JP4522896B2 - 静電吸着装置を用いた吸着方法 - Google Patents
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Description
この静電吸着装置120は、金属板121を有しており、金属板121の表面には誘電体層122が形成されている。
誘電体層122の上には櫛の歯状にパターニングされた二個の吸着電極123a、123bが配置されている。
静電吸着装置120の吸着対象はガラス基板やシリコンウェハの他、樹脂などから成り、可撓性を有するフィルム基板も含まれ、保護膜124上に吸着対象のフィルム基板を配置し、二個の吸着電極123a、123bに正負の電圧を印加すると、保護膜124表面に形成される強電界により、絶縁性のフィルム基板が静電吸着される。
このような隙間126が生じると、フィルム基板125の熱分布が不均一になり、形成される膜の膜厚分布が悪くなったり、スパッタリング工程や蒸着工程中に破損したりする。
本願の先行技術としては下記文献がある。
請求項2記載の発明は、最外周の前記領域の前記正電極と前記負電極に前記正電圧と前記負電圧とを印加した後、前記最外周の前記領域よりも内側の前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧を前記最外周の領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧と同じ大きさにする請求項1記載の吸着方法である。
請求項3記載の発明は、一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加する際、隣接する二個以上の前記領域の前記正電極と前記負電極に同時に同じ大きさの電圧を印加する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の吸着方法である。
請求項4記載の発明は、一列に配置され、互いに絶縁されて正電極と負電極が交互に配置された複数の電極を有する吸着装置の前記正電極と前記負電極上に電気絶縁性の吸着対象物を配置し、前記正電極と前記負電極を、中央付近から両端に向かって前記正電極と前記負電極からなる複数個の領域に区分けし、各前記領域に配置された前記正電極に正電圧を印加し、前記負電極に負電圧を印加して前記吸着対象物を吸着する吸着方法であって、中央付近に位置する前記領域の前記正電極と前記負電極から両端に位置する前記領域の前記正電極と前記負電極に向けて、一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加し、維持する吸着方法である。
請求項5記載の発明は、両端の前記領域の前記正電極と前記負電極の間に電圧を印加した後、両端の前記領域の電極よりも中央寄りに位置する前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧を前記両端の前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧と同じ大きさにする請求項4記載の吸着方法である。
請求項6記載の発明は、一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加する際、隣接する二個以上の前記領域の前記正電極と前記負電極の間に同時に同じ大きさの電圧を印加する請求項4又は請求項5のいずれか1項記載の吸着方法である。
請求項7記載の発明は、前記電気絶縁性の吸着対象物が厚さ0.1mm以下の可撓性を有するフィルム基板であることを特徴とする請求項1又は請求項4のいずれか1項記載の吸着方法である。
吸着装置10の断面図を図2に示し、それが有する電極構造を説明するための平面図を図1に示す。
電極21〜36は大きさが異なるリング形状であり、各電極21〜36は、電極基板11の中心Zを中心にして、一定距離離間して同心状に配置されている。
ここでは中心Zを含む円形の第1の領域Aに対し、第2〜第4の領域B〜Dが内側から外側に向けて放射方向に順番に配置されている。
この制御装置45は、各電源41〜44のうち、一又は二以上の電源41〜44を起動し、所望電圧を個別に出力させられるように構成されている。
そして吸着対象物5が吸着装置10上に載置された後、制御装置45により、先ず、中心に位置する領域Aに対応する電源41がオンされる。それにより、中心の領域Aに属する電極21〜24のうち、正電極21、23に正電圧が印加され、負電極22、24に負電圧が印加される。ここでは正電極21、23と負電極22、24の間に1kVの電位差が生じる電圧が印加される。
電極間に生じる電位差は、中心よりも外側が大きくなるような電圧が印加される。
なお、同図に示すように、最外周よりも内側の領域A〜Cへの印加電圧は時刻t0で一斉に変更したので、外側の領域程、早く最外周の領域Dと同じ大きさの電圧になっている。
従って、薄い吸着対象物ほど本願発明の有用性が高い。
上記は電極21〜36が互いに離間した状態で同心状に配置されていたが、本発明はそれに限定されるものではない。
電極61〜76は、電源81〜84の正電圧端子に接続される正電極と負電圧端子に接続される負電極がある。
10、60……吸着装置
21〜36、61〜76……電極
Claims (7)
- 同心状に配置され、互いに絶縁されて正電極と負電極が交互に配置された複数の電極を有する吸着装置の前記電極上に電気絶縁性の吸着対象物を配置し、
前記電極を、同心状の中心から外周に向かって少なくとも二個ずつ配置された正電極と負電極からなる複数個の領域に区分けし、各前記領域に配置された前記正電極に正電圧を印加し、前記負電極に負電圧を印加して前記吸着対象物を吸着する吸着方法であって、
中心に位置する前記領域の電極から外側に位置する前記領域の電極に向けて、一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加し、維持する吸着方法。 - 最外周の前記領域の前記正電極と前記負電極に前記正電圧と前記負電圧とを印加した後、前記最外周の前記領域よりも内側の前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧を前記最外周の領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧と同じ大きさにする請求項1記載の吸着方法。
- 一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加する際、隣接する二個以上の前記領域の前記正電極と前記負電極に同時に同じ大きさの電圧を印加する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の吸着方法。
- 一列に配置され、互いに絶縁されて正電極と負電極が交互に配置された複数の電極を有する吸着装置の前記正電極と前記負電極上に電気絶縁性の吸着対象物を配置し、
前記正電極と前記負電極を、中央付近から両端に向かって前記正電極と前記負電極からなる複数個の領域に区分けし、各前記領域に配置された前記正電極に正電圧を印加し、前記負電極に負電圧を印加して前記吸着対象物を吸着する吸着方法であって、
中央付近に位置する前記領域の前記正電極と前記負電極から両端に位置する前記領域の前記正電極と前記負電極に向けて、一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加し、維持する吸着方法。 - 両端の前記領域の前記正電極と前記負電極の間に電圧を印加した後、両端の前記領域の電極よりも中央寄りに位置する前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧を前記両端の前記領域の前記正電極と前記負電極に印加する電圧と同じ大きさにする請求項4記載の吸着方法。
- 一定時間間隔で順番に、段階的に大きくした電圧を印加する際、隣接する二個以上の前記領域の前記正電極と前記負電極の間に同時に同じ大きさの電圧を印加する請求項4又は請求項5のいずれか1項記載の吸着方法。
- 前記電気絶縁性の吸着対象物が厚さ0.1mm以下の可撓性を有するフィルム基板であることを特徴とする請求項1又は請求項4のいずれか1項記載の吸着方法。
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