CN1107823C - 密封系统 - Google Patents

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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
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    • F16J13/16—Pivoted closures
    • F16J13/20—Pivoted closures mounted by mobile fastening on swinging arms

Abstract

一个密封系统包括门(2)，它可转动地安装到曲柄(3)上，曲柄(3)被安装成随着轴(1)转动。弹簧(5)设置在门(2)和曲柄(3)之间。该门(2)包括O型环(6)，它在关闭过程中压缩并滑动。

Description

密封系统
技术领域
本发明涉及一种密封系统。
本发明特别涉及一种适用于、但不局限于真空腔的密封系统。在此说明的本发明是一种用于可抽吸式气密型的密封系统，它用作汽相淀积腔的前室。但不言而喻，本发明并不局限于此处应用。
背景技术
目前已有许多不同的密封系统，用于当腔关闭的时候能从真空腔中抽空空气，而当腔打开的时候能释气体引进或排出真空腔。
已知密封系统的缺点不只是费用高、不甚可靠，并且在可用的有限空间内尺寸偏大。
发明内容
本发明的一个方面是一种口的密封方法，该口有一个密封面及带有相配密封面的一个门，该方法包括：
使门的密封表面和口的密封表面接合，并在平行于口的密封表面的方向上，相对于口的密封表面移动门的密封表面。
在最佳实施例中，密封表面的接合和门的密封表面相对于口的密封表面的移动是同时发生的，不过它们也可以是顺序地动作。
在最佳实施例中，门的密封表面在关闭过程中以一个方向靠近口的密封表面，该方向具有相对于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
门的密封表面或口的密封表面通常包括一个弹性元件，该弹性元件在密封表面的相对移动中滑动或变形。在最佳实施例中，该弹性元件是一个O型环，它构成门密封表面的一部分。
本发明的第二方面是一个密封系统，该密封系统包括：
一个具有密封表面的门；和
一个具有互补的密封表面的口，其中，由于关闭动作，遂使相应的密封表面接合，并在平行于接合的密封表面的方向上，相对于口的密封表面移动门的密封表面。
这两个密封表面中的一个最好是有一个弹性元件，而且该弹性元件最好是一个O型密封圈或叫O型环。邻接的密封表面间的这种相对移动是由O型环的滑动或变形造成的，这有利于改进其密封效果。
通过一个可动枢轴，该门最好是以枢轴转动方式安装到一个曲柄件上，接着，该曲柄件又绕着固定枢轴以可转动方式安装，该可动枢轴和固定枢轴基本上是平行的。
固定枢轴最好是平行于口的密封表面的平面并与其隔开。
在关闭过程中，可动枢轴最好是在一个方向上移动，该方向具有相对于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
在关闭过程中，曲柄件在绕着固定枢轴的在第一旋转方向上枢轴运动，门件相对于在第一旋转方向上的曲柄件而被推压。
本发明的另一方面在于一个门，该门适于在第一方向上旋转来密封地覆盖在一个孔上，该门被可转动地安装在一个曲柄上，该曲柄绕着一固定轴可转动地安装。
一个偏压件最好是配置在曲柄和门之间，以相对于曲柄在第一方向上推压该门。
附图概述
为了更容易地理解本发明和其实际效果，将参照附图描述本发明的最佳实施例，其中：
图1是位于关闭状态的密封系统的门的侧视图。
图2是位于打开状态的密封系统的门的侧视图。
图3是位于关闭状态的密封系统的门的前视图。
最佳实施例
在此显示的本发明是一个用于汽相淀积工艺中的密封系统，其中采用真空。需涂镀的物件可以是印刷线路板，因此图中所示的口又窄又长。
参照附图，轴1可转动地安装在轴承座10上，以相应于通过齿轮11的输入来绕着一固定轴转动。由于口的相对长度，该轴具有重要的直径尺寸来抵抗偏转，其中该偏转可能危及密封的安全。
曲柄3固定在轴1上，并随着轴1相应转动。门板2通过枢轴销4可转动地安装在曲柄3上，其中枢轴销4形成一可动轴。
弹簧5在逆时针方向上，如图1和图2中所示，相对于曲柄3推压门板2。
注意该口的密封表面是由加硬密封板7提供的，而该门的密封表面则可采用例如是O型环的一个弹性元件6。如果该加硬密封板的表面被刮擦或磨损了，可以更换该加硬密封板。该加硬密封板7可拆除地安装在腔壁9上，在加硬板7和腔壁9之间设置有另一个O型环8来进行密封。
门板2具有一个槽，该槽具有保持O型环6不动的形状。也可以设置一个O型环夹紧板，其可以简化O型环的安装和拆除。该O型环具有相对较大的直径，以提供一完全封闭小表面物体的较大的密封表面并提供一良好的真空密封。
在图2中显示了打开的结构。为了关闭该密封系统，整个门组件绕着轴1所形成的固定轴在顺时针方向上转动。我们记得门板2相对于曲柄3在逆时针方向上被推压。这意味着在关闭的过程中，门板2的引导边(或门板的跟部)初始把持地离开加硬板7。结果，尾边(或门板的顶部)首先与加硬板7接触。因此，门板2抵抗弹簧的推压相对于曲柄顺时针转动，使得门板与加硬板面对面地接合。更具体地说，该O型环与加硬板面对面地接合。由于O型环是弹性的，该门就可被关得更紧一点。可以想象，这时门板2在一个方向上连续地靠近该口，其中该方向包括相对于口的密封表面的平行分量和垂直分量。该垂直分量使板和口之间的O型环压缩。平行分量使O型环相对于加硬板滑动，这种滑动具有清除或清扫的效果。特别是那些微观碎片体在O型环前面被扫除使得在O型环和加硬板间可以得到一更好的密封。
本发明的最佳实施例提供了一个密封系统，它紧凑、可靠和价廉。
应该理解到，尽管上面以例子的方式显示了本发明，但对于本领域的技术人员来说很明显的各种变化和变形，都应认为落入本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种利用具有一互补的密封表面的门来密封一具有一密封表面的口的方法，该方法包括：
将门的密封表面和口的密封表面邻接，在平行于口的密封表面的方向上，相对于口的密封表面移动门的密封表面。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，密封表面的邻接和门的密封表面向对于口的密封表面的移动是同时发生的。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，在关闭过程中，门的密封表面以一个方向靠近口的密封表面，该方向包括相对于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，门的密封表面或口的密封表面包括一个弹性元件，该弹性元件在密封表面的相对移动中滑动或变形。
5.一个密封系统，包括：
一个具有一密封表面的门；和
一个具有一互补的密封表面的口，其特征在于，当关闭的时候，相应的密封表面邻接，在平行于邻接的密封表面的方向上，相对于口的密封表面移动门的密封表面。
6.如权利要求5所述的密封系统，其特征在于，这两个密封表面之一包括一弹性元件。
7.如权利要求5所述的密封系统，其特征在于，通过一可动枢轴，该门枢轴地安装到一个曲柄件上，接着，该曲柄件又绕着一固定枢轴而枢轴地安装，该可动枢轴和固定枢轴基本上是平行的。
8.如权利要求7所述的密封系统，其特征在于，固定枢轴平行于口的密封表面的平面并与其隔开。
9.如权利要求8所述的密封系统，其特征在于，在关闭过程中，可动枢轴在一个方向上移动，该方向包括相对于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
10.如权利要求7所述的密封系统，其特征在于，在关闭过程中，曲柄件绕着固定枢轴在第一旋转方向上枢轴运动，门件相对于在第一旋转方向上的曲柄件而被偏压。
CN98805713A 1997-05-30 1998-05-26 密封系统 Expired - Lifetime CN1107823C (zh)

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