JPH11185685A - 真空チャンバーのゲートバルブ - Google Patents
真空チャンバーのゲートバルブInfo
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- JPH11185685A JPH11185685A JP35054097A JP35054097A JPH11185685A JP H11185685 A JPH11185685 A JP H11185685A JP 35054097 A JP35054097 A JP 35054097A JP 35054097 A JP35054097 A JP 35054097A JP H11185685 A JPH11185685 A JP H11185685A
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- JP
- Japan
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- valve
- vacuum chamber
- valve body
- valve seat
- gate valve
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発塵を極力少なくした真空チャンバーのゲ
ードバルブを提供する。 【解決手段】 軸８を適宜角度回転させ、連結棒７と弁
体４を一緒に適宜角度回転させる。弾性体１４の弾性力
に基づいて押圧体１５は弁体４の下部を常に押圧してい
ることから、弁体４の上部は弁座３に接触することな
く、弁体の下部だけが弁座３の下部に接触する。前記回
転が進むと、弁体４の下部は弁座３の下部から完全に離
れる。材料の搬送が終了したら、軸８を回転駆動機構に
より前記回転に対し逆方向に適宜角度回転させることに
より、連結棒７と弁体４を一緒に適宜角度回転させる。
この回転の末期において、弁体４の下部が弁座３の下部
に接触してから、弁体４の上部が弁座３の上部に接触す
る。そして、弁体４が弁座３に密着し、材料搬入搬出口
２が外部（大気側）に対して閉じた状態となる。
ードバルブを提供する。 【解決手段】 軸８を適宜角度回転させ、連結棒７と弁
体４を一緒に適宜角度回転させる。弾性体１４の弾性力
に基づいて押圧体１５は弁体４の下部を常に押圧してい
ることから、弁体４の上部は弁座３に接触することな
く、弁体の下部だけが弁座３の下部に接触する。前記回
転が進むと、弁体４の下部は弁座３の下部から完全に離
れる。材料の搬送が終了したら、軸８を回転駆動機構に
より前記回転に対し逆方向に適宜角度回転させることに
より、連結棒７と弁体４を一緒に適宜角度回転させる。
この回転の末期において、弁体４の下部が弁座３の下部
に接触してから、弁体４の上部が弁座３の上部に接触す
る。そして、弁体４が弁座３に密着し、材料搬入搬出口
２が外部（大気側）に対して閉じた状態となる。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、ＩＣパターンが形成さ
れる材料が出し入れされる真空チャンバーのゲードバル
ブに関する。
れる材料が出し入れされる真空チャンバーのゲードバル
ブに関する。
【０００２】
【従来の技術】描画装置においては、例えば、ウエハの
如き材料上にＩＣパターンを描画している。又、観察，
検査，分析，測定装置等においては、ＩＣパターンが描
かれた材料について、それぞれパターンの観察，パター
ン欠陥等の検査，材料上に付着しているごみ等の分析，
パターンの測長等を行っている。
如き材料上にＩＣパターンを描画している。又、観察，
検査，分析，測定装置等においては、ＩＣパターンが描
かれた材料について、それぞれパターンの観察，パター
ン欠陥等の検査，材料上に付着しているごみ等の分析，
パターンの測長等を行っている。
【０００３】通常、前記描画，観察，検査，分析，測定
等の処理を行う処理チャンバーの隣に、ゲートバルブを
介して予備チャンバーが設けられており、ウエハの如き
材料は予備チャンバーを介して外部（大気側）から処理
チャンバーへ入れたり、処理チャンバーから外部へ出し
たりしている。この様な装置においては、予備チャンバ
ーの材料搬入搬出部分にゲートバルブが設けられてお
り、該ゲートバルブを開けて、外部（大気側）と予備チ
ャンバーとの間で材料の出し入れを行っている。
等の処理を行う処理チャンバーの隣に、ゲートバルブを
介して予備チャンバーが設けられており、ウエハの如き
材料は予備チャンバーを介して外部（大気側）から処理
チャンバーへ入れたり、処理チャンバーから外部へ出し
たりしている。この様な装置においては、予備チャンバ
ーの材料搬入搬出部分にゲートバルブが設けられてお
り、該ゲートバルブを開けて、外部（大気側）と予備チ
ャンバーとの間で材料の出し入れを行っている。
【０００４】又、装置によっては、予備チャンバーを設
けずに、処理チャンバーの材料搬入搬出部分にゲードバ
ルブを設け、該ゲートバルブを開けて、直接、外部（大
気側）と処理チャンバーとの間で材料の出し入れを行っ
ているものもある。
けずに、処理チャンバーの材料搬入搬出部分にゲードバ
ルブを設け、該ゲートバルブを開けて、直接、外部（大
気側）と処理チャンバーとの間で材料の出し入れを行っ
ているものもある。
【０００５】さて、最近、ＩＣの高集積化がますます進
み、前記各装置における材料へのゴミの付着が大きな問
題になってきている。
み、前記各装置における材料へのゴミの付着が大きな問
題になってきている。
【０００６】図１，図２は、予備チャンバー若しくは処
理チャンバーの如き真空チャンバーに設けられたゲート
バルブの概略を示している。図２は図１のＡ−Ａ断面図
である。図中１は真空チャンバーで、その材料搬入搬出
部分に、中央部に材料搬入搬出口２を有するゲートバル
ブの弁座３が取り付けられている。４は外部（大気側）
に対し、材料搬入搬出口２を開閉するための弁体で、そ
の真空チャンバ側の面には、弁座３との間のシールを行
うためのオーリング５が設けられている。該オーリング
は、前記材料搬入搬出口２を取り囲むように設けられて
いる。前記弁体は軸６により連結棒７に接続されてお
り、前記オーリング５と弁座３との密着性が向上するよ
うに、前記弁体４は前記軸６を中心とした回転方向に自
由度を有する。前記連結棒７は、軸８を介して、真空チ
ャンバー１の両側面に設けられた軸受け９に接続されて
おり、該連結棒は軸８の軸心の回りに軸８と一緒に回転
可能に成してある。
理チャンバーの如き真空チャンバーに設けられたゲート
バルブの概略を示している。図２は図１のＡ−Ａ断面図
である。図中１は真空チャンバーで、その材料搬入搬出
部分に、中央部に材料搬入搬出口２を有するゲートバル
ブの弁座３が取り付けられている。４は外部（大気側）
に対し、材料搬入搬出口２を開閉するための弁体で、そ
の真空チャンバ側の面には、弁座３との間のシールを行
うためのオーリング５が設けられている。該オーリング
は、前記材料搬入搬出口２を取り囲むように設けられて
いる。前記弁体は軸６により連結棒７に接続されてお
り、前記オーリング５と弁座３との密着性が向上するよ
うに、前記弁体４は前記軸６を中心とした回転方向に自
由度を有する。前記連結棒７は、軸８を介して、真空チ
ャンバー１の両側面に設けられた軸受け９に接続されて
おり、該連結棒は軸８の軸心の回りに軸８と一緒に回転
可能に成してある。
【０００７】図２は、材料搬入搬出口２が外部（大気
側）に対して閉じている状態を示しているが、材料を真
空チャンバー１内に入れる時や、真空チャンバー１内の
材料を外部（大気側）に出す場合には、真空チャンバー
１内をリークした後、例えば、軸８を回転駆動機構（図
示せず）により適宜角度回転させることにより、連結棒
７を一緒に適宜角度回転（少なくとも、材料搬送機構
（図示せず）の材料載置用アームが搬入搬出口２を通過
できる程度に連結棒７と弁体４が弁座３から離れる角度
の回転）させる。図３は、該連結棒の回転により、該連
結棒７に軸６で繋がった弁体４も回転して、該弁体が弁
座３から大きく離れた状態を示している。この状態にお
いて、外部（大気側）に備えられている材料搬送機構
（図示せず）の材料載置用アーム１０により前記材料搬
入搬出口２を通じて、材料１１を真空チャンバー内に入
れたり、真空チャンバー１内から出したりする。この材
料搬送機構（図示せず）による材料の出し入れは以前か
らよく知られている技術であり、本発明に直接関係ない
のでその詳細な説明はここでは割愛する。
側）に対して閉じている状態を示しているが、材料を真
空チャンバー１内に入れる時や、真空チャンバー１内の
材料を外部（大気側）に出す場合には、真空チャンバー
１内をリークした後、例えば、軸８を回転駆動機構（図
示せず）により適宜角度回転させることにより、連結棒
７を一緒に適宜角度回転（少なくとも、材料搬送機構
（図示せず）の材料載置用アームが搬入搬出口２を通過
できる程度に連結棒７と弁体４が弁座３から離れる角度
の回転）させる。図３は、該連結棒の回転により、該連
結棒７に軸６で繋がった弁体４も回転して、該弁体が弁
座３から大きく離れた状態を示している。この状態にお
いて、外部（大気側）に備えられている材料搬送機構
（図示せず）の材料載置用アーム１０により前記材料搬
入搬出口２を通じて、材料１１を真空チャンバー内に入
れたり、真空チャンバー１内から出したりする。この材
料搬送機構（図示せず）による材料の出し入れは以前か
らよく知られている技術であり、本発明に直接関係ない
のでその詳細な説明はここでは割愛する。
【０００８】この様な材料の搬送が終了したら、前記軸
８を回転駆動機構（図示せず）により前記回転に対し逆
方向に適宜角度回転させることにより、連結棒７と弁体
４を一緒に適宜角度回転させる。該連結棒の回転によ
り、図２に示す様に、弁体４が弁座３に密着し、材料搬
入搬出口２が外部（大気側）に対して閉じた状態とな
る。この後、真空チャンバー１内を排気する。
８を回転駆動機構（図示せず）により前記回転に対し逆
方向に適宜角度回転させることにより、連結棒７と弁体
４を一緒に適宜角度回転させる。該連結棒の回転によ
り、図２に示す様に、弁体４が弁座３に密着し、材料搬
入搬出口２が外部（大気側）に対して閉じた状態とな
る。この後、真空チャンバー１内を排気する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】所で、ゲートバルブを
閉じる際に、弁体４とオーリング５が弁座３に当たる
が、その時、弁体４は回転方向に自由度があるために、
上側が先に当たり、その後、下側が比較的ソフトに当た
る場合と、下側が先に当たり、その後、上側が比較的ソ
フトに当たる場合がある。もし、上側が先に当たると、
材料搬入搬出口２の中間部から上側で発塵し、そのうち
該塵が落下し始め、搬送時の材料上に付着する。尚、比
較的ソフトに当たった側には発塵は極めて少ない。尚、
下側が先に当たって、材料搬入搬出口２の中間部から下
側で発塵しても、、搬送時の材料上に付着することはな
い。
閉じる際に、弁体４とオーリング５が弁座３に当たる
が、その時、弁体４は回転方向に自由度があるために、
上側が先に当たり、その後、下側が比較的ソフトに当た
る場合と、下側が先に当たり、その後、上側が比較的ソ
フトに当たる場合がある。もし、上側が先に当たると、
材料搬入搬出口２の中間部から上側で発塵し、そのうち
該塵が落下し始め、搬送時の材料上に付着する。尚、比
較的ソフトに当たった側には発塵は極めて少ない。尚、
下側が先に当たって、材料搬入搬出口２の中間部から下
側で発塵しても、、搬送時の材料上に付着することはな
い。
【００１０】又、弁体４とオーリング５が弁座３に当た
った後、弁座３に対する弁体４とオーリング５の当たり
面が摺動する。もし、この時、上側が先に当たると、弁
座上部に対する弁体上部とオーリング上部の当たり面の
摺動によって発生した塵がそのうち落下し始め、搬送時
の材料に付着する。
った後、弁座３に対する弁体４とオーリング５の当たり
面が摺動する。もし、この時、上側が先に当たると、弁
座上部に対する弁体上部とオーリング上部の当たり面の
摺動によって発生した塵がそのうち落下し始め、搬送時
の材料に付着する。
【００１１】更に、連結棒７と弁体４は、軸４と直接接
触しているために、弁体２が回転したり、弁座３上で摺
動すると該軸部で発塵が起こり、該塵の一部が搬送時の
材料上に付着する。
触しているために、弁体２が回転したり、弁座３上で摺
動すると該軸部で発塵が起こり、該塵の一部が搬送時の
材料上に付着する。
【００１２】本発明は、この様な問題を解決するもの
で、新規な真空チャンバーのゲートバルブを提供するも
のである。
で、新規な真空チャンバーのゲートバルブを提供するも
のである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】 本発明の真空チャンバ
ーのゲートバルブは、真空チャンバー壁に設けられ、材
料搬送口を有する弁座、前記真空チャンバーの外部に対
して前記材料搬送口の開閉を行うための弁体、該弁体に
回転体を介して接続されており、前記開閉の為に該弁体
を移動させるための連結体、及び該連結体の駆動機構か
ら成る真空チャンバーのゲートバルブにおいて、前記弁
体における前記材料搬送口に対向する部分より下の部分
を弾性力に基づいて押圧する部材が、前記連結部材にお
ける前記回転体取り付け部分より下の部分に設けられて
いる。
ーのゲートバルブは、真空チャンバー壁に設けられ、材
料搬送口を有する弁座、前記真空チャンバーの外部に対
して前記材料搬送口の開閉を行うための弁体、該弁体に
回転体を介して接続されており、前記開閉の為に該弁体
を移動させるための連結体、及び該連結体の駆動機構か
ら成る真空チャンバーのゲートバルブにおいて、前記弁
体における前記材料搬送口に対向する部分より下の部分
を弾性力に基づいて押圧する部材が、前記連結部材にお
ける前記回転体取り付け部分より下の部分に設けられて
いる。
【００１４】又、本発明の真空チャンバーのゲートバル
ブは、前記弁体と連結体を、中心に軸を嵌合したベアリ
ングで接続したことを特徴としている。
ブは、前記弁体と連結体を、中心に軸を嵌合したベアリ
ングで接続したことを特徴としている。
【００１５】又、本発明の真空チャンバーのゲートバル
ブは、前記連結部材における前記回転体取り付け部より
上の部分にストッパーを設けたことを特徴としている。
ブは、前記連結部材における前記回転体取り付け部より
上の部分にストッパーを設けたことを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１７】図４は本発明の一例で、真空チャンバーに
設けられたゲートバルブの概略を示している。図５は図
４のＢ−Ｂ断面図である。図中、前記図１〜図３で使用
された番号と同一番号の付されたものは同一構成要素で
ある。
設けられたゲートバルブの概略を示している。図５は図
４のＢ−Ｂ断面図である。図中、前記図１〜図３で使用
された番号と同一番号の付されたものは同一構成要素で
ある。
【００１８】図中６は弁体４と連結棒７を繋ぐ軸である
が、その軸と弁体４の間にはベアリング１２が組み込ま
れている。前記連結棒７の弁体４に対する面の、前記ベ
アリング１２より上側に、弁体４が必要以上に傾くこと
を抑えるためのストッパー１３が設けられており、下側
には、例えば、バネの如き弾性体１４が取り付けられて
いる。該弾性体の先端には押圧体１５が取り付けられて
いる。従って、弁体４の下部は、弾性体１４の弾性力に
基づいて、押圧体１５により常に押圧されている。
が、その軸と弁体４の間にはベアリング１２が組み込ま
れている。前記連結棒７の弁体４に対する面の、前記ベ
アリング１２より上側に、弁体４が必要以上に傾くこと
を抑えるためのストッパー１３が設けられており、下側
には、例えば、バネの如き弾性体１４が取り付けられて
いる。該弾性体の先端には押圧体１５が取り付けられて
いる。従って、弁体４の下部は、弾性体１４の弾性力に
基づいて、押圧体１５により常に押圧されている。
【００１９】この様な構成における動作を次の説明す
る。
る。
【００２０】図５は、材料搬入搬出口２が外部（大気
側）に対して閉じている状態を示しているが、材料を真
空チャンバー１内に入れる時や、真空チャンバー１内の
材料を外部（大気側）に出す場合には、真空チャンバー
１内をリークした後、例えば、軸８を回転駆動機構（図
示せず）により適宜角度回転させることにより、連結棒
７と弁体４を一緒に適宜角度回転させる。図６は、該弁
体４がこの様な回転の初期において、弁座３から離れよ
うとしている状態を示しており、弾性体１４の弾性力に
基づいて押圧体１５は弁体４の下部を常に押圧している
ことから、弁体４の上部は弁座３に接触することなく、
弁体の下部だけが弁座３の下部に接触する。そして、前
記回転が進むと、弁体４の下部は弁座３の下部から完全
に離れる。図７は適宜角度の回転、即ち、少なくとも、
材料搬送機構（図示せず）の材料載置用アームが搬入搬
出口２を通過できる程度に連結棒７と弁体４が弁体４か
ら離れる角度の回転を終了した状態を示している。この
状態において、外部（大気側）に備えられている材料搬
送機構（図示せず）の材料載置用アーム１０により前記
材料搬入搬出口２を通じて、材料１１を真空チャンバー
内に入れたり、真空チャンバー１内から出したりする。
側）に対して閉じている状態を示しているが、材料を真
空チャンバー１内に入れる時や、真空チャンバー１内の
材料を外部（大気側）に出す場合には、真空チャンバー
１内をリークした後、例えば、軸８を回転駆動機構（図
示せず）により適宜角度回転させることにより、連結棒
７と弁体４を一緒に適宜角度回転させる。図６は、該弁
体４がこの様な回転の初期において、弁座３から離れよ
うとしている状態を示しており、弾性体１４の弾性力に
基づいて押圧体１５は弁体４の下部を常に押圧している
ことから、弁体４の上部は弁座３に接触することなく、
弁体の下部だけが弁座３の下部に接触する。そして、前
記回転が進むと、弁体４の下部は弁座３の下部から完全
に離れる。図７は適宜角度の回転、即ち、少なくとも、
材料搬送機構（図示せず）の材料載置用アームが搬入搬
出口２を通過できる程度に連結棒７と弁体４が弁体４か
ら離れる角度の回転を終了した状態を示している。この
状態において、外部（大気側）に備えられている材料搬
送機構（図示せず）の材料載置用アーム１０により前記
材料搬入搬出口２を通じて、材料１１を真空チャンバー
内に入れたり、真空チャンバー１内から出したりする。
【００２１】この様な材料の搬送が終了したら、前記軸
８を回転駆動機構（図示せず）により前記回転に対し逆
方向に適宜角度回転させることにより、連結棒７と弁体
４を一緒に適宜角度回転させる。この回転の末期におい
て、図６に示す様に、先に、弁体４の下部が弁座３の下
部に接触してから、弁体４の上部が弁座３の上部にソフ
トに接触する。そして、図５に示す様に、弁体４が弁座
３に密着し、材料搬入搬出口２が外部（大気側）に対し
て閉じた状態となる。この後、真空チャンバー１内を排
気する。
８を回転駆動機構（図示せず）により前記回転に対し逆
方向に適宜角度回転させることにより、連結棒７と弁体
４を一緒に適宜角度回転させる。この回転の末期におい
て、図６に示す様に、先に、弁体４の下部が弁座３の下
部に接触してから、弁体４の上部が弁座３の上部にソフ
トに接触する。そして、図５に示す様に、弁体４が弁座
３に密着し、材料搬入搬出口２が外部（大気側）に対し
て閉じた状態となる。この後、真空チャンバー１内を排
気する。
【００２２】尚、前記弁体４は前記軸６を中心とした回
転方向に自由度を有しているが、弁体４の連結棒６に対
する回転は、ベアリング１２に依る転がりによるもので
ある。
転方向に自由度を有しているが、弁体４の連結棒６に対
する回転は、ベアリング１２に依る転がりによるもので
ある。
【００２３】以上、本発明の一実施例を説明したが、本
発明はこの様な実施例に限定されない。例えば、軸６と
弁体４との間にベアリングを組み込んだが、低発塵性の
ブツシュを組み込むようにしても良い。又、連結棒７に
取り付ける弾性体としては、バネに限定されず、弾性力
の強い硬質のゴム部材でも良い。
発明はこの様な実施例に限定されない。例えば、軸６と
弁体４との間にベアリングを組み込んだが、低発塵性の
ブツシュを組み込むようにしても良い。又、連結棒７に
取り付ける弾性体としては、バネに限定されず、弾性力
の強い硬質のゴム部材でも良い。
【００２４】
【発明の効果】ゲートバルブを閉じる際に、弁体とオー
リングが弁座に当たるが、その際、弁体が連結棒に対し
回転方向に自由度があっても、必ず、先に、弁体下部と
オーリング下部が弁座下部に衝突し、その後、弁体下部
とオーリング下部がソフトに弁座上部に接触する。従っ
て、前記衝突により材料搬入搬出口の中間部から下側で
発塵することがあっても、上側での発塵はなく、その
為、搬送時の材料上への着塵が避けられる。
リングが弁座に当たるが、その際、弁体が連結棒に対し
回転方向に自由度があっても、必ず、先に、弁体下部と
オーリング下部が弁座下部に衝突し、その後、弁体下部
とオーリング下部がソフトに弁座上部に接触する。従っ
て、前記衝突により材料搬入搬出口の中間部から下側で
発塵することがあっても、上側での発塵はなく、その
為、搬送時の材料上への着塵が避けられる。
【００２５】又、弁体とオーリングが弁座に衝突した
後、弁座に対する弁体とオーリングの当たり面が摺動す
ることがあっても、先に、弁体上部とオーリング上部が
弁体上部に衝突することはなく、必ず、先に、弁体下部
とオーリング下部が弁座下部に衝突するので、前記摺動
による発塵があっても、それは材料搬入搬出口の中間部
から下側での発塵であって、上側での発塵はないので、
その為、搬送時の材料上への着塵が避けられる。
後、弁座に対する弁体とオーリングの当たり面が摺動す
ることがあっても、先に、弁体上部とオーリング上部が
弁体上部に衝突することはなく、必ず、先に、弁体下部
とオーリング下部が弁座下部に衝突するので、前記摺動
による発塵があっても、それは材料搬入搬出口の中間部
から下側での発塵であって、上側での発塵はないので、
その為、搬送時の材料上への着塵が避けられる。
【００２６】更に、連結棒と弁体は、軸で繋がれている
が、その軸と弁体の間にはベアリングが組み込まれ、弁
体の連結棒に対する回転は、該ベアリングに依る転がり
によるものである為、弁体が回転したり、台座上で摺動
しても軸から発塵する事がない。
が、その軸と弁体の間にはベアリングが組み込まれ、弁
体の連結棒に対する回転は、該ベアリングに依る転がり
によるものである為、弁体が回転したり、台座上で摺動
しても軸から発塵する事がない。
【図１】 真空チャンバーに設けられたゲートバルブの
概略を示している。
概略を示している。
【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 図２において、ゲートバルブが開いた状態を
示している。
示している。
【図４】 本発明に基づく真空チャンバーに設けられた
ゲートバルブの概略を示している。
ゲートバルブの概略を示している。
【図５】 図４のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】 図２において、ゲートバルブが開く初期状態
を示している。
を示している。
【図７】 図２において、ゲートバルブが開く末期状態
を示している。
を示している。
１…真空チャンバー、２…材料搬入搬出口、３…弁座、
４…弁体、５…オーリンク゛、６…軸、７…連結棒、８
…軸、９…軸受け、１０…材料載置用アーム、１１…材
料、１２…ベアリング、１３…ストッパー、１４…弾性
体、１５…押圧体
４…弁体、５…オーリンク゛、６…軸、７…連結棒、８
…軸、９…軸受け、１０…材料載置用アーム、１１…材
料、１２…ベアリング、１３…ストッパー、１４…弾性
体、１５…押圧体
Claims (3)
- 【請求項１】 真空チャンバー壁に設けられ、材料搬送
口を有する弁座、前記真空チャンバーの外部に対して前
記材料搬送口の開閉を行うための弁体、該弁体に回転体
を介して接続されており、前記開閉の為に該弁体を移動
させるための連結体、及び該連結体の駆動機構から成る
真空チャンバーのゲートバルブにおいて、前記弁体にお
ける前記材料搬送口に対向する部分より下の部分を弾性
力に基づいて押圧する部材が、前記連結部材における前
記回転体取り付け部分より下の部分に設けられているこ
とを特徴とする真空チャンバーのゲートバルブ。 - 【請求項２】 前記弁体と連結体を、中心に軸を嵌合し
たベアリングで接続したことを特徴とする請求項１記載
の真空チャンバーのゲートバルブ。 - 【請求項３】 前記連結部材における前記回転体取り付
け部より上の部分にストッパーを設けたことを特徴とす
る請求項１の真空チャンバーのゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35054097A JPH11185685A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 真空チャンバーのゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35054097A JPH11185685A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 真空チャンバーのゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11185685A true JPH11185685A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18411188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35054097A Withdrawn JPH11185685A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 真空チャンバーのゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11185685A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010000900A (ko) * | 2000-10-26 | 2001-01-05 | 박상규 | 반도체 공정 장비용 자동 게이트 밸브 |
| JP2011018506A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
| KR20170141142A (ko) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 배트 홀딩 아게 | 흐름을 조절하고 유로를 차단하기 위한 진공 밸브 |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP35054097A patent/JPH11185685A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010000900A (ko) * | 2000-10-26 | 2001-01-05 | 박상규 | 반도체 공정 장비용 자동 게이트 밸브 |
| JP2011018506A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
| KR20170141142A (ko) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 배트 홀딩 아게 | 흐름을 조절하고 유로를 차단하기 위한 진공 밸브 |
| CN107504249A (zh) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | Vat控股公司 | 用于控制流并且用于中断流路的真空阀 |
| CN107504249B (zh) * | 2016-06-14 | 2020-09-15 | Vat控股公司 | 真空控制阀 |
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Legal Events
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