JPH07297260A - カセットローディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体製造装置に於いて、ウェーハカセットの
搬入を自動化し、パーティクルの混入を防止する。 【構成】ローディング室１０のカセット搬入搬出口１１
を閉塞する開閉蓋１６にウェーハカセット受載用のステ
ージ２１を設け、前記開閉蓋の開閉動作でウェーハカセ
ット９の搬入搬出を行う様構成し、ウェーハカセットを
搬入搬出する場合は、開閉蓋に設けられたウェーハカセ
ット受載用のステージにウェーハカセットを載置し、開
閉蓋を閉じることでウェーハカセットの搬入を行い、開
閉蓋を開くことで搬出を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置に於い
て、ウェーハが装填されたウェーハカセットの受渡しを
行うカセットローディング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造装置には外部とのウェ
ーハカセットの受渡しを行う為に、カセット授受室が設
けられており、作業者の手によりウェーハカセットを前
記カセット授受室に搬入していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した様に従来のウ
ェーハカセット搬入は人手によっていたので、ウェーハ
カセットの搬入時にパーティクルの混入があり、ウェー
ハを汚染することがあり、ウェーハの品質、歩留まりの
点で問題があり、更に半導体製造全体の自動化の障害と
なっていた。

【０００４】本発明は斯かる実情に鑑み、ウェーハカセ
ットの搬入を自動化し、パーティクルの混入を防止しよ
うとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、ローディング
室のカセット搬入搬出口を閉塞する開閉蓋にウェーハカ
セット受載用のステージを設け、前記開閉蓋の開閉動作
でウェーハカセットの搬入搬出を行う様構成したカセッ
トローディング装置に係り、又ローディング室のカセッ
ト搬入搬出口を閉塞する開閉蓋を水平軸心を中心に回転
自在に設け、該開閉蓋に該開閉蓋の開状態でウェーハカ
セットを受載可能なカセット水平ステージを昇降可能に
且前記ローディング室に対して近接可能に設けると共に
前記開閉蓋の回転中心側に前記カセット水平ステージに
対峙させ垂直ステージを設けたカセットローディング装
置に係り、更にローディング室の底部に回転可能且昇降
可能な回転ステージを設け、該回転ステージにウェーハ
カセットを受載可能としたカセットローディング装置に
係るものである。

【０００６】

【作用】ウェーハカセットを搬入搬出する場合は、開閉
蓋に設けられたウェーハカセット受載用のステージにウ
ェーハカセットを載置し、開閉蓋を閉じることでウェー
ハカセットの搬入を行い、開閉蓋を開くことで搬出を行
う。更に、ローディング室に搬入した後、ウェーハカセ
ットの方向を変更する場合は回転ステージを上昇させ、
ウェーハカセットを回転ステージに移載し、回転ステー
ジを所要角度回転する。

【０００７】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。

【０００８】図１は本発明に係るカセットローディング
装置１，２を具備した半導体製造装置の概略を示すのも
である。

【０００９】断面が６角形状の搬送室３に第１処理室
４、第２処理室５がそれぞれ図示しないゲート弁を介し
て気密に連設されていると共に前記第１処理室４、第２
処理室５に対向して前記カセットローディング装置１，
２がゲート弁を介して気密に連設されている。

【００１０】前記搬送室３の内部には基板搬送ロボット
６が設けられている。該基板搬送ロボット６は進退可能
なアーム７を具備し、該アーム７は回転可能となってお
り、被処理基板８を１枚ずつカセットローディング装置
と処理室の間で移載する様になっている。

【００１１】カセットローディング装置１に被処理基板
８が装填されたウェーハカセット９が装入され、前記基
板搬送ロボット６によりカセットローディング装置１か
ら被処理基板８が１枚ずつ前記第１処理室４、第２処理
室５に搬送され、該第１処理室４、第２処理室５でＣＶ
Ｄ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ）処理、プラズマエッチング等所要の処理がなされ
た後、前記基板搬送ロボット６により前記カセットロー
ディング装置２内のウェーハカセット９に搬送される。
カセットローディング装置２内のウェーハカセット９に
処理済みの被処理基板８が装填されるとウェーハカセッ
ト９は取出され次工程へと送られる。

【００１２】次に、図２〜図４に於いてカセットローデ
ィング装置１，２について説明する。尚、カセットロー
ディング装置１，２は同様な構成であるので、以下はカ
セットローディング装置２について説明する。

【００１３】ローディング室１０の搬送室３の反対側の
面にはカセット搬入搬出口１１が設けられ、該カセット
搬入搬出口１１の下方に位置し、前記ローディング室１
０の下面に軸受ブロック１２が取付けられ、該軸受ブロ
ック１２に軸受１３を介して開閉軸１４が回転自在に設
けられる。該開閉軸１４には開閉アーム１５が固着さ
れ、該開閉アーム１５に前記カセット搬入搬出口１１を
密閉可能な開閉蓋１６が固着されている。

【００１４】前記ローディング室１０の下面に減速器１
７が固着され、該減速器１７には開閉モータ１８が連結
され、前記減速器１７の出力軸は前記開閉軸１４に連結
されている。

【００１５】前記開閉蓋１６の外面（開閉蓋１６がカセ
ット搬入搬出口１１を閉塞した状態で露出する面）にリ
フトモータ１９が設けられ、該リフトモータ１９の出力
軸は前記開閉蓋１６を貫通し、前記出力軸の先端にロッ
ドレスシリンダ等アクチュエータ２０を具備し、開閉蓋
１６と平行な方向に移動可能なカセット水平ステージ２
１が設けられている。又前記開閉蓋１６の内面回転中心
側にカセット垂直ステージ２２が設けられている。

【００１６】前記ローディング室１０の下部両側面に水
平方向に延出するセンサ支持プレート３０が相対向して
１対設けられ、両センサ支持プレート３０の先端には透
過型の光線センサ３１が設けられている。

【００１７】又、前記ローディング室１０の上部両側面
に開閉蓋クランパ３２が設けられ、該開閉蓋クランパ３
２はクランプ爪３３を有し、該クランプ爪３３が回転さ
れることで、前記開閉蓋１６をクランプ、或は解除する
様になっている。

【００１８】前記ローディング室１０の底面に下方に延
びるガイド２３が設られ、該ガイド２３にスライダ２４
が摺動自在に設けられ、該スライダ２４を図示しない螺
子ロッドに螺合し、前記スライダ２４下端に減速器２５
を介して昇降モータ２６が設けられ、該昇降モータ２６
と前記図示しない螺子ロッドが連結される。

【００１９】前記スライダ２４には方向変換モータ２７
が設けられ、該方向変換モータ２７の出力軸に連結され
た回転軸２８が前記ローディング室１０の下面を摺動自
在且回転自在に気密に貫通する。前記回転軸２８の上端
に回転ステージ２９が固着されている。該回転ステージ
２９は前記開閉蓋１６が前記カセット搬入搬出口１１を
閉塞した時に前記カセット水平ステージ２１に載置され
たウェーハカセット９の中心に位置する様設けられてい
る。

【００２０】以下、図５〜図９を参照して本実施例の作
動を説明する。

【００２１】ウェーハカセット９を受取る状態は、前記
開閉蓋１６が水平状態で前記カセット搬入搬出口１１を
開放し、前記アクチュエータ２０がカセット水平ステー
ジ２１を前記ローディング室１０から離反（後退）さ
せ、更にリフトモータ１９がカセット水平ステージ２１
を上昇させた状態である（図５参照）。

【００２２】ウェーハカセット９を前記カセット水平ス
テージ２１に載置すると前記光線センサ３１がウェーハ
カセット９の存在を検知する。前記光線センサ３１のウ
ェーハカセット９検知により、前記アクチュエータ２０
が駆動され、前記カセット水平ステージ２１が前進し、
前記ウェーハカセット９が前記カセット垂直ステージ２
２に当接する（図６参照）。

【００２３】次に、前記開閉モータ１８が駆動され、開
閉蓋１６が図２中時計方向に回転され、前記カセット搬
入搬出口１１を閉塞する。又、この状態では前記ウェー
ハカセット９はカセット垂直ステージ２２に乗載した状
態となっている（図７参照）。前記開閉蓋クランパ３２
が駆動され、前記クランプ爪３３が前記開閉蓋１６をク
ランプする。

【００２４】前記リフトモータ１９が駆動して、前記カ
セット水平ステージ２１を後退させ、カセット水平ステ
ージ２１を前記ウェーハカセット９から離反させる（図
８参照）。

【００２５】前記昇降モータ２６が駆動して前記回転軸
２８を介して回転ステージ２９を上昇させ、ウェーハカ
セット９を前記カセット垂直ステージ２２から離反させ
る。更に、前記方向変換モータ２７が駆動して前記回転
軸２８を介して前記回転ステージ２９を回転し、ウェー
ハカセット９の向きを搬送室３の中心に向かう様変更す
る（図９参照）。

【００２６】次に、前記基板搬送ロボット６による被処
理基板８の搬送作動が開始される。

【００２７】尚、ウェーハカセット９の搬出作動につい
ては、上記搬入作動の逆であるので説明を省略する。

【００２８】前記した実施例中のモータ等のアクチュエ
ータは、シリンダ、ソレノイド等に変更可能であること
は言う迄もなく、被処理基板８はシリコンウェーハ、ガ
ラス基板等が対象となることも勿論である。

【００２９】更に、上記実施例ではカセットの搬入搬出
方向と、基板搬送ロボット６による被処理基板８の搬送
方向とが屈曲していたが両作動での方向が合致していた
場合は、前記回転ステージ２９によるウェーハカセット
の方向変換作動は不要であり、回転ステージ２９に関係
する機構は省略が可能である。更に又、前記実施例では
水平軸を中心に回転する開閉蓋１６にカセット水平ステ
ージ２１を設けたが、垂直軸心を中心に回転する開閉蓋
にカセット受載用のステージを設けることも可能であ
る。

【００３０】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ウェー
ハカセットの搬入搬出を自動的に行え、人手を介さない
のでパーティクルの混入が防止でき、清浄な雰囲気で半
導体製造を行え、又機構的にもカセット搬入搬出口の開
閉蓋をカセットローダのベースに兼用しているので簡単
であり、製作費が安価であるという優れた効果を発揮す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るカセットローディング
装置を具備した半導体製造装置の概略平面図である。

【図２】本発明の一実施例を示す側面図である。

【図３】本実施例を示す一部を破断した正面図である。

【図４】本実施例を示す一部を破断した平面図である。

【図５】本実施例の作動説明図である。

【図６】本実施例の作動説明図である。

【図７】本実施例の作動説明図である。

【図８】本実施例の作動説明図である。

【図９】本実施例の作動説明図である。

【符号の説明】

１ カセットローディング装置 ２ カセットローディング装置 ３ 搬送室 ４ 第１処理室 ５ 第２処理室 ９ ウェーハカセット １１ カセット搬入搬出口 １８ 開閉モータ １９ リフトモータ ２０ アクチュエータ ２１ カセット水平ステージ ２２ カセット垂直ステージ ２６ 昇降モータ ２７ 方向変換モータ ２９ 回転ステージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 狩野 利一 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローディング室のカセット搬入搬出口を
   閉塞する開閉蓋にウェーハカセット受載用のステージを
   設け、前記開閉蓋の開閉動作でウェーハカセットの搬入
   搬出を行う様構成したことを特徴とするカセットローデ
   ィング装置。
2. 【請求項２】 ローディング室のカセット搬入搬出口を
   閉塞する開閉蓋を水平軸心を中心に回転自在に設け、該
   開閉蓋に該開閉蓋の開状態でウェーハカセットを受載可
   能なカセット水平ステージを昇降可能に且前記ローディ
   ング室に対して近接可能に設けると共に前記開閉蓋の回
   転中心側に前記カセット水平ステージに対峙させ垂直ス
   テージを設けたことを特徴とするカセットローディング
   装置。
3. 【請求項３】 ローディング室の底部に回転可能且昇降
   可能な回転ステージを設け、該回転ステージにウェーハ
   カセットを受載可能とした請求項２のカセットローディ
   ング装置。