSMD(表面実装部品)をはんだ印刷上に搭
載し(工程2)、リフローによりSMDを回路基板4上
に固着する(工程3)。筐体シャーシ1に接着剤2,3
を塗布して(工程4)、筐体シャーシ1に高周波ICパ
ッケージ5を搭載し(工程5)回路基板4を搭載し(工
程6)、接着剤2,3を硬化する(工程7)。最後に、
高周波ICパッケージ5の配線パターン12と回路基板
4の配線パターン28との間をワイヤボンディング接続
15により接続する(工程8)。
【0031】本実施形態2によれば、バイパスコンデン
サ9及びカップリングコンデンサ31を、他の表面実装
部品と同時にマウンターで自動搭載し、リフローにより
実装する。したがって、前述の実施形態1における図5
の工程図と比較すると明らかなように、接着剤の塗布及
び硬化の工程(工程7,9,10)を省略することがで
きる。
【0032】(実施形態2/変形例1)上記実施形態2
の高周波ユニット6は、上記のような利点があるもの
の、高周波ICチップ8からバイパスコンデンサ9を経
由したグラウンドまでの距離が大きくなる。これによ
り、高周波発振を効果的に防止できなくなることがある
という問題が発生する。本変形例1は、高周波ICチッ
プ8とグラウンドまでの距離を短縮するものである。
【0033】図10は、高周波ICパッケージを高周波
ユニット6に実装した状態の側面断面図であり、図11
は、図10における接続関係を示す図である。以下の説
明では、上述の実施形態2と異なる点についてのみ説明
する。バイパスコンデンサ9として、上下電極型単層セ
ラミックコンデンサが採用される。回路基板4の、高周
波ICパッケージ5に近い位置の上下面であって、グラ
ウンドである筐体シャーシ1の直上に位置するように配
線パターン28、29が形成され、配線パターン28の
直下、および配線パターン29の直上にバイアホール3
0が形成され、バイアホール30により両配線パターン
28、29間が接続される。即ち、筐体シャーシ1の段
差部における下段面上に配線パターン29が形成され、
更にこの部分より直上に配線パターン28が形成され
る。従って、バイパスコンデンサ9と筐体シャーシ1と
が鉛直方向において重なる部分にバイアホール30が形
成されることになる。
【0034】回路基板4の上面の配線パターン28の上
に、バイパスコンデンサ9の下電極18がリフローはん
だ27により実装される。バイパスコンデンサ9の上電
極17は、ワイヤボンディング接続15により高周波I
Cパッケージ5の配線パターン12及び回路基板4の配
線パターン24と接続される。
【0035】図10に示した高周波ユニット6の製造工
程は、前述の図9に示したとおりである。本変形例1で
は、バイパスコンデンサ9はリフローにより他の部品と
同時に実装できるという上記実施形態2と同様の効果が
得られる。さらに、バイパスコンデンサ9の構造及び配
置を改善したことにより、高周波ICチップ8とグラウ
ンドとの間の電気的距離を短縮化したので、高周波発振
を確実に防止することができる。
【0036】高周波ICパッケージ5の配線パターン1
2とバイパスコンデンサ9と回路基板4の配線パターン
24との接続関係は、図11に示すように、種々変更可
能である。図11(A)は図10に示した例であり、バ
イパスコンデンサ9の上電極17が、高周波ICパッケ
ージ5の配線パターン12及び回路基板4の配線パター
ン24と接続される。(B)では、高周波ICパッケー
ジ5の配線パターン12が、バイパスコンデンサ9の上
電極17及び回路基板4の配線パターン24と接続され
る。(C)では、回路基板4の配線パターン24が、高
周波ICパッケージ5の配線パターン12及びバイパス
コンデンサ9の上電極17と接続される。
【0037】(実施形態3)図12及び図13を用いて
本発明の第3の実施形態について説明する。以下の説明
においては、上記実施形態2の図10と異なる点を中心
として説明をし、重複する説明は省略する。図12は高
周波ICパッケージを高周波ユニット6に実装した状態
を側面から見た状態を示す。
【0038】筐体シャーシ1は、その上端32が高周波
ICパッケージ5と回路基板4の間に露出するように形
成される。上下電極型単層セラミックコンデンサとして
形成されたバイパスコンデンサ9が、筐体シャーシ1の
上端37の上にリフローにより実装され、はんだ27に
より固着される。本例によれば、バイパスコンデンサ9
の下電極18が直接グラウンドされるので、バイパスコ
ンデンサ9とグラウンドとの間の配線パターンを省略す
ることができる。
【0039】高周波ICパッケージ5の配線パターン1
2とバイパスコンデンサ9と回路基板4の配線パターン
24との接続関係は図13に示すように、種々変更可能
である。図13(A)は図12に示した例であり、バイ
パスコンデンサ9の上電極17が、高周波ICパッケー
ジ5の配線パターン12及び回路基板4の配線パターン
24と接続される。(B)では、高周波ICパッケージ
5の配線パターン12が、バイパスコンデンサ9の上電
極17及び回路基板4の配線パターン24と接続され
る。(C)では、回路基板4の配線パターン24が、高
周波ICパッケージ5の配線パターン12及びバイパス
コンデンサ9の上電極17と接続される。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、高周波ICパッケージ
及びこのパッケージを使用する高周波ユニットの構成を
簡単化及び小型化することができる。また、本発明によ
れば、高周波ICパッケージ及び高周波ユニットの製造
方法の工程数を削除することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の高周波ユニットの構成を示す図である。
【図2】図1における高周波ICチップの構成を示す図
である。
【図3】本発明の実施形態1における高周波ユニットの
構成を示す図である。
【図4】図3における高周波ICパッケージの構成を示
す図である。
【図5】図3の高周波ユニットの製造工程を示す図であ
る。
【図6】本発明の実施形態1の変形例1の高周波ICパ
ッケージの構成を示す図である。
【図7】本発明の実施形態1の変形例2の高周波ICパ
ッケージの構成を示す図である。
【図8】本発明の実施形態2の高周波ユニットの構成を
示す図である。
【図9】図8の高周波ユニットの製造工程を示す図であ
る。
【図10】本発明の実施形態2の変形例1の高周波IC
パッケージの構成を示す図である。
【図11】図10における接続関係を示す図である。
【図12】本発明の実施形態3の高周波ユニットの構成
を示す図である。
【図13】図12における接続関係を示す図である。
【符号の説明】
1…筐体シャーシ 2…接着剤 3…接着剤 4…回路基板 5…高周波ICパッケージ 6…高周波ユニット 7…基板 8…高周波ICチップ 9…バイパスコンデンサ 10…グラウンドパターン 11、12…配線パターン 13…バイアホール 14…キャップ 15…ワイヤボンディング接続 16…誘電体 17、18…電極 19…グラウンドパターン 21…接着剤 22…バイアホール 23…突出部 24…配線パターン 25…コネクタ 26…導波管 27…はんだ 28,29…配線パターン 30…バイアホール 31…カップリングコンデンサ 32…筐体シャーシの上端 33…段差
フロントページの続き (72)発明者 玉置 智彦 兵庫県神戸市兵庫区御所通1丁目2番28号 富士通テン株式会社内

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板、 この基板上において封止がなされた高周波ICチップ、
    及び この高周波ICチップの特性を決める部品であって、前
    記高周波ICチップの封止の外側に設けられた部品、 を具備することを特徴とする高周波ICパッケージ。
  2. 【請求項2】 前記部品が、上下に電極を有する請求項
    1に記載の高周波ICパッケージ。
  3. 【請求項3】 前記部品の下電極が、前記基板上に形成
    された配線パターン上に設けられた請求項2に記載の高
    周波ICパッケージ。
  4. 【請求項4】 前記部品がカップリングコンデンサであ
    り、前記下電極が、前記基板上の配線パターン上に設け
    られ、上電極が、前記基板上に形成された他の配線パタ
    ーンと接続手段により接続された請求項3に記載の高周
    波ICパッケージ。
  5. 【請求項5】 前記部品がバイパスコンデンサであり、
    前記下電極が、前記基板上に形成されたバイアスパター
    ン上又はグラウンドパターンの一方に設けられ、前記上
    電極が、前記基板上に形成されたバイアスパターン又は
    グラウンドパターンに接続手段により接続された請求項
    3に記載の高周波ICパッケージ。
  6. 【請求項6】 前記部品が、前記基板上であって、前記
    高周波ICチップが設けられる面の反対側の面に設けら
    れた請求項1に記載の高周波ICパッケージ。
  7. 【請求項7】 基板上において封止がなされた高周波I
    Cチップを有する高周波ICパッケージ、 この高周波ICパッケージと接続される周辺回路を搭載
    した回路基板、 前記高周波ICパッケージと周辺回路を搭載した回路基
    板を搭載する筐体シャーシ、及び前記高周波ICチップ
    の特性を決める部品であって、前記周辺回路を搭載した
    回路基板に設けられた部品、 を具備することを特徴とする高周波ユニット。
  8. 【請求項8】 前記部品が、上下に電極を有する請求項
    7に記載の高周波ユニット。
  9. 【請求項9】 前記部品がバイパスコンデンサであり、
    前記下電極が、前記周辺回路を搭載した回路基板上に形
    成されたグラウンドパターン上に設けられ、前記上電極
    が前記高周波ICパッケージを搭載した回路基板上に形
    成されたバイアスパターンと接続手段により接続された
    請求項8に記載の高周波ユニット。
  10. 【請求項10】 前記上電極と前記周辺回路とを接続す
    る接続手段を具備する請求項9に記載の高周波ユニッ
    ト。
  11. 【請求項11】 前記部品がバイパスコンデンサであ
    り、前記下電極が前記周辺回路を搭載した回路基板上に
    形成されたバイアスパターン上に設けられ、前記上電極
    が前記高周波ICパッケージを搭載した基板上に形成さ
    れたグラウンドパターンと接続された請求項8に記載の
    高周波ユニット。
  12. 【請求項12】 前記グラウンドパターンは、前記周辺
    回路を搭載した回路基板に形成した孔を通して最短距離
    で前記筐体シャーシと電気的に接続される請求項9に記
    載の高周波ユニット。
  13. 【請求項13】 前記孔は、前記筐体シャーシの直上
    で、前記グラウンドパターンの直下に形成された請求項
    12に記載の高周波ユニット。
  14. 【請求項14】 基板上において封止がなされた高周波
    ICチップを有する高周波ICパッケージ、 この高周波ICパッケージと接続される周辺回路を搭載
    した回路基板、 前記高周波ICパッケージと前記周辺回路を搭載した回
    路基板を搭載する筐体シャーシ、及び前記高周波ICチ
    ップの特性を決める部品であって、前記筐体シャーシに
    設けられ部品、 を具備することを特徴とする高周波ユニット。
  15. 【請求項15】 前記部品が、上下に電極を有する請求
    項14に記載の高周波ユニット。
  16. 【請求項16】 前記部品がバイパスコンデンサであ
    り、前記下電極が前記筐体シャーシ上に設けられ、前記
    上電極が前記高周波ICパッケージを搭載する基板上に
    形成された配線パターンと接続された請求項15に記載
    の高周波ユニット。
  17. 【請求項17】 前記上電極と前記周辺回路とを接続す
    る接続手段を具備する請求項15に記載の高周波ユニッ
    ト。
  18. 【請求項18】 基板上において封止がなされた高周波
    ICチップを有する高周波ICパッケージ、 この高周波ICパッケージと接続される周辺回路を搭載
    した回路基板、及び前記高周波ICパッケージと前記周
    辺回路を搭載する回路基板を搭載する筐体シャーシであ
    って、前記高周波ICパッケージの表面上の高さと前記
    周辺回路を搭載した回路基板の表面上の高さを合わせる
    ための段差を有する筐体シャーシ、を具備することを特
    徴とする高周波ユニット。
  19. 【請求項19】 基板上に高周波ICチップを実装して
    封止する工程、及び前記高周波ICチップの特性を決め
    る部品を前記基板上に実装する工程、 を具備することを特徴とする高周波ICパッケージの製
    造方法。
  20. 【請求項20】 高周波ICパッケージと接続される周
    辺回路を搭載した回路基板又は筐体シャーシ上に、高周
    波ICチップの特性を決める部品を実装する工程、及び
    前記回路基板に高周波ICパッケージを実装する工程、 を具備することを特徴とする高周波ICパッケージの製
    造方法。
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