DE69835743T2

DE69835743T2 - Dichtungssystem

Info

Publication number: DE69835743T2
Application number: DE69835743T
Authority: DE
Inventors: Steven Queanbeyan BUTLER
Original assignee: Lintek Pty Ltd
Current assignee: Lintek Pty Ltd
Priority date: 1997-05-30
Filing date: 1998-05-26
Publication date: 2007-10-04
Anticipated expiration: 2018-05-27
Also published as: CN1261947A; ATE338233T1; WO1998054492A1; AUPO711997A0; TW393429B; JP2002508824A; EP0983454A4; EP0983454A1; US6405484B1; CN1107823C; DE69835743D1; EP0983454B1

Description

Technisches Gebiet
Diese Erfindung bezieht sich auf ein Dichtungssystem.
Diese Erfindung findet insbesondere, aber nicht ausschließlich, Anwendung in Dichtungssystemen für Kammern, welche angepasst sind, um evakuiert zu werden. Diese Erfindung ist hierbei in Zusammenhang mit einem Dichtungssystem für eine evakuierbare Luftschleuse dargestellt, welche als eine Vorkammer für eine Bedampfungskammer fungiert. Jedoch ist darunter zu verstehen, dass die Erfindung nicht auf diese spezielle Umgebung eingeschränkt ist.
Hintergrund
Viele unterschiedliche Dichtungssysteme bestehen, um Luft aus Vakuumkammern, während diese geschlossen sind, zu evakuieren, wobei jedoch Gegenstände eingeführt oder aus der Vakuumkammer entfernt werden können, während diese geöffnet ist.
Nachteile bekannter Dichtungssysteme rangieren von hohen Kosten und geringer Verlässlichkeit bis zu großen Größen, wobei der verfügbare Raum begrenzt ist.
DE 1156433 , US 4,118,016 und US 3,758,919 sind Beispiele für Dichtungssysteme des Standes der Technik.
Beschreibung der Erfindung
Diese Erfindung ist in einem Aspekt in einem Dichtungssystem beinhaltet, umfassend: einen Anschluss mit einer Vorderkante, einer Hinterkante und einer Dichtfläche; und einen Anschluss mit einer komplementären Dichtfläche, wobei sich die jeweiligen Dichtflächen beim Schließen aneinander anlegen und sich die Dichtfläche des Schiebers relativ zu der Dichtfläche des Anschlusses in einer Richtung parallel zu den aneinander anliegenden Dichtflächen verschiebt, und wobei der Schieber mittels einer bewegbaren Schwenkachse drehbar an einem Kurbelelement angebracht ist, das um eine ortsfeste Schwenkachse schwenkbar angebracht ist, und wobei die bewegbare Schwenkachse und die ortsfeste Schwenkachse im Wesentlichen parallel sind, und wobei ein Vorspannmittel zwischen dem Kurbelelement und dem Schieber angeordnet ist, und wobei das Kurbelelement während des Schließvorgangs in einer ersten Rotationsrichtung um die ortsfeste Rotationsachse geschwenkt wird und der Schieber relativ zum Kurbelelement in der ersten Rotationsrichtung vorgespannt wird und dadurch gekennzeichnet, dass während des Schließvorgangs die Hinterkante des Schiebers zuerst in Kontakt mit der komplementären Dichtfläche kommt und nachfolgend der Schieber relativ zum Kurbelelement in einer Rotationsrichtung verschwenkt wird, so dass die Vorderkante in Kontakt mit der komplementären Dichtfläche kommt.
Vorzugsweise umfasst eines der Dichtflächen ein elastisches Element und vorzugsweise ist das elastische Element ein O-Ring. Die relative Verschiebung zwischen aneinander anliegenden Dichtflächen verursacht vorzugsweise Gleiten oder Verformen des O-Ringes, welches verbesserte Dichtung vereinfacht.
Vorzugsweise ist die ortsfeste Schwenkachse parallel zu und beabstandet von der Ebene der Dichtfläche des Anschlusses.
Vorzugsweise bewegt sich während des Schließvorganges die bewegbare Schwenkachse in eine Richtung, welche orthogonale und parallele Komponenten relativ zu der Ebene der Dichtfläche des Anschlusses umfasst.
Kurze Beschreibung der Figuren
Um diese Erfindung leichter verständlich zu machen und um sie in einen praktischen Zusammenhang zu stellen, wird auf die beigefügten Figuren hingewiesen, welche ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellen, wobei:
1 eine Seitenansicht des Schiebers des Dichtungssystems in seiner geschlossenen Position darstellt;
2 eine Seitenansicht des Schiebers des Dichtungssystems in seiner geöffneten Position darstellt;
3 eine Frontansicht des Schiebers des Dichtungssystems in seiner geschlossenen Position darstellt.
Bevorzugte Ausführungs
Die Erfindung wird in Bezug auf ein Dichtungssystem für einen Bedampfungsprozess dargestellt, welcher in der Anwesenheit eines Vakuums stattfindet. Die Gegenstände, welche beschichtet werden, können gedruckte Leiterplatten sein und der Anschluss ist dementsprechend lang und schmal.
Bezugnehmend auf die Figuren, ist Welle 1 drehbar in den Gelenkblöcken 10 befestigt, zum Drehen um eine feste Achse als Antwort auf eine Anregung durch das Getriebe 11. Aufgrund der relativen Länge des Anschlusses weist die Welle einen nennenswerten Durchmesser auf, um Biegungen zu widerstehen, welche einer Dichtung entgegenwirken würden.
Die Kurbeln 3 sind an der Welle 1 befestigt und drehen sich entsprechend mit der Welle 1. Die Schieberplatte 2 ist drehbar an den Kurbeln 3 über Drehstifte 4 befestigt, welche eine mobile Achse definieren.
Die Feder 5 spannt Schieberplatte 2 vor, in einer Richtung entgegengesetzt dem Uhrzeigersinn relativ zu den Kurbeln 3, wie in 1 und 2 dargestellt.
Es wird erwähnt, dass die Dichtfläche des Anschlusses von einer gehärteten Dichtplatte 7 bereitgestellt wird und dass die Dichtfläche des Schiebers ein elastisches Element in Form eines O-Ringes 6 umfasst. Die gehärtete Dichtplatte kann ausgetauscht werden, wenn ihre Oberfläche verkratzt oder abgenutzt ist. Die gehärtete Dichtplatte 7 ist entfernbar mit der Kammerwand 9 verbunden und ein weiterer O-Ring 8 ist vorgesehen, um zwischen der gehärteten Platte 7 und der Kammerwand 9 abzudichten.
Die Schieberplatte 2 weist eine Vertiefung auf, welche geformt ist, um den O-Ring 6 gefangen zu halten. Alternativ kann eine O-Ring-Spannplatte vorgesehen sein, welche die Installation und Entfernung des O-Ringes erleichtert. Der O-Ring ist relativ groß in seinem Durchmesser, um eine große Dichtfläche bereitzustellen, um kleine Oberflächenpartikel vollständig einzuschließen und nach wie vor eine gute Vakuumdichtung bereitzustellen.
Die geöffnete Konfiguration ist in 2 dargestellt. Um das Dichtungssystem zu schließen, wird die gesamte Schieberanordnung in einer dem Uhrzeigersinn entgegengesetzten Richtung um die feststehende Achse gedreht, definiert durch die Welle 1. Es wird daran erinnert, dass die Schieberplatte 2 in einer dem Uhrzeigersinn entgegengesetzten Richtung relativ zu der Kurbel 3 vorgespannt ist. Dies bedeutet, dass die Vorderkante der Schieberplatte 2 (oder Ferse der Schieberplatte) zunächst von der gehärteten Platte 7 während des Schließvorgangs freigehalten wird. Als ein Resultat kommt die Hinterkante (oder Zehen der Schieberplatte) zuerst in Kontakt mit der gehärteten Platte 7. Danach dreht die Schieberplatte 2 im Uhrzeigersinn relativ zu der Kurbelwelle gegen die Vorspannfeder, so dass die Schieberplatte voll auf der gehärteten Platte zum liegen kommt. Im Einzelnen liegt der O-Ring voll auf der gehärteten Platte 7 an. Aufgrund der Kompressibilität des O-Ringes schließt der Schieber ein bisschen weiter. Es sollte erwähnt werden, dass zu diesem Zeitpunkt die Schieberplatte 2 sich dem Anschluss in einer Richtung nähert, welche Komponenten umfasst, die parallel und orthogonal zu der Dichtfläche des Anschlusses sind. Die orthogonale Komponente verursacht eine Kompression des O-Ringes zwischen dem Schieber und dem Anschluss. Die parallele Komponente verursacht ein Gleiten des O-Ringes relativ zu der gehärteten Platte, welches einen reinigenden oder wischenden Effekt hat. Insbesondere werden mikroskopische Fremdkörperpartikel vor dem O-Ring weggewischt, wodurch eine bessere Dichtung zwischen dem O-Ring und der gehärteten Platte erreicht wird.
Das bevorzugte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Dichtungssystem vor, welches kompakt ist, verlässlich und kostengünstig.
Es ist natürlich verständlich, da das oben Genannte nur als ein veranschaulichendes Beispiel der Erfindung dargestellt wurde, das alle diese und weitere Modifikationen und Varianten, die für einen Fachmann offensichtlich sind, ebenso innerhalb des Umfangs und der Ambition dieser Erfindung liegen, wie dies darin vorausgesetzt wird.

Claims

Dichtungssystem, umfassend: einen Schieber (2) mit einer Vorderkante, einer Hinterkante und einer Dichtfläche; und einen Anschluss mit einer komplementären Dichtfläche (7), wobei sich die jeweiligen Dichtflächen beim Schließen aneinander anlegen und sich die Dichtfläche des Schiebers relativ zu der Dichtfläche (7) des Anschlusses in eine Richtung parallel zu den aneinander anliegenden Dichtflächen verschiebt, und wobei der Schieber (2) mittels einer bewegbaren Schwenkachse (4) drehbar an einem Kurbelelement (3) angebracht ist, das um eine ortsfeste Schwenkachse (1) schwenkbar angebracht ist, und wobei die bewegbare Schwenkachse (4) und die ortsfeste Schwenkachse (1) im Wesentlichen parallel sind, und wobei ein Vorspannmittel (5) zwischen dem Kurbelelement (3) und dem Schieber (2) angeordnet ist, und wobei das Kurbelelement (3) während des Schließvorgangs in einer ersten Rotationsrichtung um die ortsfeste Rotationsachse geschwenkt wird und der Schieber (2) relativ zum Kurbelelement (3) in der ersten Rotationsrichtung vorgespannt wird, dadurch gekennzeichnet, dass während des Schließvorgangs die Hinterkante des Schiebers (2) zuerst in Kontakt mit der komplementären Dichtfläche (7) kommt und nachfolgend der Schieber (2) relativ zum Kurbelelement (3) in einer Rotationsrichtung entgegen der ersten Rotationsrichtung verschwenkt wird, so dass die Vorderkante in Kontakt mit der komplementären Dichtfläche (7) kommt.
Dichtungssystem nach Anspruch 1, bei dem das Vorspannmittel eine Feder (5) ist, die den Schieber (2) in der ersten Rotationsrichtung relativ zu dem Kurbelelement (3) vorspannt.
Dichtungssystem nach Anspruch 1, wobei eine der Dichtflächen ein elastisches Mittel (6) umfasst.
Dichtungssystem nach Anspruch 1, wobei die ortsfeste Schwenkachse (1) parallel und beabstandet von der Ebene der Dichtfläche (7) des Anschlusses angeordnet ist.
Dichtungssystem nach Anspruch 1, wobei die bewegbare Schwenkachse (4) während des Schließvorgangs in eine Richtung bewegt wird, die orthogonale und parallele Komponenten relativ zu der Ebene der Dichtfläche (7) des Anschlusses umfasst.