CN216381137U - 一种高真空组合密封式镀膜弓形门 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及密封机构技术领域，提出了一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体和密封结构，密封结构与门体接触，密封结构包括第一密封档条、第二密封档条和密封条，第一密封档条设置在门框上，第二密封档条设置在门框上，第一密封档条与第二密封档条之间形成密封空间，密封条具有弯曲部和固定部，固定部位于密封空间内，门体作用弯曲部的一侧使弯曲部的另一侧与第二密封条接触，通过上述技术方案，解决了现有技术中的密封效果差，密封条不易更换的问题。

Description

一种高真空组合密封式镀膜弓形门

技术领域

本实用新型涉及密封机构技术领域，具体的，涉及一种高真空组合密封式镀膜弓形门。

背景技术

PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。

在溅射镀膜时，罐体内需要保持真空环境，因此罐体受到大气压力非常大，因此罐体的密封非常重要，而罐体主要需要密封的为门处的密封，一般的密封方式无法达到有效的密封，很容易出现泄压现象，这在本行业中也是一大难题。

因此我们亟需一种方案来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提出一种高真空组合密封式镀膜弓形门，解决了相关技术中密封效果差，密封条不易更换的问题。

本实用新型的技术方案如下：

一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括，

门体，

密封结构，所述密封机构与所述门体接触，所述密封结构包括，

第一密封档条，所述第一密封档条设置在门框上，

第二密封档条，所述第二密封档条设置在门框上，所述第一密封档条与所述第二密封档条之间形成密封空间，

密封条，所述密封条具有弯曲部和固定部，所述固定部位于所述密封空间内，所述门体作用所述弯曲部的一侧使所述弯曲部的另一侧与所述第二密封档条接触。

作为进一步技术方案，所述第二密封档条顶部的位置低于所述第一密封档条顶部的位置。

作为进一步技术方案，所述第二密封档条位于大气侧。

作为进一步技术方案，所述固定部与所述第一密封档条和所述第二密封档条的接触面均为第一斜面，所述第一密封档条和所述第二密封档条与所述密封条的接触面为第二斜面，所述第二斜面作用所述第一斜面阻挡所述密封条脱离所述密封空间。

作为进一步技术方案，所述第一密封档条和所述第二密封档条均具有螺纹孔，所述第一密封档条与所述第二密封档条通过螺栓连接。

作为进一步技术方案，所述门体的横截面为弧形。

作为进一步技术方案，还包括，还包括移动合页，所述门体与所述移动合页铰接，所述移动合页沿门框的大气侧到真空侧的方向滑动设置在门框上，所述移动合页滑动带动所述门体与门框配合。

作为进一步技术方案，所述门体的大气侧具有若干加强筋。

作为进一步技术方案，还包括视镜，所述视镜设置在所述门体上，位于所述门体的大气侧。

本实用新型的工作原理及有益效果为：

本实用新型中，一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体和密封结构，密封结构与门体接触，密封结构包括第一密封档条、第二密封档条和密封条，第一密封档条设置在门框上，第二密封档条设置在门框上，第一密封档条与第二密封档条之间形成密封空间，密封条具有弯曲部和固定部，固定部位于密封空间内，门体作用弯曲部的一侧使弯曲部的另一侧与第二密封条接触，

工作时，本门体不限于适用于罐体上，罐体的内侧为真空侧，外侧为大气侧，门体靠近门框，门体的真空侧与密封条的弯曲部接触，作用弯曲部进行弯曲，弯曲部向第二密封档条弯曲，第一密封档条与第二密封档条具有高度差，弯曲部弯曲至高度差形成的空间内，实现密封，

有益效果，通过设置密封条的弯曲部弯曲从而实现密封，增加密封条与门体的接触面积，比传统的O型密封条密封效果更好，可以增加密封效果，通过设置密封条与门体接触，还可减少门体与门框之间的作用，密封条还可以实现缓冲效果，减少作用力，增加门体的稳定性，通过第一密封档条与第二密封档条来固定密封条，可以避免密封条固定在门框上，需要在门框上打孔的加工难度，节约成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型门体结构示意图；

图2为本实用新型密封机构结构示意图；

图3为本实用新型密封条结构示意图；

图中：1、门体，2、密封结构，21、第一密封档条，22、第二密封档条，221、螺纹孔，23、密封空间，24、密封条，241、弯曲部，242、固定部，243、第一斜面，25、第二斜面，3、移动合页，11、加强筋，5、视镜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本实用新型保护的范围。

如图1～图3所示，本实施例提出了一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括，

门体1，

密封结构2，所述密封机构与所述门体1接触，所述密封结构2包括，

第一密封档条21，所述第一密封档条21设置在门框上，

第二密封档条22，所述第二密封档条22设置在门框上，所述第一密封档条21与所述第二密封档条22之间形成密封空间23，

密封条24，所述密封条24具有弯曲部241和固定部242，所述固定部242位于所述密封空间23内，所述门体1作用所述弯曲部241的一侧使所述弯曲部241的另一侧与所述第二密封档条22接触。

本实施例中，一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体1和密封结构2，密封结构2与门体1接触，密封结构2包括第一密封档条21、第二密封档条22和密封条24，第一密封档条21设置在门框上，第二密封档条22设置在门框上，第一密封档条21与第二密封档条22之间形成密封空间23，密封条24具有弯曲部241和固定部242，固定部242位于密封空间23内，门体1作用弯曲部241的一侧使弯曲部241的另一侧与第二密封条24接触，

工作时，本门体1不限于适用于罐体上，罐体的内侧为真空侧，外侧为大气侧，门体1靠近门框，门体1的真空侧与密封条24的弯曲部241接触，作用弯曲部241进行弯曲，弯曲部241向第二密封档条22弯曲，第一密封档条21与第二密封档条22具有高度差，弯曲部241弯曲至高度差形成的空间内，实现密封，

通过设置密封条24的弯曲部241弯曲从而实现密封，可以增加密封效果，通过设置密封条24与门体1接触，还可减少门体1与门框之间的作用，密封条24还可以实现缓冲效果，减少作用力，增加门体1的稳定性。

进一步，所述第二密封档条22顶部的位置低于所述第一密封档条21顶部的位置。

本实施例中，第二密封档条22的顶部的位置低于第一密封档条21顶部的位置，通过设置高度差可以使密封条24的弯曲部241在弯曲时弯曲至高度差形成的空间内，减少密封条24与第二密封档条22之间的作用力，还可减少第二密封档条22消耗的原料，减少成本，并不影响密封效果，还可使门体1的闭合更加顺畅。

进一步，所述第二密封档条22位于大气侧。

本实施例中，第二密封档条22位于大气侧，第二密封档条22位于大气侧，大气侧大压力大于真空侧的压力，大气压会对密封条24施加向真空侧的压力，可以使门体1作用弯曲部241后，密封条24可以紧贴门体1，实现更好的密封效果。

进一步，所述固定部242与所述第一密封档条21和所述第二密封档条22的接触面均为第一斜面243，所述第一密封档条21和所述第二密封档条22与所述密封条24的接触面为第二斜面25，所述第二斜面25作用所述第一斜面243阻挡所述密封条24脱离所述密封空间23。

本实施例中，固定部242与第一密封档条21和第二密封档条22的接触面均为第一斜面243，第一密封档条21和第二密封档条22与密封条24的接触面为第二斜面25，第二斜面25作用第一斜面243阻挡密封条24脱离密封空间23，固定部242的截面为梯形，第二斜面25为反向的梯形，第二斜面25可以阻挡第一斜面243滑动脱离密封空间23，可以增加第一密封档条21和第二密封档条22对密封条24的夹紧力，防止密封条24脱落，影响罐体内部的密封效果，增加装置运行的稳定性。

进一步，所述第一密封档条21和所述第二密封档条22均具有螺纹孔221，所述第一密封档条21和所述第二密封档条22与门框通过螺栓连接。

本实施例中，第一密封档条21和第二密封档条22均具有螺纹孔221，第一密封档条21和第二密封档条22与门框通过螺栓连接，第一密封档条21和第二密封档条22均通过螺栓设置在门框上，可以更方便的对第一密封档条21和第二密封档条22实现拆卸，更方便对密封条24进行更换，从而不影响密封效果。

进一步，所述门体1的横截面为弧形。

本实施例中，门体1的横截面为弧形，因大气侧的压力大于真空侧的压力，将门体1设置为弧形可以增加门体1的强度，弧形向大气侧弯曲，防止门体1因气压作用出现变形等情况。

进一步，还包括移动合页3，所述门体1与所述移动合页3铰接，所述移动合页3沿门框的大气侧到真空侧的方向滑动设置在门框上，所述移动合页3滑动带动所述门体1与密封结构2配合。

本实施例中，还包括移动合页3，门体1与移动合页3铰接，移动合页3沿门框的大气侧到真空侧的方向滑动设置在门框上，移动合页3滑动带动门体1与密封结构2配合，门体1可以转动在移动合页3上实现门体1的开关，当门体1关闭到相应位置后，可通过对门体1施加作用力，使门体1带动移动合页3滑动，使门体1对密封结构2配合，从而对门框实现密封，增加密封效果。

进一步，所述门体1的大气侧具有若干加强筋11。

本实施例中，门体1的大气侧具有若干加强筋11，加强筋11位于门体1的大气侧，设置加强筋11可以增加门体1的强度，防止因气压作用使门体1发生变形，增加装置稳定性。

进一步，还包括视镜5，所述视镜5设置在所述门体1上，位于所述门体1的大气侧。

本实施例中，还包括视镜5，视镜5设置在门体1上，位于门体1的大气侧，通过设置在视镜5，可以观测罐体内镀膜情况，可以实现实时检测，防止镀膜出现问题。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，包括，

门体(1)，

密封结构(2)，所述密封结构(2)与所述门体(1)接触，所述密封结构(2)包括，

第一密封档条(21)，所述第一密封档条(21)用于设置在门框上，

第二密封档条(22)，所述第二密封档条(22)用于设置在门框上，所述第一密封档条(21)与所述第二密封档条(22)之间形成密封空间(23)，

密封条(24)，所述密封条(24)具有弯曲部(241)和固定部(242)，所述固定部(242)位于所述密封空间(23)内，所述门体(1)作用所述弯曲部(241)的一侧使所述弯曲部(241)的另一侧与所述第二密封档条(22)接触。

2.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述第二密封档条(22)顶部的位置低于所述第一密封档条(21)顶部的位置。

3.根据权利要求2所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述第二密封档条(22)位于大气侧。

4.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述固定部(242)与所述第一密封档条(21)和所述第二密封档条(22)的接触面均为第一斜面(243)，所述第一密封档条(21)和所述第二密封档条(22)与所述密封条(24)的接触面为第二斜面(25)，所述第二斜面(25)作用所述第一斜面(243)阻挡所述密封条(24)脱离所述密封空间(23)。

5.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述第一密封档条(21)和所述第二密封档条(22)均具有螺纹孔(221)，所述第一密封档条(21)和所述第二密封档条(22)均与门框通过螺栓连接。

6.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述门体(1)的横截面为弧形。

7.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，还包括移动合页(3)，所述门体(1)与所述移动合页(3)铰接，所述移动合页(3)沿门框的大气侧到真空侧的方向滑动设置在门框上，所述移动合页(3)滑动带动所述门体(1)与密封结构(2)配合。

8.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述门体(1)的大气侧具有若干加强筋(11)。

9.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，还包括视镜(5)，所述视镜(5)设置在所述门体(1)上，位于所述门体(1)的大气侧。

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