JP2002303972A - フォトレジストの再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ドライフォトレジストフィルムか
らフォトレジストを容易に分離回収し、更に回収したフ
ォトレジストを容易に再生し、その再生したフォトレジ
ストを利用して新規のドライフォトレジストフィルムを
安価に製造することが出来るフォトレジストの再生方
法、及びその再生されたフォトレジストを利用して作成
されるドライフォトレジストフィルムの製造方法を提供
することを可能にすることを目的としている。 【解決手段】 駆動ローラ５と従動ローラ６により挟持
搬送されるシート体１からカバーフィルム４を剥離し、
更にフォトレジスト巻取軸10と押さえローラ11ｂにより
挟持搬送される残りのシート体からキャリアフィルム３
を剥離し、フォトレジスト２をフォトレジスト巻取軸10
に巻回回収する。回収したフォトレジスト２を、該フォ
トレジスト２と同じ組成を有するフォトレジスト組成物
を予め溶解した槽に投入して溶解、混練し、フォトレジ
スト２を再生するように構成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、粘着組成物である
フォトレジストを回収して再生する方法及びその再生し
たフォトレジストを利用してドライフォトレジストフィ
ルムを製造する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、粘着組成物として、例えば、電子
回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィル
ムレジスト）等のドライフォトレジストフィルムが存在
する。ドライフォトレジストフィルムは製造段階で、粘
着組成物であるフォトレジストがＰＥＴ（ポリエチレン
テレフタレート；ポリエステル）等のキャリアフィルム
に担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易に
するためのＬＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカバー
フィルムがフォトレジストが有する粘着力により貼着さ
れて３層構造からなるシート体として長尺状に巻回さ
れ、用途に応じて必要な長さに切断して用いられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ドライ
フォトレジストフィルムが傷や他の原因で検査不合格に
なったり、長期間在庫になって品質保証期間を超過した
場合等はフォトレジスト、キャリアフィルム、カバーフ
ィルムを回収して再利用することが経済的であり、地球
環境の保全にも寄与するが、フォトレジストが粘着組成
物であることからフォトレジストからキャリアフィルム
やカバーフィルムを分離して回収することが困難であ
り、通常は、焼却廃棄するのが一般であった。

【０００４】本発明は前記課題を解決するものであり、
その目的とするところは、粘着組成物であるフォトレジ
ストを中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼
着された３層構造からなるシート体からフォトレジスト
を容易に分離回収し、更に回収したフォトレジストを容
易に再生し、その再生したフォトレジストを利用してド
ライフォトレジストフィルムを安価に製造することが出
来るフォトレジストの再生方法、及びその再生方法によ
り再生されたフォトレジスト、及びその再生されたフォ
トレジストを利用して作成されるドライフォトレジスト
フィルムの製造方法を提供せんとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明に係るフォトレジストの再生方法は、フォトレ
ジストを中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが
貼着された３層構造からなるシート体から前記カバーフ
ィルムを剥離して該カバーフィルムと残りのシート体と
を異なる方向に搬送し、更に該残りのシート体から前記
キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムと前記
フォトレジストとを異なる方向に搬送して回収されたフ
ォトレジストと、該フォトレジストと同じ組成を有する
フォトレジスト組成物とを溶解、混練したことを特徴と
する。

【０００６】上記フォトレジストの再生方法によれば、
シート体からカバーフィルムを剥離して該カバーフィル
ムと残りのシート体とを異なる方向に搬送することで粘
着組成物であるフォトレジストの粘着力に抗してカバー
フィルムと残りのシート体とを容易に分離することが出
来、更に該残りのシート体からキャリアフィルムを剥離
して該キャリアフィルムとフォトレジストとを異なる方
向に搬送することでフォトレジストの粘着力に抗してキ
ャリアフィルムとフォトレジストとを容易に分離回収す
ることが出来、その回収されたフォトレジストと、該フ
ォトレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物
とを溶解、混練することで、回収したフォトレジストを
容易に再生することが出来る。

【０００７】特に回収されたフォトレジストと、該フォ
トレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物と
の混合比は、回収されたフォトレジストが５０重量％以
下であることが品質維持のために好ましい。

【０００８】回収されたフォトレジストと、該フォトレ
ジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物との混
合方法としては、回収されたフォトレジストと同じ組成
を有するフォトレジスト組成物を予め溶解しておき、そ
の溶解槽に回収されたフォトレジストを投入して溶解、
混練することでも良いし、回収されたフォトレジストを
別の溶解槽で溶解し、その溶解物と、予め溶解しておい
た回収されたフォトレジストと同じ組成を有するフォト
レジスト組成物の溶解物とを所定の量だけ混練しても良
い。

【０００９】また、本発明に係るドライフォトレジスト
フィルムの製造方法は、上記再生方法により再生された
フォトレジストをキャリアフィルム上に塗工成形して乾
燥した後、該フォトレジスト上にカバーフィルムを貼着
して該フォトレジストを中心に前記キャリアフィルムと
前記カバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシ
ート体を作成したことを特徴とする。

【００１０】上記ドライフォトレジストフィルムの製造
方法によれば、再生したフォトレジストを利用して安価
にドライフォトレジストフィルムを製造することが出来
る。

【００１１】

【発明の実施の形態】図により本発明に係るフォトレジ
ストの再生方法、及びその再生方法により再生されたフ
ォトレジスト、及びその再生されたフォトレジストを利
用して作成されるドライフォトレジストフィルムの製造
方法の一例として、例えば、電子回路用プリント基板に
使用されるＤＦＲ（ドライフィルムレジスト）等のフォ
トレジストを回収し、再生し、更にドライフォトレジス
トフィルムを製造する場合に適用した場合の一実施形態
を具体的に説明する。

【００１２】図１は粘着組成物であるフォトレジストの
回収装置の構成を示す断面説明図、図２（ａ）はシート
体からカバーフィルムを剥離して分離する様子を示す部
分拡大図、図２（ｂ）はシート体からカバーフィルムを
剥離した残りのシート体からキャリアフィルムと粘着組
成物であるフォトレジストを剥離して分離する様子を示
す部分拡大図である。

【００１３】図１及び図２において、１は、例えば、電
子回路用プリント基板に使用されるＤＦＲ（ドライフィ
ルムレジスト）等のドライフォトレジストフィルムから
なるシート体であり、粘着組成物であるフォトレジスト
２がそれ自身が有する粘着力によりＰＥＴ（ポリエチレ
ンテレフタレート；ポリエステル）等のキャリアフィル
ム３に担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容
易にするためのＬＤＰＥ(低密度ポリエチレン）等のカ
バーフィルム４がフォトレジスト２が有する粘着力によ
り貼着されて、フォトレジスト２を中心にキャリアフィ
ルム３とカバーフィルム４とが貼着された３層構造から
なるシート体１として長尺状に巻回されたものである。

【００１４】長尺状に巻回されたシート体１は支軸１ａ
により回転自在に軸支されており、図示しない摩擦板等
を利用した回転制動手段により回転速度が抑制され、シ
ート体１の張力を一定に維持しつつ従動回転する。

【００１５】５はシート体１からカバーフィルム４が剥
離される位置の搬送方向上流側近傍に設けられた駆動ロ
ーラであり、該駆動ローラ５には従動ローラ６が圧接さ
れている。搬送回転体対を構成する駆動ローラ５及び従
動ローラ６はゴムローラ等で形成されている。

【００１６】従動ローラ６は支軸６ａを中心に回動自在
に取り付けられたフレーム６ｂに回転自在に軸支されて
おり、一定の追従圧をかけたエアシリンダ等を有する図
示しない付勢手段により駆動ローラ５側に所定の加圧力
で圧接されている。

【００１７】付勢手段としてバネの張力等を利用した場
合には、駆動ローラ５と従動ローラ６とのニップ部を通
過するシート体１の厚さの変化に応じて加圧力が変化す
るが、一定の追従圧をかけたエアシリンダを利用した付
勢手段によれば、シート体１の厚さの変化に関わらず加
圧力を一定に維持することが出来る。

【００１８】そして、駆動源となる駆動モータ７から図
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ５が図の反時計回り方向に回転駆動されると、
該駆動ローラ５に圧接された従動ローラ６がシート体１
を挟持して図の時計回り方向に従動回転する。これによ
り駆動ローラ５と従動ローラ６からなる搬送回転体対に
よりシート体１が図の矢印方向に挟持搬送される。

【００１９】駆動ローラ５よりも搬送方向上流側にはシ
ート体１の有無を検知する材料検知手段となる発光部８
ａと受光部８ｂとを有する光センサ８が配置されてお
り、発光部８ａと受光部８ｂとの間の光路をシート体１
が遮ることでシート体１が存在することが検知され、発
光部８ａから受光部８ｂに光が到達した時にシート体１
が無いことが検知される。

【００２０】従って、支軸１ａにセットされたシート体
１の分離処理が終了した時に、シート体１により光路が
遮断されていた光センサ８がＯＮになってシート体１が
無くなったことを検知し、装置の分離処理動作を自動的
に停止することが出来るようになっている。

【００２１】９はシート体１からカバーフィルム４を剥
離して該カバーフィルム４を一方の方向へ搬送する第１
の搬送手段であって、該カバーフィルム４を巻回して回
収する巻取手段を兼ねるカバーフィルム巻取軸であり、
該カバーフィルム巻取軸９は駆動モータ７から図示しな
い駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ロー
ラ５と同期して図の反時計回り方向に回転駆動される。

【００２２】ここで、粘着組成物であるフォトレジスト
２のキャリアフィルム３に対する粘着力は、該フォトレ
ジスト２のカバーフィルム４に対する粘着力よりも２倍
から４倍程度大きくなるように設定されており、シート
体１から先ずカバーフィルム４が剥離し易い構成になっ
ている。

【００２３】10はカバーフィルム４が剥離されたフォト
レジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシート
体を、カバーフィルム４の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第２の搬送手段であって、且つ粘着組成物である
フォトレジスト２を巻回して回収する巻取手段を兼ね、
更にはキャリアフィルム３が剥離された粘着組成物であ
るフォトレジスト２を該キャリアフィルム３の搬送方向
とは異なる方向に搬送する第４の搬送手段を兼ねるフォ
トレジスト巻取軸である。

【００２４】フォトレジスト巻取軸10に対向する位置に
は支軸11ａを中心に回動自在に取り付けられたガイドロ
ーラフレーム11が設けられており、該ガイドローラフレ
ーム11はそれ自身の自重や図示しない付勢手段により支
軸11ａを中心に図１の反時計回り方向に付勢されてい
る。

【００２５】ガイドローラフレーム11にはフォトレジス
ト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に圧接される
押さえローラ11ｂが回転自在に設けられており、更にガ
イドローラフレーム11にはガイドローラ11ｃ，11ｄが回
転自在に取り付けられている。押さえローラ11ｂ及びガ
イドローラ11ｃ，11ｄはゴムローラ等により形成されて
いる。

【００２６】押さえローラ11ｂは、駆動モータ７から図
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ５及びカバーフィルム巻取軸９と同期して図の
反時計回り方向に回転駆動されるフォトレジスト巻取軸
10に巻回されたフォトレジスト２に圧接され、該フォト
レジスト巻取軸10の回転に従動して回転する。

【００２７】そして、フォトレジスト巻取軸10と押さえ
ローラ11ｂとによりシート体１からカバーフィルム４が
剥離されたフォトレジスト２とキャリアフィルム３から
なる残りのシート体から該キャリアフィルム３が剥離さ
れる位置の搬送方向上流側近傍に該残りのシート体を挟
持搬送する搬送回転体対を構成している。

【００２８】ガイドローラ11ｃ，11ｄは支軸11ａを中心
にガイドローラフレーム11と一体的に回動することで駆
動ローラ５及び従動ローラ６のニップ部を通過してカバ
ーフィルム４が剥離されたキャリアフィルム３とフォト
レジスト２の張力を一定に調整することが出来る。

【００２９】そして、ガイドローラ11ｃ，11ｄによりフ
ォトレジスト２とキャリアフィルム３からなる残りのシ
ート体がガイドされて適当な張力が付与され、フォトレ
ジスト巻取軸10と押さえローラ11ｂとのニップ部に適正
に搬送される。

【００３０】12はフォトレジスト２とキャリアフィルム
３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３を剥
離してフォトレジスト２の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第３の搬送手段であって、キャリアフィルム３を
巻回して回収する巻取手段を兼ねるキャリアフィルム巻
取軸である。

【００３１】キャリアフィルム巻取軸12は支軸13ａを中
心に回転自在に設けられたフレーム13に回転可能に取り
付けられており、図示しない付勢手段によりフォトレジ
スト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対してキ
ャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム
３が圧接するように構成されている。

【００３２】また、キャリアフィルム巻取軸12は駆動モ
ータ７から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が
伝達されて駆動ローラ５、カバーフィルム巻取軸９及び
フォトレジスト巻取軸10と同期して図の時計回り方向に
回転駆動される。

【００３３】上記構成において、回転位置が固定された
フォトレジスト巻取軸10側に押さえローラ11ｂ及びキャ
リアフィルム巻取軸12が付勢され、該フォトレジスト巻
取軸10に巻回されたフォトレジスト２に対して押さえロ
ーラ11ｂ及びキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキ
ャリアフィルム３が圧接した状態で、駆動モータ７から
回転駆動力が伝達されたフォトレジスト巻取軸10及びキ
ャリアフィルム巻取軸12が夫々図の方向に同期して回転
する。

【００３４】従って、図２（ａ）に示すように、先ず、
シート体１からカバーフィルム４を剥離して該カバーフ
ィルム４と残りのシート体であるフォトレジスト２とキ
ャリアフィルム３とを異なる方向に搬送し、更に図２
（ｂ）に示すように、フォトレジスト２とキャリアフィ
ルム３からなる残りのシート体からキャリアフィルム３
を剥離して該キャリアフィルム３とフォトレジスト２と
を異なる方向に搬送して、カバーフィルム４、キャリア
フィルム３、フォトレジスト２を別々に巻回して回収す
ることが出来る。

【００３５】また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレ
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12は夫々エ
アーシャフト（コアレスを含む）により構成されてお
り、巻き取り時はエアーを注入してエアーシャフトの径
を大きく設定した状態で巻取り、巻取り後にエアーを抜
いてエアーシャフトの径を小さくして各巻取軸９，10，
12から夫々のカバーフィルム４、フォトレジスト２、キ
ャリアフィルム３を容易に抜き取ることが出来、巻回さ
れた各カバーフィルム４、フォトレジスト２、キャリア
フィルム３を巻き管等が無い単体で回収出来るので、詳
しくは後述する後工程での再利用処理を容易にしてい
る。

【００３６】また、カバーフィルム巻取軸９、フォトレ
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動
伝達手段の一部としてパウダクラッチが採用されれい
る。パウダクラッチは励磁コイルを内蔵した駆動体と被
駆動体の両回転体が軸受で同心円上に所定の間隔が出来
るように組み付けられており、その隙間に鉄粉等のパウ
ダ（粉体）が充填されている。そして、励磁することで
パウダが磁化されてこの磁気的な連結力と動作面の摩擦
力両者が連結されてトルクが伝達される。

【００３７】カバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト
巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動伝達手
段の一部としてパウダクラッチを採用したことで、励磁
力を調整することで連結トルクが容易に調整出来、回転
力の伝達において緩慢な開始、停止が可能であるためカ
バーフィルム４、フォトレジスト２、キャリアフィルム
３がカバーフィルム巻取軸９、フォトレジスト巻取軸10
及びキャリアフィルム巻取軸12に夫々巻回される際に無
理な張力が付与されることなくカバーフィルム４、フォ
トレジスト２、キャリアフィルム３のジャム（搬送不良
や巻取り不良等）や破損を防止することが出来る。

【００３８】図１において、14はフォトレジスト２及び
キャリアフィルム３を搬送方向に切断するための切断手
段となるカッターであり、該カッター14は支軸14ａを中
心に回動可能なホルダ14ｂに保持されている。

【００３９】そして、フォトレジスト２及びキャリアフ
ィルム３を搬送方向に切断する際にはホルダ14ｂを支軸
14ａを中心に図１の反時計回り方向に回動させて保持
し、フォトレジスト２及びキャリアフィルム３の搬送動
作に伴って搬送方向に切断することが出来るようになっ
ている。

【００４０】そして、長尺の支軸14ａの軸方向にカッタ
ー14を保持したホルダ14ｂを移動可能に固定することで
フォトレジスト２及びキャリアフィルム３を所望の幅に
切断することが出来、また、長尺の支軸14ａの軸方向に
カッター14を保持したホルダ14ｂを複数配置することで
所望の幅で所望の数だけ分断することが可能である。

【００４１】尚、切断手段はシート体１を切断する位置
に配置したり、分離されたカバーフィルム４、フォトレ
ジスト２、キャリアフィルム３を夫々切断する位置に配
置しても良い。

【００４２】尚、シート体１の搬送速度は、該シート体
１の幅寸法やフォトレジスト２の厚さ、或いは、種類に
より異なるが、例えば、２ｍ／min〜５０ｍ／minであ
る。また、シート体１の幅寸法は、例えば５０mm〜１２
００mmである。また、フォトレジスト２の厚さは５μｍ
〜１２０μｍである。

【００４３】最初のスタート時には、シート体１開放端
部のカバーフィルム４側を受けバー17ｂにより支持され
た粘着ゴム17ａに貼り付けた状態で該カバーフィルム４
をフォトレジスト２から剥離し、カバーフィルム４をカ
バーフィルム巻取軸９に巻き付ける。更にキャリアフィ
ルム３からフォトレジスト２を剥離して、該キャリアフ
ィルム３をキャリアフィルム巻取軸12に巻き付け、フォ
トレジスト２をフォトレジスト巻取軸10に巻き付ける。

【００４４】以下に本発明に係るフォトレジストの再生
方法、及び再生されたフォトレジストを利用して作成さ
れるドライフォトレジストフィルムの製造方法について
詳細に説明する。

【００４５】上述のようにフォトレジスト巻取軸10に巻
回して回収されたフォトレジスト２と同じ組成を有する
フォトレジスト組成物を予め溶解した槽を用意してお
き、該フォトレジスト巻取軸10に巻回して回収されたフ
ォトレジスト２をその槽の中に投入するか、若しくは回
収されたフォトレジスト２を別の溶解槽で溶解して、そ
の溶解物を所定の量だけ投入して溶解、混練する。

【００４６】＜実施例＞ドライフォトレジストフィルム
（旭化成株式会社製の商品名；サンフォートAQ-5044）
から上述の回収方法にて回収したフォトレジスト２を、
新規の同一組成物を予め溶解した槽に以下の表１に示す
ように、５重量％、３０重量％、４０重量％、５０重量
％、６０重量％の各混合率で夫々投入し、通常のプロセ
スで溶解混練したフォトレジスト２を、新規のキャリア
フィルム３上に塗布による塗工成形して乾燥した後、該
フォトレジスト２上に新規のカバーフィルム４を貼着し
て、該再生したフォトレジスト２を中心に新規のキャリ
アフィルム３とカバーフィルム４とが貼着された３層構
造からなる新規のシート体１を作成して新規のドライフ
ォトレジストフィルムを製造した。

【００４７】

【表１】

【００４８】製造した新規のドライフォトレジストフィ
ルムの厚さは３８μｍ±２μｍの範囲であり、色相及び
解像度の規定値は、従来の回収物を混入しない全く新規
のドライフォトレジストフィルムの合格値を示す。

【００４９】上記表１において、色相は、島津製作所製
の分光光度計（UV-2400PC）により感光性樹脂組成物層
＋ＰＥＴ（支持フィルム）の状態で、波長６３０nm及び
６００nmの光を照射して測定したものである。

【００５０】また、解像度は、先ず、オーク製作所製の
露光機（５kW 超高圧水銀灯HMV-201KB）により２３℃
で１００mj/cm²の露光量でライン／スペースが１５μｍ
／１５μｍから１００μｍ／１００μｍまで５μｍ間隔
に形成された解像度パターンマスクフィルムを用いて露
光した後、無水炭酸ナトリウム１％水溶液を用いて最小
現像時間の１．５倍の時間で現像した時の画像形成され
る最小ライン幅を解像度の値とした。

【００５１】表１に示すように、混入率が５０重量％以
下であれば、色相及び解像度の規定値の範囲内に入って
おり、再生したフォトレジスト２を使用して製造された
新規のドライフォトレジストフィルムの性能は、フォト
レジスト２、キャリアフィルム３及びカバーフィルム４
の全てが新規で作成されたものと比較しても全く差が認
められなかった。

【００５２】従って、回収されたフォトレジスト２と、
該フォトレジスト２と同じ組成を有するフォトレジスト
組成物との混合比は、回収されたフォトレジスト２が５
０重量％以下であることが品質維持のために好ましく、
更に好ましくは４０重量％以下であり、最適な条件は３
０重量％以下である。特に好ましいのは５重量％以下で
ある。

【００５３】

【発明の効果】本発明は、上述の如き構成と作用とを有
するので、粘着組成物であるフォトレジストを中心にキ
ャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された３層構
造からなるシート体からフォトレジストを容易に分離回
収し、更に回収したフォトレジストを容易に再生し、そ
の再生したフォトレジストを利用してドライフォトレジ
ストフィルムを安価に製造することが出来る。

【００５４】即ち、本発明に係るフォトレジストの再生
方法によれば、シート体からカバーフィルムを剥離して
該カバーフィルムと残りのシート体とを異なる方向に搬
送することで粘着組成物であるフォトレジストの粘着力
に抗してカバーフィルムと残りのシート体とを容易に分
離することが出来、更に該残りのシート体からキャリア
フィルムを剥離して該キャリアフィルムとフォトレジス
トとを異なる方向に搬送することでフォトレジストの粘
着力に抗してキャリアフィルムとフォトレジストとを容
易に分離回収することが出来、その回収されたフォトレ
ジストと、該フォトレジストと同じ組成を有するフォト
レジスト組成物とを溶解、混練することで、回収したフ
ォトレジストを容易に再生することが出来る。

【００５５】特に回収されたフォトレジストと、該フォ
トレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物と
の混合比を、回収されたフォトレジストが５０重量％以
下になるように設定したことで品質維持が出来る。

【００５６】また、本発明に係るドライフォトレジスト
フィルムの製造方法によれば、再生したフォトレジスト
を利用して安価にドライフォトレジストフィルムを製造
することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】粘着組成物であるフォトレジストの回収装置の
構成を示す断面説明図である。

【図２】（ａ）はシート体からカバーフィルムを剥離し
て分離する様子を示す部分拡大図、（ｂ）はシート体か
らカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリ
アフィルムと粘着組成物であるフォトレジストを剥離し
て分離する様子を示す部分拡大図である。

【符号の説明】

１…シート体 １ａ…支軸 ２…フォトレジスト ３…キャリアフィルム ４…カバーフィルム ５…駆動ローラ ６…従動ローラ ６ａ…支軸 ６ｂ…フレーム ７…駆動モータ ８…光センサ ８ａ…発光部 ８ｂ…受光部 ９…カバーフィルム巻取軸 10…フォトレジスト巻取軸 11…ガイドローラフレーム 11ａ…支軸 11ｂ…押さえローラ 11ｃ，11ｄ…ガイドローラ 12…キャリアフィルム巻取軸 13…フレーム 13ａ…支軸 14…カッター 14ａ…支軸 17ａ…粘着ゴム 17ｂ…受けバー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB11 AD01 BC13 EA10 FA01 FA50 2H096 AA26 BA06 CA20 LA30 4F301 AA30 BF03 BF31 BG14 BG40 BG42 BG57 CA09 CA12 CA53

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトレジストを中心にキャリアフィル
   ムとカバーフィルムとが貼着された３層構造からなるシ
   ート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィ
   ルムと残りのシート体とを異なる方向に搬送し、更に該
   残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該
   キャリアフィルムと前記フォトレジストとを異なる方向
   に搬送して回収されたフォトレジストと、該フォトレジ
   ストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物とを溶
   解、混練したことを特徴とするフォトレジストの再生方
   法。
2. 【請求項２】 前記回収されたフォトレジストと、該フ
   ォトレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物
   との混合比は、前記回収されたフォトレジストが５０重
   量％以下であることを特徴とする請求項１に記載のフォ
   トレジストの再生方法。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載のフォト
   レジストの再生方法により再生されたことを特徴とする
   フォトレジスト。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のフォトレジストをキャ
   リアフィルム上に塗工成形して乾燥した後、該フォトレ
   ジスト上にカバーフィルムを貼着して該フォトレジスト
   を中心に前記キャリアフィルムと前記カバーフィルムと
   が貼着された３層構造からなるシート体を作成したこと
   を特徴とするドライフォトレジストフィルムの製造方
   法。