TW393429B - A sealing system - Google Patents

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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Description

經濟部中央揉準局員工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（） 本發明係指一種密封糸統》尤指但不専指真空室所適 用的一種密封糸統。本發明於此係Μ可供當作蒸汽稹附室 之前室的真空式氣閜用密封系統作為例舉說明範園。然而 ，本發明自當不受此特定環境的限制者。 按，有許多不同的密封糸統可在真空室閉合時將空氣 抽出，但亦能在真空室開啟時將物品置於其内或從其内取 出0 但*此等習知密封糸統分別具有成本高、可靠性不佳 、和空間有限時尺寸嫌大等缺點。 本發明之目的在於提供一種以一具有一互補密封面之 W門將一具有一密封面之孔口予以密封的方法•該方法包 括： 使W門密封面與孔口密封面貼緊•並使閘門密封面相 對於孔口密封面朝著與該孔口密封面保持平行的方向移動 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事- 項 再 填 寫 本 頁 订 在所舉這實施例中，二密封面的貼緊和閘門密封面相 對於孔口密封面的移動係同時發生*但亦可接續進行。 其中•閜門密封面在閉合期間係朝著一個相對於孔口 密封面之平面•包括那些正交及平行組件的方向移近孔口 的密封面。旦 閘門密封面或孔口密封面通常設有一彈性構件，該彈 性構件在前述二密封面相對移動期間會滑動或扭曲。此外 *該彈性構件係一構成閘門密封面一部份的◦型封圈。 本發明的另一目的在於提供一種密封糸統，該糸統包 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局員工消費合作社印31 A7 B7 五、發明説明（） 括： 一具有一密封面的閜門；和 —具有一互補密封面的孔口 •其中在閉合時，該二密 封面貼緊•且W門密封面相對於孔口密封面係朝著一個與 該等貼聚密封面保持平行的方向移動。 該二密封面其中一個宜設有一強性構件，而道彈性構 件宜為一種◦型封圈。二貼緊密封面之間的相對移動會使 埴〇型封圈濟動或扭曲•以致易於增進密封效果。 閘門宜利用一活動樞軸被安装到一曲柄軸構件上·該 曲柄軸構件又以可樞轉方式被安裝到一固定樞軸上•同時 該活動樞軸與固定樞軸實質保持平行。 固定樞軸宜與孔口密封面的平面保捋平行並與其隔開 〇 在閉合期間•移動樞袖宜朝著一個相對於孔口密封面 之平面，包括那些正交及平行組件的方向移動。 曲柄軸構件在閉合期間宜朝著第一旋轉方面繞著固定 樞軸樞轉*而閘門構件相對於曲柄軸構件·係朝著第一旋 轉方向偏動。 本發明的再一目的是提供一種可朝第一方向旋轉而以 一種可密封方式將一孔口蓋住的閜門，該W門係Μ可樞轉 方式被安装到一曲柄軸上，該曲柄軸又以可樞轉方式被安 裝在一固定軸上。 曲柄軸及蘭門中間宜設有一偏動構件，致使該蘭門相 對於曲柄軸，係朝著第一方向偏動。 -4 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先Μ讀背面之注意寒項再填寫本頁) 訂 - 經濟部中央標準局貞工消費合作社印装 A7 B7 _ 五、發明説明（) 圖式之簡要說明： 第一鼴：係密封糸統之W門處於閉合位置時之側視圓 9 第二圓：係密封糸統之閛門處於開啟位置時之側視圃 ;和 第三圖：是密封系統之W門處於閉合位置時之正視圓 〇 圓示中元件名稱、編號之對照說明： 轉軸 ：1 彈簧 5 軸承座 ：1 〇 Ο型封圈 ： 6 齒輪 ：11 密封板 ·· Ύ W門板 ：2 Ο型封圏 ： 8 曲柄軸 ：3 真空室壁面： 9 樞銷 :4 茲舉實施例並配合圖式•將本發明詳述於後Μ求易於 瞭解及實施。其中*本案之較佳實施例詳細說明如下： 本發明係以在真空情況下發生蒸汽積附過程所用的密 封糸統作為例舉說明範圍。經塗佈的物品可以是印刷電路 板·因而所示的孔口較長和窄。 如請參閲附圖：有一轉軸1係以可旋轉方式安装在軸 承座1 Ο上》Μ便在經由齒輪1 1傅來輸入時，可回應而 繞著一固定軸旋轉。由於孔口的相對長度，該轉軸具有實 質能耐抗偏轉的直徑* Κ免損及密封效果。 曲柄軸3係被固定到轉軸1上，因而能隨著轉軸1轉 —5 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意Ϋ賓再填寫本頁) 訂 蝮！ 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 B7五、發明説明（） 勡。利用若干用Μ界定一活動軸的樞銷4 *將閘門板2以 可旋轉方式安裝到曲柄軸3上。 如第一和二圖所示·相對於曲柄軸3 *彌簧5係促使 閘板門2朝著反時針方向偏轉。 孔口的密封面係由硬化密封板7提供·W門的密封面 則設有一個屬於〇型封圈6形式的彌性構件。硬化密封板 7的表面如刮傷或磨損時可更換。該硬化密封板7是以可 拆卸的方式安装在真空室壁面9上，而在硬化密封板7與 真空室壁面9之間則以另一個◦型封圈8密封。 閜門板2設有一道可供卡合Ο型封圈的凹槽。或者， 可改為設置一種Ο型封圈夾繫板，以簡化該封圈的裝卸工 作。〇型封圈的直徑相當大· Μ致能提供一個可將小表面 粒子完全園封住的大密封表面，且仍能提供良好的真空密 封性能。 第二圖所示者係開啟的組態。如要關閉這密封糸統* 便繞著轉軸1所界定的固定軸，反時針方向旋轉整個關門 總成。如前所述，相對於曲柄軸3，閘門板2會被朝蓍反 時針方向偏轉。此舉表示關門板2的前緣（或跟部）在閉 合期間先是與硬化密封板7保持隔開。因此•閘門板的後 緣（或趾部）即先與硬化密封板Τ7接觸。其後，相對於曲 柄軸*閘門板2會頂開彈簧偏動力而順時針方向旋轉，致 使閘門板直接貼緊硬化密封板。更具體言之* Ο梨封圈會 貼緊硬化密封板7。由於◦型封圈具有1S縮性•所以閘門 會繼績閉合地更緊一點。應瞭解的是•閘門板2這時會繼 -6- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先Μ讀背面之注意事爷再填寫本頁) ------1Τ------線一 393429_ Β7 五、發明説明（） 續朗著一個相對於孔口密封面，包括那些平行及正交組件 的方向接近孔口。正交組件能使〇型封圈歷縮到閘門與孔 口之間。相對於硬化密封板•平行組件則可使〇型封圈而 滑移•以致產生一種清潔或刮掃效果。尤其，顯微殘餘物 粒子會被刮播到〇型封腯的前方•從而在造〇型封圈及硬 化密封板之間發揮較佳的密封性能。 Μ上說明•可Μ顯見本發明的較佳實施例提供一種精 巧、可靠及價廉物美的密封糸統。 以上所舉實施例僅用κ說明本發明而a，非用μ限制 本發明之範圍。舉凡不違本發明精神所從事的種種變化、 修改和改良·俱屬本發明申請專利範園。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部t央橾準局員工消费合作社印裝 -7~ 本紙張又度逋用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. 393429 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 六、申請專利範圍 1. 一種Μ一具有一互補密封面之閛門將一具有一密封面 之孔口予Μ密封的方法•該方法包括： 使閜門密封面貼緊孔口密封面·並使閜門密封面相對 於孔口密封面朗著與該孔口密封面保持平行的方向移動。 2. 如申請専利範匿第1項所述之方法•其中二密封面的 貼緊和W門密封面相對於孔口密封面的移動係同時發生。 3. 如申請專利範園第2項所述之方法•其中密封面 〆 在閉合期間係朗著一個相對於孔口密封面的平面》包括那 些正交及平行組件的方向移近孔口的密封面。 4. 如申請専利範圃第1項所述之方法•其中閜門密封面 f 或孔口密封面設有一猓性構件，該弾性構件在所稱二密封 面相對移動期間會滑動或扭曲。 5. —種密封糸統，包括： 一具有一密封茴的閜門；和 一具有一互補密封面的孔口 •其中在閉合時，該二密 封面貼緊*且閜門密封面相對於孔口密封面係朗著一個與 該等貼緊密封面保持平行的方向移動。 6. 如申猜專利範匾第5.項所述之密封糸統•其中二密封. 面之一包括一彌性構件。 7. 如申請專利範圃第5.項所述之密封糸統•其中闸門係 利用一活動樞軸被安裝到一曲柄軸構件上》該曲柄袖構件 又以可樞轉方式被安裝到一固定榧軸的附近•同時該活動 樞釉與固定樞軸實質保持平行。 8·如申請專利範圍第7.項所述之密封糸統，其中固定樞 -8- 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X ：297公釐） 一 (請先Η讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 393429 Α8 Β8 C8 D8 斤、申請專利範圍 粬係與孔口密封面的平面保持平行並與其隔開。 9. 如申請専利範謹第8.項所述之密封系統•其中在閉合 期間·活動描粬係齟著一個相對於孔口密封面之平面》包 括那砦正交及平行組件的方向移動。 10. 如申請専利範鼷第7.項所述之密封年統•其中曲柄 軸構件在閉合期間係朝著第一旋轉方面綃蕃固定樞軸榧轉 •而閜門構件相對於曲柄粬構件，係朝蓍第一旋轉方向偏 動。 11. 一種可朝第一方向旋轉而以一種可密封方式將一孔 口蓋住的閜門，該W門係以可樞轉方式被安装到一曲柄軸 上•該曲柄軸又Μ可瓶轉方式被安裝在一固定軸上。 12. 如申請専利範圓第11.項所述之阐門•其中在曲柄 神及閛門中間設有一偏動嫌件·致使該阐門相對於曲柄轤 *係朝著第一方向偏動。 (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局男工消费合作社印笨 -9- 本紙張尺度逋用中國困家棣準（CNS ) M规格（2丨0X297公釐）
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