JP2005515121A - 扉および2カ所でばね偏倚した掛止機構 - Google Patents
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Abstract
Description
更なる移動を妨げるデバイスまたは装置が求められている。
とも5度に対して有効であることが好ましいが、前述のように、各好ましい位置の近傍において回転移動範囲の約45度までの範囲が可能である。加えて、ばね部材86は円弧形状を有するように図示されているが、図6のS字状ばね100、または図8のコイルばね102のように、他の幾何学的形状も可能であり、これらも本発明の範囲に該当する。望ましければ、例えば図7に示すように、寸法を小さくしたばね部材104、106を2つ以上用いてもよい。加えて、2つ以上のねじりばねを用いてカム部材68内に配置しても、同様の効果を得ることができる。
められよう。
Claims (29)
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、少なくとも1つの回転作動部材を有する掛止機構と、
前記扉外枠と結合されている少なくとも1つの第1ばね部材であって、該ばね部材は、前記回転作動部材に係合するように構成され、かつ前記回転作動部材を第1の好ましい位置に保持するように配置されており、前記ばね部材は、前記第1の好ましい位置近傍において前記回転作動部材の少なくとも5度の第1回転範囲にわたって前記回転作動部材を前記第1の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている第1ばね部材と、
を備えている扉。 - 請求項1記載の扉において、前記回転作動部材が前記第1の好ましい位置にあるときに、前記ばね部材を中立的に偏倚する扉。
- 請求項1記載の扉において、前記ばね部材は、前記回転作動部材を第2の好ましい位置においても保持するように配置され、前記第2の好ましい位置近傍において前記回転作動部材の少なくとも5度の第2回転範囲にわたって前記回転作動部材を前記第2の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている扉。
- 請求項3記載の扉において、前記回転作動部材が前記第2の好ましい位置にあるときに、前記ばね部材を中立的に偏倚する扉。
- 請求項1記載の扉において、前記ばね部材は円弧形状を有する扉。
- 請求項1記載の扉において、前記ばね部材はS字状を有する扉。
- 請求項1記載の扉において、前記ばね部材はコイルばねである扉。
- 請求項1記載の扉において、前記ばね部材はねじりばねである扉。
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
少なくとも第1のばね枢軸を有する扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、少なくとも1つの回転作動部材を有し、該回転作動部材が枢軸を有する、掛止機構と、
少なくとも1つの第1ばね部材であって、該ばね部材は、前記扉外枠のばね枢軸と、前記回転作動部材の枢軸とに動作可能に結合されており、前記ばね部材は、前記回転作動部材を第1の好ましい位置に保持するように配置され、更に、前記第1の好ましい位置近傍において、前記回転作動部材の少なくとも5度の第1回転範囲にわたって前記回転作動部材を前記第1の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている、第1ばね部材と、を備えている扉。 - 請求項9記載の扉において、前記回転作動部材が前記第1の好ましい位置にあるとき、前記ばね部材を中立的に偏倚する扉。
- 請求項9記載の扉において、前記ばね部材は、前記回転作動部材を第2の好ましい位置においても保持するように配置され、前記第2の好ましい位置近傍において前記回転作動部材の少なくとも5度の第2回転範囲にわたって前記回転作動部材を前記第2の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている扉。
- 請求項10記載の扉において、前記回転作動部材が前記第2の好ましい位置にあるときに、前記ばね部材を中立的に偏倚する扉。
- 請求項1記載の扉であって、更に、前記扉外枠のばね枢軸と、前記回転作動部材の枢軸とに枢動可能に結合されている第2ばね部材を備えている扉。
- 請求項9記載の扉において、前記ばね部材は円弧形状を有する扉。
- 請求項9記載の扉において、前記ばね部材はS字状を有する扉。
- 請求項9記載の扉において、前記ばね部材はコイルばねである扉。
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
少なくとも第1のばね枢軸を有する扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、少なくとも1つの掛止アームを有し、該掛止アームが中心枢軸を有する、掛止機構と、
少なくとも1つの第1ばね部材であって、該ばね部材は、前記扉外枠のばね枢軸と、前記掛止アームの中心枢軸とに動作可能に結合されており、前記ばね部材は、前記掛止アームを第1の好ましい位置に保持するように配置され、更に、前記第1の好ましい位置近傍において、前記掛止アームの長手方向移動範囲の少なくとも10%にわたって前記掛止アームを前記第1の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている、第1ばね部材と、
を備えている扉。 - 請求項17記載の扉において、前記ばね部材は、更に、前記掛止アームを第2の好ましい位置に保持するように配置され、前記ばね部材は、前記第2の好ましい位置近傍において、前記掛止アームの長手方向移動範囲の少なくとも10%にわたって前記掛止アームを前記第2の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている扉。
- 請求項17記載の扉において、前記扉外枠は第2ばね枢軸を有し、前記ばね部材は前記第2ばね枢軸にも枢動可能に結合されている扉。
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、回転作動部材を有する、掛止機構と、
前記掛止機構に少なくとも第1の好ましい位置を設ける手段と、
前記第1の好ましい位置近傍において、前記回転作動部材の少なくとも5度の回転範囲にわたって、前記掛止機構を前記第1の好ましい位置に向けて付勢するばね部材と、
を備えている扉。 - 請求項20記載の扉において、前記掛止機構に少なくとも第1の好ましい位置を設ける前記手段、および前記ばね部材は、少なくとも第1ばね部材を構成し、該ばね部材が前記回転作動部材を前記扉外枠に結合する扉。
- 請求項21記載の扉において、前記ばね部材は、前記回転作動部材を第2の好ましい位置にも保持するように構成されており、更に、前記第2の好ましい位置近傍において前記回転作動部材の少なくとも5度の第2回転範囲にわたって、前記回転作動部材を前記第2の好ましい位置に向けて付勢するように構成されている扉。
- 請求項20記載の扉であって、更に、
前記掛止機構に第2の好ましい位置を設ける手段と、
前記第2の好ましい位置近傍において、前記回転作動部材の少なくとも5度の回転範囲にわたって、前記掛止機構を前記第2の好ましい位置に向けて付勢するばね手段と、
を備えている扉。 - 請求項23記載の扉において、前記掛止機構に少なくとも第1の好ましい位置を設ける前記手段と、前記掛止機構に第2の好ましい位置を設ける前記手段と、前記掛止機構を第1の好ましい位置に向けて付勢する前記ばね手段と、前記掛止機構を第1の好ましい位置に向けて付勢する前記ばね部材は、少なくとも第1ばね部材を構成し、該ばね部材が前記回転作動部材を前記扉外枠に結合する扉。
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、少なくとも1つの掛止アームを有する、前記掛止機構と、
前記掛止アームを第1の好ましい位置に保持し、前記掛止アームを前記第1の好ましい位置に付勢するばね部材であって、前記第1の好ましい位置近傍において、前記掛止アームの長手方向移動範囲の少なくとも10パーセントにわたって、有効付勢力を与える、ばね部材と、
を備えている扉。 - 請求項25記載の扉において、前記扉外枠は、少なくとも第1ばね枢軸を有し、前記ばね部材は、中心枢軸を有する少なくとも第1ばね部材を備えており、前記ばね部材が、前記扉外枠の第1ばね枢軸と、前記掛止アームの中心枢軸とに枢動可能に結合されている扉。
- 請求項26記載の扉において、前記扉外枠は第2ばね枢軸を有し、前記ばね部材は前記第2ばね枢軸にも枢動可能に結合されている扉。
- 請求項25記載の扉において、前記ばね部材は、前記掛止アームを第2の好ましい位置にも保持し、前記第2の好ましい位置近傍において前記掛止アームの長手方向移動範囲の少なくとも10%にわたって前記掛止アームを前記第2の好ましい位置に向けて付勢する扉。
- ウエハ・コンテナ用の扉であって、
少なくとも1つのばね枢軸を有する扉外枠と、
前記扉外枠上にある少なくとも1つの掛止機構であって、
複数の掛止アームと、
前記複数の掛止アームと動作可能に結合されている回転作動部材と、
第1の好ましい位置近傍において前記回転作動部材の少なくとも5度の第1回転範囲にわたって、前記少なくとも1つの掛止機構を前記第1の好ましい位置に向けて付勢するように構成および配置されている少なくとも1つのばね部材と、
を有する掛止機構と、
を備えている扉。
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US10/318,374 US6880718B2 (en) | 2002-01-15 | 2002-12-11 | Wafer carrier door and spring biased latching mechanism |
PCT/US2003/001049 WO2003059771A1 (en) | 2002-01-15 | 2003-01-14 | Door and two-position spring biased latching mechanism |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010184739A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2013125962A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Gugeng Precision Industrial Co Ltd | ラッチ構造を具えた前面開放式ウエハーキャリア |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1411006B1 (en) * | 2001-07-23 | 2011-07-20 | Miraial Co., Ltd. | Cover body for sheet supporting container and sheet supporting container |
US20070026171A1 (en) * | 2002-09-03 | 2007-02-01 | Extrand Charles W | High temperature, high strength, colorable materials for use with electronics processing applications |
KR20050050122A (ko) * | 2002-10-09 | 2005-05-27 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 장치 처리 시스템을 위한 고온, 고강도, 착색가능한 물질 |
US7344030B2 (en) * | 2003-11-07 | 2008-03-18 | Entegris, Inc. | Wafer carrier with apertured door for cleaning |
US7182203B2 (en) * | 2003-11-07 | 2007-02-27 | Entegris, Inc. | Wafer container and door with vibration dampening latching mechanism |
US7325693B2 (en) * | 2003-11-16 | 2008-02-05 | Entegris, Inc. | Wafer container and door with cam latching mechanism |
US7077270B2 (en) * | 2004-03-10 | 2006-07-18 | Miraial Co., Ltd. | Thin plate storage container with seal and cover fixing means |
JP4573566B2 (ja) * | 2004-04-20 | 2010-11-04 | 信越ポリマー株式会社 | 収納容器 |
GB2454124B (en) * | 2006-08-01 | 2011-05-25 | Assa Abloy Australia Pty Ltd | Lock mechanism |
JP4841383B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2011-12-21 | 信越ポリマー株式会社 | 蓋体及び基板収納容器 |
EP1983131B1 (de) * | 2007-04-17 | 2012-10-17 | Sell Gmbh | Vorrichtung zum Verriegeln einer Tür eines Aufwärmgerätes in Küchen von Flugzeugen |
US8276758B2 (en) * | 2008-08-14 | 2012-10-02 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Wafer container with at least one oval latch |
US7909166B2 (en) * | 2008-08-14 | 2011-03-22 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Front opening unified pod with latch structure |
TWI358379B (en) * | 2008-08-14 | 2012-02-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container with at least one latch |
TWI341816B (en) * | 2008-08-14 | 2011-05-11 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container having the latch and inflatable seal element |
TW201010916A (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-16 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | Wafer container with roller |
TWI485796B (zh) * | 2008-11-21 | 2015-05-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 容置薄板之容器 |
TW201138002A (en) | 2010-04-29 | 2011-11-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container with oval latch |
TWI394695B (zh) | 2010-04-29 | 2013-05-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒 |
CN102237289B (zh) * | 2010-05-07 | 2013-07-24 | 家登精密工业股份有限公司 | 一种具有椭圆门闩结构的前开式圆片盒 |
WO2012054644A2 (en) | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Entegris, Inc. | Wafer container with door guide and seal |
US9918418B2 (en) | 2011-02-18 | 2018-03-13 | Superior Communications, Inc. | Protective material applicator device |
TW201251567A (en) * | 2011-06-15 | 2012-12-16 | Wistron Corp | Cover module |
JP5686699B2 (ja) * | 2011-08-08 | 2015-03-18 | 信越ポリマー株式会社 | 蓋体及び基板収納容器 |
TWM425502U (en) * | 2011-10-31 | 2012-03-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Removable electronic device |
EP2845222B1 (en) | 2012-05-04 | 2020-07-01 | Entegris, Inc. | Replaceable wafer support backstop |
SG11201407213TA (en) | 2012-05-04 | 2014-12-30 | Entegris Inc | Wafer container with door mounted shipping cushions |
US9517868B2 (en) * | 2012-06-14 | 2016-12-13 | Murata Machinery, Ltd. | Lid opening/closing device |
US9455169B2 (en) * | 2013-10-11 | 2016-09-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Ultra-low oxygen and humility loadport and stocker system |
CN103508116A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-01-15 | 镇江华印电路板有限公司 | 挠性印制线路板吊具 |
FR3026725B1 (fr) * | 2014-10-03 | 2016-10-28 | Chanel Parfums Beaute | Pot de cosmetique comportant un couvercle a element d'accrochage basculant |
US10697201B2 (en) | 2015-05-22 | 2020-06-30 | Snap-On Incorporated | Door lock mechanism |
US10784135B2 (en) * | 2015-10-01 | 2020-09-22 | Entegris, Inc. | Substrate container with improved substrate retainer and door latch assist mechanism |
TWI596700B (zh) * | 2016-03-18 | 2017-08-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 半導體載具之門板鎖扣機構 |
US10772982B2 (en) * | 2016-06-15 | 2020-09-15 | Globus Medical, Inc. | Rigid sterilization container with replaceable filter assemblies |
KR101999485B1 (ko) * | 2018-07-03 | 2019-10-01 | 세양전자 주식회사 | 웨이퍼 이송용기 |
CN113443291A (zh) * | 2021-07-20 | 2021-09-28 | 上海箱箱智能科技有限公司 | 容器 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3187526A (en) * | 1962-08-13 | 1965-06-08 | Overhead Door Corp | Lock means for vertical slidable doors |
US4147044A (en) * | 1977-07-07 | 1979-04-03 | A & B Safe Corporation | Safe door locking arrangement |
US4265051A (en) * | 1978-01-12 | 1981-05-05 | Williams Clarence E | Door having improved closing and latching systems |
US4639021A (en) * | 1985-11-25 | 1987-01-27 | Hope Jimmie L | Door lock |
US5391360A (en) * | 1986-02-06 | 1995-02-21 | Steris Corporation | Overcenter, cam driven locking mechanism |
DE3710049A1 (de) | 1987-03-27 | 1988-10-13 | Aesculap Werke Ag | Verriegelungselement |
FR2651827A1 (fr) | 1989-09-08 | 1991-03-15 | Clera Sa | Dispositif manuel pour l'ouverture et la fermeture d'une porte de cuve. |
US5010747A (en) * | 1990-02-05 | 1991-04-30 | Norden Jr H Peter | Secur a door police lock |
US5015019A (en) * | 1990-04-19 | 1991-05-14 | Reliance Comm/Tec Corporation | Locking mechanism for equipment cabinet |
FR2681632B1 (fr) * | 1991-09-20 | 1993-11-19 | Cga Hbs Cie Gle Automatisme | Systeme de fermeture anti-effraction d'une porte d'armoire metallique. |
US5289930A (en) | 1991-11-19 | 1994-03-01 | Syntex (U.S.A.) Inc. | Evaporation closure |
US5482161A (en) | 1994-05-24 | 1996-01-09 | Fluoroware, Inc. | Mechanical interface wafer container |
US5655800A (en) * | 1995-06-08 | 1997-08-12 | Demarco; Stephen R. | Manual pin-type locking assembly for locking the door of a hobby or custom vehicle |
US5957292A (en) | 1997-08-01 | 1999-09-28 | Fluoroware, Inc. | Wafer enclosure with door |
JP3556480B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
US6053347A (en) | 1998-12-15 | 2000-04-25 | Fullin; Joe | Sealing device for metallic containers |
US6490895B1 (en) * | 1999-01-12 | 2002-12-10 | The Eastern Company | Versatile paddle handle operating mechanism for latches and locks |
US6217088B1 (en) * | 1999-08-09 | 2001-04-17 | Claes Magnusson | Follower arrangement for a lock |
US6250015B1 (en) * | 1999-12-04 | 2001-06-26 | Eagle Manufacturing Company | Self-latching mechanism for a safety cabinet |
-
2002
- 2002-12-11 US US10/318,374 patent/US6880718B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-01-14 WO PCT/US2003/001049 patent/WO2003059771A1/en active Application Filing
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