JP2001112091A - コンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法及び電荷帯電装置 - Google Patents

コンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法及び電荷帯電装置

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JP2001112091A
JP2001112091A JP2000209443A JP2000209443A JP2001112091A JP 2001112091 A JP2001112091 A JP 2001112091A JP 2000209443 A JP2000209443 A JP 2000209443A JP 2000209443 A JP2000209443 A JP 2000209443A JP 2001112091 A JP2001112091 A JP 2001112091A
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Jong-Kyu Kim
金鍾圭
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はコロナ放電とイオン注入にコンデン
サマイクロホンに設けた振動板(背極板)、すなわち、
両面に電導性物質が蒸着した高分子物質の薄膜フィルム
中に電荷を帯電する。 【解決手段】 高分子物質の薄膜フィルムに電導性物質
が蒸着して構成された振動板の表面に電荷を帯電するコ
ンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法及び装置
において、陽イオン発生装置から供給される陽イオンと
陰イオン装置から供給される陰イオンとを、高電圧が加
わる経路に供給して当該空間部分に導電性媒質の空気層
を形成した後、高電圧によるコロナ放電で発生する電荷
を振動板(背極板)に注入し、高分子物質の薄膜フィル
ム中に電気二重層を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンデンサマイク
ロホン用振動板の電荷帯電方法及び電荷帯電装置に関
し、特にコロナ放電とイオン注入によりコンデンサマイ
クロホンに組み込まれた振動板(背極板)、すなわち、
両側に電導性物質が蒸着された高分子物質の薄膜フィル
ム中に電荷を帯電するようにしたコンデンサマイクロホ
ン用振動板の電荷帯電方法及び電荷帯電装置に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、極性コンデンサマイクロホンは、
極性電圧として数100ボルトの直流の外部供給電源を
要する。一方、無極性コンデンサマイクロホンは振動板
(背極板)として、電荷蓄積特性の優れた高分子フィルム
に電導性物質を蒸着したもの、または高分子フィルムを
背極板に接着したものに電荷を蓄積したものを用いてい
おり、外部供給電源を有しないですむという特性を持
つ。
【0003】このような無極性コンデンサマイクロホ
ン、すなわち、空気中の波動である音波を受けて電気信
号に変換するマイクロホンは、図1に示すように、音波
を受け取る部分、すなわち、高分子物質の薄膜フィルム
にアルミニウム、ニッケル、銀、金等の電導性物質を蒸
着している振動板101と、前記振動板101と所定距
離離隔するように設けられ、音を電気信号に変換する背
極板(back plate,polarplate)102と、図示しない後
端の増幅器が必要とする入力インピーダンスに整合する
ためのFET(Field Effect Transistor)103等で構
成されている。これら振動板101、背極板102、及び
FET103は、内部にベースが充填されたケースによ
り固定されており、FET103のドレーン端子とソー
ス端子は、外部に露出して設けられている。
【0004】このようなコンデンサマイクロホンの振動
板或いは背極板は、図2に示すように、高電圧発生装置
1の陰極端子を振動板モジュール5の下端に接続し、高
電圧発生装置1の陽極端子に接続された高電圧針棒を振
動板モジュール5の上端から所定距離離隔するように設
ける。
【0005】その後、高電圧発生装置1から出力する高
電圧を供給すれば、振動板モジュール5の両端に電界が
形成される共に、コロナ放電により振動板モジュール
5、すなわち、振動板(背極板)に電荷が注入されて図8
に示すように、二重構造の電気層が形成される。
【0006】しかし、大気中の湿度や温度或いは塵埃等
により、コロナ放電で発生し振動板に注入される電荷が
失われるばかりでなく、電荷が振動板の全面に一様に注
入されない欠点がある。すなわち、大気中の湿度や温度
或いは塵埃等の影響により、電荷を振動板の全面に一様
に帯電することが出来ないばかりでなく、用いる電圧が
高電圧であり帯電時間が長くて、振動板に電荷を帯電す
るための帯電装置の自動化を図ることができないという
欠点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、コロ
ナ放電によりコンデンサマイクロホン用振動板に注入す
る電荷の損失を低減することによって電荷の帯電効率を
高める一方、大気中の湿度や温度或いは塵埃等による帯
電時間の長期化を解決して、帯電装置の自動化を図るよ
うにしたコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方
法及び電荷帯電装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明にかかるコンデンサマイクロホン用振動板
の電荷帯電方法は、高分子物質の薄膜フィルムに電導性
物質を蒸着して構成した振動板の表面に電荷を帯電する
コンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法におい
て、陽イオン発生装置から供給される陽イオンと陰イオ
ン装置から供給される陰イオンとを高電圧が加わる経路
に供給して当該空間部分に導電性媒質の空気層を形成し
た後、高電圧によるコロナ放電で発生する電荷を注入
し、前記高分子物質の薄膜フィルム中に電気二重層を形
成することを特徴とする。このコンデンサマイクロホン
用振動板の電荷帯電方法において、前記振動板(背極板)
に用いる高分子物質の薄膜フィルムとしては、FEP
(CF3CF、CF2:tetrafluoroethylene- hexafluoroethyle
ne copolymer)フィルムが好適である。
【0009】本発明にかかるコンデンサマイクロホン用
振動板の電荷帯電装置は、高分子物質の薄膜フィルムに
電導性物質を蒸着して構成された振動板の表面に電荷を
帯電するコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電装
置において、陽イオンを高電圧が加わる経路に供給して
導電性媒質の空気層を形成する陽イオン発生装置と、陰
イオンを高電圧が加わる経路に供給して導電性媒質の空
気層を形成する陰イオン発生装置と、更に前記高分子物
質の薄膜フィルム中に電気二重層を形成するためのコロ
ナ放電が発生するように、前記導電性媒質の空気層を介
して高電圧を供給する高電圧発生装置を備えたことを特
徴とする。
【0010】このコンデンサマイクロホン用振動板の電
荷帯電装置において、前記振動板(背極板)に用いる高分
子物質の薄膜フィルムとしては、FEP(CF3CF、CF2:te
trafluoroethylene- hexafluoroethylene copolymer)フ
ィルムが好適である。
【0011】本発明にかかる他のコンデンサマイクロホ
ン用振動板の電荷帯電装置は、上下に貫通した多数個の
ホールが形成されており、高電圧発生装置から供給され
る高電圧を調節することによって前記振動板に供給する
電荷量を調節するようにしたメッシュを更に備えたこと
を特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を添付図
面に基づいて詳細に説明する。本発明のコンデンサマイ
クロホン用振動板の電荷帯電装置は、図3に示すよう
に、高電圧発生装置1の陽極端子に接続された高電圧針
棒7が、振動板モジュール5と所定距離離隔するように
振動板モジュール5の上端に設けられ、この高電圧発生
装置1の陰極端子が振動板モジュール5の下端に接続さ
れている。すなわち、高電圧発生装置1の陽極と陰極が
振動板モジュール5を挟んで互いに対向するように設け
られている。
【0013】更に、陰イオン発生装置2と陽イオン発生
装置3の一側は、振動板モジュール5の上端に陰イオン
と陽イオンを供給するように、高電圧発生装置1の陽極
端子に接続された高電圧針棒7の近くに設けられてお
り、振動板モジュール5の上端、すなわち、振動板モジ
ュール5と高電圧発生装置1の陽極端子に接続された高
電圧針棒7との間には、所定の直径を有する多数個のホ
ールが形成されたメッシュ4が介入されており、このメ
ッシュ4には高電圧発生装置10が接続され、振動板モ
ジュール5の振動板に注入する電荷量を調節するように
なっている。図中、6は接地線である。
【0014】このように構成された本発明の作用を述べ
る前に、振動板及び背極板について説明する。コンデン
サマイクロホンの内で、音を受ける部位である振動板は
音圧変化を機械的振動に変換するが、これは真空中で高
分子物質の薄膜フィルムとして、FEP(CF3CF、CF2:t
etrafluoroethylene- hexafluoroethylene copolymer)
フィルムの素材にアルミニウム、ニッケル、銀、金等を
蒸着したものを用いることができる。
【0015】この振動板の素材である高分子物質は、誘
発色を有する結晶性熱可塑性樹脂であり、ヘキサフルオ
ロエチレンが約15〜25%含まれ、融点は260〜2
90℃である。
【0016】振動板や背極板を構成する高分子物質の薄
膜フィルム、すなわち、FEPフィルムは、両端に電圧
を加えた時、印加された電荷を保持する特性を有する。
つまり、高分子の絶縁物をフィルム状にして両面を電極
間に介入させ高電圧を加わえれば、絶縁物の内部に強力
な電界が発生し、物質の分子は図8に示すように(+)
側電極には(−)の電荷が、(−)側電極には(+)電
荷が現れる。
【0017】これは物質中に均等に現れ、この層が電気
二重層、つまり分極である。この分極状態は、普通の物
質では加えた電圧が零になれば元の状態に戻るが、高分
子有機化学物質であるFEPフィルムでは、電圧が加え
られて分極が出現した後、電圧が零になっても磁化され
た磁石と同様に電界を保持し続ける特性を有する。
【0018】更に、高電圧針棒7とメッシュ4に高電圧
を供給する高電圧発生装置1,2においては、図4及び
図7に示すように、パワーサプライ(power supply)1
1,47に供給された電源(DC18V)は、可変調節
器12,48の操作によりそのレベルが調節された後、
OSC(oscillator)13,39により所定の周波数を
もつ発振周波数で発振され、スイッチング回路14,5
0に供給される。
【0019】このように発振された交流電圧は、スイッ
チング回路14,50とトランス15,51により2段
階を経て高電圧の交流電圧に昇圧された後、再びマルチ
昇圧整流器16,52により高電圧の直流電圧(−10
kV)(+10kV)に変換され、高電圧針棒7とメッ
シュ4に各々供給される。また、電荷をより効果的に帯
電するために、陰イオンと陽イオンを供給する陰イオン
発生装置2と陽イオン発生装置3の動作を図5及び図6
によって説明する。
【0020】まず、可変調節器18,35によりプッシ
ュプルスイッチング回路29,44への供給を調節す
る。電源(DC 36V)が接続されたパワーサプライ
17,32は、AVC(Automatic Voltage Control Ci
rcuit)19,34によって電圧が自動調整されると共
に可変調節器18,35で調節された電圧が出力され、
さらに出力電流調節器20,33で所定の電流に調節さ
れてプッシュプルスイッチング回路29,44に供給さ
れる。
【0021】また、電源(DC18V)が印加されるV
CO(Voltage Control Oscillator)22,36は、基
準電圧21,38を可変調節器23,39で調節した電
圧に応じて所定の発振周波数を発振して、AFC(Auto
matic Frequency Control Circuit)24,37に印加
する。次いで、AFC24,37は、この発振周波数の
周波数を調節して反転バッファ25,40と非反転バッ
ファ27,41に各々印加して反転及び非反転した後、
フィルター26,42,28,43に各々供給する。
【0022】次に、フィルター26,42,28,43
によりフィルタリングされた発振周波数がプッシュプル
スイッチング回路29,44に印加すると、プッシュプ
ルスイッチング回路29,44は、印加された発振周波
数によって出力電流調節器20,33、すなわち、パワ
ーサプライ17,32からの出力を交流に一次昇圧して
トランス30,45に供給する。
【0023】更に、トランス30,45によって二次昇
圧された交流は、マルチ昇圧整流器31,46によって
直流(−2kV,−10kV)に変換され、陰イオンと
陽イオンを発生するための電源に供給される。
【0024】このような特性をもつFEPフィルム、す
なわち、振動板(背極板)に電荷を帯電する過程におい
ては、陰イオン発生装置2と陽イオン発生装置3で発生
する陰イオンと陽イオンを高電圧の導入経路に供給して
合成させることにより、大気、すなわち、高電圧発生装
置1の高電圧針棒7と振動板モジュール5の空間部分に
導電性媒質の空気層を形成する。
【0025】ここで、陽イオン及び陰イオンは、空気を
浄化する空気浄化器や静電気を除去する静電気除去器に
用いるが、これは電界効果を利用してFEPフィルムの
表面に電荷を帯電する用途に用いる場合に極めて有用で
ある。
【0026】陽イオン或いは陰イオンは電解質成分の一
つであって、電荷を担って電流と逆方向に移動する性質
をもち、このイオンが運搬する電子の数SO4 2、O
-、Cl-によってその量を表す。
【0027】なお、イオンは、原子の最外軌道において
電子数が正常状態より少ないか、または多いかによって
陽イオン或いは陰イオンで表す。これは、電気的に中性
でなく、電子が不足である場合は陽電荷を帯びるため陽
イオン、電子が過多である場合は陰電荷を帯びるため陰
イオンと呼ばれ、この電子数の量を調節してFEPフィ
ルムの結晶構造と加速電圧を調節することによって、空
気中を通過する際に行われる連続的な膜の形成による電
位を得ることができる。
【0028】このように、陰イオン発生装置2と陽イオ
ン発生装置3で発生する陰イオンと陽イオンを合成し、
高電圧発生装置1から供給する高電圧の導入経路、すな
わち、高電圧発生装置1の陽極端子に接続された高電圧
針棒7と振動板モジュール5の空間部分に導電性媒質の
空気層を形成した後、高電圧発生装置1から供給する高
電圧を振動板モジュール5に加えることにより、振動板
モジュール5、すなわち、FEPフィルムよりなる振動
板の表面に図8のように電荷を帯電させることができ
る。
【0029】なお、本発明では高電圧の導入経路、すな
わち、高電圧発生装置1の陽極端子に接続された高電圧
針棒7と振動板モジュール5の間に所定の直径を有する
多数個のホールが形成されたメッシュ4を介入させて、
振動板モジュール5の振動板に注入する電荷量を調節す
ることができる。すなわち、メッシュ4に形成したホー
ルの直径や高電圧発生装置10からメッシュ4に供給す
る高電圧を調節することにより、振動板モジュール5の
振動板に注入する電荷量を任意に調節することができ
る。
【0030】これにより、振動板に帯電された電荷を半
永久的に保持することができ、電荷の帯電時間を短縮し
て瞬時的に帯電することにより帯電装置の自動化を図る
ことができ、従って高い歩留まりで良質の製品を製造す
ることができる。
【0031】以上、本発明を記載された具体例について
のみ詳細に説明したが、本発明の技術思想の範囲内で種
々の変形及び修正が可能であることは、当業者において
は明らかであり、このような変形及び修正が添付した特
許請求の範囲に属することは当然である。
【0032】
【発明の効果】前記説明したように、本発明は、空気中
の湿度や温度の変化にかかわらず、振動板に帯電される
電荷の帯電量を安定的に保持すること、振動板の全面に
亘る帯電により帯電散布度を安定的に保持すること、ま
た、過放電による振動板、すなわち、FEPの表面が損
なわれるのを防ぐことができ、従って振動板の歩留まり
分布度が安定し、信頼性を高めることができる効果があ
る。
【0033】更に、本発明は、コロナ放電によりコンデ
ンサマイクロホン用振動板に注入される電荷の損失を低
減させて電荷の帯電効率を高める一方、帯電時間を短縮
して帯電装置の自動化を図ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる一般的コンデンサマイクロホン
の構造を示す断面図である。
【図2】従来のコンデンサマイクロホン用振動板に電荷
を帯電する帯電装置を示す概略図である。
【図3】本発明にかかるコンデンサマイクロホンの振動
板(背極板)に電荷を帯電するための帯電装置を示す概
略図である。
【図4】高電圧発生装置の概略を示す概略ブロック図で
ある。
【図5】イオン発生装置の概略を示す概略ブロック図で
ある。
【図6】イオン発生装置の概略を示す概略ブロック図で
ある。
【図7】高電圧発生装置の概略を示す概略ブロック図で
ある。
【図8】コロナ放電及びイオン注入による帯電によって
高分子物質中に電荷が帯電された状態を示す概略図であ
る。
【符号の説明】
1,10 高電圧発生装置 2 陰イオン発生装置 3 陽イオン発生装置 4 メッシュ 5 振動板モジュール 6 接地線 7 高電圧針棒 8 電導性物質層 9 高分子物質層 11,17,32,47 パワーサプライ 12,18,23,35,39,48 可変調節器 13,49 OSC 14,50 スイッチング回路 15,30,45,51 トランス 16,52,31,46 マルチ昇圧整流器 19,34 AVC 20,33 出力電流調節器 21,38 基準電圧 22,36 VCO 24,37 AFC 25,40 反転バッファ 26,28,42,43 フィルター 27,41 非反転バッファ 29,44 プッシュプルスイッチング回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高分子物質の薄膜フィルムに電導性物質
    を蒸着して構成された振動板の表面に電荷を帯電するコ
    ンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法におい
    て、陽イオン発生装置から供給される陽イオンと陰イオ
    ン装置から供給される陰イオンとを高電圧が加わる経路
    に供給して当該空間部分に導電性媒質の空気層を形成し
    た後、高電圧によるコロナ放電で発生する電荷を前記振
    動板に注入し、前記高分子物質の薄膜フィルム中に電気
    二重層を形成することを特徴とするコンデンサマイクロ
    ホン用振動板の電荷帯電方法。
  2. 【請求項2】 前記高分子物質の薄膜フィルムは、FE
    P(CF3CF,CF2 : tetrafluoroethylene-hexafluoroethy
    lene copolymer)フィルムであることを特徴とする請求
    項1記載のコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電
    方法。
  3. 【請求項3】 高分子物質の薄膜フィルムに電導性物質
    を蒸着して構成された振動板の表面に電荷を帯電するコ
    ンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電装置におい
    て、陽イオンを高電圧が加わる経路に供給して導電性媒
    質の空気層を形成する陽イオン発生装置と、陰イオンを
    高電圧が加わる経路に供給して導電性媒質の空気層を形
    成する陰イオン発生装置と、前記高分子物質の薄膜フィ
    ルム中に電気二重層を形成するためのコロナ放電を発生
    するように、前記導電性媒質の空気層を介して振動板に
    高電圧を供給する高電圧発生装置を備えたことを特徴と
    するコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電装置。
  4. 【請求項4】 前記高分子物質の薄膜フィルムは、FE
    P(CF3CF,CF2 : tetrafluoroethylene-hexafluoroethy
    lene copolymer)フィルムであることを特徴とする請求
    項3記載のコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電
    装置。
  5. 【請求項5】 上下に貫通した多数個のホールが形成さ
    れており、高電圧発生装置から供給される高電圧を調節
    することにより前記振動板に供給する電荷量を調節する
    ようにしたメッシュを、更に備えたことを特徴とする請
    求項3記載のコンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯
    電装置。
JP2000209443A 1999-09-20 2000-07-11 コンデンサマイクロホン用振動板の電荷帯電方法及び電荷帯電装置 Pending JP2001112091A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003047095A (ja) * 2001-07-31 2003-02-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd コンデンサマイクロホン及びその製造方法
JP2008112755A (ja) * 2006-10-27 2008-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレット化方法およびエレクトレット化装置
JP2008172413A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Audio Technica Corp エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの製造方法
JP2009123999A (ja) * 2007-11-16 2009-06-04 Panasonic Corp 微小コンデンサマイクロホンの製造方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080031467A (ko) * 2005-08-30 2008-04-08 야마하 가부시키가이샤 컨덴서 마이크로폰 및 컨덴서 마이크로폰의 제조 방법
KR100753450B1 (ko) 2006-05-26 2007-08-30 테라닉스(주) 고분자수지 일렉트렛의 대전방법 및 대전장치
KR100970894B1 (ko) * 2008-09-19 2010-07-20 주식회사 씨에스티 음/전 변환 소자 및 그 제조방법
CN101729963B (zh) * 2008-10-31 2013-03-20 宏达国际电子股份有限公司 对驻电振膜进行充电的连续式充电设备及其相关方法
CN110996237A (zh) * 2018-05-14 2020-04-10 董耀斌 一种电子发生器、一种净电荷发生装置及一种静电扬声器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003047095A (ja) * 2001-07-31 2003-02-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd コンデンサマイクロホン及びその製造方法
JP4697763B2 (ja) * 2001-07-31 2011-06-08 パナソニック株式会社 コンデンサマイクロホン
JP2008112755A (ja) * 2006-10-27 2008-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレット化方法およびエレクトレット化装置
JP2008172413A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Audio Technica Corp エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの製造方法
JP2009123999A (ja) * 2007-11-16 2009-06-04 Panasonic Corp 微小コンデンサマイクロホンの製造方法

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