JPH04202775A

JPH04202775A - 基板のローディング装置

Info

Publication number: JPH04202775A
Application number: JP2336690A
Authority: JP
Inventors: Naoki Kato; 直樹加藤; Eiji Konoshima; 此島　栄次; Kyoji Kinokiri; 恭治木ノ切; Jiro Ikeda; 池田　治朗
Original assignee: Sony Corp; Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Sony Corp; Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1990-11-30
Filing date: 1990-11-30
Publication date: 1992-07-23
Anticipated expiration: 2009-05-25
Also published as: JPH0639697B2; US5336029A; EP0487848B1; DE69128612T2; DE69128612D1; EP0487848A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、例えば連続スパッタリング装置に好適な基
板のローディング装置に関する。

（従来の技術）デジタル化された音声情報や画像情報を大量に記録する
のにコンパクトディスク（以下、ＣＤと略称する）が広
く使用されるようになってきた。

ＣＤは、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板の
表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニュ
ーム（Ａ１）薄膜層が形成されて構成され、「１」か「
０」のデジタル情報に合わせて、その基板にビット（ｐ
ｉ　ｔ）と称する小さな孔を開け、その孔の有無をレー
ザ光の反射波の有無によりその記録情報を読み出し得る
ものである。

１枚の基板への成膜は、スパッタにより比較的短時間で
行われることから、多数の基板への連続成膜が可能であ
る。

従来の連続スパッタリング装置は、第８図に示すように
構成されている。

まずベルトコンベア等の外部搬送装置１で順次搬送され
てくるＣＤ等の基板２は、軸３ａを中心に回転（矢印Ｘ
１方向）及び上下（矢印Ｙｌ）方向に移動可能な基板搬
送装置３の吸着バット２１に吸着され、基板のローディ
ング（ｌｏａｄｉｎｇ）装置４に搬送される。

基板のローディング装置４は、基板搬送装置３から受け
た基板２をバキュームチャック４１で吸引しつつ、成膜
室５内の内部搬送装置５１にローディングするもので、
第９図に拡大して示すように構成されている。

即ち、バキュームチャック４１が設けられた吸着ヘッド
４２は、回転軸４３に固定され、駆動機構４４のモータ
４４１及び歯車装置４４１ａにより矢印Ｘ２方向に回転
自在に構成されるとともに、エアーシリンダ４４２によ
り、上下（矢印Ｙ２）方向に移動自在に構成されている
。バキュームチャック４１は吸着ヘット４２及び回転軸
４３内の吸排空洞４３１．取出し口４３２を経て、配管
４５により外部機器４６に接続されている。

外部機器４６は、バキュームチャック４１が基板２を着
脱させる作動源をなし、分岐管４６ａ、バルブ４８ｂ、
４８ｃ　、及び真空ポンプ等の排気ポンプ４Ｅｉｄから
構成されている。

基板のローディング装置４が基板搬送袋Ｍ３から基板２
を受け、成膜室５内の内部搬送装置５１ヘローデイング
するときは、まずバルブ４８ｂを開け、基板２をバキュ
ームチャック４１で吸引捕捉した後、モータ４４１の駆
動により回転軸４３を１８０度回転させて基板２を成膜
室５側に向くよう操作される。

次に、エアーシリンダ４４２によって吸着ヘッド４２を
成膜室５に向は降下させるとともに、第８図に示すよう
に成膜室５内で上昇させた搬送テーブル５１ａ上に基板
２が接近したとき、バルブ４６ｂを閉し、バルブ４６ｃ
を開けて大気を導入して、基板２を内部搬送装置５１に
移動させるものである。

内部搬送装置５１も基板のローディング装置４と同様に
、軸５１ｂ中心に上下（矢印Ｙ３）方向は勿論のこと矢
印Ｘ３方向に回転可能に構成されているから、基板２は
順次スパフタ源５２まて搬送され成膜される。

スパッタ成膜後の基板２は上記と逆操作により、内部搬
送装置５１から基板のローディング装置４゜基板搬送装
置３を経て他のベルトコンベアからなる外部搬送装置に
より搬出される。

ところで、上記従来の基板のローディング動作において
、回転軸４３や吸着ヘット４２は、据付は固定された外
部機器４６に対して、上下動を伴った１８０度の反復回
転運動を行うから、配管４５は、他端か外部機器４６に
固定されつつ、回転軸４３とともに上下動を伴った往復
回転運動か繰返される。

その結果、配管４５は、いわゆるねじれ往復動か要求さ
れるので長さを長くしていた。しかし、長さの長い配管
４５は、ねじれ往復動の旋回動作で広い空間を必要とし
、また操作員にとっても危険か伴うという欠点があった
。

また、駆動機構４４は、回転軸４３を中心に繰返し上下
及び回転往復動を行うものであるか、重い吸着ヘッド４
２の反転往復の繰返し動作による慣性モ−メントは、モ
ータ４４１及び歯車装置４４１ａへの負荷となり、モー
タ４４の過負荷や歯車の摩耗等を引起こす要因となった
。

また、従来の基板のローディング装置は、吸着ヘッド４
２は１枚の基板２を運ぶだけであるから、ローディング
サイクル速度を上げるには、駆動機構の回転速度を上げ
ることとなり、スピードアップには限界かあり改善が要
望されていた。

また、従来の成膜室５は第１０図に示すように、上蓋５
３を有し、その内部はロードロック部５ａとスパッタ部
５ｂとに区分されるが、ロードロック部５ａに位置する
上蓋５３には、基板２を受渡しするためのロードロック
室５３ａが形成されている。　また、成膜室５内では、
基板２は搬送テーブル５１ａのサセプタ５１ｃに載置さ
れてロードロック部５ａからスパッタ部５ｂに回転搬送
される。

スパッタ部５ｂの上には、上蓋５２の開口部５２ｂを介
してスパッタ源５２か配置されているとともに、開口部
５３ｂには基板２を受けるマスク５４が取付けられてい
る。マスク５４の下面に密着された基板２面には、スパ
ッタによりアルミニュームの薄膜が例えば２秒間という
短い時間内で形成される。なお、基板２がマスク５４に
密着されていないとき、スパッタ源５２内は成膜室５の
排気口５５から排気される。

ところで、上蓋５３のロードロック室５３ａは、第１１
図に拡大して示すように、基板２を吸着ヘッド４２から
サセプタ５１ｃへ渡したり、あるいは成膜後（７）Ｊ［
２を逆にサセプタ５１ｃから吸着ヘッド４２へ渡すため
に、大気圧と真空との境界室として構成されている。器
壁即ち上蓋５３内には、排気用及び吸気用に共通した吸
排管路５３ｃが形成され、第１０図及び第１２図に示す
ように分岐管６を介して外部の回転ポンプ７に接続され
、バルブ８１を開くことによって、ロードロック室５３
ａ内は荒引き可能となる。

いま、基板２を吸着ヘッド４２からサセプタ５１ｃへ渡
す場合は、まず吸着パット４１の吸引力に抗するため、
バルブ８１を開けてロードロック室５３ａ内を排気し、
基板２を吸着ヘッド４２からサセプタ５１ｃ上に移動さ
せる。その後、搬送テーブル５１ａを下げ、成膜室５及
びロードロツタ室５ａ内が更に高真空となるように排気
口５５から排気される。

また、成膜後の基板２をサセプタ５１ｃから吸着ヘッド
４２へ渡す場合は、分岐管６に接続された他方のバルブ
８２を一時的に開操作して、ロードロック室５３ａを大
気圧状態とし、基板２を吸着バット４１に吸着させて搬
出する。

なお、第１１図の符号りは封止用のＯリングを示し、ま
た第１２図の９１．９２は夫々回転ポンプ７及び大気に
連なる配管を示す。

このような従来の基板のローディング装置においては、
吸着ヘッド４２は基板２のアルミニューム薄膜による記
録面に触れることなく保持しようとしたから、第１１図
に示すように、吸着ヘッド４２の周縁部にリング状にリ
ム４２ａを形成し、基板２は吸着パット４１とリム４２
ａとによって、保持されるように構成されていた。

しかしながら、ロードロック室５３ａを大気圧状態とし
、基板２かサセプタ５１ｃから吸着ヘッド４２へと渡る
際に、基板２が吸着バット４１に吸引され、リム４２ａ
に密着されることによって形成される閉じられた空間４
２ｂは、基板２を介して外側の大気圧との間に時間的に
圧力差を生じることから、第１１図に点線で示すように
湾曲変形する現象が生じた。この結果、基板２の重要な
記録面が湾曲変形して吸着ヘッド４２面に直接接触し、
記録面に損傷を受ける恐れがあった。この記録面損傷現
象は、サセプタ５１ｃとの受渡しの際にも、サセプタ５
１ｃが基板２を面接触で支持することから同様に発生す
る欠点かあった。

基板２の記録面は、部分的な僅かな傷でも直ちに基板全
体か不良品となるので、このような搬送の過程で変形し
損傷することは好ましくなく改善か要望されていた。

（発明が解決しようとする課題）従来の基板のローディング装置は、配管を接続させた状
態で吸着へ・ンドを反転往復動させた場合、配管の旋回
空間が広がり、また駆動機構への負荷が大となる欠点が
あった。また、１枚の基板を順次ローディングするので
、速度を上げるのに限度があり、また単なるスピードア
ップには、前記駆動機構の負担を増大させることとなり
問題であった。

更に、従来のローディング装置は、例えば基板を保持す
る吸着ヘッドが、ロードロツタ室内での搬送授受時に、
基板の内外圧力差の変形等により、記録面が損傷すると
いう欠点があフた。

この発明は、上記従来の欠点を解消し、駆動機構への負
荷を軽減せしめ、同時により全体をよりコンパクトに構
成し得るとともに、搬送速度を大幅に向上させ、基板を
確実かつ安全に搬送可能なローディング装置を提供する
ことを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）第１の発明は、搬送されてくる基板を吸着ヘッドのバキ
ュームチャックに吸着しつつ成膜室にローディングする
基板のローディング装置において、前記バキュームチャ
ックを対向する両側面に取付けた前記吸着ヘッドと、こ
の吸着ヘッドを上下往復動させ得るとともに成膜室から
離隔させた状態で回転軸を中心に吸着ヘッドを回転往復
動作◆させる駆動機構と、前記吸着ヘッドの回転往復動
作に伴う衝撃を吸収するショックアブソーバと、前記各
バキュームチャックに対応して連なり前記回転軸回りに
巻回後人冷排気ポンプに接続された一対の配管とを具備
することを特徴とする。

第２の発明は、前記第１の発明において、駆動機構の回
転往復動作は回転軸に固定されたピニオンを、これに噛
合わせたラックの往復摺動によって行わせたことを特徴
とする。

第３の発明は、前記第１の発明において、一対の配管は
互いに異なる色の合成樹脂製パイプで構成され、夫々一
端か前記回転軸に直交する方向に設けられた取出し口に
接続されるとともに、前記回転軸の端部に取付けられた
ストッパ機構によって、回転軸上に巻回されるように構
成されたことを特徴とする。

第４の発明は、真空容器等の器壁内に形成の吸排管路を
ロードロック室に向は開口するとともに、このロードロ
ック室において、器壁外からの吸着ヘッドと器壁内から
の搬送テーブルとの間で基板を搬送授受するように構成
されたロードロック装置において、前記吸着ヘッドは基
板吸着側の面を周縁部が中央部よりも低くなるように傾
斜させるともに、前記搬送テーブルの基板載置側の面を
周縁部が中央部よりも低くしかつ周縁部に基板を支える
複数の凸部を形成したことを特徴とする。

第５の発明は、上記第４の発明において、搬送テーブル
の周縁部に形成される凸部の数を奇数個としたことを特
徴とする。

（作用）この発明による基板のローディング装置は、配管を回転
軸周りに巻回して後、外部機器と接続させたので全体は
コンパクトに構成されるとともに、ショックアブソーバ
を設は反転時の衝撃を吸収し駆動機構に対する負荷を小
さくするとともに、バキュームチャックを２系統設けた
ので、効率の良い搬送を行うことができる。

また、この発明装置は、吸着ヘッド及び搬送テーブルの
基板吸着側の面を周縁部を中央部より低く形成したので
、基板周縁部との間には隙間が生じ、ロードロック室を
大気圧状態として、器壁内の搬送テーブルから基板を受
けとるとき、基板の記録面の両側に圧力差が生しないの
で、基板の湾曲変形を回避することかできる。

また、搬送テーブル側での基板は周縁部の凸部で支持さ
れるか、互いに対向する凸部間を結ぶ線が基板中心を通
るとき、基板はその支持された中心線を回転軸として回
動しやすくなり、しばしば傾いた状態で搬送テーブル上
に載置されることがある。この発明では、周縁部の凸部
の数を奇数個としたことによって、この凸部相互間を結
ぶ直線か基板の中心を容易に避は得るようにしたので、
基板が傾きずれることなく安定かつ確実な搬送が可能と
なる。

（実施例）以下、第１図ないし第７図を参照し、この発明による基
板のローディング装置の実施例を説明する。なお、この
実施例の説明では従来の説明と同様に、連続スパッタリ
ングによる成膜装置に適用した場合について説明し、ま
た第８図ないし第１２図に示した従来の装置と同一構成
には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

第１図及び第２図は、この発明による基板のローディン
グ装置の第１の実施例を示す構成図である。

即ち、ローディング装置４は、円盤状の吸着ヘッド４２
の両面に夫々基板２のバキュームチャック４１、４１’
が複数設けられて、夫々対応する吸排空洞４３１．４３
１’　、配管４５．４５’を介して一対の外部機器４８
．４６’　に接続されている。

配管４５．４５’　は互いに色を異にした合成樹脂製の
フレキシブルな透明パイプであって、一端が回転軸４３
の径方向に取付けられた取出し口４３２゜４３２′　に
接続され、回転軸４３の外側に沿って比較的緩やかに複
数回巻回されて後、他端を夫々一対の外部機器４６．４
６’　に接続されている。

そこで、このロープインク装置４での基板２の着脱は、
従来と同様に外部機器４６．４６’　におけるバルブ４
６ｂ、　４Ｂｂ’　、４８ｃ、４６ｃ’の開閉操作によ
って行われる。このバルブ開閉操作は駆動機構４４の動
作とともに、図示しない制御装置の制御を受け、基板搬
送装置（３）や成膜室（５）内の内部搬送装置（５１）
の動作と連携するように構成されている。なお、この発
明では、吸着ヘッド４２の両面にバキュームチャック４
１．４１’を設け２系統としたので、エアーシリンダ４
４２による１つの上下動作の中で、成膜室（５）へのロ
ーディングと同時に、逆に成膜室（５）から基板搬送装
置（３〉への基板２受は渡しを行うこともできるから、
ローディングの作業効率は著しく向上し、スピードアッ
プが図れる。

また、一対の配管４５．４５’　は回転軸４３の軸周り
にコイル状に巻回して後、外部機器４６．４６’　に接
続させたので、回転軸４３側で回転往復動作を受けても
、その運動量は巻回された配管４５．４５’円周方向で
吸収されるから、配管４５．４５’　自体へ加わるせん
断力は小さくなる。つまり、配管４５．４５’に加わる
回転往復運動はコイル状の円周方向で受けるので、回転
軸４３に巻回された配管４５．４５’　の径における小
さな伸縮に止どまり、またこれにエアーシリンダ４４２
による上下反復動か加わったとしても、駆動機構４４に
与える機械的負荷は小さく押えられる。また、回転軸４
３に巻回された配管４５゜４５′　は、回転軸４３の端
部に設けた円板状の止め具４３３ａとねじ４３３ｂとス
トッパ機構４３３によって、回転軸４３からはみ出るの
を防止され、かつコンパクトに収納される。

また、この実施例では、ローディング装置４の反復回転
動作の駆動源を、従来のモータ４４１に代えて、回転軸
４３に一体に取付けたピニオン（小歯車）　４４１ａを
ラック（ｒａｃｋ）４４１ｂと噛合わせ、このラック４
４１ｂをパイプ４４１Ｃによる高圧空気の交互供給によ
り摺動移動させることによって、直線往復運動を回転往
復運動に変えられることから、回転軸４３は１８０度回
転往復運動を行うように構成されている。

このピニオン４４１ａとラック４４１ｂによる往復回転
運動でも、吸着ヘッド４２による慣性モーメントの反動
を受けるので、新たに設けた一対のショックアブソーバ
４７．４７’によって、その反転時の衝撃を吸収し、ピ
ニオン４４１ａ及びラック４４１ｂ等に加わる負荷の軽
減を図っている。

即ち、第２図に示すように、一対のショックアブソーバ
４７．４７’　は回転軸４３を挾んで、エアーシリンダ
４４２の可動部分と一体に取付けられ、中央部にゴム材
４９ａか充填されている。そこで回転軸４３と一体に固
定されたアーム４３４は、吸着ヘッド４２が丁度矢印Ｙ
方向に交互に移動して１８０度反転する度に、アーム４
３４の先端頭部４３４ａがショックアブソーバ４７．４
７′　に交互に当り、反転時の衝撃をゴム材４９によっ
て吸収するように構成されている。

もっとも、このショックアブソーバ４７．４７’　はゴ
ム材４９ａに代えて、例えば油を充填した四部にコイル
スプリングを収納し、その弾性力を利用して衝撃を吸収
する構造とすることもできる。

以上のように、この発明による基板のローディング装置
は、配管４５．４５’　を回転軸４３に巻回して後、外
部機器４８．４８’　と接続させたので小形化が可能と
なった。また、ショックアブソーバ４７を設けたことは
、反転時の慣性モーメントを吸収し衝撃を和らげ、基板
搬送時の信頼性を高めつつ、高速化が実現される。

また、第３図及び第４図はこの発明による基板のロード
ロック装置の第２の実施例を示す断面図である。

第３図において、ロードロック室５３ａを構成する成膜
室５の上蓋５３の器壁内には、第４図に拡大して示すよ
うに、ロードロック室５３ａ内に向は開口した吸排管路
５３ｃが横方向に形成されている。

基板２を搬送する吸着ヘッド４２は円盤状をなしている
が、両面とも吸着側の面が中央部よりも周縁部の方が低
くなるようにテーパー状に傾斜部４２Ｃが形成されてい
る。

そこで、吸着パット４１に吸着されて搬送されてくる基
板２は、ロードロツタ室５３ａを介して、搬送テーブル
５１ａのサセプタ５１ｅに搬送される。このときロード
ロック室５３ａは第３図に示したバルブ８１を開けるこ
とによって排気され、真空状態となり、基板２は吸着バ
ット４１から離れてサセプタ５１ｃ上に載置されるよう
に移動する。搬送テーブル５１ａのサセプタ５１ｃは、
基板載置側の面を周縁部が中央部よりも低く、かつ周縁
部に基板を支える凸部５１ｄを複数個設けることによっ
て記録面の接触を防いでいる。

この実施例のサセプタ５１ｃは、第５図に示すように、
凸部５１ｄは等間隔からなる奇数個（５個）設け、いず
れの凸部５１６間を結ぶ直線も基板２の中心Ｐを通るこ
とがないようにすれた位置となるように設けられるので
、円板状の基板２が中心Ｐを通る線上での２点支持（つ
まり最大径の両端支持）により回動し、基板２全体がず
れて支持されることか防止される。また、隣接する凸部
５１ｄ間の間隔ｔを大きくすることによって、基板２の
サセプタ５１ｃ面側への大気の流れ込みか円滑となり、
基板２両面間に圧力差か生しることがない。

そこで、基板２がサセプタ５１ｃから吸着ヘッド４２に
搬送されるときは、一方のバルブ８１を閉じ、他方のバ
ルブ（８２）を開けることによって、ロードロック室５
３ａに大気を導入するが、吸着ヘッド４２は外側周縁部
が低くなっていて、基板２からは離れているために、こ
こでも大気は基板２の吸着ヘッド４２側にも容易に流れ
込み、基板２の両面に圧力差が生じることがない。

従って、ロードロック室５３ａ内が急激に大気圧状態に
切替えられても、基板２全体は従来のように湾曲変形す
ることがなく、従って記録面が吸着ヘッド４２面に接触
して損傷することは回避される。

また、吸着ヘッド４２は縁部方向に傾斜部４２ｃを形成
したので、縁部での吸着ヘッド４２に更に接触しにくい
状態となったから、搬送授受時に仮に基板２が揺動して
若干傾いたとしても、非接触状態を確実に維持しつつ搬
送させることが可能である。

また、この発明ではロードロック室５３ａに連なる吸排
管路５３ｃは分岐管６を外付けすることなく、より短縮
された吸排管路を付加形成することができる。

第６図及び第７図はこの発明によるローディング装置の
第３の実施例を示す要部断面図である。

即ち、第６図及び第７図に示すように、上蓋５３の器壁
内で、一方はその共通管路５３ｃに連なり他方では外部
の複数の配管に夫々接続される分岐管路５３ｄ　、　５
３ｅか、途中で下方に折り曲げ形成されている。この分
岐管路５３ｄ　、　５３ｅは、この実施例では、これら
２つの分岐管路５３ｄ　、　５３ｅが夫々ロードロック
室５３ａに対して、排気管及び吸気管として機能する。

前記２つの分岐管路５３ｄ、５３ｅの出口では、成膜室
５の器壁かブロック状に延長して上蓋５３と接合するよ
うに構成され、各分岐管路５３ｄ　、　５３ｅに対応し
た凹部状のマニホールド５４ａ、５４ｂが形成されてい
る。

マニホールド５４ａ、５４ｂには夫々従来と同様に回転
ポンプ（７）及び大気に夫々連なる配管９１．９２が開
口して接続されるとともに、夫々一対のバルブ機構９３
．９４の各弁体９３ａ、９４ｂか前記分ｉ管路５３ｄ。

５３ｅの出口を開閉自在とするように構成されている。

９３ｂ、９４ｂは前記弁体９３ａ、９４ａと連結するシ
リンダである。

この第３の実施例では、上記のように構成され、上蓋５
３の管路開口側の壁面５３ｒがそのまま各バルブ機構の
マニホールドを構成する内壁面となることから、バルブ
機構がコンパクトに構成される。

また、上記各実施例では、吸着ヘッド４２の両面に吸着
バット４１を有する反転機構付基板取出し装置に適用し
た例として説明したが、従来のように一方の面にのみ吸
着パット４１を取付けたビックアンドプレース形の基板
２取出し装置にも適用できる。

また、上記各実施例では、この発明装置をスパッタリン
グ装置に適用した場合を説明したか、容器の器壁にロー
ドロック室を形成し、基板の授受搬送を行うものであれ
ば、スパッタリングに限らず例えばエツチング装置や蒸
着装置等に採用しても全く同様な効果か得られるもので
ある。

［発明の効果］この発明によるロードロック装置は、吸着ヘッドの簡単
な改良により、基板を傷つけることなくしかも効率良く
搬送できるものであって、スパッタリング装置の他広く
採用できるものであり、実用に際して得られる効果大で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による基板のローディング装置の第１
の実施例を連続スパッタリング装置に適用した状態を示
す側面図、第２図は第１図に示した装置のＡ−Ａ線断面
図、第３図はこの発明による基板のローディング装置の
第２の実施例を示す断面図、第４図は第３図に示す装置
の要部拡大図、第５図は第４図に示すサセプタのＢ−Ｂ
線平面図、第６図はこの発明による基板のローディング
装置の第３の実施例を示す要部断面図、第７図は第６図
のＣ−Ｃ線断面図、第８図は連続スパッタリング装置に
適用された従来の基板のローディング装置を示す一部切
り欠は側面図、第９図は第８図に示した装置の要部拡大
断面図、第１０図は従来の他の基板のローディング装置
を示す断面図、第１１図は第１０図に示す装置の要部拡
大図、第１２図は第１０図に示す装置の右側面図である
。１・・外部搬送装置、２・・基板、３・・・基板搬送装置、４・・ローディング装置、４１
・・・バキュームチャック、４２・・・吸着ヘッド、４２ｃ・・・傾斜部、４３・・
・回転軸、　　４４・・・駆動機構、４６．４６’　・
・・外部機器、４７．４７’　・・・ショックアブソーバ、５・・・成
膜室、　　　　５１ａ・・・搬送テーブル、５１ｄ・・
・凸部、　　６・・・回転ポンプ。代理人　　弁理士　　大　胡　典　夫 −二“几−ゴ゛工゛−゛ＬＬ−一、、−−−：τ−コー〜−−−−−′ 第２図第３図１ｄ第７図第９図第１０図第１１図Ｇ　　　　　　　　　　　１２

Claims

【特許請求の範囲】

（１）搬送されてくる基板を吸着ヘッドのバキュームチ
ャックに吸着しつつ成膜室にローディングする基板のロ
ーディング装置において、前記バキュームチャックを対
向する両側面に取付けた前記吸着ヘッドと、この吸着ヘ
ッドを上下往復動させ得るとともに成膜室から離隔させ
た状態で回転軸を中心に吸着ヘッドを回転往復動作させ
る駆動機構と、前記吸着ヘッドの回転往復動作に伴う衝
撃を吸収するショックアブソーバと、前記各バキューム
チャックに対応して連なり前記回転軸回りに巻回後夫々
排気ポンプに接続された一対の配管とを具備することを
特徴とする基板のローディング装置。
（２）前記駆動機構の回転往復動作は回転軸に固定され
たピニオンを、これに噛合わせたラックの往復摺動によ
って行わせたことを特徴とする前記請求項（１）記載の
基板のローディング装置。
（３）前記一対の配管は互いに異なる色の合成樹脂製パ
イプで構成され、夫々一端が前記回転軸に直交する方向
に設けられた取出し口に接続されるとともに、前記回転
軸の端部に取付けられたストッパ機構によって、回転軸
上に巻回されるように構成された前記請求項（１）記載
の基板のローディング装置。
（４）搬送されてくる基板を吸着ヘッドのバキュームチ
ャックに吸着しつつ成膜室にローディングする基板のロ
ーディング装置において、前記吸着ヘッドは基板吸着側
の面を周縁部が中央部よりも低くなるように傾斜させる
ともに、前記成膜室側の搬送テーブルの基板載置側の面
を周縁部が中央部よりも低くしかつ周縁部に基板を支え
る複数の凸部を形成したことを特徴とする基板のローデ
ィング装置。
（５）前記搬送テーブルの周縁部に形成される凸部の数
を奇数個としたことを特徴とする請求項（４）記載のロ
ーディング装置。