JP2003091887A

JP2003091887A - 多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体製造装置

Info

Publication number: JP2003091887A
Application number: JP2001286869A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Komaki; 壮小巻; Mamoru Usami; 守宇佐美; Kenji Yoneyama; 健司米山
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-09-20
Filing date: 2001-09-20
Publication date: 2003-03-28
Also published as: US20050001343A1; WO2003028024A1; TWI220989B; EP1437725A1

Abstract

(57)【要約】【課題】製造コストの高騰を招くことなく気泡の混入
を防止しつつ均一膜厚のスペーサ層を形成する。【解決手段】基材Ｄの上にスペーサ層を挟んで積層し
た２層の記録層を形成する多層光記録媒体の製造方法で
あって、レーザービームの入射方向から数えて２番目の
記録層Ｌ１と、１番目の記録層との間のスペーサ層を形
成する際に、少なくとも径方向に弾性変形して基材Ｄの
装着用中心孔１ａを閉塞可能なゴムチャッキング１４を
弾性変形させてチャッキングさせることによって記録層
Ｌ１が形成された基材Ｄをターンテーブル１２に固定
し、ゴムチャッキング１４の周面と基材Ｄとの境界部近
傍にスペーサ層形成用の塗液Ｒを滴下した後に、１番目
の記録層を形成するためのスタンパ２１を基材Ｄに覆い
被せつつゴムチャッキング１４によってチャッキングさ
せ、ターンテーブル１２を回転させることによって塗液
Ｒをスピンコートする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スペーサ層を挟ん
で複数の記録層が積層された多層光記録媒体の製造方
法、および多層光記録媒体製造装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の多層光記録媒体として、出願人
は、図１２に示す多層光記録媒体３１を開発している。
この多層光記録媒体３１は、中心部に装着用中心孔１ａ
が形成された円板状の基材Ｄの上に、記録層Ｌ１、スペ
ーサ層Ｓ、記録層Ｌ０およびカバー層Ｃが順に積層され
ている。この場合、記録層Ｌ１は、基材Ｄの表面に形成
されたグルーブ上やランド上に、記録用レーザービーム
および再生用レーザービーム（以下、区別しないときに
は「レーザービーム」ともいう）を反射する反射膜や、
記録用レーザービームを照射することによって光学的定
数の変化に伴って光反射率が変化する相変化膜、および
相変化膜を保護する保護膜などを積層して構成されてい
る。また、スペーサ層Ｓは、その厚みが２０μｍ程度と
なるように光透過性樹脂で薄膜状に形成されている。一
方、記録層Ｌ０は、スペーサ層Ｓの表面に形成されたグ
ルーブ上やランド上に、相変化膜や保護膜などを積層し
て構成されている。カバー層Ｃは、記録層Ｌ０の傷付き
を防止すると共に光路の一部（レンズ）としての役割を
有する層であって、光透過性樹脂で薄膜状に形成されて
いる。この多層光記録媒体３１では、同図の矢印Ａの向
きでレーザービームが照射されることにより、記録層Ｌ
０，Ｌ１に対する記録データの記録、または記録層Ｌ
０，Ｌ１からの記録データの読み出しが行われる。

【０００３】この多層光記録媒体３１の製造に際して
は、まず、基材Ｄの上に例えばスパッタ法によって記録
層Ｌ１を成膜する。次に、記録層Ｌ１の上にスピンコー
ト法によって塗液Ｒを塗布することによりスペーサ層Ｓ
を形成する。この際には、図１３に示すように、まず、
記録層Ｌ１が成膜された面を上向きにして基材Ｄをター
ンテーブル４２の上に載置した後に、基材Ｄの上にカバ
ー部材４４を載置する。この場合、ターンテーブル４２
は、上面が平坦な円板状に形成され、塗液Ｒの塗布時に
は、負圧によってその内周部（チャッキングエリア）が
吸引された基材Ｄおよびカバー部材４４を載置した状態
で図外のモータによって回転させられる。また、カバー
部材４４は、基材Ｄにおける樹脂層の形成が不要な中央
部を覆う大きさで円盤状に形成されている。このカバー
部材４４は、その側面視形状が傘状に形成され、基材Ｄ
と共にターンテーブル４２によって吸引されることでそ
の下面が基材Ｄに密着する。

【０００４】次に、この状態のターンテーブル４２を低
速回転させた状態で、図１４に示すように、ノズル１６
ａの先端からカバー部材４４の上面に塗液Ｒを滴下す
る。次いで、ターンテーブル４２を高速回転させ、カバ
ー部材４４上の塗液Ｒを基材Ｄ上に拡げる。この際に、
ターンテーブル４２の回転数や高速回転保持時間などを
適宜制御することにより、塗液Ｒが、ターンテーブル４
２の回転によって生じる遠心力で基材Ｄの半径方向の向
きでカバー部材４４上から基材Ｄ上に移動する。また、
基材Ｄ上に移動した塗液Ｒは、基材Ｄの表面を外縁部に
向けて移動する。一方、基材Ｄの外縁部に達した余分な
塗液Ｒは、遠心力によって基材Ｄから飛散する。これに
より、図１５に示すように、基材Ｄの表面全域に亘って
塗液Ｒがほぼ平坦に薄膜状に塗布される。続いて、図１
６に示すように、カバー部材４４を基材Ｄから取り外
す。

【０００５】次に、図１７に示すように、塗液Ｒが塗布
された基材Ｄの上にスタンパ５１を覆い被せる。この場
合、スタンパ５１は、後述するように塗液Ｒを硬化させ
るための紫外線を透過可能な材料で形成されている。ま
た、このスタンパ５１の下面には、記録層Ｌ０用のグル
ーブおよびランドを形成するための凹凸加工が施されて
いる。この場合、基材Ｄ上に塗布が完了した時点では、
塗液Ｒが流動性を有している。このため、スタンパ５１
の凹凸形状、すなわちグルーブおよびランドの形状に塗
液Ｒが馴染みつつ、スタンパ５１は、塗液Ｒの上に覆い
被される。次いで、この状態の基材Ｄに紫外線を照射し
て塗液Ｒを硬化させることにより、スペーサ層Ｓが完成
する。続いて、図１８に示すように、基材Ｄからスタン
パ５１を取り外す。この後、スペーサ層Ｓの上に記録層
Ｌ０を成膜し、その記録層Ｌ０の上に樹脂をスピンコー
トして硬化させることによりカバー層Ｃを形成する。こ
れにより、多層光記録媒体３１の製造が完了する。

【０００６】一方、図１９〜２１に示す工程を経て塗液
Ｒを塗布する製造方法も従来から知られている。以下、
この製造方法について説明する。なお、上記した製造方
法と同等の工程については、重複した説明を省略する。
この製造方法では、まず、図１９に示すように、例えば
スパッタ法によって記録層Ｌ１が成膜された基材Ｄをタ
ーンテーブル６２の上に載置する。この際に、ターンテ
ーブル６２の中央部分に立設された金属製のセンターピ
ン６４を装着用中心孔１ａに挿通させた状態で基材Ｄを
載置する。次いで、センターピン６４に付着しないよう
にして、塗液Ｒを基材Ｄの内周部分に環状に塗布する。
続いて、図２０に示すように、基材Ｄの上にスタンパ２
１を載置した後に、図外のモータによってターンテーブ
ル６２を高速回転させて、塗液Ｒを基材Ｄ上に拡げる。
この際にも、ターンテーブル６２の回転数や回転保持時
間などを適宜制御することにより、塗液Ｒが、ターンテ
ーブル６２の回転によって生じる遠心力で基材Ｄの半径
方向の向きで基材Ｄ上を移動する。これにより、図２１
に示すように、基材Ｄの表面全域に亘って塗液Ｒがほぼ
平坦に薄膜状に塗布される。続いて、基材Ｄからスタン
パ２１を取り外す。この後、スペーサ層Ｓの上に記録層
Ｌ０を成膜し、その記録層Ｌ０の上に樹脂をスピンコー
トして硬化させることによってカバー層Ｃを形成する。
これにより、多層光記録媒体３１の製造が完了する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した多
層光記録媒体３１の製造方法には、以下の改善すべき課
題がある。すなわち、前者の製造方法では、塗液Ｒのス
ピンコートが完了した後に、その状態の基材Ｄにスタン
パ５１を覆い被せている。この場合、ほぼ平坦に塗布さ
れた塗液Ｒに対して平板状のスタンパ５１を覆い被せる
際に、塗液Ｒとスタンパ５１との間に気泡が混入するこ
とがある。かかる状態で紫外線を照射した場合には、気
泡の混入に起因してスペーサ層Ｓの表面に大きな凹部が
形成されて記録データの正常な読み書きが困難となる。
したがって、スタンパ５１を覆い被せる際には、例えば
塗液Ｒの塗布が完了した基材Ｄとスタンパ５１とを真空
チャンバ内に搬入し、真空中において基材Ｄにスタンパ
５１を覆い被せることにより、気泡の混入を防止する必
要がある。このため、高価な設備の導入に起因して多層
光記録媒体３１の製造コストが高騰しており、この点を
改善するのが好ましい。

【０００８】一方、後者の製造方法では、塗液Ｒをセン
ターピン６４に付着しないようにして基材Ｄの内周部分
に塗布している。したがって、この状態では、図２０に
示すように、スタンパ２１と基材Ｄとの間に空間が生じ
ている。このため、この空間の存在に起因して、スピン
コートの際に、基材Ｄの外周部における塗液Ｒの塗布厚
が内周部における塗布厚よりも厚く形成される結果、塗
液Ｒを均一に塗布するのが困難となるという問題点があ
る。この場合、塗液Ｒをセンターピン６４に付着するよ
うにして基材Ｄに塗布することにより、スタンパ２１と
基材Ｄとの間に空間をなくして基材Ｄに塗液Ｒを均一に
塗布するのは可能である。しかし、この塗布方法を採用
した場合には、センターピン６４の洗浄が煩雑となり、
また、スタンパ２１とセンターピン６４との隙間から溢
れた塗液Ｒが基材Ｄの裏面（同図において上面）を汚し
てしまうため、スピンコート工程において歩留まりの低
下および製造コストの高騰を招くという問題が生じる。

【０００９】本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてな
されたものであり、製造コストの高騰を招くことなく気
泡の混入を防止しつつ均一膜厚のスペーサ層を形成し得
る多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒体製造
装置を提供することを主目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明に係る多層光記録媒体の製造方法は、中心部に装着
用中心孔が形成された基材の上にスペーサ層を挟んで積
層したＮ層（Ｎは２以上の自然数）の記録層を形成する
多層光記録媒体の製造方法であって、再生用レーザービ
ームまたは記録用レーザービームの入射方向から数えて
（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ−１）以下の自然数）の前記
記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間の前記スペーサ層
を形成する際に、少なくとも径方向に弾性変形して前記
基材の前記装着用中心孔を閉塞可能なセンターチャッキ
ングを弾性変形させてチャッキングさせることによって
前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成された前記基材をタ
ーンテーブルに固定し、前記センターチャッキングの周
面と前記基材との境界部近傍にスペーサ層形成用の塗液
を滴下した後に、前記Ｍ番目の記録層を形成するための
スタンパを当該基材に覆い被せつつ前記センターチャッ
キングによってチャッキングさせ、前記ターンテーブル
を回転させることによって前記塗液をスピンコートす
る。

【００１１】この場合、前記スペーサ層形成用の塗液と
してエネルギー線硬化型の樹脂塗液を用い、かつ前記ス
タンパとしてエネルギー線透過素材で形成されたスタン
パを用いるのが好ましい。この場合、エネルギー線とし
て、紫外線や電子線（エレクトロビーム）が含まれる。

【００１２】また、本発明に係る多層光記録媒体製造装
置は、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法に従って
前記スペーサ層を形成する多層光記録媒体製造装置であ
って、前記基材が載置されるターンテーブルと、非チャ
ッキング時において前記基材の前記装着用中心孔よりも
小径でチャッキング時にエアが供給されることで膨張し
て前記装着用中心孔を閉塞するセンターチャッキング
と、当該センターチャッキングにエアを供給するエア供
給部と、前記スペーサ層形成用の前記塗液を滴下する塗
液滴下部と、前記エア供給部および前記塗液滴下部を駆
動制御する制御部とを備えている。

【００１３】この場合、その表面が撥水特性または撥油
特性を有する材料で前記センターチャッキングを形成す
るのが好ましい。この場合、センターチャッキング用材
料の表面にフッ素処理やシリコーン処理を施すことによ
って撥水特性または撥油特性を備えさせることができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る多層光記録媒体の製造方法および多層光記録媒
体製造装置の好適な実施の形態について説明する。

【００１５】最初に、多層光記録媒体１の構成につい
て、図１２を参照して説明する。

【００１６】多層光記録媒体１は、本発明における（Ｍ
＋１）番目（Ｍは値１）の記録層に相当する記録層Ｌ
１、スペーサ層Ｓ、本発明におけるＭ番目（Ｍは値１）
の記録層に相当する記録層Ｌ０、およびカバー層Ｃが基
材Ｄ上に順に積層され、カバー層Ｃ側から再生用レーザ
ービームまたは記録用レーザービームが照射されること
によって記録データの読出しまたは記録が可能に構成さ
れている。基材Ｄは、射出成形によって全体の直径が１
２０ｍｍ程度の円板状（平板形状）に形成されている。
また、基材Ｄの中心には、基材Ｄを記録再生装置に装着
するための直径１５ｍｍ程度の装着用中心孔１ａが形成
され、その外周部には、記録層Ｌ１用のグルーブ、ラン
ドおよびピット等が形成されている。記録層Ｌ１は、基
材Ｄの上に、反射膜、相変化膜および保護膜などをスパ
ッタ法によって成膜することによって形成されている。
スペーサ層Ｓは、記録層Ｌ１の上に光透過性の塗液Ｒで
２０μｍ程度の厚みに形成されている。また、スペーサ
層Ｓの表面には、後述するように、記録層Ｌ０を形成す
るためのグルーブ、ランドおよびピット等がスタンパ２
１によって形成される。

【００１７】この場合、スタンパ２１は、多層光記録媒
体１の製造用専用治具として、その表面にフッ素処理ま
たはシリコン処理などの撥水処理が施された樹脂スタン
パまたはガラススタンパであって、図５に示すように、
塗液Ｒを硬化させる紫外線（エネルギー線）を透過可能
な材料で円板状に形成されている。また、スタンパ２１
の下面には、記録層Ｌ０用のグルーブ、ランドおよびピ
ット等を形成するための凹凸加工が施されている。ま
た、スペーサ層Ｓとの剥離性の点から、スタンパ２１の
表面のうち少なくともグルーブ、ランドおよびピット等
が形成されている面が、フッ素処理等の表面処理が行わ
れているのが好ましく、エネルギー線硬化型樹脂との剥
離性が良好な非晶質環状ポリオレフィン樹脂から形成さ
れるのがより好ましい。さらに、スタンパ２１の中央部
には、基材Ｄの装着用中心孔１ａとほぼ同径の中心孔２
１ａが形成されている。一方、記録層Ｌ０は、スペーサ
層Ｓの上に相変化膜や保護膜などをスパッタ法によって
成膜することによって形成されている。カバー層Ｃは、
光透過性の樹脂で例えば９０μｍ程度の厚みに形成され
ている。この場合、記録領域（記録層Ｌ０，Ｌ１のグル
ーブ、ランドおよびピット等の形成領域）と、装着用中
心孔１ａの縁部との間には、幅１０ｍｍ程度のドーナッ
ツ状のチャッキングエリアが形成されている。

【００１８】次に、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法に従って多層光記録媒体を製造する多層光記録媒体
製造装置の構成について、図１〜図３を参照して説明す
る。

【００１９】塗布装置１１は、本発明に係る多層光記録
媒体製造装置であって、多層光記録媒体１の製造に際し
て、基材Ｄに塗液Ｒを塗布して硬化させることによりス
ペーサ層Ｓを形成する。この塗布装置１１は、ターンテ
ーブル１２、モータ１３、ゴムチャッキング１４、エア
供給部１５、塗液供給部１６、上下動機構１７、紫外線
照射部１８および制御部１９を備えて構成されている。
ターンテーブル１２は、図２に示すように、基材Ｄを載
置可能に上面が平坦に形成された円板状の基台１２ａ
と、基台１２ａの下面中央に連結されてモータ１３の回
転軸に連結されたシャフト１２ｂとを備えている。な
お、ターンテーブル１２としては、その上面が平坦な構
成に限らず、最内周部分および最外周部分にその円周方
向に沿って凸部を形成して、この凸部上に基材Ｄを載置
することにより、接触などに起因する基材Ｄの傷付きを
防止する構成を採用してもよい。また、ターンテーブル
１２には、基材Ｄのチャッキングエリアと対向する位置
に複数の吸入口Ｈ，Ｈ・・が形成されている。したがっ
て、塗液Ｒの塗布時には、基材Ｄの下方の空気が吸入口
Ｈ，Ｈ・・を介してエアポンプ（図示せず）によって吸
引されることで、基材Ｄがターンテーブル１２に向けて
吸い寄せられる。なお、基材Ｄを吸引するためのエアポ
ンプなどについては公知のため、その図示および詳細な
説明を省略する。

【００２０】モータ１３は、制御部１９によって駆動制
御されてターンテーブル１２を回転させる。ゴムチャッ
キング１４は、本発明におけるセンターチャッキングに
相当し、ターンテーブル１２における基台１２ａの中央
部に取り付けられている。この場合、図３に示すよう
に、ゴムチャッキング１４は、その直径が基材Ｄの装着
用中心孔１ａよりも僅かに小径の円筒形に形成され、弾
性変形して基材Ｄの装着用中心孔１ａを閉塞可能に構成
されている。したがって、ゴムチャッキング１４は、後
述するスピンコートの際に、基材Ｄの装着用中心孔１ａ
内およびスタンパ２１の中心孔２１ａ内で膨張（弾性変
形）させられることにより、基材Ｄとスタンパ２１との
偏心を防止する機能も有している。また、ゴムチャッキ
ング１４は、塗液Ｒなどが表面から剥離し易いシリコー
ンゴムで形成されている。ただし、この構成に限らず、
ゴムチャッキング１４に代えて、その表面が撥水特性ま
たは撥油特性を有する樹脂材料などでチャッキングを形
成することができる。また、ゴムチャッキング１４は、
エア供給部１５によってエアが供給されることによって
膨張し（図４参照）、その周面が装着用中心孔１ａの口
縁に接触して装着用中心孔１ａを閉塞することにより、
基材Ｄの中央部がターンテーブル１２の中央部に位置す
るように基材Ｄを固定する。さらに、ゴムチャッキング
１４は交換可能に基台１２ａに取り付けられている。し
たがって、何らかの原因でゴムチャッキング１４に生じ
た傷などによる塗布ムラや気泡発生などの不具合が生じ
ないように適宜交換することで、塗液Ｒの塗布工程の品
質、ひいては多層光記録媒体１の品質を安定させること
ができる。また、カバー部材４４と比較して、交換頻度
が低いため、塗布工程のコストを低減することが可能と
なっている。

【００２１】一方、エア供給部１５は、制御部１９の制
御下でゴムチャッキング１４にエアを供給する。塗液供
給部１６は、ノズル１６ａと共に本発明における塗液滴
下部を構成し、制御部１９の制御下で、スペーサ層Ｓを
形成するための塗液Ｒをノズル１６ａを介して基材Ｄ上
に滴下する。この場合、ノズル１６ａは、図示しない上
下動機構によって、基材Ｄに対して上下動させられる。
上下動機構１７は、制御部１９の制御下で、スタンパ２
１を基材Ｄ上に載置する。紫外線照射部１８は、制御部
１９の制御下で基材Ｄに向けて紫外線を照射することに
より、基材Ｄの表面に塗布されている塗液Ｒを硬化させ
る。制御部１９は、モータ１３、エア供給部１５、塗液
供給部１６、上下動機構１７および紫外線照射部１８を
駆動制御する。

【００２２】次に、多層光記録媒体１の製造方法につい
て、図面を参照して説明する。

【００２３】まず、基材Ｄの上に例えばスパッタ法によ
って記録層Ｌ１を成膜する。次に、記録層Ｌ１の上に塗
液Ｒを塗布することによってスペーサ層Ｓを形成する。
具体的には、まず、図３に示すように、記録層Ｌ１が成
膜された面を上向きにして基材Ｄをターンテーブル１２
の上に載置する。この場合、基材Ｄの装着用中心孔１ａ
にゴムチャッキング１４を挿通させる。この際に、前述
したように、ゴムチャッキング１４が、基材Ｄの装着用
中心孔１ａよりも小径の円筒形に形成されているため、
装着用中心孔１ａにゴムチャッキング１４が容易に挿通
される。次いで、エア供給部１５が制御部１９の制御下
でゴムチャッキング１４にエアを供給することにより、
ゴムチャッキング１４が膨張する（図４参照）。この際
には、膨張したゴムチャッキング１４の周面と基材Ｄの
装着用中心孔１ａにおける口縁とが接触することによ
り、基材Ｄは、その中央部がターンテーブル１２の中央
部に位置決めされた状態で固定される。次いで、制御部
１９が図外のエアポンプを駆動することにより、基材Ｄ
がターンテーブル１２側に吸引される。これにより、基
材Ｄがゴムチャッキング１４とエアポンプとによってタ
ーンテーブル１２上に固定される。

【００２４】次に、制御部１９は、モータ１３を駆動制
御することにより、例えば毎分５０回転程度の回転速で
ターンテーブル１２を回転させる。次いで、制御部１９
は、ノズル１６ａを下動させると共に、塗液供給部１６
を駆動制御してノズル１６ａに塗液Ｒを供給させる。こ
の際に、ノズル１６ａの先端が、ゴムチャッキング１４
の周面と基材Ｄとの境界部近傍、すなわち、基材Ｄの装
着用中心孔１ａの近傍に配置される。続いて、塗液供給
部１６が塗液Ｒを供給することにより、図４に示すよう
に、ノズル１６ａの先端部から基材Ｄの上に塗液Ｒが滴
下される。この際に、塗液Ｒがある程度の粘度を有して
いるため、塗液Ｒは、ノズル１６ａから滴下された直後
には、基材Ｄの中央部近傍に位置している。また、塗液
Ｒは、ゴムチャッキング１４と基材Ｄとの境界部位に滴
下されるため、ゴムチャッキング１４の周面および基材
Ｄの表面の両者に接した状態を維持する。この場合、塗
液Ｒの自重と塗液Ｒに及ぶ表面張力とによって、ゴムチ
ャッキング１４の周囲の塗液Ｒはゴムチャッキング１４
の周面にまとわり付いた状態を維持する。

【００２５】続いて、制御部１９は、ノズル１６ａを上
動させた後に、図５に示すように、上下動機構１７を駆
動制御して基材Ｄの上にスタンパ２１を載置させる。こ
の際に、上下動機構１７は、スタンパ２１の中心孔２１
ａにゴムチャッキング１４が挿通するようにスタンパ２
１を位置決めしつつ、スタンパ２１を下動させる。この
場合、図６に示すように、ゴムチャッキング１４が膨張
しているため、スタンパ２１の中心孔２１ａにおける口
縁と、ゴムチャッキング１４の周面とが接触した状態で
スタンパ２１が押し下げられる。このため、スタンパ２
１を押し下げることでスタンパ２１と塗液Ｒとが接する
際に、ゴムチャッキング１４の周囲にまとわり付いてい
る塗液Ｒと、スタンパ２１の中心孔２１ａにおける口縁
の全周とがゴムチャッキング１４の周囲に沿って線的に
接し、その後、徐々に面的に接する。したがって、スタ
ンパ２１と塗液Ｒとが接する際におけるスタンパ２１お
よび塗液Ｒの両者間への気泡の混入が防止される。ま
た、スタンパ２１がさらに押し下げられた際には、図７
に示すように、塗液Ｒは、スタンパ２１の下面に馴染み
つつ、基材Ｄの外縁部に向けて徐々に押し拡げられる。
したがって、この際にも、スタンパ２１および塗液Ｒの
両者間への気泡の混入が防止されつつ、塗液Ｒが押し拡
げられる。

【００２６】次いで、制御部１９は、モータ１３の回転
数を上昇させることにより、例えば毎分１０００回転程
度の回転速までターンテーブル１２の回転を上昇させ
る。この際には、塗液Ｒに加わる遠心力が大きくなるた
め、図８に示すように、塗液Ｒが基材Ｄとスタンパ２１
との間を基材Ｄの外縁部に向けて急速に押し拡げられ
る。この際に、塗液Ｒは、基材Ｄの上面およびスタンパ
２１の下面に馴染みつつ、その輪郭の平面視形状をほぼ
真円形に維持しながら急速に押し拡げられる（延伸され
る）。この場合、この塗布装置１１では、ゴムチャッキ
ング１４が膨張させられることにより、基材Ｄの装着用
中心孔１ａにおける口縁とゴムチャッキング１４の周面
とが密着し、かつスタンパ２１の中心孔２１ａにおける
口縁とゴムチャッキング１４の周面とが密着している。
したがって、この部位からの空気の侵入が阻止されつ
つ、塗液Ｒが延伸させられる。また、塗液Ｒの延伸に伴
い、塗液Ｒの塗布厚がその分薄くなるため、スタンパ２
１も基材Ｄ側（下向き）にその分平行移動（下動）す
る。したがって、モータ１３の回転数や高速回転保持時
間、つまり塗液Ｒの振り切り量を制御することにより、
塗液Ｒの塗布厚（スペーサ層Ｓの膜厚）が目標値となる
ように精度良く制御することができる。なお、この際
に、基材Ｄおよびスタンパ２１は、両者に及ぶ遠心力に
よって互いに平行な状態に維持される。この結果、図９
に示すように、基材Ｄの円周方向に沿った塗液Ｒの塗布
厚が均一となる。

【００２７】一方、基材Ｄの最外縁部に達した余分な塗
液Ｒは、基材Ｄに加わる遠心力によって基材Ｄから飛散
する。これにより、基材Ｄとスタンパ２１との間におい
て、その内周から外周に亘って目標塗布厚でほぼ均一に
塗布された塗液Ｒの層が形成される。次に、紫外線照射
部１８が、制御部１９の制御下で基材Ｄに対して紫外線
を照射する。この際には、スタンパ２１を透過して照射
される紫外線によって塗液Ｒが硬化し、これにより、ス
ペーサ層Ｓの成膜が完了する。次いで、制御部１９は、
モータ１３を停止制御してターンテーブル１２の回転を
停止させる。続いて、制御部１９は、エア供給部１５に
よるゴムチャッキング１４へのエアの供給を停止する。
これにより、図１０に示すように、ゴムチャッキング１
４が収縮して、ゴムチャッキング１４の周囲と基材Ｄの
装着用中心孔１ａの口縁との間に隙間が形成される。こ
の場合、塗布装置１１ではシリコーンゴム製のゴムチャ
ッキング１４を採用しているため、ゴムチャッキング１
４の周面に接している塗液Ｒがゴムチャッキング１４か
ら容易に剥離する。

【００２８】次に、エアポンプを停止させた後、基材Ｄ
をターンテーブル１２から取り外す。この際に、ゴムチ
ャッキング１４と装着用中心孔１ａの口縁との間に隙間
が形成されているため、基材Ｄは容易に取り外される。
次いで、図１１に示すように、基材Ｄからスタンパ２１
を取り外す。この際に、スタンパ２１の外径を基材Ｄよ
りも大きくしておくのが好ましく、スペーサ層Ｓからの
スタンパ２１の剥離（取り外し）が容易となる。この
後、スペーサ層Ｓの上に記録層Ｌ０を成膜した後、その
記録層Ｌ０の上に塗液をスピンコートして硬化させるこ
とによりカバー層Ｃを形成する。これにより、図１２に
示すように、多層光記録媒体１の製造が完了する。

【００２９】このように、この塗布装置１１によれば、
ゴムチャッキング１４と基材Ｄとの境界部分に塗液Ｒを
滴下することにより、滴下した塗液Ｒがゴムチャッキン
グ１４の周面に沿って馴染み、かつ、スタンパ２１を覆
い被せた際には、塗液Ｒがスタンパ２１の中心孔２１ａ
の口縁全周に接するため、スタンパ２１を覆い被せる際
の気泡の混入を防止することができる。また、エアの供
給によって膨張するゴムチャッキング１４を採用したこ
とにより、基材Ｄの装着用中心孔１ａとゴムチャッキン
グ１４との間からの空気の侵入を阻止することができる
ため、塗液Ｒの延伸に際しても気泡の混入を防止するこ
とができる。この結果、例えば真空チャンバなどの高価
な設備が不要となるため、多層光記録媒体１の製造コス
トを十分に低減することができる。また、塗液Ｒの延伸
時に、基材Ｄおよびスタンパ２１が遠心力によって平行
状態に維持される結果、基材Ｄの円周方向および半径方
向に対する塗液Ｒの塗布厚を均一化することができる。

【００３０】なお、本発明は、上記した発明の実施の形
態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、基材Ｄは
円板状に限らず、各種形状の基材を用いることができ
る。また、本発明の実施の形態では、２層の記録層Ｌ
１，Ｌ０を有する多層光記録媒体１を例に挙げて説明し
たが、３層以上の記録層を有する多層光記録媒体を製造
する際にも、本発明に係る多層光記録媒体の製造方法を
有効に適用することができる。また、本発明の実施の形
態では、相変化膜を有する記録層Ｌ０，Ｌ１の製造を例
に挙げて説明したが、本発明における記録層はこれに限
定されず、例えば色素系樹脂の薄膜を有する記録層で構
成することもできる。また、情報を記録層Ｌ０，Ｌ１に
予め記録したピット形成によるＲＯＭの製造にも適用す
ることができる。

【００３１】さらに、本発明の実施の形態では、シリコ
ーンゴム製のゴムチャッキング１４を採用した例を説明
したが、本発明におけるセンターチャッキングは、これ
に限定されず、塗液Ｒの剥離性に優れ、かつ弾性変形可
能な素材である限り、各種ゴムを初めとしてフッ素系材
料やポリオレフィンなどの各種素材で構成することがで
きる。また、本発明の実施の形態では、エア供給部１５
によって供給されるエアによってゴムチャッキング１４
を膨張させ、これによって基材Ｄをチャッキングする例
について説明したが、例えば装着用中心孔１ａよりも僅
かに大径で先細りの柱状ゴムでセンターチャッキングを
構成することもできる。このセンターチャッキングによ
れば、それ自体の弾性力によって基材Ｄをチャッキング
することが可能となる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る多層光記録
媒体の製造方法によれば、再生用レーザービームまたは
記録用レーザービームの入射方向から数えて（Ｍ＋１）
番目の記録層と、Ｍ番目の記録層との間のスペーサ層を
形成する際に、センターチャッキングでチャッキングす
ることによって基材をターンテーブルに固定し、センタ
ーチャッキングの周面と基材との境界部近傍にスペーサ
層形成用の塗液を滴下した後に、スタンパを基材に覆い
被せつつセンターチャッキングによってチャッキングさ
せ、ターンテーブルを回転させて塗液をスピンコートす
ることにより、例えば真空チャンバなどの高価な設備を
用いずに、スタンパを覆い被せる際の気泡の混入および
塗液の延伸時の気泡の混入を防止することができる結
果、製造コストを低減しつつ、良品の多層光記録媒体を
大量生産することができる。また、スタンパを覆い被せ
た状態で塗液を延伸させることにより、基材とスタンパ
とを遠心力によって平行状態に維持できる結果、塗液の
塗布厚を均一化することができる。

【００３３】また、本発明に係る多層光記録媒体の製造
方法によれば、エネルギー線硬化型の樹脂塗液を用い、
かつエネルギー線透過素材で形成されたスタンパを用い
ることにより、例えば熱を加えて硬化させる熱硬化型塗
液を用いる方法と比較して、スペーサ層を短時間で形成
することができる結果、多層光記録媒体の製造コストを
十分に低減することができる。

【００３４】さらに、本発明に係る多層光記録媒体製造
装置によれば、チャッキング時にエアが供給されること
で膨張して装着用中心孔を閉塞するセンターチャッキン
グを備えたことにより、基材の着脱が容易で、しかも、
スタンパを覆い被せる際の気泡の混入および塗液の延伸
時の気泡の混入を防止できる結果、安価かつ良品の多層
光記録媒体を大量生産することができる。

【００３５】また、本発明に係る多層光記録媒体製造装
置によれば、センターチャッキングをその表面が撥水特
性または撥油特性を有する材料で形成したことにより、
塗液の塗布が完了した後に、基材をターンテーブルから
容易に取り外すことができるため、多層光記録媒体の製
造コストをさらに低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る塗布装置１１の構成
を示すブロック図である。

【図２】塗布装置１１におけるターンテーブル１２の外
観斜視図である。

【図３】ターンテーブル１２の上に基材Ｄを載置した状
態の側面断面図である。

【図４】ゴムチャッキング１４を膨張させて固定した基
材Ｄの上に塗液Ｒを滴下した状態の側面断面図である。

【図５】図４の状態における基材Ｄの上にスタンパ２１
を載置した際の側面断面図である。

【図６】基材Ｄ上に載置したスタンパ２１の中心孔２１
ａにおける口縁部周辺と塗液Ｒとが接している状態の側
面断面図である。

【図７】図６の状態のスタンパ２１がさらに押し下げら
れた状態の側面断面図である。

【図８】ターンテーブル１２の回転に伴って生じた遠心
力で塗液Ｒが基材Ｄの外縁部に向けて拡がった状態の側
面断面図である。

【図９】基材Ｄおよびスタンパ２１間の塗液Ｒが基材Ｄ
の外縁部に達した状態の側面断面図である。

【図１０】エアの供給を停止してゴムチャッキング１４
が元の状態に復帰した（収縮した）状態の側面断面図で
ある。

【図１１】スペーサ層Ｓが形成された基材Ｄからスタン
パ２１を取り外した状態の側面断面図である。

【図１２】製造完了後の多層光記録媒体１，３１の側面
断面図である。

【図１３】ターンテーブル４２の上に基材Ｄおよびカバ
ー部材４４を載置した状態の側面断面図である。

【図１４】カバー部材４４の上に塗液Ｒを滴下した状態
の側面断面図である。

【図１５】塗液Ｒが基材Ｄの外縁部に達した状態の側面
断面図である。

【図１６】図１５の状態からカバー部材４４を取り外し
た状態の側面断面図である。

【図１７】図１６の状態の基材Ｄにスタンパ５１を覆い
被せた状態の側面断面図である。

【図１８】スペーサ層Ｓが形成された基材Ｄからスタン
パ５１を取り外した状態の側面断面図である。

【図１９】従来の他の製造方法に従って多層光記録媒体
３１を製造する際に基材Ｄの上に塗液Ｒを滴下した状態
の側面断面図である。

【図２０】図１９の状態の基材Ｄにスタンパ５１を覆い
被せた状態の側面断面図である。

【図２１】塗液Ｒが塗布された状態の側面断面図であ
る。

【符号の説明】

１多層光記録媒体１ａ装着用中心孔１１塗布装置１２ターンテーブル１４ゴムチャッキング１５エア供給部１６塗液供給部１６ａノズル１８紫外線照射部１９制御部２１スタンパ２１ａ中心孔Ｃカバー層Ｄ基材Ｌ０，Ｌ１記録層Ｒ塗液Ｓスペーサ層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者米山健司東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内Ｆターム(参考） 5D121 AA03 AA07 EE22 EE27 EE29 FF03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中心部に装着用中心孔が形成された基材
の上にスペーサ層を挟んで積層したＮ層（Ｎは２以上の
自然数）の記録層を形成する多層光記録媒体の製造方法
であって、再生用レーザービームまたは記録用レーザービームの入
射方向から数えて（Ｍ＋１）番目（Ｍは（Ｎ−１）以下
の自然数）の前記記録層と、Ｍ番目の前記記録層との間
の前記スペーサ層を形成する際に、少なくとも径方向に
弾性変形して前記基材の前記装着用中心孔を閉塞可能な
センターチャッキングを弾性変形させてチャッキングさ
せることによって前記（Ｍ＋１）番目の記録層が形成さ
れた前記基材をターンテーブルに固定し、前記センター
チャッキングの周面と前記基材との境界部近傍にスペー
サ層形成用の塗液を滴下した後に、前記Ｍ番目の記録層
を形成するためのスタンパを当該基材に覆い被せつつ前
記センターチャッキングによってチャッキングさせ、前
記ターンテーブルを回転させることによって前記塗液を
スピンコートする多層光記録媒体の製造方法。
【請求項２】前記スペーサ層形成用の塗液としてエネ
ルギー線硬化型の樹脂塗液を用い、かつ前記スタンパと
してエネルギー線透過素材で形成されたスタンパを用い
る請求項１記載の多層光記録媒体の製造方法。
【請求項３】請求項１記載の多層光記録媒体の製造方
法に従って前記スペーサ層を形成する多層光記録媒体製
造装置であって、前記基材が載置されるターンテーブルと、非チャッキン
グ時において前記基材の前記装着用中心孔よりも小径で
チャッキング時にエアが供給されることで膨張して前記
装着用中心孔を閉塞するセンターチャッキングと、当該
センターチャッキングにエアを供給するエア供給部と、
前記スペーサ層形成用の前記塗液を滴下する塗液滴下部
と、前記エア供給部および前記塗液滴下部を駆動制御す
る制御部とを備えている多層光記録媒体製造装置。
【請求項４】前記センターチャッキングは、その表面
が撥水特性または撥油特性を有する材料で形成されてい
る請求項３記載の多層光記録媒体製造装置。