JP2002303972A - フォトレジストの再生方法 - Google Patents
フォトレジストの再生方法Info
- Publication number
- JP2002303972A JP2002303972A JP2001109746A JP2001109746A JP2002303972A JP 2002303972 A JP2002303972 A JP 2002303972A JP 2001109746 A JP2001109746 A JP 2001109746A JP 2001109746 A JP2001109746 A JP 2001109746A JP 2002303972 A JP2002303972 A JP 2002303972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- film
- carrier film
- cover film
- sheet body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/62—Plastics recycling; Rubber recycling
Landscapes
- Separation, Recovery Or Treatment Of Waste Materials Containing Plastics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
らフォトレジストを容易に分離回収し、更に回収したフ
ォトレジストを容易に再生し、その再生したフォトレジ
ストを利用して新規のドライフォトレジストフィルムを
安価に製造することが出来るフォトレジストの再生方
法、及びその再生されたフォトレジストを利用して作成
されるドライフォトレジストフィルムの製造方法を提供
することを可能にすることを目的としている。 【解決手段】 駆動ローラ5と従動ローラ6により挟持
搬送されるシート体1からカバーフィルム4を剥離し、
更にフォトレジスト巻取軸10と押さえローラ11bにより
挟持搬送される残りのシート体からキャリアフィルム3
を剥離し、フォトレジスト2をフォトレジスト巻取軸10
に巻回回収する。回収したフォトレジスト2を、該フォ
トレジスト2と同じ組成を有するフォトレジスト組成物
を予め溶解した槽に投入して溶解、混練し、フォトレジ
スト2を再生するように構成したことを特徴とする。
Description
フォトレジストを回収して再生する方法及びその再生し
たフォトレジストを利用してドライフォトレジストフィ
ルムを製造する方法に関するものである。
回路用プリント基板に使用されるDFR(ドライフィル
ムレジスト)等のドライフォトレジストフィルムが存在
する。ドライフォトレジストフィルムは製造段階で、粘
着組成物であるフォトレジストがPET(ポリエチレン
テレフタレート;ポリエステル)等のキャリアフィルム
に担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容易に
するためのLDPE(低密度ポリエチレン)等のカバー
フィルムがフォトレジストが有する粘着力により貼着さ
れて3層構造からなるシート体として長尺状に巻回さ
れ、用途に応じて必要な長さに切断して用いられる。
フォトレジストフィルムが傷や他の原因で検査不合格に
なったり、長期間在庫になって品質保証期間を超過した
場合等はフォトレジスト、キャリアフィルム、カバーフ
ィルムを回収して再利用することが経済的であり、地球
環境の保全にも寄与するが、フォトレジストが粘着組成
物であることからフォトレジストからキャリアフィルム
やカバーフィルムを分離して回収することが困難であ
り、通常は、焼却廃棄するのが一般であった。
その目的とするところは、粘着組成物であるフォトレジ
ストを中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが貼
着された3層構造からなるシート体からフォトレジスト
を容易に分離回収し、更に回収したフォトレジストを容
易に再生し、その再生したフォトレジストを利用してド
ライフォトレジストフィルムを安価に製造することが出
来るフォトレジストの再生方法、及びその再生方法によ
り再生されたフォトレジスト、及びその再生されたフォ
トレジストを利用して作成されるドライフォトレジスト
フィルムの製造方法を提供せんとするものである。
の本発明に係るフォトレジストの再生方法は、フォトレ
ジストを中心にキャリアフィルムとカバーフィルムとが
貼着された3層構造からなるシート体から前記カバーフ
ィルムを剥離して該カバーフィルムと残りのシート体と
を異なる方向に搬送し、更に該残りのシート体から前記
キャリアフィルムを剥離して該キャリアフィルムと前記
フォトレジストとを異なる方向に搬送して回収されたフ
ォトレジストと、該フォトレジストと同じ組成を有する
フォトレジスト組成物とを溶解、混練したことを特徴と
する。
シート体からカバーフィルムを剥離して該カバーフィル
ムと残りのシート体とを異なる方向に搬送することで粘
着組成物であるフォトレジストの粘着力に抗してカバー
フィルムと残りのシート体とを容易に分離することが出
来、更に該残りのシート体からキャリアフィルムを剥離
して該キャリアフィルムとフォトレジストとを異なる方
向に搬送することでフォトレジストの粘着力に抗してキ
ャリアフィルムとフォトレジストとを容易に分離回収す
ることが出来、その回収されたフォトレジストと、該フ
ォトレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物
とを溶解、混練することで、回収したフォトレジストを
容易に再生することが出来る。
トレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物と
の混合比は、回収されたフォトレジストが50重量%以
下であることが品質維持のために好ましい。
ジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物との混
合方法としては、回収されたフォトレジストと同じ組成
を有するフォトレジスト組成物を予め溶解しておき、そ
の溶解槽に回収されたフォトレジストを投入して溶解、
混練することでも良いし、回収されたフォトレジストを
別の溶解槽で溶解し、その溶解物と、予め溶解しておい
た回収されたフォトレジストと同じ組成を有するフォト
レジスト組成物の溶解物とを所定の量だけ混練しても良
い。
フィルムの製造方法は、上記再生方法により再生された
フォトレジストをキャリアフィルム上に塗工成形して乾
燥した後、該フォトレジスト上にカバーフィルムを貼着
して該フォトレジストを中心に前記キャリアフィルムと
前記カバーフィルムとが貼着された3層構造からなるシ
ート体を作成したことを特徴とする。
方法によれば、再生したフォトレジストを利用して安価
にドライフォトレジストフィルムを製造することが出来
る。
ストの再生方法、及びその再生方法により再生されたフ
ォトレジスト、及びその再生されたフォトレジストを利
用して作成されるドライフォトレジストフィルムの製造
方法の一例として、例えば、電子回路用プリント基板に
使用されるDFR(ドライフィルムレジスト)等のフォ
トレジストを回収し、再生し、更にドライフォトレジス
トフィルムを製造する場合に適用した場合の一実施形態
を具体的に説明する。
回収装置の構成を示す断面説明図、図2(a)はシート
体からカバーフィルムを剥離して分離する様子を示す部
分拡大図、図2(b)はシート体からカバーフィルムを
剥離した残りのシート体からキャリアフィルムと粘着組
成物であるフォトレジストを剥離して分離する様子を示
す部分拡大図である。
子回路用プリント基板に使用されるDFR(ドライフィ
ルムレジスト)等のドライフォトレジストフィルムから
なるシート体であり、粘着組成物であるフォトレジスト
2がそれ自身が有する粘着力によりPET(ポリエチレ
ンテレフタレート;ポリエステル)等のキャリアフィル
ム3に担持され、更に防塵や粘着組成物の取り扱いを容
易にするためのLDPE(低密度ポリエチレン)等のカ
バーフィルム4がフォトレジスト2が有する粘着力によ
り貼着されて、フォトレジスト2を中心にキャリアフィ
ルム3とカバーフィルム4とが貼着された3層構造から
なるシート体1として長尺状に巻回されたものである。
により回転自在に軸支されており、図示しない摩擦板等
を利用した回転制動手段により回転速度が抑制され、シ
ート体1の張力を一定に維持しつつ従動回転する。
離される位置の搬送方向上流側近傍に設けられた駆動ロ
ーラであり、該駆動ローラ5には従動ローラ6が圧接さ
れている。搬送回転体対を構成する駆動ローラ5及び従
動ローラ6はゴムローラ等で形成されている。
に取り付けられたフレーム6bに回転自在に軸支されて
おり、一定の追従圧をかけたエアシリンダ等を有する図
示しない付勢手段により駆動ローラ5側に所定の加圧力
で圧接されている。
合には、駆動ローラ5と従動ローラ6とのニップ部を通
過するシート体1の厚さの変化に応じて加圧力が変化す
るが、一定の追従圧をかけたエアシリンダを利用した付
勢手段によれば、シート体1の厚さの変化に関わらず加
圧力を一定に維持することが出来る。
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ5が図の反時計回り方向に回転駆動されると、
該駆動ローラ5に圧接された従動ローラ6がシート体1
を挟持して図の時計回り方向に従動回転する。これによ
り駆動ローラ5と従動ローラ6からなる搬送回転体対に
よりシート体1が図の矢印方向に挟持搬送される。
ート体1の有無を検知する材料検知手段となる発光部8
aと受光部8bとを有する光センサ8が配置されてお
り、発光部8aと受光部8bとの間の光路をシート体1
が遮ることでシート体1が存在することが検知され、発
光部8aから受光部8bに光が到達した時にシート体1
が無いことが検知される。
1の分離処理が終了した時に、シート体1により光路が
遮断されていた光センサ8がONになってシート体1が
無くなったことを検知し、装置の分離処理動作を自動的
に停止することが出来るようになっている。
離して該カバーフィルム4を一方の方向へ搬送する第1
の搬送手段であって、該カバーフィルム4を巻回して回
収する巻取手段を兼ねるカバーフィルム巻取軸であり、
該カバーフィルム巻取軸9は駆動モータ7から図示しな
い駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆動ロー
ラ5と同期して図の反時計回り方向に回転駆動される。
2のキャリアフィルム3に対する粘着力は、該フォトレ
ジスト2のカバーフィルム4に対する粘着力よりも2倍
から4倍程度大きくなるように設定されており、シート
体1から先ずカバーフィルム4が剥離し易い構成になっ
ている。
レジスト2とキャリアフィルム3からなる残りのシート
体を、カバーフィルム4の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第2の搬送手段であって、且つ粘着組成物である
フォトレジスト2を巻回して回収する巻取手段を兼ね、
更にはキャリアフィルム3が剥離された粘着組成物であ
るフォトレジスト2を該キャリアフィルム3の搬送方向
とは異なる方向に搬送する第4の搬送手段を兼ねるフォ
トレジスト巻取軸である。
は支軸11aを中心に回動自在に取り付けられたガイドロ
ーラフレーム11が設けられており、該ガイドローラフレ
ーム11はそれ自身の自重や図示しない付勢手段により支
軸11aを中心に図1の反時計回り方向に付勢されてい
る。
ト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト2に圧接される
押さえローラ11bが回転自在に設けられており、更にガ
イドローラフレーム11にはガイドローラ11c,11dが回
転自在に取り付けられている。押さえローラ11b及びガ
イドローラ11c,11dはゴムローラ等により形成されて
いる。
示しない駆動伝達手段により回転駆動力が伝達されて駆
動ローラ5及びカバーフィルム巻取軸9と同期して図の
反時計回り方向に回転駆動されるフォトレジスト巻取軸
10に巻回されたフォトレジスト2に圧接され、該フォト
レジスト巻取軸10の回転に従動して回転する。
ローラ11bとによりシート体1からカバーフィルム4が
剥離されたフォトレジスト2とキャリアフィルム3から
なる残りのシート体から該キャリアフィルム3が剥離さ
れる位置の搬送方向上流側近傍に該残りのシート体を挟
持搬送する搬送回転体対を構成している。
にガイドローラフレーム11と一体的に回動することで駆
動ローラ5及び従動ローラ6のニップ部を通過してカバ
ーフィルム4が剥離されたキャリアフィルム3とフォト
レジスト2の張力を一定に調整することが出来る。
ォトレジスト2とキャリアフィルム3からなる残りのシ
ート体がガイドされて適当な張力が付与され、フォトレ
ジスト巻取軸10と押さえローラ11bとのニップ部に適正
に搬送される。
3からなる残りのシート体からキャリアフィルム3を剥
離してフォトレジスト2の搬送方向とは異なる方向に搬
送する第3の搬送手段であって、キャリアフィルム3を
巻回して回収する巻取手段を兼ねるキャリアフィルム巻
取軸である。
心に回転自在に設けられたフレーム13に回転可能に取り
付けられており、図示しない付勢手段によりフォトレジ
スト巻取軸10に巻回されたフォトレジスト2に対してキ
ャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキャリアフィルム
3が圧接するように構成されている。
ータ7から図示しない駆動伝達手段により回転駆動力が
伝達されて駆動ローラ5、カバーフィルム巻取軸9及び
フォトレジスト巻取軸10と同期して図の時計回り方向に
回転駆動される。
フォトレジスト巻取軸10側に押さえローラ11b及びキャ
リアフィルム巻取軸12が付勢され、該フォトレジスト巻
取軸10に巻回されたフォトレジスト2に対して押さえロ
ーラ11b及びキャリアフィルム巻取軸12に巻回されたキ
ャリアフィルム3が圧接した状態で、駆動モータ7から
回転駆動力が伝達されたフォトレジスト巻取軸10及びキ
ャリアフィルム巻取軸12が夫々図の方向に同期して回転
する。
シート体1からカバーフィルム4を剥離して該カバーフ
ィルム4と残りのシート体であるフォトレジスト2とキ
ャリアフィルム3とを異なる方向に搬送し、更に図2
(b)に示すように、フォトレジスト2とキャリアフィ
ルム3からなる残りのシート体からキャリアフィルム3
を剥離して該キャリアフィルム3とフォトレジスト2と
を異なる方向に搬送して、カバーフィルム4、キャリア
フィルム3、フォトレジスト2を別々に巻回して回収す
ることが出来る。
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12は夫々エ
アーシャフト(コアレスを含む)により構成されてお
り、巻き取り時はエアーを注入してエアーシャフトの径
を大きく設定した状態で巻取り、巻取り後にエアーを抜
いてエアーシャフトの径を小さくして各巻取軸9,10,
12から夫々のカバーフィルム4、フォトレジスト2、キ
ャリアフィルム3を容易に抜き取ることが出来、巻回さ
れた各カバーフィルム4、フォトレジスト2、キャリア
フィルム3を巻き管等が無い単体で回収出来るので、詳
しくは後述する後工程での再利用処理を容易にしてい
る。
ジスト巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動
伝達手段の一部としてパウダクラッチが採用されれい
る。パウダクラッチは励磁コイルを内蔵した駆動体と被
駆動体の両回転体が軸受で同心円上に所定の間隔が出来
るように組み付けられており、その隙間に鉄粉等のパウ
ダ(粉体)が充填されている。そして、励磁することで
パウダが磁化されてこの磁気的な連結力と動作面の摩擦
力両者が連結されてトルクが伝達される。
巻取軸10及びキャリアフィルム巻取軸12への駆動伝達手
段の一部としてパウダクラッチを採用したことで、励磁
力を調整することで連結トルクが容易に調整出来、回転
力の伝達において緩慢な開始、停止が可能であるためカ
バーフィルム4、フォトレジスト2、キャリアフィルム
3がカバーフィルム巻取軸9、フォトレジスト巻取軸10
及びキャリアフィルム巻取軸12に夫々巻回される際に無
理な張力が付与されることなくカバーフィルム4、フォ
トレジスト2、キャリアフィルム3のジャム(搬送不良
や巻取り不良等)や破損を防止することが出来る。
キャリアフィルム3を搬送方向に切断するための切断手
段となるカッターであり、該カッター14は支軸14aを中
心に回動可能なホルダ14bに保持されている。
ィルム3を搬送方向に切断する際にはホルダ14bを支軸
14aを中心に図1の反時計回り方向に回動させて保持
し、フォトレジスト2及びキャリアフィルム3の搬送動
作に伴って搬送方向に切断することが出来るようになっ
ている。
ー14を保持したホルダ14bを移動可能に固定することで
フォトレジスト2及びキャリアフィルム3を所望の幅に
切断することが出来、また、長尺の支軸14aの軸方向に
カッター14を保持したホルダ14bを複数配置することで
所望の幅で所望の数だけ分断することが可能である。
に配置したり、分離されたカバーフィルム4、フォトレ
ジスト2、キャリアフィルム3を夫々切断する位置に配
置しても良い。
1の幅寸法やフォトレジスト2の厚さ、或いは、種類に
より異なるが、例えば、2m/min〜50m/minであ
る。また、シート体1の幅寸法は、例えば50mm〜12
00mmである。また、フォトレジスト2の厚さは5μm
〜120μmである。
部のカバーフィルム4側を受けバー17bにより支持され
た粘着ゴム17aに貼り付けた状態で該カバーフィルム4
をフォトレジスト2から剥離し、カバーフィルム4をカ
バーフィルム巻取軸9に巻き付ける。更にキャリアフィ
ルム3からフォトレジスト2を剥離して、該キャリアフ
ィルム3をキャリアフィルム巻取軸12に巻き付け、フォ
トレジスト2をフォトレジスト巻取軸10に巻き付ける。
方法、及び再生されたフォトレジストを利用して作成さ
れるドライフォトレジストフィルムの製造方法について
詳細に説明する。
回して回収されたフォトレジスト2と同じ組成を有する
フォトレジスト組成物を予め溶解した槽を用意してお
き、該フォトレジスト巻取軸10に巻回して回収されたフ
ォトレジスト2をその槽の中に投入するか、若しくは回
収されたフォトレジスト2を別の溶解槽で溶解して、そ
の溶解物を所定の量だけ投入して溶解、混練する。
(旭化成株式会社製の商品名;サンフォートAQ-5044)
から上述の回収方法にて回収したフォトレジスト2を、
新規の同一組成物を予め溶解した槽に以下の表1に示す
ように、5重量%、30重量%、40重量%、50重量
%、60重量%の各混合率で夫々投入し、通常のプロセ
スで溶解混練したフォトレジスト2を、新規のキャリア
フィルム3上に塗布による塗工成形して乾燥した後、該
フォトレジスト2上に新規のカバーフィルム4を貼着し
て、該再生したフォトレジスト2を中心に新規のキャリ
アフィルム3とカバーフィルム4とが貼着された3層構
造からなる新規のシート体1を作成して新規のドライフ
ォトレジストフィルムを製造した。
ルムの厚さは38μm±2μmの範囲であり、色相及び
解像度の規定値は、従来の回収物を混入しない全く新規
のドライフォトレジストフィルムの合格値を示す。
の分光光度計(UV-2400PC)により感光性樹脂組成物層
+PET(支持フィルム)の状態で、波長630nm及び
600nmの光を照射して測定したものである。
露光機(5kW 超高圧水銀灯HMV-201KB)により23℃
で100mj/cm2の露光量でライン/スペースが15μm
/15μmから100μm/100μmまで5μm間隔
に形成された解像度パターンマスクフィルムを用いて露
光した後、無水炭酸ナトリウム1%水溶液を用いて最小
現像時間の1.5倍の時間で現像した時の画像形成され
る最小ライン幅を解像度の値とした。
下であれば、色相及び解像度の規定値の範囲内に入って
おり、再生したフォトレジスト2を使用して製造された
新規のドライフォトレジストフィルムの性能は、フォト
レジスト2、キャリアフィルム3及びカバーフィルム4
の全てが新規で作成されたものと比較しても全く差が認
められなかった。
該フォトレジスト2と同じ組成を有するフォトレジスト
組成物との混合比は、回収されたフォトレジスト2が5
0重量%以下であることが品質維持のために好ましく、
更に好ましくは40重量%以下であり、最適な条件は3
0重量%以下である。特に好ましいのは5重量%以下で
ある。
するので、粘着組成物であるフォトレジストを中心にキ
ャリアフィルムとカバーフィルムとが貼着された3層構
造からなるシート体からフォトレジストを容易に分離回
収し、更に回収したフォトレジストを容易に再生し、そ
の再生したフォトレジストを利用してドライフォトレジ
ストフィルムを安価に製造することが出来る。
方法によれば、シート体からカバーフィルムを剥離して
該カバーフィルムと残りのシート体とを異なる方向に搬
送することで粘着組成物であるフォトレジストの粘着力
に抗してカバーフィルムと残りのシート体とを容易に分
離することが出来、更に該残りのシート体からキャリア
フィルムを剥離して該キャリアフィルムとフォトレジス
トとを異なる方向に搬送することでフォトレジストの粘
着力に抗してキャリアフィルムとフォトレジストとを容
易に分離回収することが出来、その回収されたフォトレ
ジストと、該フォトレジストと同じ組成を有するフォト
レジスト組成物とを溶解、混練することで、回収したフ
ォトレジストを容易に再生することが出来る。
トレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物と
の混合比を、回収されたフォトレジストが50重量%以
下になるように設定したことで品質維持が出来る。
フィルムの製造方法によれば、再生したフォトレジスト
を利用して安価にドライフォトレジストフィルムを製造
することが出来る。
構成を示す断面説明図である。
て分離する様子を示す部分拡大図、(b)はシート体か
らカバーフィルムを剥離した残りのシート体からキャリ
アフィルムと粘着組成物であるフォトレジストを剥離し
て分離する様子を示す部分拡大図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 フォトレジストを中心にキャリアフィル
ムとカバーフィルムとが貼着された3層構造からなるシ
ート体から前記カバーフィルムを剥離して該カバーフィ
ルムと残りのシート体とを異なる方向に搬送し、更に該
残りのシート体から前記キャリアフィルムを剥離して該
キャリアフィルムと前記フォトレジストとを異なる方向
に搬送して回収されたフォトレジストと、該フォトレジ
ストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物とを溶
解、混練したことを特徴とするフォトレジストの再生方
法。 - 【請求項2】 前記回収されたフォトレジストと、該フ
ォトレジストと同じ組成を有するフォトレジスト組成物
との混合比は、前記回収されたフォトレジストが50重
量%以下であることを特徴とする請求項1に記載のフォ
トレジストの再生方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のフォト
レジストの再生方法により再生されたことを特徴とする
フォトレジスト。 - 【請求項4】 請求項3に記載のフォトレジストをキャ
リアフィルム上に塗工成形して乾燥した後、該フォトレ
ジスト上にカバーフィルムを貼着して該フォトレジスト
を中心に前記キャリアフィルムと前記カバーフィルムと
が貼着された3層構造からなるシート体を作成したこと
を特徴とするドライフォトレジストフィルムの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001109746A JP4610121B2 (ja) | 2001-04-09 | 2001-04-09 | フォトレジストの再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001109746A JP4610121B2 (ja) | 2001-04-09 | 2001-04-09 | フォトレジストの再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002303972A true JP2002303972A (ja) | 2002-10-18 |
JP4610121B2 JP4610121B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=18961646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001109746A Expired - Lifetime JP4610121B2 (ja) | 2001-04-09 | 2001-04-09 | フォトレジストの再生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4610121B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02131907A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-21 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 多層プラスチックシートまたはフィルムのスクラップ回収方法 |
JPH07110575A (ja) * | 1993-08-10 | 1995-04-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性積層材料およびその製造方法 |
JP2000231189A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-22 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
JP2000347375A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Konica Corp | 画像形成材料からの支持体及び有用成分の回収方法 |
-
2001
- 2001-04-09 JP JP2001109746A patent/JP4610121B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02131907A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-21 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 多層プラスチックシートまたはフィルムのスクラップ回収方法 |
JPH07110575A (ja) * | 1993-08-10 | 1995-04-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性積層材料およびその製造方法 |
JP2000231189A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-22 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
JP2000347375A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Konica Corp | 画像形成材料からの支持体及び有用成分の回収方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4610121B2 (ja) | 2011-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002303972A (ja) | フォトレジストの再生方法 | |
JP2004136514A (ja) | ロール紙給紙装置 | |
JPH07261360A (ja) | オーバーラン・クラッチ・システム付き媒体用双バッファ | |
JP2002240038A (ja) | 粘着組成物の回収方法及び装置 | |
JP2868776B2 (ja) | 記録媒体装着装置 | |
JP3652459B2 (ja) | 写真用ロールフイルムの製造方法及び装置 | |
JP3651993B2 (ja) | 再給送装置及び画像形成装置 | |
JPS5888767A (ja) | 原稿自動送り装置 | |
JP2004045598A (ja) | 回転ドラム用シート材剥離防止装置 | |
JP3519519B2 (ja) | シート体装着/剥離用ローラおよびこれを用いた画像記録装置 | |
JPH0141709Y2 (ja) | ||
JPH07304530A (ja) | 給紙装置 | |
JP2877224B2 (ja) | 写真処理装置における感光材料の巻き戻し方法 | |
JPH07329380A (ja) | 印字装置 | |
JP4848414B2 (ja) | 画像形成装置及び画像形成方法 | |
JP2002248624A (ja) | 粘着組成物の回収装置 | |
JPH0725491A (ja) | 給紙装置及び画像形成装置 | |
JP2001092056A (ja) | 写真感光用フイルムのサイドプリンタ装置 | |
JP3781881B2 (ja) | 写真現像処理装置 | |
JPS6353534A (ja) | 写真焼付け装置 | |
JPS6373250A (ja) | 画像記録装置 | |
JPH10254117A (ja) | 画像ロール検査装置 | |
JPH10310302A (ja) | 写真焼付装置 | |
JPH10231049A (ja) | シート斜行状態矯正装置及びシート処理装置 | |
JP2001005116A (ja) | フィルム搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031217 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080328 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101012 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4610121 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |