JP2003037159A - 静電チャックユニット - Google Patents
静電チャックユニットInfo
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- JP2003037159A JP2003037159A JP2001224523A JP2001224523A JP2003037159A JP 2003037159 A JP2003037159 A JP 2003037159A JP 2001224523 A JP2001224523 A JP 2001224523A JP 2001224523 A JP2001224523 A JP 2001224523A JP 2003037159 A JP2003037159 A JP 2003037159A
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反った基板を静電吸着することができる静電
チャックユニットを提供する。 【解決手段】 内部に1枚の電極が設けられた静電チャ
ックと、該静電チャックを複数個戴置するベースプレー
トと、複数個の該静電チャックの吸着面が同一平面を形
成するよう該ベースプレート上に配置された静電チャッ
クユニットにおいて、該静電チャックユニット内部の電
極を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループ
に対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気
回路が接続される。
チャックユニットを提供する。 【解決手段】 内部に1枚の電極が設けられた静電チャ
ックと、該静電チャックを複数個戴置するベースプレー
トと、複数個の該静電チャックの吸着面が同一平面を形
成するよう該ベースプレート上に配置された静電チャッ
クユニットにおいて、該静電チャックユニット内部の電
極を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループ
に対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気
回路が接続される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置や、
ＦＰＤ（フラットパネルディスプレー）製造装置等に使
用される大型の導電性及び絶縁性基板を処理する処理装
置、及び大型の導電性及び絶縁性基板を保持する静電チ
ャック、及びＤＶＤ等のフィルム状基板を処理する処理
装置、及びフィルム状基板を保持する静電チャックに関
するものである。
ＦＰＤ（フラットパネルディスプレー）製造装置等に使
用される大型の導電性及び絶縁性基板を処理する処理装
置、及び大型の導電性及び絶縁性基板を保持する静電チ
ャック、及びＤＶＤ等のフィルム状基板を処理する処理
装置、及びフィルム状基板を保持する静電チャックに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体、特にＳｉウエハは、ＬＳＩ１個
当たりの製造コストを低下させる為に年々大型化の傾向
をたどっている。Ｓｉウエハについては、現在主流の６
または８インチサイズから、１２インチサイズに大口径
化が進んでおり、近い将来には１６ないし２０インチサ
イズが使用されるようになると考えられている。また、
ＦＰＤにおいても、最終製品の大画面化に伴い、基板サ
イズが大型化している。６８×８８ｃｍの基板から、１
００×１２０ｃｍ程度の大型基板に変わるロードマップ
が示されており、近い将来にはさらに大型の基板になっ
て行くものと考えられている。
当たりの製造コストを低下させる為に年々大型化の傾向
をたどっている。Ｓｉウエハについては、現在主流の６
または８インチサイズから、１２インチサイズに大口径
化が進んでおり、近い将来には１６ないし２０インチサ
イズが使用されるようになると考えられている。また、
ＦＰＤにおいても、最終製品の大画面化に伴い、基板サ
イズが大型化している。６８×８８ｃｍの基板から、１
００×１２０ｃｍ程度の大型基板に変わるロードマップ
が示されており、近い将来にはさらに大型の基板になっ
て行くものと考えられている。
【０００３】一方、ＤＶＤ等の記憶メディア製造におい
ては、半導体製造プロセスと同様の真空状態での成膜、
エッチング、スパッタ等のプロセスが導入されてきてお
り、ここで使われている基板はその外形寸法に比べて極
めて薄いフィルム状の基板が用いられている。
ては、半導体製造プロセスと同様の真空状態での成膜、
エッチング、スパッタ等のプロセスが導入されてきてお
り、ここで使われている基板はその外形寸法に比べて極
めて薄いフィルム状の基板が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】基板の大形化に伴い、
それを吸着する静電チャックの寸法も大きくなる。しか
しながら、内部電極、誘電体基板及び支持基板を一体で
焼成して製造する静電チャックは、その製法上大型化が
困難で、技術開発に時間がかかる事が予想される。その
為ＦＰＤ基板サイズのような大型静電チャックの製造に
は、特願２００１−１４８７８０のように既存の製造可
能なサイズの静電チャックを、吸着する基板サイズのベ
ースプレートに接合し一体化した静電チャックユニット
を使用することが考えられている。
それを吸着する静電チャックの寸法も大きくなる。しか
しながら、内部電極、誘電体基板及び支持基板を一体で
焼成して製造する静電チャックは、その製法上大型化が
困難で、技術開発に時間がかかる事が予想される。その
為ＦＰＤ基板サイズのような大型静電チャックの製造に
は、特願２００１−１４８７８０のように既存の製造可
能なサイズの静電チャックを、吸着する基板サイズのベ
ースプレートに接合し一体化した静電チャックユニット
を使用することが考えられている。
【０００５】このような静電チャックユニットで大型基
板を吸着する場合、大型基板が通ってきた成膜またはエ
ッチング等の前工程の影響で反った基板が搬送されてく
る場合がある。一般に、静電チャックでの吸着力は、被
吸着物が静電チャックの吸着面に接する状態の部分が最
も強く発現し、静電チャック吸着面から被吸着物が離れ
るにつれて吸着力が弱くなる。特にシリコンウエハのよ
うな導電製材料を静電チャックで吸着する場合、ジョン
センラーベック力タイプ静電チャックでは吸着面から被
吸着物が離れるとその吸着力が数百分の一程度に低下す
る。
板を吸着する場合、大型基板が通ってきた成膜またはエ
ッチング等の前工程の影響で反った基板が搬送されてく
る場合がある。一般に、静電チャックでの吸着力は、被
吸着物が静電チャックの吸着面に接する状態の部分が最
も強く発現し、静電チャック吸着面から被吸着物が離れ
るにつれて吸着力が弱くなる。特にシリコンウエハのよ
うな導電製材料を静電チャックで吸着する場合、ジョン
センラーベック力タイプ静電チャックでは吸着面から被
吸着物が離れるとその吸着力が数百分の一程度に低下す
る。
【０００６】この事から、前工程によって反った基板を
吸着しようとする場合、静電チャック吸着面と接触した
部分でしか吸着出来ない状態になる事は容易に想像でき
る。部分的に吸着する状態での問題点は、基板と静電チ
ャック間の接触状態によって熱伝達率が異なり、基板内
の温度均一性が非常に悪化する事である。そこで、反っ
た基板をも静電吸着できる静電チャックユニットが要望
されている。
吸着しようとする場合、静電チャック吸着面と接触した
部分でしか吸着出来ない状態になる事は容易に想像でき
る。部分的に吸着する状態での問題点は、基板と静電チ
ャック間の接触状態によって熱伝達率が異なり、基板内
の温度均一性が非常に悪化する事である。そこで、反っ
た基板をも静電吸着できる静電チャックユニットが要望
されている。
【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、本発明の目的は、反った基板を静電吸着す
ることができる静電チャックユニットを提供する事であ
る。
れたもので、本発明の目的は、反った基板を静電吸着す
ることができる静電チャックユニットを提供する事であ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、内部に1枚の電極が設けられた静電チャッ
クと、該静電チャックを複数個戴置するベースプレート
と、複数個の該静電チャックの吸着面が同一平面を形成
するよう該ベースプレート上に配置された静電チャック
ユニットにおいて、該静電チャックユニット内部の電極
を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループに
対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気回
路が接続されている事を特徴とする。
の本発明は、内部に1枚の電極が設けられた静電チャッ
クと、該静電チャックを複数個戴置するベースプレート
と、複数個の該静電チャックの吸着面が同一平面を形成
するよう該ベースプレート上に配置された静電チャック
ユニットにおいて、該静電チャックユニット内部の電極
を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループに
対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気回
路が接続されている事を特徴とする。
【０００９】内部電極を２つ以上のグループに分け、各
々の電極グループに異なる双極電圧を印加できる為、各
々の電極グループが埋設された静電チャックユニット吸
着面に異なる吸着力を発生させる事ができる。例えば基
板の反り傾向に繰り返し再現性がある場合、反り部分近
傍の静電チャックと接触した基板の部分により強い電圧
を与える事で強い吸着力を発生させ、反りを矯正しなが
ら基板吸着が行えるようになる。また、２つの電極グル
ープ各々に印加する電圧のタイミングをずらす事によっ
て、初期に基板と静電チャック間で固体接触している部
分の周辺部に電圧を印加し、次に基板の反っている部分
に電圧を印加する事で、反りを矯正しながら基板を吸着
させる事ができる。
々の電極グループに異なる双極電圧を印加できる為、各
々の電極グループが埋設された静電チャックユニット吸
着面に異なる吸着力を発生させる事ができる。例えば基
板の反り傾向に繰り返し再現性がある場合、反り部分近
傍の静電チャックと接触した基板の部分により強い電圧
を与える事で強い吸着力を発生させ、反りを矯正しなが
ら基板吸着が行えるようになる。また、２つの電極グル
ープ各々に印加する電圧のタイミングをずらす事によっ
て、初期に基板と静電チャック間で固体接触している部
分の周辺部に電圧を印加し、次に基板の反っている部分
に電圧を印加する事で、反りを矯正しながら基板を吸着
させる事ができる。
【００１０】またこの構造は、個々の静電チャック内部
に電極が１つである為、２つ以上の電極が存在する双極
電極型の静電チャックに比べて電極間の隙間面積が少な
い。これは、クーロン力及びジョンセンラーベック力の
発生するエリア、すなわち内部電極の吸着面上への投影
面積が、複数の内部電極を持つ静電チャックより、１枚
のみ内部電極を持つ静電チャックの方がより大きくな
る。よって、クーロン力及びジョンセンラーベック力に
よって吸着する半導体大型基板等の吸着に向いた構造で
ある。
に電極が１つである為、２つ以上の電極が存在する双極
電極型の静電チャックに比べて電極間の隙間面積が少な
い。これは、クーロン力及びジョンセンラーベック力の
発生するエリア、すなわち内部電極の吸着面上への投影
面積が、複数の内部電極を持つ静電チャックより、１枚
のみ内部電極を持つ静電チャックの方がより大きくな
る。よって、クーロン力及びジョンセンラーベック力に
よって吸着する半導体大型基板等の吸着に向いた構造で
ある。
【００１１】本発明の好ましい様態として、前記静電チ
ャックユニットにおいて、内部に複数の電極が設けられ
た静電チャックを用いる事を特徴とする。各々の静電チ
ャックの内部電極が複数であるため、1枚のみ内部電極
を持つ静電チャックに比べて、吸着力を発生させるエリ
アを細かく分ける事ができる。例えば基板に繰り返し再
現性の高い反りがある場合、反りの発生している境界部
に他の部分より高い印加電圧を与えるような反りの分布
に合わせた細かい電圧印加エリアの設定や、印加電圧の
印加開始時間差エリアの設定が可能になる。
ャックユニットにおいて、内部に複数の電極が設けられ
た静電チャックを用いる事を特徴とする。各々の静電チ
ャックの内部電極が複数であるため、1枚のみ内部電極
を持つ静電チャックに比べて、吸着力を発生させるエリ
アを細かく分ける事ができる。例えば基板に繰り返し再
現性の高い反りがある場合、反りの発生している境界部
に他の部分より高い印加電圧を与えるような反りの分布
に合わせた細かい電圧印加エリアの設定や、印加電圧の
印加開始時間差エリアの設定が可能になる。
【００１２】本発明の好ましい様態として、内部に複数
の電極が設けられている静電チャックにおいて、該電極
を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループに
対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気回
路が接続されている事を特徴とする。
の電極が設けられている静電チャックにおいて、該電極
を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループに
対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気回
路が接続されている事を特徴とする。
【００１３】前述のごとく、静電チャックユニットで反
りのある基板吸着が出来る事から、静電チャック単体に
おいても同じ電極及び電圧印加回路を具備する事によ
り、基板サイズの１枚物の静電チャックにおいて基板の
反りがあっても吸着できる機能を提供する事ができる。
りのある基板吸着が出来る事から、静電チャック単体に
おいても同じ電極及び電圧印加回路を具備する事によ
り、基板サイズの１枚物の静電チャックにおいて基板の
反りがあっても吸着できる機能を提供する事ができる。
【００１４】本発明の好ましい様態として、前記静電チ
ャックまたは静電チャックユニットにおいて、前記電極
は前記静電チャック単体内において１対または複数の対
をなし、各々の電極が交互に入り組んでいる事を特徴と
する。電極が１対または複数の対で交互に入り組んでお
りそこに双極電圧を印加した場合、電極間隙間に不平等
電界が出現し、その電界中の誘電体にグラディエント力
が発生する。これによって絶縁体基板をも吸着するよう
にできる。
ャックまたは静電チャックユニットにおいて、前記電極
は前記静電チャック単体内において１対または複数の対
をなし、各々の電極が交互に入り組んでいる事を特徴と
する。電極が１対または複数の対で交互に入り組んでお
りそこに双極電圧を印加した場合、電極間隙間に不平等
電界が出現し、その電界中の誘電体にグラディエント力
が発生する。これによって絶縁体基板をも吸着するよう
にできる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施例につい
て具体的に説明する。図１は、静電チャックユニットの
電極配置の一例を示した図である。静電チャックユニッ
ト１００は内部単極が1枚の静電チャック８枚１１〜１
８及び、静電チャック８枚の外形形状と同じ外形で図で
は見えない位置にあるベースプレートで構成されてお
り、その内部電極は中心部２枚１１Ａ，１２Ａと外周部
６枚１３Ａ〜１８Ａとの２グループに分けられている。
また、各々のグループには独立した電圧が印加できるよ
うに２系統の電源１９Ａ，１９Ｂが接続されており、ス
イッチ１９Ｃ、１９Ｄにより、各々の電源から独立の電
圧を独立したタイミングで印加する事ができる。例え
ば、電源１９Ａを±１０００Ｖ、１９Ｂを±１５００Ｖ
というように、電圧が異なる双極電圧が印加できるよう
に設定し、スイッチ１９Ｃ、１９Ｄを各々別々に開閉す
る事により、静電チャックユニットの内周側と外周側の
各電極グループに独立した双極の電圧を印加する事が可
能になる。
て具体的に説明する。図１は、静電チャックユニットの
電極配置の一例を示した図である。静電チャックユニッ
ト１００は内部単極が1枚の静電チャック８枚１１〜１
８及び、静電チャック８枚の外形形状と同じ外形で図で
は見えない位置にあるベースプレートで構成されてお
り、その内部電極は中心部２枚１１Ａ，１２Ａと外周部
６枚１３Ａ〜１８Ａとの２グループに分けられている。
また、各々のグループには独立した電圧が印加できるよ
うに２系統の電源１９Ａ，１９Ｂが接続されており、ス
イッチ１９Ｃ、１９Ｄにより、各々の電源から独立の電
圧を独立したタイミングで印加する事ができる。例え
ば、電源１９Ａを±１０００Ｖ、１９Ｂを±１５００Ｖ
というように、電圧が異なる双極電圧が印加できるよう
に設定し、スイッチ１９Ｃ、１９Ｄを各々別々に開閉す
る事により、静電チャックユニットの内周側と外周側の
各電極グループに独立した双極の電圧を印加する事が可
能になる。
【００１６】各々の電極グループに異なる双極電圧を印
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャックユニット吸
着面と基板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れ
ているような中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部
の内部電極１１Ａ、１２Ａに強い電圧を与える事で強い
吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行え
るようになる。また、２つの電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に中心部
の内部電極１１Ａ，１２Ａに電圧を印加し、次に外周部
の内部電極１３Ａ〜１８Ａに電圧を印加する事で、反り
を矯正しながら基板を吸着させる事ができる。
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャックユニット吸
着面と基板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れ
ているような中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部
の内部電極１１Ａ、１２Ａに強い電圧を与える事で強い
吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行え
るようになる。また、２つの電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に中心部
の内部電極１１Ａ，１２Ａに電圧を印加し、次に外周部
の内部電極１３Ａ〜１８Ａに電圧を印加する事で、反り
を矯正しながら基板を吸着させる事ができる。
【００１７】図２は、静電チャックユニットの電極配置
の一例を示した図である。静電チャックユニット２００
は内部単極が２枚の静電チャック７枚２１〜２７及び、
静電チャック７枚の外形形状と同じ外形で図では見えな
い位置にあるベースプレートで構成されており、内部電
極は中心の静電チャックの双極２枚２１Ａ，２１Ｂと、
中間部６枚２２Ａ〜２７Ａと、外周部６枚２２Ｂ〜２７
Ｂの、３グループに分けられている。また、各々のグル
ープには独立した電圧が印加できるように３系統の電源
２８Ａ，２８Ｂ、２８Ｃが接続されており、スイッチ２
９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃによって各々独立した電圧をタイ
ミング的に独立に印加する事ができる。例えば、電源２
８Ａを±１０００Ｖ、２８Ｂを±１５００Ｖ、２８Ｃを
±１２００Ｖというように、電圧が異なる双極電圧が印
加できるように設定し、スイッチ２９Ａ、２９Ｂ、２９
Ｃを各々別々に開閉する事により、静電チャックユニッ
トの内周側、中間側、及び外周側の各電極グループに独
立した双極の電圧を印加する事が可能になる。
の一例を示した図である。静電チャックユニット２００
は内部単極が２枚の静電チャック７枚２１〜２７及び、
静電チャック７枚の外形形状と同じ外形で図では見えな
い位置にあるベースプレートで構成されており、内部電
極は中心の静電チャックの双極２枚２１Ａ，２１Ｂと、
中間部６枚２２Ａ〜２７Ａと、外周部６枚２２Ｂ〜２７
Ｂの、３グループに分けられている。また、各々のグル
ープには独立した電圧が印加できるように３系統の電源
２８Ａ，２８Ｂ、２８Ｃが接続されており、スイッチ２
９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃによって各々独立した電圧をタイ
ミング的に独立に印加する事ができる。例えば、電源２
８Ａを±１０００Ｖ、２８Ｂを±１５００Ｖ、２８Ｃを
±１２００Ｖというように、電圧が異なる双極電圧が印
加できるように設定し、スイッチ２９Ａ、２９Ｂ、２９
Ｃを各々別々に開閉する事により、静電チャックユニッ
トの内周側、中間側、及び外周側の各電極グループに独
立した双極の電圧を印加する事が可能になる。
【００１８】各々の電極グループに異なる双極電圧を印
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャックユニット吸
着面と基板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れ
ているような中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部
の内部電極２１Ａ、２１Ｂに強い電圧を与える事で強い
吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行え
るようになる。また、３つの電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に中心部
の内部電極２１Ａ，２１Ｂに電圧を印加し、次に中間部
の内部電極２２Ａ〜２７Ａに電圧を印加し、最後に外周
部の内部電極２２Ｂ〜２７Ｂに電圧を印加する事で、反
りを矯正しながら基板を吸着させる事ができる。また、
この場合は、図１に示した内部電極グループよりも１つ
同心状に配置されている内部電極が多い為、静電チャッ
クユニット吸着面内でのより細かい吸着力のコントロー
ルが可能となる。また、電極２４Ａ，２４Ｂ上部及び２
７Ａ、２７Ｂ上部が他の部分に比べて固体接触をするよ
うな反り方をした基板を吸着する場合、まずこの部分に
電圧をかけ吸着させ、そこを基点にして周辺部を吸着す
るように電源電圧を入れていく事によって、固体接触部
が多い吸着状態に持っていく事が可能となる。
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャックユニット吸
着面と基板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れ
ているような中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部
の内部電極２１Ａ、２１Ｂに強い電圧を与える事で強い
吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行え
るようになる。また、３つの電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に中心部
の内部電極２１Ａ，２１Ｂに電圧を印加し、次に中間部
の内部電極２２Ａ〜２７Ａに電圧を印加し、最後に外周
部の内部電極２２Ｂ〜２７Ｂに電圧を印加する事で、反
りを矯正しながら基板を吸着させる事ができる。また、
この場合は、図１に示した内部電極グループよりも１つ
同心状に配置されている内部電極が多い為、静電チャッ
クユニット吸着面内でのより細かい吸着力のコントロー
ルが可能となる。また、電極２４Ａ，２４Ｂ上部及び２
７Ａ、２７Ｂ上部が他の部分に比べて固体接触をするよ
うな反り方をした基板を吸着する場合、まずこの部分に
電圧をかけ吸着させ、そこを基点にして周辺部を吸着す
るように電源電圧を入れていく事によって、固体接触部
が多い吸着状態に持っていく事が可能となる。
【００１９】図３は、静電チャックの電極配置の一例を
示した図である。静電チャック３００は内部単極が６枚
で構成されており、中心側２枚３１Ａ，３１Ｂと、中間
部２枚３２Ａ、３２Ｂと、外周部２枚３３Ａ、３３Ｂ
の、３グループに分けられている。これらの電極は同心
円状に配置されている。また、各々のグループには独立
した電圧が印加できるように３系統の電源３４Ａ，３４
Ｂ、３４Ｃが接続されており、スイッチ３５Ａ、３５
Ｂ、３５Ｃにより、各々の電源から独立の電圧を独立し
たタイミングで印加する事ができる。例えば、電源３４
Ａを±１０００Ｖ、３４Ｂを±１２００Ｖ、３４Ｃを±
１５００Ｖというように、電圧が異なる双極電圧が印加
できるように設定し、スイッチ３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ
を各々別々に開閉する事により、静電チャックユニット
の内周側、中間側、及び外周側の各電極グループに独立
した双極の電圧を印加する事が可能になる。
示した図である。静電チャック３００は内部単極が６枚
で構成されており、中心側２枚３１Ａ，３１Ｂと、中間
部２枚３２Ａ、３２Ｂと、外周部２枚３３Ａ、３３Ｂ
の、３グループに分けられている。これらの電極は同心
円状に配置されている。また、各々のグループには独立
した電圧が印加できるように３系統の電源３４Ａ，３４
Ｂ、３４Ｃが接続されており、スイッチ３５Ａ、３５
Ｂ、３５Ｃにより、各々の電源から独立の電圧を独立し
たタイミングで印加する事ができる。例えば、電源３４
Ａを±１０００Ｖ、３４Ｂを±１２００Ｖ、３４Ｃを±
１５００Ｖというように、電圧が異なる双極電圧が印加
できるように設定し、スイッチ３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ
を各々別々に開閉する事により、静電チャックユニット
の内周側、中間側、及び外周側の各電極グループに独立
した双極の電圧を印加する事が可能になる。
【００２０】各々の電極グループに異なる双極電圧を印
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャック吸着面と基
板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れているよ
うな中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部の内部電
極３１Ａ、３１Ｂに強い電圧を与える事で強い吸着力を
発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行えるように
なる。また、３つの電極グループ各々に印加する電圧の
タイミングをずらす事によって、初期に中心部の内部電
極３１Ａ，３１Ｂに電圧を印加し、次に中間部の内部電
極３２Ａ、３２Ｂに電圧を印加し、最後に外周部の内部
電極３３Ａ、３３Ｂに電圧を印加する事で、反りを矯正
しながら基板を吸着させる事ができる。このような静電
チャックの使用方法の場合、特に外径に比べて厚さが薄
いフィルム状の基板を吸着する際において、まず中心部
をしっかり吸着し、基板を静電チャック上に静置した時
に発生した反りやしわを矯正するように外周部に向かっ
て吸着電圧を与えていく事により、フィルム状基板の反
り及びたわみの矯正吸着効果が期待できる。また、同心
円状電極の組を増やし、各々の電極に電源を接続する事
により、より細かい印加電圧のコントロールが可能とな
る。
加できる為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発
生させる事ができる。例えば、静電チャック吸着面と基
板との中心部付近が良く接触し、周辺部が離れているよ
うな中凹の形状に反り傾向がある場合、中心部の内部電
極３１Ａ、３１Ｂに強い電圧を与える事で強い吸着力を
発生させ、反りを矯正しながら基板吸着が行えるように
なる。また、３つの電極グループ各々に印加する電圧の
タイミングをずらす事によって、初期に中心部の内部電
極３１Ａ，３１Ｂに電圧を印加し、次に中間部の内部電
極３２Ａ、３２Ｂに電圧を印加し、最後に外周部の内部
電極３３Ａ、３３Ｂに電圧を印加する事で、反りを矯正
しながら基板を吸着させる事ができる。このような静電
チャックの使用方法の場合、特に外径に比べて厚さが薄
いフィルム状の基板を吸着する際において、まず中心部
をしっかり吸着し、基板を静電チャック上に静置した時
に発生した反りやしわを矯正するように外周部に向かっ
て吸着電圧を与えていく事により、フィルム状基板の反
り及びたわみの矯正吸着効果が期待できる。また、同心
円状電極の組を増やし、各々の電極に電源を接続する事
により、より細かい印加電圧のコントロールが可能とな
る。
【００２１】図４は、静電チャックの電極配置の一例を
示した図である。静電チャック４００は内部単極が３組
の櫛歯形状で構成されており、中心側２枚４１Ａ，４１
Ｂと、中間部２枚４２Ａ、４２Ｂと、外周部２枚４３
Ａ、４３Ｂの、３グループに分けられている。これらの
電極ゾーンは同心円状になるように配置されている。ま
た、各々のグループには独立した電圧が印加できるよう
に３系統の電源４４Ａ，４４Ｂ、４４Ｃが接続されてお
り、スイッチ４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃにより各々独立し
た電圧をタイミング的に独立して印加する事ができる。
示した図である。静電チャック４００は内部単極が３組
の櫛歯形状で構成されており、中心側２枚４１Ａ，４１
Ｂと、中間部２枚４２Ａ、４２Ｂと、外周部２枚４３
Ａ、４３Ｂの、３グループに分けられている。これらの
電極ゾーンは同心円状になるように配置されている。ま
た、各々のグループには独立した電圧が印加できるよう
に３系統の電源４４Ａ，４４Ｂ、４４Ｃが接続されてお
り、スイッチ４５Ａ、４５Ｂ、４５Ｃにより各々独立し
た電圧をタイミング的に独立して印加する事ができる。
【００２２】前項で説明したごとく、各々の電極グルー
プに異なる双極電圧を印加できる為、各々の電極グルー
プ上に異なる吸着力を発生させる事ができる。また、３
つの電極グループ各々に印加する電圧のタイミングをず
らす事によって、反りを矯正しながら基板を吸着させる
事ができる。同様に、同心円状櫛歯電極の組を増やし、
各々の電極に電源を接続する事により、より細かい印加
電圧のコントロールが可能となる。さらに、櫛歯電極の
ピッチ、すなわち、電極幅と電極間隔をつめる事で、グ
ラディエント力の発生が期待でき、これにより、絶縁体
の吸着が可能となる。
プに異なる双極電圧を印加できる為、各々の電極グルー
プ上に異なる吸着力を発生させる事ができる。また、３
つの電極グループ各々に印加する電圧のタイミングをず
らす事によって、反りを矯正しながら基板を吸着させる
事ができる。同様に、同心円状櫛歯電極の組を増やし、
各々の電極に電源を接続する事により、より細かい印加
電圧のコントロールが可能となる。さらに、櫛歯電極の
ピッチ、すなわち、電極幅と電極間隔をつめる事で、グ
ラディエント力の発生が期待でき、これにより、絶縁体
の吸着が可能となる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上記構成により次の効果を発揮
する。静電チャック及び静電チャックユニットにおい
て、その内部電極を２つ以上のグループに分け、各々の
電極グループに異なる双極電圧を印加できる構成とした
為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発生させる
事ができる。例えば基板の反り傾向に繰り返し再現性が
ある場合、反り始め部分付近により強い電圧を与える事
で強い吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着
が行えるようになる。また、電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に基板と
静電チャック間で固体接触している部分の周辺部に電圧
を印加し、次に基板の反っている部分に電圧を印加する
事で、反りを矯正しながら基板を吸着させる事ができ
る。
する。静電チャック及び静電チャックユニットにおい
て、その内部電極を２つ以上のグループに分け、各々の
電極グループに異なる双極電圧を印加できる構成とした
為、各々の電極グループ上に異なる吸着力を発生させる
事ができる。例えば基板の反り傾向に繰り返し再現性が
ある場合、反り始め部分付近により強い電圧を与える事
で強い吸着力を発生させ、反りを矯正しながら基板吸着
が行えるようになる。また、電極グループ各々に印加す
る電圧のタイミングをずらす事によって、初期に基板と
静電チャック間で固体接触している部分の周辺部に電圧
を印加し、次に基板の反っている部分に電圧を印加する
事で、反りを矯正しながら基板を吸着させる事ができ
る。
【図１】本発明の静電チャックの一形態を示す概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の静電チャックの一形態を示す概略図で
ある。
ある。
【図３】本発明の静電チャックの一形態を示す概略図で
ある。
ある。
【図４】本発明の静電チャックの一形態を示す概略図で
ある。
ある。
１００ 静電チャックユニット
１１〜１８ 静電チャック
１１Ａ〜１８Ａ 内部電極
１９Ａ、１９Ｂ 電源
１９Ｃ、１９Ｄ スイッチ
２００ 静電チャックユニット
２１〜２７ 静電チャック
２１Ａ、２１Ｂ〜２７Ａ、２７Ｂ 内部電極
２８Ａ〜２８Ｃ 電源
２９Ａ〜２９Ｃ スイッチ
３００ 静電チャック
３１Ａ、３１Ｂ〜３３Ａ，３３Ｂ 内部電極
３４Ａ〜３４Ｃ 電源
３５Ａ〜３５Ｃ スイッチ
４００ 静電チャック
４１Ａ、４１Ｂ〜４３Ａ，４３Ｂ 内部電極
４４Ａ〜４４Ｃ 電源
４５Ａ〜４５Ｃ スイッチ
Claims (5)
- 【請求項１】 内部に1枚の電極が設けられた静電チャ
ックと、該静電チャックを複数個戴置するベースプレー
トと、複数個の該静電チャックの吸着面が同一平面を形
成するよう該ベースプレート上に配置された静電チャッ
クユニットにおいて、該静電チャックユニット内部の電
極を２つ以上のグループに分け、各々の該電極グループ
に対し回路の開閉及び双極電圧が独立に印加できる電気
回路が接続されている事を特徴とする静電チャックユニ
ット。 - 【請求項２】 前記静電チャックユニットにおいて、内
部に複数の電極が設けられた静電チャックを用いる事を
特徴とする静電チャックユニット。 - 【請求項３】 内部に複数の電極が設けられている静電
チャックにおいて、該電極を２つ以上のグループに分
け、各々の該電極グループに対し回路の開閉及び双極電
圧が独立に印加できる電気回路が接続されている事を特
徴とする静電チャック。 - 【請求項４】 前記静電チャックまたは静電チャックユ
ニットにおいて、前記電極は前記静電チャック単体内に
おいて１対をなし、各々の電極が交互に入り組んでいる
事を特徴とする請求項２または３に記載の静電チャック
または静電チャックユニット。 - 【請求項５】 前記静電チャックまたは静電チャックユ
ニットにおいて、前記電極は前記静電チャック単体内に
おいて複数の対をなし、各々1対の電極で交互に入り組
んでいる構造を持つ事を特徴とする請求項２または３に
記載の静電チャックまたは静電チャックユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224523A JP2003037159A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 静電チャックユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001224523A JP2003037159A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 静電チャックユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003037159A true JP2003037159A (ja) | 2003-02-07 |
Family
ID=19057667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001224523A Pending JP2003037159A (ja) | 2001-07-25 | 2001-07-25 | 静電チャックユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003037159A (ja) |
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- 2001-07-25 JP JP2001224523A patent/JP2003037159A/ja active Pending
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