CN1328129C - 晶片容器及用于晶片容器的门 - Google Patents

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CN1328129C CNB038022060A CN03802206A CN1328129C CN 1328129 C CN1328129 C CN 1328129C CN B038022060 A CNB038022060 A CN B038022060A CN 03802206 A CN03802206 A CN 03802206A CN 1328129 C CN1328129 C CN 1328129C
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Abstract

具有一个门的晶片容器，该门具有至少一个闭锁机构，其中闭锁机构具有一个弹簧件，弹簧件将闭锁机构保持在最好相应于闭锁开放和闭锁闭合状态下的一个或多个期望的位置。在一个优选实施例中，弹簧件具有一个越过中央的状态，这个状态驱策闭锁机构向着期望位置移动，因此抵抗闭锁机构的无意的致动。而且，在优选实施例中，闭锁机构在闭锁开放和闭锁闭合状态下具有柔性止动件，它将闭锁机构的突然脱离位置最小化。优选的实施例使用了形状像凸轮件的一个可旋转的元件，该元件具有一个伸长的刚性塑性件，该刚性塑性件具有至少一个节点，形成一个塑性弹簧。所述弹簧枢装在所述可旋转元件上并且枢装在所述门结构上。

Description

晶片容器及用于晶片容器的门
技术领域
本发明涉及晶片运载器。更特别的是涉及具有闭锁机构的可密封的晶片容器。
背景技术
将半导体晶片加工成最终的电子元件一般要求许多加工步骤，在这些步骤中必须对晶片进行加工和处理。晶片非常昂贵，并且相当脆弱，同时容易因物理和电子振动而损坏。另外，成功的加工过程要求极其清洁，没有微粒和其它污染。结果，开发了特殊的容器或运载器用于晶片的加工、处理和运输。这些容器保护晶片不受物理和电子的损坏，并且是可密封的以保护晶片免受污染。重要的是在使用的时候容器保持密封，以防止晶片因为污染而损坏。从加工效率的角度来看，运载器容易使用且可以清洁也是重要的。
现有技术公开了多种用于可密封的晶片运载器的门和闭锁机构的结构。一些已知的闭锁机构使用旋转元件用于致动像凸轮那样的闭锁。然而，这种机构的一个问题是凸轮件能在不希望的时间自己旋转，使得将门重新安装在运载器上非常困难。其它闭锁机构使用由一个旋转的或滑动的元件来致动互连的闭锁臂的系统。这种系统具有同样的在不希望的时间被预期的装置致动闭锁结构的问题。
使用致动的闭锁机构来限制凸轮旋转的以前的方法典型地包括一个简单的板簧，板簧具有一个弯曲尖端与凸轮相切排列。随着凸轮在其被保持的旋转行程限度附近旋转，凸轮的一个表面或凸起滑动经过所述板簧的弯曲尖端。凸轮然后被板簧的弹簧力和部件之间的摩擦保持在一个期望位置处。这种机构并不产生对凸轮件向所述期望位置的驱策或弹簧偏压以防止凸轮进一步旋转使得其被迫离开制动位置。而且，如果相应于所述闭锁开放和所述闭锁闭合位置提供两个期望位置，就需要两个分离的板簧来充分地致力于这两个位置。这增加了机构的复杂性并使部件的装配复杂化。如果由塑性材料制成，所述板簧在弯曲时通常就不具有足够的刚性来产生足够的摩擦以将凸轮保持在适当位置。作为选择，像金属性的材料，令人不满意的地方在于这种金属之间的滑动接触能产生有危害的颗粒。其它已知的方法包括简单的制动系统，举个例子，包括从凸轮件伸出的凸起，该凸起与所述门上的结构相接合。然而，这种简单的制动能在非有意的时间被非有意的手段脱离开。一旦制动脱离，简单的制动机构就不提供偏压力来驱策凸轮件返回制动以防止所述门的闭锁或开锁。
美国专利文献US6105782公开了一种用于整齐排列的多个晶片的储存容器，其包括门，所述门打开和关闭容器的敞开正面。门可以包括锁定机构，当锁定机构被启动时，其锁定件转入容器内的锁定孔中，由此将门锁定在容器开口的位置中。但是，该锁定机构不包括任何用于偏压锁定机构并由此将锁定机构保持在打开位置和锁闭位置上的部件。
发明内容
因此，需要一种装置或设备来为晶片运载器的门闭锁机构提供期望位置，并且还提供一些类型的偏压力来驱策闭锁机构向着期望位置移动，以在闭锁从期望位置离开的情况下抵抗闭锁的进一步移动。
为此，本发明提供一种用于晶片容器的门，包括：一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述晶片容器接合以将所述门固定到所述晶片容器上；其特征是，所述门包括：由聚合体材料制成并且可操作地连接于所述门板上的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件可操作地连接于所述旋转致动件并且设置得能将所述旋转致动件保持在一个第一期望位置，在旋转致动件的第一旋转笵围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向该第一期望位置。
在上述门中，在所述旋转致动件位于所述第一期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在所述旋转致动件的第二旋转范围距第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。此外，在所述旋转致动件位于所述第二期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。根据本发明，所述弹簧件呈弓形。或者，所述弹簧件呈S形。另外，所述弹簧件是一个卷簧。所述弹簧件可以是一个扭矩弹簧。
本发明还提供一种晶片容器，包括：一容器部分，具有一个开口前端；一门，用于封闭地闭合所述容器部分的所述开口前端，所述门包括一个门板，具有至少一个第一弹簧枢轴；在所述门板上的至少一个闭锁机构，用于将所述门固定在所述容器部分，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述晶片容器部分接合以将所述门固定到所述晶片容器部分上，所述旋转致动件具有一个枢轴；其特征是，所述晶片容器包括：由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件可操作地连接于所述门板的弹簧枢轴上，并且连接于所述旋转致动件的所述枢轴上，所述弹簧件设置得能将所述旋转致动件保持在一个第一期望位置，并且在旋转致动件的第一旋转范围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第一期望位置。
在上述容器中，在所述旋转致动件位于所述第一期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。另外，在所述旋转致动件位于所述第二期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。上述容器进一步包括一个第二弹簧件，其枢连于所述门板的弹簧枢轴上，并且枢连于所述旋转致动件的枢轴上。此外，所述弹簧件呈弓形。或者，所述弹簧件呈S形。另外，所述弹簧件是一个卷簧。
本发明还提供一种晶片容器，包括：一容器部分，具有一个开口前端；一门，用于封闭地闭合所述容器部分的所述开口前端，所述门包括一个门板，具有至少一个第一弹簧枢轴；在所述门板上的至少一个闭锁机构，用于将所述门固定在所述容器部分，所述闭锁机构具有可操作地连接于至少一个闭锁臂的至少一个旋转致动件，所述闭锁臂具有一个中心枢轴；其特征是，所述晶片容器包括：由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件枢连于所述门板的弹簧枢轴上，并且枢连于所述闭锁臂的中心枢轴上，所述弹簧件设置得能将所述闭锁臂保持在一个第一期望位置，在所述闭锁臂距第一期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧件适于推迫所述闭锁臂朝向所述第一期望位置。
在上述的容器中，所述弹簧件也设置得能将闭锁臂保持在第二期望位置，并且在所述闭锁臂距第二期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧件能推迫所述闭锁臂朝向所述第二期望位置。所述门板具有一个第二弹簧枢轴，并且所述弹簧件也枢连于所述第二弹簧枢轴。
此外，本发明提供一种用于晶片容器的门，包括：一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述晶片容器接合以将所述门固定到所述晶片容器上；其特征是，所述门包括：为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置的装置；弹簧装置，包括至少一个由聚合体材料制成的弹簧，在所述旋转致动件的第一旋转范围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧装置能推迫所述闭锁机构朝向所述第一期望位置。
在上述门中，所述装置为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置，并且所述弹簧装置包括至少一个第一弹簧件，所述弹簧件将所述旋转致动件连接到所述门板上。所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。所述门还可以包括：为所述闭锁机构提供至少一个第二期望位置的装置；弹簧装置，在所述旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，该弹簧装置能推迫所述闭锁机构朝向所述第二期望位置。此外，为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置的所述装置，为所述闭锁机构提供至少一个第二期望位置的所述装置，用于推迫所述闭锁机构的所述弹簧装置朝向所述第一期望位置，用于推迫所述闭锁机构朝向所述第二期望位置的所述弹簧装置包括至少一个第一弹簧件，所述弹簧件将所述旋转致动件连接到所述门板上。
本发明提供一种用于晶片容器的门，包括：一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有可操作地连接于至少一个闭锁臂上的至少一个旋转致动件；其特征是，所述门包括：弹簧装置，包括至少一个由聚合体材料制成的弹簧，用于将所述闭锁臂保持在一个第一期望位置，并且用于向着所述第一期望位置驱策所述闭锁臂，在所述闭锁臂距所述第一期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧装置提供了一个有效的推迫力。
在上述门中，所述门板具有至少一个第一弹簧枢轴，所述弹簧装置包括具有一个中心枢轴的至少一个第一弹簧件，并且所述弹簧件枢连于所述门板的所述第一弹簧枢轴上，并且枢连于所述闭锁臂的中心枢轴上。所述门板具有一个第二弹簧枢轴，并且所述弹簧件也枢连于所述第二弹簧枢轴。所述弹簧装置也将闭锁臂保持在第二期望位置，并且在所述闭锁臂距所述第二期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧装置能推迫所述闭锁臂朝向所述第二期望位置。
最后，本发明提供一种用于晶片容器的门，包括：一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口，所述门板具有至少一个第一弹簧枢轴；在所述门板上的至少一个闭锁机构，包括：多个闭锁臂，用于与所述晶片容器接合以将所述门固定在所述晶片容器上；一个旋转致动件，可操作地连接到所述多个闭锁臂上，并且可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离；其特征是，所述门包括：由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，在所述旋转致动件的第一旋转范围距第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能够推迫至少一个闭锁机构朝向第一期望位置。
根据本发明，晶片容器的门具有至少一个闭锁机构，其中闭锁机构具有一个弹簧件，弹簧件将闭锁机构保持在最好相应于闭锁开放和闭锁闭合状态下的一个或多个期望的位置。在一个优选实施例中，弹簧件具有一个越过中央的状态，这个状态驱策闭锁机构向着期望位置移动，因此抵抗闭锁机构的无意的致动。而且，在优选实施例中，闭锁机构在闭锁开放和闭锁闭合状态下具有柔性止动件，它将闭锁机构的突然脱离位置最小化。优选的实施例使用了形状像凸轮件的一个可旋转的元件，该元件具有一个伸长的刚性塑性件，该刚性塑性件具有至少一个节点，形成一个塑性弹簧。所述弹簧枢装在所述可旋转元件上并且枢装在所述门结构上。
附图说明
图1是具有一个在片材处理设备上的机器界面的一个晶片运载器的透视图；
图2是一个晶片运载器的门的透视图，其闭锁组件被暴露出来；
图3是闭锁组件的局部透视图；
图4是描绘了闭锁在开放状态时的闭锁组件的优选实施例的平面图；
图5是图4的实施例的平面图，描绘了在闭合状态下的闭锁；
图6是闭锁组件的一个作为选择的实施例的局部平面图；
图7是闭锁组件的另一个作为选择的实施例的局部平面图；
图8是闭锁组件的再一个作为选择的实施例的局部平面图；
图9是描绘了闭锁在开放状态时的闭锁组件的另一个实施例的平面图；
图10是图9的实施例的平面图，描绘了在闭合状态下的闭锁；
图11是描绘了闭锁在开放状态时的闭锁组件的另一个作为选择的实施例的平面图；
图12是图11的实施例的平面图，描绘了在闭合状态下的闭锁；
图13是图11和图12的闭锁组件的一个作为选择的实施例的局部视图。
具体实施方式
参考图1，一个晶片运载器20被固定在自动处理设备22上。所述晶片运载器包括一个容器部分24，容器部分具有一个顶部26、一个底部28、一个背部、一对相对的侧边32和34，以及一个开口前端36。在容器部分24内部是用来支持多个水平排列并且间隔开的晶片的支撑38。一个机器界面30连接到所述容器的底部28的外部。开口前端36由一个具有闭锁座42的一个门板架40限定。容器部分24进一步具有在容器顶部26上的一个自动化的凸缘44。一个晶片运载器门46与所述门板架40相适配以将所述开口前端关闭。
参考图1-3，门46通常包括门板48，闭锁机构50、52，以及机构盖54、56。图3描述了在典型方式中的闭锁机构50的一个部分视图。所示的机构具有一个以凸轮件68形式存在的旋转致动件。闭锁臂58、60每一个都具有一个凸轮随动部分62、64，随动部分各自地与凸轮件68的外围66在凸轮部分70、72处接合。如图3所示，每个闭锁臂58、60在凸轮随动部分62、64的对面端部都具有一个闭锁部分74、76。当键78插入键槽80并且旋转的时候，凸轮随动部分62、64沿着凸轮部分70、72滑动。由于凸轮件68的形状，闭锁臂58、60被径向地移动，将闭锁部分74、76通过闭锁开口82、84延伸或者缩回。闭锁部分74、76容纳在晶片运载器中的闭锁座42中，使得所述门能够可靠地就位。机构盖54、56用于保护闭锁机构50、52免受有形损害和污染，并且用作闭锁臂58、60的导向件。
图4和图5展示了本发明的一个优选实施例。在图4中，闭锁机构50展示了闭锁臂58、60完全收缩的开放位置。弹簧件86在枢轴88枢连于凸轮件68，并且在弹簧枢轴90枢连于门板48。弹簧件86抑制凸轮件68的旋转并且没有偏压，在所示位置不向凸轮件68施加偏压力。因此，弹簧件86在这个位置为闭锁机构50提供了有利的位置。然而，如果凸轮件68顺时针旋转，弹簧件86将偏心张紧并且在逆时针方向上施加一个稳步增长的偏压力。这个逆时针的偏压力成为凸轮件68在顺时针旋转方向上的离开所述期望位置的“柔性”一个旋转制动。如果凸轮件68在顺时针方向上进一步旋转，凸轮随动件62、64将最终与凸轮件68上的机械制动件92、94接触。
如果凸轮件68从所述的中立位置逆时针旋转，弹簧件86被偏心压缩，并且开始在逆时针旋转方向上对凸轮件68施加一个稳步增长的旋转的偏压力。随着凸轮件68进一步逆时针旋转并且到达其旋转行程范围的中间点，弹簧件86的所述偏压力被引导通过凸轮件68的中心。在这个位置，尽管被压缩，弹簧件还是没有对凸轮件68施加旋转的偏压力。随着凸轮件68在逆时针方向进一步旋转通过其旋转行程范围的中间点，弹簧件86施加了偏压力，立刻在逆时针方向上驱策凸轮件68。随着凸轮件68在逆时针方向进一步旋转，由弹簧件86施加的所述旋转的偏压力随着弹簧件86的减压而稳步地减少。
如图5所示，一旦凸轮件68到达完全闭锁位置，弹簧件86再一次到达一个中立位置，并且在顺时针和逆时针两个方向上都不再施加旋转的偏压力。因此，弹簧件86在其位置范围具有另一个有利的位置。如前所述，如果凸轮件68从其中立位置进一步逆时针旋转，弹簧件86将具有张力并且施加稳步增长的旋转的偏压力驱策凸轮件顺时针旋转。最终，随着凸轮件进一步逆时针转动，凸轮随动部分62、64与凸轮件68上的机械制动件62、64接触。
图3和图4所示的闭锁机构具有一些明显的优势。首先，弹簧件86为凸轮件68提供了两个与上面所述的中立位置对应的期望位置。这些期望位置由单独一个弹簧件产生，并且不需要部件之间的滑动接触，而滑动接触能引起不希望的颗粒出现。第二，弹簧件86提供了一个旋转的偏压力，驱策凸轮件68向着两个所述期望位置之一旋转，向哪个位置旋转依赖于凸轮件68的旋转位置。在操作中，凸轮件68经历了大约90度的旋转行程范围。弹簧件86在几乎整个范围内提供了一个旋转的偏压力，只是在凸轮件68位于其旋转范围的中间点并且当其位于两个期望位置的任意一个的时候才不施加偏压力。因此，当弹簧件86提供了驱策凸轮件68向着其期望位置旋转的一个旋转的偏压力的时候，有效的旋转范围在每个方向上是接近45度。最后，如上面所解释的那样，弹簧件86提供了一个偏压力来抵抗凸轮件68的旋转超越其每个期望位置。作为一个结果，当凸轮件68旋转到其期望位置的时候，随着它移动经过所述期望位置，它会通过弹簧件86以控制的方式减速，并且它的动量被吸收。一旦动量被吸收，弹簧件86收缩，拖动凸轮件68来到其期望位置。其结果在于所述期望位置是“柔性的”，并且不涉及机械部件的碰撞，机械部件的碰撞会产生振动。这种振动是不希望的，因为容易将任何颗粒物质“发射”到所述门上或者到所述容器中，产生了所述晶片污染的可能性。避免机械部件在“硬的”期望位置碰撞的另一个优势在于这种碰撞本身能够产生不希望的颗粒。
弹簧件86的材料和几何形状可以选择以便于能够施加足够的偏压力以有效地防止凸轮件68无意的旋转，但是偏压力又不过多以至于在使用操作中过度地阻碍凸轮件68有意的旋转。在图4和图5的优选实施例中，弹簧件86可以包括热塑性材料，但是能够由用于在晶片容器中使用的任意兼容性的弹性材料制成。举个例子，如果希望，所述材料也可以通过加入碳纤维填充而由电传导性材料制成，用来为实现接地提供电传导。
应该意识到，通过改变用于弹簧件86的长度、横截面和材料，有可能获得由弹簧件86施加的弹簧偏压力的一定的数量范围。优选地，弹簧偏压力在凸轮件68距每个期望位置的旋转行程范围的至少5度时是有效的，但是上至距每个期望位置的旋转行程范围的几乎45度也与上面所述那样是可能的。此外，尽管弹簧件86被描述成具有一个弓形，其它几何形状也是可能的，并且是在本发明的范围之内，比如图6中的S形弹簧100或者图8中的盘簧102。如果希望，可以使用具有更小尺寸的两个或更多的弹簧件104、106，例如图7所述。另外，一个或更多设置在凸轮件68内部的扭矩弹簧可以用于相似的效果。
图9和图10描述了本发明的另一个实施例。在这个实施例中，凸轮件68具有径向的凸起108。弓形弹簧件110在尖端112和114中间的一点处安装在机构盖54上。弹簧件110在接近尖端112和114处分别具有一个V形弯曲116、118。尖端112和114按照凸起108成形。当机构盖54安装在门板48上时，尖端112和114接近凸轮件68的所述外围66。当凸轮件68在图10所示的相应于闭锁闭合状态的一个位置的时候，凸轮件68的凸起108同尖端112接合并被其捕获，为凸轮件68提供了一个期望位置。弹簧件110在这个位置没有负载并且因此弹簧件110的偏压为零。随着凸轮件68顺时针旋转，V形弯曲116越过凸起108，偏压弹簧件110形成弯曲。弹簧件110的弹力施加了一个偏压力，通过V形弯曲116作用，正切于凸起108。这个偏压力在逆时针方向上驱策凸轮件68，抵抗顺时针的旋转。随着凸轮件68进一步顺时针旋转，凸起108跳过V形弯曲116，并且弹簧件110回到了无负载状态。
弹簧件110保持与凸轮件68不接触，并且不对其施加旋转的偏压力，直到凸轮件68接近相应于图9所示的一个闭锁开放状态，并且凸起108与V形弯曲118接触。随着凸轮件68进一步顺时针旋转，V形弯曲118越过凸起108，再一次使弹簧件110承载形成弯曲。一旦凸起108跳过V形弯曲118，弹簧件110的弹力通过V形弯曲118作用，顺时针驱策凸轮件68。凸起108被尖端114捕获并被其保持，为凸轮件68构建了相应于闭锁开放状态的一个期望位置。弹簧件110再一次在这个位置的偏压为零。如果凸轮件68从这个位置进一步顺时针旋转，尖端114的末梢端被凸起108向外径向施压，偏压弹簧件110形成弯曲。结果，弹簧件110施加了一个径向向内方向的偏压力，增加了尖端114的末梢端和径向凸起108之间的滑动摩擦。因此，提供了抵抗凸轮件68顺时针旋转超越所述期望位置的一个力。如果凸轮件68仍然进一步顺时针旋转，凸轮随动件62、64与凸轮件68上的机械制动件92和94接触，但是在尖端114的末梢端跳过凸起108之前。
在图9和图10中所示的实施例中，弹簧件110施加了一个偏压力，向着两个期望位置的每一个驱策凸轮件，凸轮68驱策的旋转范围是期望位置附近的大约5-15度，因此抵抗了凸轮件68从期望位置脱离。此外，这个实施例也具有“柔性”期望位置的优势，这是由于随着凸轮件68在两个方向之一旋转经过所述期望位置，尖端112和114的末梢端所提供的偏压力抵抗着凸起108。
在图9和图10所示的实施例中，弹簧件100和凸轮件68由热塑性材料制成，每一个优选地具有抗磨损特性。然而，如所意识到的那样，本发明的范围包括由任何合适的和可相容的材料制成的元件。
所述闭锁臂本身，而不是所述闭锁组件的旋转件，可以提供有一个向着期望位置的弹簧偏压，举个例子，如图11-13所示。尽管用一个旋转的致动件来描述，这种组件将非常好地适合于没有旋转致动件的闭锁机构，举个例子，用一个四连杆来致动。在本发明的这个实施例中的弹簧件120、122与盘形(贝氏)弹簧功能相似。提供了两个期望位置，相应于一个闭锁开放状态和一个闭锁闭合状态。弹簧件120安装在枢轴124、126之间，并且在中央枢轴128处连接于闭锁臂58。相似地，弹簧件122安装在枢轴130、132之间，并且在中央枢轴134处连接于闭锁臂60。弹簧件120、122每一个都通常是直的，但是比其所连接的枢轴之间的距离稍微长一些。因此，如图11和12所示，当弹簧件120、122安装在所述枢轴之间并且没有施加的负载的时候，其呈现出一个轻微的弓形。
当凸轮件68从图11所示的所述闭锁关闭制动位置逆时针旋转的时候，闭锁臂58、60沿着每个闭锁臂的纵轴向外径向移动，造成中央枢轴128、134也向外径向移动。弹簧件120、122因此负载而压缩，并且施加了一个偏压力，通过中央枢轴128、134作用，抵抗闭锁臂58、60的径向移动。当中央枢轴128到达枢轴124、126之间的直线上的一个点，并且中央枢轴134到达枢轴130、132之间的直线上的一个点的时候，弹簧件120、122的每一个都完全压缩并且对闭锁臂58、60不施加径向偏压力。
当凸轮件68进一步逆时针旋转使得中央枢轴128、134进一步向外径向移动的时候，弹簧件120、122开始减压，并且施加一个径向向外的力，向着图12所描述的闭锁闭合制动位置驱策闭锁臂58、60。当闭锁臂58、60如图12所示被完全延伸的时候，弹簧件120、122再一次位于一个中立位置，对闭锁臂58、60不施加偏压力。
应该意识到，通过改变用于弹簧件120、122的长度、横截面和材料，有可能获得由弹簧件120、122施加的弹簧偏压力的一定的数量范围。优选地，弹簧偏压力在所述闭锁臂距每个期望位置的纵向行程范围的至少10％时是有效的，但是上至接近每个期望位置的纵向行程的几乎50％也是可能的。
图13展示了另一个实施例，其中一个偏压力用在所述门板上具有单独一个枢轴的弹簧装置直接提供给所述闭锁臂。本领域技术人员将意识到很多其它的这种变化都是可能的并且在本发明的范围之内。
本发明的附加的目的、优点和新颖特征一部分将在随后的描述中被阐明将，另一部分对于本领域技术人员来讲在研究了随后的描述以后将变得显而易见，或者可以通过本发明的实践而被学会。本发明的目的和优点可通过附属权利要求所特别阐述的装置和装置的结合方式来实现并获得。尽管上面的描述包含了很多特例，这些特例不应该成为对本发明范围的限制，而仅仅提供了本发明目前的一些优选实施例的解释。因此，本发明的范围应该由所附的权利要求及其等价物来确定，而不是由给出的例子来确定。

Claims (29)

1.一种用于晶片容器的门，包括：
一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述晶片容器接合以将所述门固定到所述晶片容器上；
其特征在于，所述门包括：
由聚合体材料制成并且可操作地连接于所述门板上的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件可操作地连接于所述旋转致动件并且设置得能将所述旋转致动件保持在一个第一期望位置，在旋转致动件的第一旋转笵围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向该第一期望位置。
2.如权利要求1所述的门，其中在所述旋转致动件位于所述第一期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。
3.如权利要求1所述的门，其中所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在所述旋转致动件的第二旋转范围距第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。
4.如权利要求3所述的门，其中在所述旋转致动件位于所述第二期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。
5.如权利要求1所述的门，其中所述弹簧件呈弓形。
6.如权利要求1所述的门，其中所述弹簧件呈S形。
7.如权利要求1所述的门，其中所述弹簧件是一个卷簧。
8.如权利要求1所述的门，其中所述弹簧件是一个扭矩弹簧。
9.一种晶片容器，包括：
一容器部分，具有一个开口前端；
一门，用于封闭地闭合所述容器部分的所述开口前端，所述门包括一门板，具有至少一个第一弹簧枢轴；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，用于将所述门固定在所述容器部分上，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述容器部分接合以将所述门固定到所述容器部分上，所述旋转致动件具有一个枢轴；
其特征在于，所述晶片容器包括：
由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件可操作地连接于所述门板的弹簧枢轴上，并且连接于所述旋转致动件的所述枢轴上，所述弹簧件设置得能将所述旋转致动件保持在一个第一期望位置，并且在旋转致动件的第一旋转范围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第一期望位置。
10.如权利要求9所述的容器，其中在所述旋转致动件位于所述第一期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。
11.如权利要求9所述的容器，其中所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。
12.如权利要求10所述的容器，其中在所述旋转致动件位于所述第二期望位置的时候，所述弹簧件的偏压作用为零。
13.如权利要求11所述的容器，进一步包括一个第二弹簧件，其枢连于所述门板的弹簧枢轴上，并且枢连于所述旋转致动件的枢轴上。
14.如权利要求9所述的容器，其中所述弹簧件呈弓形。
15.如权利要求9所述的容器，其中所述弹簧件呈S形。
16.如权利要求9所述的容器，其中所述弹簧件是一个卷簧。
17.一种晶片容器，包括：
一容器部分，具有一个开口前端；
一门，用于封闭地闭合所述容器部分的所述开口前端，所述门包括一个门板，具有至少一个第一弹簧枢轴；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，用于将所述门固定在所述容器部分上，所述闭锁机构具有可操作地连接于至少一个闭锁臂的至少一个旋转致动件，所述闭锁臂具有一个中心枢轴；
其特征在于，所述晶片容器包括：
由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，所述弹簧件枢连于所述门板的弹簧枢轴上，并且枢连于所述闭锁臂的中心枢轴上，所述弹簧件设置得能将所述闭锁臂保持在一个第一期望位置，在所述闭锁臂距第一期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧件适于推迫所述闭锁臂朝向所述第一期望位置。
18.如权利要求17所述的容器，其中所述弹簧件也设置得能将闭锁臂保持在第二期望位置，并且在所述闭锁臂距第二期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧件能推迫所述闭锁臂朝向所述第二期望位置。
19.如权利要求17所述的容器，其中所述门板具有一个第二弹簧枢轴，并且所述弹簧件也枢连于所述第二弹簧枢轴。
20.一种用于晶片容器的门，包括：
一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有至少一个旋转致动件和至少一个闭锁臂，所述旋转致动件可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离，所述闭锁臂可操作地连接于所述旋转致动件，所述至少一个闭锁臂用于与所述晶片容器接合以将所述门固定到所述晶片容器上；
其特征在于，所述门包括：
为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置的装置；以及
弹簧装置，包括至少一个由聚合体材料制成的弹簧，在所述旋转致动件的第一旋转范围距所述第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧装置能推迫所述闭锁机构朝向所述第一期望位置。
21.如权利要求20所述的门，其中所述装置为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置，并且所述弹簧装置包括至少一个第一弹簧件，所述弹簧件将所述旋转致动件连接到所述门板上。
22.如权利要求21所述的门，其中所述弹簧件也设置得能将旋转致动件保持在第二期望位置，并且在旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能推迫所述旋转致动件朝向所述第二期望位置。
23.如权利要求20所述的门，进一步包括：
为所述闭锁机构提供至少一个第二期望位置的装置；以及
弹簧装置，在所述旋转致动件的第二旋转范围距所述第二期望位置至少5度以上时，该弹簧装置能推迫所述闭锁机构朝向所述第二期望位置。
24.如权利要求23所述的门，其中为所述闭锁机构提供至少一个第一期望位置的所述装置，为所述闭锁机构提供至少一个第二期望位置的所述装置，用于推迫所述闭锁机构的所述弹簧装置朝向所述第一期望位置，用于推迫所述闭锁机构朝向所述第二期望位置的所述弹簧装置包括至少一个第一弹簧件，所述弹簧件将所述旋转致动件连接到所述门板上。
25.一种用于晶片容器的门，包括：
一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，所述闭锁机构具有可操作地连接于至少一个闭锁臂上的至少一个旋转致动件；
其特征在于，所述门包括：
弹簧装置，包括至少一个由聚合体材料制成的弹簧，用于将所述闭锁臂保持在一个第一期望位置，并且用于向着所述第一期望位置驱策所述闭锁臂，在所述闭锁臂距所述第一期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧装置提供了一个有效的推迫力。
26.如权利要求25所述的门，其中所述门板具有至少一个第一弹簧枢轴，所述弹簧装置包括具有一个中心枢轴的至少一个第一弹簧件，并且所述弹簧件枢连于所述门板的所述第一弹簧枢轴上，并且枢连于所述闭锁臂的中心枢轴上。
27.如权利要求26所述的门，其中所述门板具有一个第二弹簧枢轴，并且所述弹簧件也枢连于所述第二弹簧枢轴。
28.如权利要求25所述的门，其中所述弹簧装置也将闭锁臂保持在第二期望位置，并且在所述闭锁臂距所述第二期望位置超过纵向行程至少10％时，所述弹簧装置能推迫所述闭锁臂朝向所述第二期望位置。
29.一种用于晶片容器的门，包括：
一门板，用于密封地封闭在晶片容器上的一个开口，所述门板具有至少一个第一弹簧枢轴；
在所述门板上的至少一个闭锁机构，包括：
多个闭锁臂，用于与所述晶片容器接合以将所述门固定在所述晶片容器上；
一个旋转致动件，可操作地连接到所述多个闭锁臂上，并且可以选择性地旋转操作以便于与所述闭锁机构接合或脱离；
其特征在于，所述门包括：
由聚合体材料制成的至少一个第一弹簧件，在所述旋转致动件的第一旋转范围距第一期望位置至少5度以上时，所述弹簧件能够推迫至少一个闭锁机构朝向第一期望位置。
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