JP2002508824A

JP2002508824A - 密封装置

Info

Publication number: JP2002508824A
Application number: JP50001199A
Authority: JP
Inventors: バトラー，スティーブン
Original assignee: リンテックピーティーワイ．リミテッド．
Priority date: 1997-05-30
Filing date: 1998-05-26
Publication date: 2002-03-19
Also published as: CN1261947A; ATE338233T1; WO1998054492A1; AUPO711997A0; TW393429B; EP0983454A4; EP0983454A1; US6405484B1; DE69835743T2; CN1107823C; DE69835743D1; EP0983454B1

Abstract

(57)【要約】密封装置は、シャフト（１）と共に回転するように取り付けられたクランク（３）に枢支されるゲート（２）を有する。バネ（５）は、ゲート（２）とクランク（３）の間に配置される。ゲート（２）は、閉塞時、圧縮して摺動するＯリング（６）を有する。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称密封装置技術分野本発明は密封装置に関する。本発明の非排他的な一応用例として、排気して真空にするようにしたチャンバーの密封装置がある。ここでは、蒸着室の予燃室として機能する真空排気可能なエアロックの密封装置に関連して本発明を説明するが、本発明は、このような環境に限定されないことは理解されよう。先行技術閉塞状態で、真空室から空気を抜き取り、且つ、開口状態で、この真空室に物を投入したり、または、この真空室から物を除去することを可能にする様々な密封装置が存在する。従来の密封装置における難点は、使える空間を大きくするとコストが高くなり信頼性が低下することにある。発明の開示本発明の一つの局面は、相補形のシール面を有するゲートによってシール面を有するポートを密封する方法にある。この方法では、前記ゲートのシール面をポートの前記シール面に当接させて、前記ポートのシール面に平行な方向に、前記ゲートのシール面を前記ポートのシール面に対して移動させる。好ましい形態において、これらシール面の当接と、前記ポートのシール面に対する前記ゲートのシール面の移動とが、連続的動作として、同時に起こる。好ましい形態において、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に閉塞する間に、前記ゲートのシール面が前記ポートのシール面に接近する。前記ゲートのシール面、又は、前記ポートのシール面は、通常、弾性部材を含み、この弾性部材は、これらシール面の相対移動中に摺動あるいは変形する。好ましい形態において、この弾性部材は、前記ゲートのシール面の一部を形成するＯリングである。本発明の二つ目の局面は密封装置にあり、この密封装置はシール面を有するゲートと、相補形のシール面を有するポートとを含む。この密封装置では、閉塞中、これらのシール面が当接し、ゲートのシール面は、当接するシール面に平行な方向に、前記ポートのシール面に対して移動する。好ましくは、これらシール面の一方が弾性部材を含み、より好ましくは、この弾性部材はＯリングである。当接する両シール面間の相対移動によって、密封性を促進するようなＯリングの摺動又は変形がもたらされる。好ましくは、前記ゲートは移動枢軸を介してクランク部材に枢支され、このクランク部材は固定枢軸に枢支される。この移動枢軸及び固定枢軸は、ほぼ平行である。好ましくは、前記固定枢軸は、前記ポートのシール面の平面に平行に、且つ、間隔を置いて配置される。好ましくは、閉塞中、前記移動枢軸は、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に移動する。好ましくは、前記クランク部材は、閉塞中に前記固定枢軸を中心とする第１回転方向に枢動され、前記ゲート部材は、第１回転方向の前記クランク部材に対して付勢される。本発明の他の局面は、第１方向に回転して開口を封止可能に覆うようにしたゲートにあり、このゲートは、固定軸を中心に枢動自在に取り付けられたクランクに枢動自在に取り付けられる。好ましくは、前記クランクとゲートの間にバイアス部材を配置して、前記ゲートを前記クランクに対して前記第１の方向に付勢する。図面の簡単な説明本発明がさらに容易に理解されて実施されるように、ここで、本発明の一つの実施例を例示した添付の図面を参照する。図１は、閉塞位置にある密封装置のゲートの側面図である。図２は、開口位置にある密封装置のゲートの側面図である。図３は、閉塞位置にある密封装置のゲート正面図である。最良の態様真空存在の状態で行われる蒸着処理用の密封装置に関連して本発明を説明する。被覆されている物品は、プリント配線板であり、ポートが比較的長く、且つ、狭いものとして例示する。添付図面にあるように、シャフト１は、アングル・ブロック１０に回動自在に取り付けられており、ギア１１を介した入力に応じて、固定軸周りに回転する。ポートの相対的な長さにより、このシャフトは、密封を損なう偏向に耐えるに十分な径を有するものである。クランク３は、シャフト１に固定されて、シャフト１と共に回転する。ゲートプレート２は、移動軸として定義されるピボットピン４を介して、クランク３に回動自在に取り付けられている。バネ５は、図１及び図２に示すように、クランク３に対して反時計周り方向にゲートプレート２を付勢する。なお、前記ポートのシール面は、硬化シールプレート７で供され、また、前記ゲートのシール面は、Ｏリング６から成る弾性部材を含む。この硬化シールプレートは、その表面が傷ついたり摩耗した場合に、交換すればよい。硬化シールプレート７は、室壁９に着脱自在に取り付けられている、また、Ｏリング８が設けられており、硬化シールプレート７と室壁９との間を封止する。ゲートプレート２は、Ｏリング６の嵌込みを保持するように作られた溝を有する。或いは、Ｏリングの着脱を簡単化するＯリング締め付け板を設けてもよい。このＯリングの直径を比較的大きくして、大きなシール表面を形成し、表面の小さいパーティクルを充分に閉じ込め、良好な真空密封を供する。開口の構成を図２に示す。密封装置を閉塞する際、全てのゲートアセンブリは、シャフト１により定義される固定軸を中心にして、反時計周り方向に回転する。なお、ゲートプレート２は、クランク３に対して反時計周り方向に付勢されている。このため、閉塞中に、ゲートプレート２の前縁（ゲートプレートのヒール）が、硬化シールプレート７に当たらない。その結果、後縁（ゲートプレートのトゥ）が、硬化シールプレート７と接触する。その後、ゲートプレート２は、ばねの付勢力に抗して、クランクに対して時計周りに回転すると、ゲートプレートは硬化プレートに直角に当接する。つまり、Ｏリングが硬化シールプレート７に直角に当接する。このＯリングの圧縮性によって、ゲートが、さらにもう少し閉じられる。なお、この時、ゲートプレート２は、ポートのシール面に平行及び直角の両成分を含む方向に向かって、このポートに接近し続ける。直角の成分は、このゲートとポートの間で、Ｏリングの圧縮をもたらす。平行の成分は、硬化シールプレートに対してＯリングを摺動させ、クリーニング効果あるいはスウィーピング効果をもたらす。つまり、微小なパーティクルはＯリングの手前で一掃され、Ｏリングと硬化プレートとの間のより良好な封止が可能となる。本発明の好ましい実施例は、小型で、信頼できる、安価な密封装置を提供する。以上の記述は本発明を例示的に示したものであって、当業者には明らかであるところの上記実施例に対するあらゆる変更及び改造は、ここに述べた本発明の広い範囲に入ることは、もちろん理解されよう。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１１年２月８日（１９９９．２．８）【補正内容】請求の範囲［請求項１］相補形のシール面を有するゲートによってシール面を有するポートを密封する方法であって、前記ゲートのシール面を前記ポートのシール面に当接させて、前記ポートのシール面に平行な方向に、前記ゲートのシール面を前記ポートのシール面に対して移動させる密封方法。［請求項２］請求項１に記載の方法であって、前記シール面同士の当接と、前記ポートのシール面に対する前記ゲートのシール面の移動とが同時に起こる密封方法。［請求項３］請求項２に記載の方法であって、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に閉塞する間に、前記ゲートのシール面が前記ポートのシール面に接近する密封方法。［請求項４］請求項１に記載の方法であって、前記ゲートのシール面、又は、前記ポートのシール面は、弾性部材を有しており、前記弾性部材は、前記両シール面の相対移動中に、摺動あるいは変形する、密封方法。［請求項５］シール面を有するゲートと、相補形のシール面を有するポートとを含む密封装置であって、閉塞時、前記両シール面は当接し、前記ゲートのシール面は、当接するシール面に平行な方向に、前記ポートのシール面に対して移動する密封装置。［請求項６］請求項５に記載の密封装置であって、前記シール面の一方が弾性部材を含む密封装置。［請求項７］請求項５に記載の密封装置であって、前記ゲートは、移動枢軸を介してクランク部材に枢動自在に取り付けられ、前記クランク部材は、固定枢軸に枢動自在に取り付けられ、前記移動枢軸及び固定枢軸は、ほぼ平行である、密封装置。［請求項８］請求項７に記載の密封装置であって、前記固定枢軸は、前記ポートのシール面の平面に平行に、且つ、間隔を置いて配置される密封装置。［請求項９］請求項８に記載の密封装置であって、閉塞時、前記移動枢軸は、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に移動する密封装置。［請求項１０］請求項７に記載の密封装置であって、前記クランク部材は、閉塞時、前記固定枢軸を中心とした第１回転方向に枢動され、前記ゲート部材は、第１回転方向の前記クランク部材に対して付勢される、密封装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ

Claims

【特許請求の範囲】［請求項１］相補形のシール面を有するゲートによってシール面を有するポートを密封する方法であって、前記ゲートのシール面を前記ポートのシール面に当接させて、前記ポートのシール面に平行な方向に、前記ゲートのシール面を前記ポートのシール面に対して移動させる密封方法。［請求項２］請求項１に記載の方法であって、前記シール面同士の当接と、前記ポートのシール面に対する前記ゲートのシール面の移動とが同時に起こる密封方法。［請求項３］請求項２に記載の方法であって、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に閉塞する間に、前記ゲートのシール面が前記ポートのシール面に接近する密封方法。［請求項４］請求項１に記載の方法であって、前記ゲートのシール面、又は、前記ポートのシール面は、弾性部材を有しており、前記弾性部材は、前記両シール面の相対移動中に、摺動あるいは変形する、密封方法。［請求項５］シール面を有するゲートと、相補形のシール面を有するポートとを含む密封装置であって、閉塞時、前記両シール面は当接し、前記ゲートのシール面は、当接するシール面に平行な方向に、前記ポートのシール面に対して移動する密封装置。［請求項６］請求項５に記載の密封装置であって、前記シール面の一方が弾性部材を含む密封装置。［請求項７］請求項５に記載の密封装置であって、前記ゲートは、移動枢軸を介してクランク部材に枢動自在に取り付けられ、前記クランク部材は、固定枢軸に枢動自在に取り付けられ、前記移動枢軸及び固定枢軸は、ほぼ平行である、密封装置。［請求項８］請求項７に記載の密封装置であって、前記固定枢軸は、前記ポートのシール面の平面に平行に、且つ、間隔を置いて配置される密封装置。［請求項９］請求項８に記載の密封装置であって、閉塞時、前記移動枢軸は、前記ポートのシール面の平面に対して直角及び平行の両成分を含む方向に移動する密封装置。［請求項１０］請求項７に記載の密封装置であって、前記クランク部材は、閉塞時、前記固定枢軸を中心とした第１回転方向に枢動され、前記ゲート部材は、第１回転方向の前記クランク部材に対して付勢される、密封装置。［請求項１１］第１方向に回転して、開口を封止可能に覆うゲートであって、固定軸を中心に枢動自在に取り付けられるクランクに枢動自在に取り付けられるゲート。［請求項１２］請求項１１に記載のゲートであって、前記クランクとゲートの中間にバイアス部材が配置され、前記クランクに対して前記ゲートが前記第１方向に付勢されているゲート。