JP2003047095A - コンデンサマイクロホン及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイクロホンの組立後に金属コーテイング面
からの電荷の注入を行うことが可能になるばかりでな
く、誘電体が十分な洗浄後に、密閉された状態で保たれ
て水分や湿度に強く、信頼性の高いものを提供する。 【解決手段】 導電性軽金属で形成した接地電極層３１
を有する導電性振動膜３と、空気層８を介し前記導電性
振動膜３に対向設置された導電体固定電極５と、前記導
電性振動膜３の空気層８との境界面３２Ｃ側に設けた有
機化合物からなる有機誘電体層３２と、この有機誘電体
層３２内部で有機誘電体層３２の厚さ方向の真中位置よ
りも前記空気層８から遠ざかる奥部に形成したイオン又
は電子からなる永久電荷層３２Ａとを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、外部から電荷を
注入してエレクトレット（分極）化させることにより外
部からの給電を必要としないで動作できるコンデンサマ
イクロホン及びその製造法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、コンデンサマイクロホン
は、導電性振動膜とこれに並行して空気層を介して対向
設置された導電性の固定電極（以下、導電体固体電極と
よぶ）とを備え、振動膜の振動に起因してこの導電性振
動膜と導電体固定電極との間の静電容量の変化を、振動
膜上の音圧として検出するように構成したものである。
この際、その検出を電気信号として出力するため、あら
かじめ二つの導電体（導電性振動膜と導電体固定電極）
の間に、正極電位を形成するために直流電圧を加えてお
き、その変化として静電容量の変化を電気信号として捉
えるものである。また、単位音圧に対する出力電圧の大
きさ、即ち感度は、印加している直流電圧に比例するこ
とが知られている。

【０００３】この正極電位は、外部の直流電源から供給
される場合もあるが、近年では、例えば導電性振動膜或
いは導電体固定電極のいずれかの対向面に、ＦＥＰ（フ
ロロエチレン・プロピレン）などの誘電体膜を装着し、
この誘電体膜に電荷を注入固定し、この電荷の形成する
電場をもって正極電圧相当の電位を得る、といういわゆ
るエレクトレット（少なくとも一部が分極している誘電
体）を利用する方法が開発されている。これにより、外
部直流電源を必要としないコンデンサマイクロホンが実
用化されているわけである。

【０００４】次に、このエレクトレット型のコンデンサ
マイクロホンについて図５を参照しながら説明する。こ
の図５において、ハウジング１０１内部には、振動板リ
ング１０２と、振動膜の一部であるエレクトレット形成
用誘電体１０４と、スペーサ１０５と、固定電極１０６
と、絶縁リング１０７などとを備えている。この誘電体
１０４は、ＦＥＰなどの薄膜で構成されており、この外
面に、金、ニッケルなどの金属を蒸着等で付着させて接
地電極１０３としての機能を持たせたものが設けられて
いる。固定電極１０６には、通気孔１０６Ａが形成され
ている。また、この固定電極１０６には、出力端子１０
８が接続されており、ハウジング１０１との間の電位差
（電圧）が得られるようになっている。

【０００５】エレクトレット形成のための誘電体１０４
への電荷の注入方法としては、電子ビームを用いたり、
コロナ放電を用いるなど、各種の方法が提案されてい
る。また、これらの方法で電荷の注入を行った場合、採
用する方法によっては電荷の注入される深さに若干の差
異があるが、例えば、電子ビームなどではやや深く注入
できるものの、その方法でも、注入する電荷はせいぜい
表面から数十ミリミクロンと、非常に浅いところに固定
されてしまう。

【０００６】即ち、これは、エレクトレット形成用誘電
体膜を導電性振動膜として使用する場合、その外側に前
述した接地電極として、一般的に、導体金属を蒸着など
の方法で数十ミリミクロン程度の膜厚に成膜するが、多
くの場合、その導体金属としては、ニッケル、金などの
重金属を使用している。ところが、高温電界法はもとよ
り、電子ビーム、イオン流、その他の方法でイオン照射
を行う場合でも、そのイオンはこのような重金属を用い
た導体金属の膜を透過することができない。

【０００７】従って、このように注入電荷が非常に浅い
ところに固定されてしまうと、この表面に、例えば水な
どの電解質、金属などの導体、人の皮膚などの非絶縁体
などが接触した場合、この浅い距離を通じて容易に放電
し、注入した電荷が消滅してマイクロホンとしての機能
が破壊されたり、損なわれたりする虞がある。

【０００８】そこで、従来の電荷注入の方法としては、
この導体金属が付着された面とは反対側の面、つまり空
気層１０９に臨んでいる誘電体１０４の内面側からなさ
れるのが一般的であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】こういった事情から、
従来は、電荷注入をマイクロホンとして製品を組立てる
以前に行い、部品としてエレクトレットを予め形成して
おき、これを用いて組立なければならなかった。その結
果、エレクトレットの形成面に人体などの非絶縁体が接
触したり、あるいは部品として保存中に過剰な湿気に暴
露されたりすると、折角注入しておいた電荷が放電し、
組立て後のマイクロホンとしての性能を損なうなどの問
題があった。

【００１０】そこで、この発明は、上記した事情に鑑
み、マイクロホンの組立後に金属コーテイング面からの
電荷の注入を行うことが可能になり、組立が容易になる
ばかりか、誘電体が十分な洗浄後に、密閉された状態で
保たれて水分や湿度に強く、湿度、温度などの環境条件
が過酷なところであっても、優れた電気音響変換特性を
維持することのできる信頼性の高いコンデンサマイクロ
ホン及びその製造方法を提供することを目的とするもの
である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、導電性軽金
属で形成した接地電極層を有する導電性振動膜と、空気
層を介し前記導電性振動膜に対向設置された導電体固定
電極と、前記導電性振動膜の空気層との境界面側に設け
た有機化合物からなる有機誘電体層と、この有機誘電体
層内部で有機誘電体層の厚さ方向の真中位置よりも前記
接地電極層側に形成したイオン又は電子からなる永久電
荷層とを有することを特徴としている。

【００１２】これにより、例えば空気中でコロナ放電を
生じさせてイオンを形成し、電界によって加速するな
ど、接地電極層の金属面を透過して電界を注入させるこ
とができるようになる。

【００１３】また、この発明は、前記永久電荷層から前
記空気層に接する内端面までの前記有機誘電体層内部
が、エレクトレット化されて電位を有している。

【００１４】これにより、外部からの給電を行わなくて
も、コンデンサマイクロホンを動作できるようになる。

【００１５】また、この発明は、前記有機誘電体層は膜
厚が１〜５０μｍを有し、前記接地電極層は、前記有機
誘電体層上に導電性軽金属を厚さ０．１μｍ以下に成膜
させて形成するのが好ましい。

【００１６】また、この発明は、前記有機誘電体層は、
ＦＥＰ（フロロエチレン・プロピレン）、ＰＦＡ（ポリ
フロロ・アセタール）、ＰＴＦＥ（ポリテトラ・フロロ
エチレン）のいずれかを用いて形成してもよい。

【００１７】また、この発明は、導電性軽金属で形成し
た接地電極層を有する導電性振動膜と、空気層を介しこ
の振動膜に対向設置された導電体固定電極と、この導電
体固定電極の空気層との境界面側に設けた無機酸化物又
は有機化合物からなる無機又は有機誘電体層と、この無
機又は有機誘電体層内部で無機又は有機誘電体層の厚さ
方向の真中より前記導電体固定電極側に形成したイオン
又は電子からなる永久電荷層とを有することを特徴とし
ている。

【００１８】これにより、例えば空気中でコロナ放電を
生じさせてイオンを形成し、電界によって加速するな
ど、接地電極層の金属面を透過して電界を注入させるこ
とができる。

【００１９】また、この発明は、前記永久電荷層から前
記空気層に接する内端面までの前記無機又は有機誘電体
層内部がエレクトレット化されて電位を有するように構
成できる。

【００２０】これにより、外部からの給電を行わなくて
も、コンデンサマイクロホンを動作できるようになる。

【００２１】また、この発明は、前記導電性振動膜には
有機化合物からなる厚さ４μｍ以下の誘電体層を用いる
とともに、この有機誘電体層上に、前記導電性軽金属を
厚さ０．１μｍ以下に成膜させて前記接地電極層を設け
るのが好ましい。

【００２２】また、この発明は、前記無機又は有機誘電
体層には、厚さが１μｍ以上の二酸化珪素（ＳｉＯ２）
を用いることができる。

【００２３】また、この発明は、前記導電性振動膜と前
記導電性固定電極とを収容するハウジングの外面に、内
径１．０ｍｍ以上の円孔を形成するのが好ましい。

【００２４】また、この発明は、導電性軽金属で形成し
た接地電極層を有する導電性振動膜と、空気層を介し前
記導電性振動膜に対向設置された導電体固定電極と、前
記導電性振動膜の空気層との境界面側に設けた有機化合
物からなる有機誘電体層と、この有機誘電体層内部で有
機誘電体層の厚さ方向の真中位置よりも前記空気層から
遠ざかる奥部に形成したイオン又は電子からなる永久電
荷層とを有するコンデンサマイクロホンの製造方法であ
って、前記コンデンサマイクロホンを組み立てた後、イ
オン化物又は電子を、加速させて前記導電性振動膜の外
部から入射させ、有機誘電体層内に注入して前記永久電
荷層を形成することを特徴としている。

【００２５】これにより、組立が容易になるばかりか、
有機誘電体層が十分な洗浄後に、密閉された状態で保た
れて水分や湿度に強く、湿度、温度などの環境条件が過
酷な下であっても、優れた電気音響変換特性を維持する
ことのできる。

【００２６】また、この発明は、導電性軽金属で形成し
た接地電極層を有する導電性振動膜と、空気層を介しこ
の振動膜に対向設置された導電体固定電極と、この導電
体固定電極の空気層との境界面側に設けた無機酸化物又
は有機化合物からなる無機又は有機誘電体層と、この無
機又は有機誘電体層内部で無機又は有機誘電体層の厚さ
方向の真中より前記空気層から遠ざかる奥部に形成した
イオン又は電子からなる永久電荷層とを有するコンデン
サマイクロホンの製造方法であって、前記コンデンサマ
イクロホンを組み立てた後、イオン化物又は電子を、加
速させて前記導電性振動膜の外部から入射させ、前記無
機又は有機誘電体層内に注入して前記永久電荷層を形成
することを特徴としている。

【００２７】これにより、組立が容易になるばかりか、
無機誘電体層が十分な洗浄後に、密閉された状態で保た
れて水分や湿度に強く、湿度、温度などの環境条件が過
酷な下であっても、優れた電気音響変換特性を維持する
ことのできる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、この発明における実施の形
態について、添付図面を参照しながら説明する。 ［第１の実施形態］図１は、この発明の第１の実施形態
に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの基本構
造のうち電気音響変換に係る主要部の拡大模式図を示す
ものである。このエレクトレットコンデンサマイクロホ
ンは、大略構成として、ハウジング１内部に、振動板リ
ング２と、接地電極（以下、外側電極層３１とよぶ）を
有する導電性の振動膜３と、スペーサ４と、導電体固定
電極（以下、内側電極とよぶ）５と、絶縁リング６とを
備えており、このハウジング１からは固定電極５とハウ
ジング１との間の電圧（電位差）を出力する出力端子７
が引き出されている。

【００２９】ハウジング１は、中空円筒状に形成されて
おり、基端面の全体が開口されて大開口部１Ａを形成し
ているとともに、蓋を構成する先端面(外面)１Ｂには直
径１．０ｍｍ以上の円孔１Ｃが開口されている。また、
このハウジング１の内部には、略リング状の封止部材１
２が内挿・固着されており、絶縁リング６の抜け止めが
なされている。

【００３０】振動板リング２は、振動膜３の周辺を固定
するものであり、略リング状に形成されており、ハウジ
ング１の内部先端に固定されている。

【００３１】振動膜３は、外側寄りのものから順に、接
地電極である外側電極層３１と有機化合物からなる有機
誘電体層３２とを備えている。このうち外側電極層３１
は、導電性金属のうち特に軽金属を用いて形成されてい
る。即ち、これは、金（Ａｕ）やニッケル（Ｎｉ）など
の（導電性の）重金属を使用すると、この金属面を貫通
させてイオン（電荷）又は電子の注入を行うことが困難
であるからである。

【００３２】このため、この実施形態では、外側電極層
３１に、導電性軽金属として、例えばアルミニュウム
（Ａｌ）を用い、これを、メッキ、蒸着、スパッタリン
グ等により有機誘電体層３２上に厚さ０．１μｍ以下に
成膜させている。この場合、マイクロホンに接続される
入力回路は、入力抵抗が１０００メグオーム以上である
から、外側電極層３１の抵抗値が従来の重金属を使用す
る場合に比べて大きくなることは問題ない。なお、この
実施形態では、導電性軽金属としてアルミニュウムを使
用しているが、これ以外の導電性軽金属、例えばベリリ
ウム（Ｂｅ）などを使用してもよい。

【００３３】一方、有機誘電体層３２は、空気層８を介
して導電体固定電極５と並行状態で対向配置されてお
り、この実施形態では、誘電体膜として厚さ１２．５μ
ｍのＦＥＰ（フロロエチレン・プロピレン）を使用して
いる。この有機誘電体層３２には、エレクトレットコン
デンサマイクロホンを構成する各部材を組付けた後で、
外側電極層（導体コーティング）層３１の外側からイオ
ン（電荷）又は電子を注入させており、これによって内
部には永久電荷層３２Ａが形成され、バイアス電荷を形
成することができるようになっている。

【００３４】このため、図２に示すように、この有機誘
電体層３２の内部の永久電荷層３２Ａから空気層８に対
向する端面(以下、内端面とよぶ)３２Ｃにかけては、エ
レクトレット（少なくとも一部が分極している誘電体）
化されており（これをエレクレット層３２Ｂとよぶ）、
同図（Ｂ）に示すように、外部電界が形成されている。
なお、この実施形態では、有機誘電体膜としてＦＥＰ
（フロロエチレン・プロピレン）を使用しているが、こ
れ以外に、例えばＰＦＡ（ポリフロロ・アセタール）、
ＰＴＦＥ（ポリテトラ・フロロエチレン）などを使用し
てもよい。

【００３５】スペーサ４は、外側電極層３１と内側電極
５との間の距離を設定・調整するためのものであり、適
宜に絶縁物を用いて厚さ２５μｍの略リング状に形成さ
れており、外側電極層３１と内側電極５との間のハウジ
ング１内部に固定されている。

【００３６】固定電極５は、所定の金属によって形成さ
れており、絶縁リング６の段部６Ａに支持されている。
そして、この固定電極５には、空気層８内の空気の出入
のために通気孔５Ａが複数箇所に穿設されている。な
お、この実施形態では、空気層８の厚さ、つまりスペー
サ４の厚さを２５μｍとしている。この固定電極５は、
振動膜３が図２（Ａ）において、例えば左右方向に振動
した場合に、同図（Ｂ）に示す電位差Ｖが変動し、この
電位差Ｖに起因した空気層８中の電界強度が変化してこ
の固定電極５から変動分に対応した出力が得られるよう
になっている。

【００３７】次に、振動膜３の有機誘電体層３２中にエ
レクトレットを形成するためのイオン（電荷）の注入方
法について、説明する。この実施形態では、初めに、従
来のものとは異なり、エレクトレットコンデンサマイク
ロホンの組立を完成させておき、振動膜３の外側電極層
３１を接地しておく。なお、この際、いわゆる組立前荷
電（帯電）が発生して、これ起因する埃の吸着、不注意
による接触放電などの不具合が生じるのを防止するた
め、十分に洗浄・乾燥させておく。

【００３８】次に、この振動膜３の外側から、電子ビー
ム、コロナ放電、その他の適宜の手段を用いて、適宜の
エネルギーで、例えば電界強度１００ＫＶ／ｍ〜５００
ＫＶ／ｍで酸素イオンを加速させ、図１に示すように、
外側電極層３１の外側からこの外側電極層３１内に酸素
イオン又は電子を入射・注入させる。

【００３９】これにより、振動膜３の有機誘電体層３２
内部には、この有機誘電体層３２の厚さ方向の真中より
空気層８から遠ざかる（深い）奥部に永久電荷層３２Ａ
が形成され、その結果、表面が所定の電位、例えばこの
実施形態では２３０Ｖの表面電位が得られる。なお、こ
の表面電位は、各部の寸法と空気層８を占める空気の誘
電率ε及びマイクロホンとしての音圧感度などから、適
宜に設定・調整することができる。

【００４０】［第２の実施形態］図３は、この発明の第
２の実施形態に係るエレクトレットコンデンサマイクロ
ホンの電気音響変換に係る主要部の拡大模式図を示すも
のである。なお、この実施形態において、第１の実施形
態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。
この実施形態のエレクトレットコンデンサマイクロホン
では、導電性振動膜３の（有機化合物からなる）誘電体
層３４側ではなく、導電体固定電極（以下、内側電極と
よぶ）５２に設けた無機又は有機誘電体層５１にエレク
トレットを形成している。

【００４１】誘電体層３４は、第１の実施形態のものに
比べてエレクトレットを形成しない分だけ、また、照射
イオンが導電性振動膜３を貫通し易くするために厚さを
４μ以下に薄くしており、例えばこの実施形態では厚さ
３．５μｍのポリエステルフィルム（ＰＥＴ）が使用さ
れている。なお、外側電極層３３は、第１の実施形態の
外側電極層３１と同様に、０．１μｍ（１０００Å）の
厚さに成膜したアルミニュウム等の軽金属で構成されて
いる。

【００４２】内側電極５２には、所定の金属によって形
成されており、第１の実施形態と同じ絶縁リング６の段
部６Ａに支持されている。なお、この内側電極５２に
は、誘電体層５１と一体で、通気孔５２Ａが複数箇所に
穿設されている。なお、この実施形態でも、空気層８の
厚さ、つまりスペーサ４の厚さを２５μｍとしている。

【００４３】無機又は有機誘電体層５１は、エレクトレ
ットを形成するためのものであり、導電体固定電極５の
空気層８との境界面側に設けた無機酸化物又は有機化合
物から構成されている。この実施形態では、無機材料、
例えば二酸化珪素（ＳｉＯ２）などの薄膜を所要の厚
さ、即ち、１〜５０μｍ程度に成膜されたものが使用さ
れている。そして、この無機又は有機誘電体層５１に
は、コンデンサマイクロホンを構成する各部品を組付け
た後で、外側電極層３３の外側から酸素イオン（電荷）
又は電子を照射・注入させており、これによって内部に
は永久電荷層５１Ａ（図４参照）が形成され、バイアス
電荷を付与することができるようになっている。

【００４４】即ち、図４に示すように、この無機又は有
機誘電体層５１の内部の永久電荷層５１Ａから空気層８
に接する端面(以下、内端面とよぶ)５１Ｃにかけては、
エレクトレット（分極）化されており（これをエレクレ
ット層５１Ｂとよぶ）、同図（Ｂ）に示すように、外部
電界が形成されている。なお、この実施形態では、無機
酸化物として二酸化珪素（ＳｉＯ２）が用いられている
が、有機化合物の場合には、次のような材料でもよい。
即ち、この誘電体層５１の形成材料として、無機材料で
はなく有機化合物、例えばＦＥＰ（フロロエチレン・プ
ロピレン）、ＰＦＡ（ポリフロロ・アセタール）、ＰＴ
ＦＥ（ポリテトラ・フロロエチレン）などを使用しても
よい。

【００４５】次に、無機又は有機誘電体層５１中にエレ
クトレットを形成するためのイオン（電荷）又は電子の
注入方法について、説明する。この実施形態でも、従来
のものとは異なり、初めに、エレクトレットコンデンサ
マイクロホンの組立を完成させておき、振動膜３の外側
電極層３１を接地しておく。なお、この場合にも、いわ
ゆる組立前荷電（帯電）が発生して、これ起因する埃の
吸着、不注意による接触放電などの不具合が生じるのを
防止するため、純水などにより十分に洗浄・乾燥させて
おく。

【００４６】次に、この導電性振動膜３の外側から、電
子ビーム、コロナ放電、その他の適宜の手段を用いて、
適宜のエネルギーで、例えば電界強度１００ＫＶ／ｍ〜
５００ＫＶ／ｍで酸素イオン又は電子を加速させ、図３
に示すように、外側電極層３３の外側からその酸素イオ
ン又は電子を入射・注入させる。

【００４７】これにより、加速されて高エネルギーを付
与された酸素イオン又は電子が、振動膜３を貫通して無
機又は有機誘電体層５１の厚さ方向の真中より深い奥部
まで入り込み永久電荷層５１Ａが形成される。その結
果、無機又は有機誘電体層５１は、空気層８との界面側
で表面電位が数十Ｖに帯電される。この表面電位は、各
部の寸法と空気層８を占める空気の誘電率ε及びマイク
ロホンとしての音圧感度などから、適宜に調整・設定す
ることができる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明してきたように、この発明で
は、導電性振動膜には、導電性軽金属で形成した接地電
極層を有し、永久電荷層は、有機誘電体層内部で有機誘
電体層の厚さ方向の真中位置よりも空気層から遠ざかる
奥部に形成したイオン又は電子からなる構成、或いは、
無機又は有機誘電体層内部で無機又は有機誘電体層の厚
さ方向の真中よりも空気層から遠ざかる奥部に形成した
イオン又は電子からなる構成としている。

【００４９】従って、この発明によれば、マイクロホン
の組立後に軽金属コーテイング面からの電荷の注入を行
うことが可能になり、組立が容易になるばかりか、誘電
体が十分な洗浄後に、密閉された状態に保たれて水分や
湿度に強く、湿度、温度などの環境条件が過酷なところ
であっても、優れた電気音響変換特性を維持することの
できる信頼性の高いものが実現できるコンデンサマイク
ロホンを提供することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態に係るコンデンサマ
イクロホンを示す概略断面図である。

【図２】図１に示すコンデンサマイクロホンのＡ部拡大
模式図である。

【図３】この発明の第２の実施形態に係るコンデンサマ
イクロホンを示す概略断面図である。

【図４】図３に示すコンデンサマイクロホンのＢ部拡大
模式図である。

【図５】従来のコンデンサマイクロホンを示す概略断面
図である。

【符号の説明】

１ ハウジング １Ｃ 円孔 ２ 振動板 ３ 導電性振動膜 ３１ 外側電極層(接地電極) ３２ 誘電体層（有機誘電体層） ３２Ａ 永久電荷層 ３２Ｂ エレクレット層（少なくとも一部が分極して
いる誘電体層） ３２Ｃ （内）端面 ３３ 外側電極層（接地電極） ３４ 有機誘電体層 ４ スペーサ ５ 導電体固定電極（内側電極） ５１ 無機又は有機誘電体層 ５１Ａ 永久電荷層 ５１Ｂ エレクレット層（少なくとも一部が分極して
いる誘電体層） ５１Ｃ （内）端面 ５２ 導電体固定電極（内側電極） ７ 出力端子 ８ 空気層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 利光 平大 神奈川県横浜市緑区北八朔町1988−34 利 光社内 Ｆターム(参考） 5D021 CC03 CC08 CC20

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性軽金属で形成した接地電極層を有
   する導電性振動膜と、 空気層を介し前記導電性振動膜に対向設置された導電体
   固定電極と、 前記導電性振動膜の空気層との境界面側に設けた有機化
   合物からなる有機誘電体層と、 この有機誘電体層内部で有機誘電体層の厚さ方向の真中
   位置よりも前記接地電極層側に形成したイオン又は電子
   からなる永久電荷層とを有することを特徴とするコンデ
   ンサマイクロホン。
2. 【請求項２】 前記永久電荷層から前記空気層に接する
   内端面までの前記有機誘電体層内部が、エレクトレット
   化されて電位を有することを特徴とする請求項１に記載
   のコンデンサマイクロホン。
3. 【請求項３】 前記有機誘電体層は膜厚が１〜５０μｍ
   を有し、 前記接地電極層は、前記有機誘電体層上に導電性軽金属
   を厚さ０．１μｍ以下に成膜させて形成したことを特徴
   とする請求項１に記載のコンデンサマイクロホン。
4. 【請求項４】 前記有機誘電体層は、ＦＥＰ（フロロエ
   チレン・プロピレン）、ＰＦＡ（ポリフロロ・アセター
   ル）、ＰＴＦＥ（ポリテトラ・フロロエチレン）のいず
   れかを用いて形成されていることを特徴とする請求項１
   〜３のいずれか１項に記載のコンデンサマイクロホン。
5. 【請求項５】 導電性軽金属で形成した接地電極層を有
   する導電性振動膜と、 空気層を介しこの振動膜に対向設置された導電体固定電
   極と、 この導電体固定電極の空気層との境界面側に設けた無機
   酸化物又は有機化合物からなる無機又は有機誘電体層
   と、 この無機又は有機誘電体層内部で無機又は有機誘電体層
   の厚さ方向の真中より前記導電体固定電極側に形成した
   イオン又は電子からなる永久電荷層とを有することを特
   徴とするコンデンサマイクロホン。
6. 【請求項６】 前記永久電荷層から前記空気層に接する
   内端面までの前記無機又は有機誘電体層内部がエレクト
   レット化されて電位を有することを特徴とする請求項５
   に記載のコンデンサマイクロホン。
7. 【請求項７】 前記導電性振動膜には有機化合物からな
   る厚さ４μｍ以下の誘電体層を用いるとともに、 この有機誘電体層上に、前記導電性軽金属を厚さ０．１
   μｍ以下に成膜させて前記接地電極層を設けたことを特
   徴とする請求項５に記載のコンデンサマイクロホン。
8. 【請求項８】 前記無機又は有機誘電体層には、厚さが
   １μｍ以上の二酸化珪素（ＳｉＯ２）を用いたことを特
   徴とする請求項５に記載のコンデンサマイクロホン。
9. 【請求項９】 前記導電性振動膜と前記導電性固定電極
   とを収容するハウジングの外面に、内径１．０ｍｍ以上
   の円孔を形成したことを特徴とする請求項１又は３に記
   載のコンデンサマイクロホン。
10. 【請求項１０】 導電性軽金属で形成した接地電極層を
    有する導電性振動膜と、空気層を介し前記導電性振動膜
    に対向設置された導電体固定電極と、前記導電性振動膜
    の空気層との境界面側に設けた有機化合物からなる有機
    誘電体層と、この有機誘電体層内部で有機誘電体層の厚
    さ方向の真中位置よりも前記空気層から遠ざかる奥部に
    形成したイオン又は電子からなる永久電荷層とを有する
    コンデンサマイクロホンの製造方法であって、 前記コンデンサマイクロホンを組み立てた後、イオン化
    物又は電子を、加速させて前記導電性振動膜の外部から
    入射させ、有機誘電体層内に注入して前記永久電荷層を
    形成することを特徴とするコンデンサマイクロホンの製
    造方法。
11. 【請求項１１】 導電性軽金属で形成した接地電極層を
    有する導電性振動膜と、空気層を介しこの振動膜に対向
    設置された導電体固定電極と、この導電体固定電極の空
    気層との境界面側に設けた無機酸化物又は有機化合物か
    らなる無機又は有機誘電体層と、この無機又は有機誘電
    体層内部で無機又は有機誘電体層の厚さ方向の真中より
    前記空気層から遠ざかる奥部に形成したイオン又は電子
    からなる永久電荷層とを有するコンデンサマイクロホン
    の製造方法であって、 前記コンデンサマイクロホンを組み立てた後、イオン化
    物又は電子を、加速させて前記導電性振動膜の外部から
    入射させ、前記無機又は有機誘電体層内に注入して前記
    永久電荷層を形成することを特徴とするコンデンサマイ
    クロホンの製造方法。