JP2002245659A - 情報記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光源からの光束を効率よく微小開口に導きつ
つも部品点数の増加を防ぎ、近視野光ヘッドの質量を軽
くし、微小開口近傍により強い近視野光を生成し、高速
トラッキングを行う超高密度で高速な情報の記録再生を
実現する安価な情報記録再生装置を提供する。 【解決手段】 微小開口が形成された近視野光ヘッド
と、コア及びクラッドを備えた略棒状の光導波路と、前
記光導波路の一端面側に前記近視野光ヘッドに光を照射
するために形成された反射面と、受光部と、記録媒体
と、から構成されている近視野光を利用した情報記録再
生装置において、前記近視野光ヘッドに微小開口とは異
なる面にレンズ機能が形成されており、前記光導波路に
は前記光導波路の途中にコア端面が形成されている構成
とした。
つも部品点数の増加を防ぎ、近視野光ヘッドの質量を軽
くし、微小開口近傍により強い近視野光を生成し、高速
トラッキングを行う超高密度で高速な情報の記録再生を
実現する安価な情報記録再生装置を提供する。 【解決手段】 微小開口が形成された近視野光ヘッド
と、コア及びクラッドを備えた略棒状の光導波路と、前
記光導波路の一端面側に前記近視野光ヘッドに光を照射
するために形成された反射面と、受光部と、記録媒体
と、から構成されている近視野光を利用した情報記録再
生装置において、前記近視野光ヘッドに微小開口とは異
なる面にレンズ機能が形成されており、前記光導波路に
は前記光導波路の途中にコア端面が形成されている構成
とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、近視野光を発生さ
せる微小開口を有する近視野光発生素子を近視野光ヘッ
ドとして利用し、高密度な情報の記録・再生を行う情報
記録再生装置に関する。
せる微小開口を有する近視野光発生素子を近視野光ヘッ
ドとして利用し、高密度な情報の記録・再生を行う情報
記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近視野光発生素子は、情報記録再生装置
の近視野光ヘッドや、サンプルなどの光学的な観察を行
うプローブとして現在利用あるいは検討が始められてい
る。
の近視野光ヘッドや、サンプルなどの光学的な観察を行
うプローブとして現在利用あるいは検討が始められてい
る。
【０００３】光を用いた情報記録再生装置は、大容量化
・小型化の方向へと進化しており、そのため記録容量の
高密度化が要求されている。その対策として、青紫色半
導体レーザーを用いた研究がおこなわれているが、これ
らの技術では光の回折限界の問題により、現在の記録密
度の数倍程度の向上しか望めない。これに対し、光の回
折限界を超えた微小領域の光学情報を扱う技術として近
視野光を利用した情報記録再生方法が期待されている。
・小型化の方向へと進化しており、そのため記録容量の
高密度化が要求されている。その対策として、青紫色半
導体レーザーを用いた研究がおこなわれているが、これ
らの技術では光の回折限界の問題により、現在の記録密
度の数倍程度の向上しか望めない。これに対し、光の回
折限界を超えた微小領域の光学情報を扱う技術として近
視野光を利用した情報記録再生方法が期待されている。
【０００４】この技術では、近視野光発生素子である近
視野光ヘッドに形成した光の波長以下サイズの光学的開
口近傍に発生する近視野光を利用する。これにより、従
来の光学系において限界とされていた光の波長以下とな
る領域における光学情報を扱うことが可能となる。光学
情報の再生方法としては、記録媒体表面に光を照射する
ことにより微小マークに局在する近視野光を微小開口と
の相互作用により散乱光に変換する（コレクションモー
ド）方法、あるいは微小開口より生成される近視野光を
記録媒体表面に照射し、情報が記録された微小な凹凸や
屈折率等の光学定数が変化した記録媒体表面との相互作
用により変換される散乱光を別途設けた受光素子で検出
する（イルミネーションモード）方法で可能である。記
録は、微小開口より生成される近視野光を記録媒体表面
に照射させ、メディア上の微小な領域の形状を変化させ
たり（ヒートモード記録）、微小な領域の屈折率あるい
は透過率を変化させる（フォトンモード記録）ことによ
り行う。これら、光の回折限界を超えた光学的微小開口
を有する近視野光ヘッドを用いることにより、従来の情
報記録再生装置を超える高密度化が達成される。
視野光ヘッドに形成した光の波長以下サイズの光学的開
口近傍に発生する近視野光を利用する。これにより、従
来の光学系において限界とされていた光の波長以下とな
る領域における光学情報を扱うことが可能となる。光学
情報の再生方法としては、記録媒体表面に光を照射する
ことにより微小マークに局在する近視野光を微小開口と
の相互作用により散乱光に変換する（コレクションモー
ド）方法、あるいは微小開口より生成される近視野光を
記録媒体表面に照射し、情報が記録された微小な凹凸や
屈折率等の光学定数が変化した記録媒体表面との相互作
用により変換される散乱光を別途設けた受光素子で検出
する（イルミネーションモード）方法で可能である。記
録は、微小開口より生成される近視野光を記録媒体表面
に照射させ、メディア上の微小な領域の形状を変化させ
たり（ヒートモード記録）、微小な領域の屈折率あるい
は透過率を変化させる（フォトンモード記録）ことによ
り行う。これら、光の回折限界を超えた光学的微小開口
を有する近視野光ヘッドを用いることにより、従来の情
報記録再生装置を超える高密度化が達成される。
【０００５】こうしたなか、一般に近視野光を利用した
記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置とほぼ同様で
あり、磁気ヘッドに代わり、近視野光ヘッドを用いる。
サスペンションアームの先端に取り付けた光学的微小開
口をもつ近視野光ヘッドをフライングヘッド技術により
一定の高さに浮上させ、ディスク上に存在する任意のデ
ータマークへアクセスする。高速に回転するディスクに
近視野光ヘッドを追従させるため、ディスクのうねりに
対応して姿勢を安定させるフレクシャー機能をもたせて
いる。
記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置とほぼ同様で
あり、磁気ヘッドに代わり、近視野光ヘッドを用いる。
サスペンションアームの先端に取り付けた光学的微小開
口をもつ近視野光ヘッドをフライングヘッド技術により
一定の高さに浮上させ、ディスク上に存在する任意のデ
ータマークへアクセスする。高速に回転するディスクに
近視野光ヘッドを追従させるため、ディスクのうねりに
対応して姿勢を安定させるフレクシャー機能をもたせて
いる。
【０００６】このような構成の近視野光ヘッドにおい
て、開口に光を供給する方法として、光ファイバや光導
波路を近視野光ヘッドに接続し、近視野光ヘッドに作成
された微小開口に光源であるレーザーからの光束を照射
する手段をとっていた。
て、開口に光を供給する方法として、光ファイバや光導
波路を近視野光ヘッドに接続し、近視野光ヘッドに作成
された微小開口に光源であるレーザーからの光束を照射
する手段をとっていた。
【０００７】このような情報記録再生装置においては、
光導波路端面から照射されたある広がり角度を持つ光束
をミラー等で反射させ、微小開口に光束を照射するた
め、微小開口近傍での光のエネルギー密度が低くなり、
微小開口近傍で発生する近視野光強度が低くなってしま
う。
光導波路端面から照射されたある広がり角度を持つ光束
をミラー等で反射させ、微小開口に光束を照射するた
め、微小開口近傍での光のエネルギー密度が低くなり、
微小開口近傍で発生する近視野光強度が低くなってしま
う。
【０００８】そこで、光導波路端面と微小開口の間にレ
ンズを設け、光導波路端面から照射された光束をレンズ
で微小開口近傍に集光させ、微小開口近傍で発生する近
視野光強度を強くし、光の利用効率を高くしている。高
ＮＡのレンズを用いることで集光スポットサイズを小さ
くし、より微小な領域に光エネルギーを集中させること
ができる。この集光点に微小開口を配置することによ
り、微小開口近傍に発生する近視野光強度を強くし、レ
ーザーからの光束を効率良く利用することが可能とな
る。
ンズを設け、光導波路端面から照射された光束をレンズ
で微小開口近傍に集光させ、微小開口近傍で発生する近
視野光強度を強くし、光の利用効率を高くしている。高
ＮＡのレンズを用いることで集光スポットサイズを小さ
くし、より微小な領域に光エネルギーを集中させること
ができる。この集光点に微小開口を配置することによ
り、微小開口近傍に発生する近視野光強度を強くし、レ
ーザーからの光束を効率良く利用することが可能とな
る。
【０００９】しかし、上記のような情報記録再生装置で
は、光導波路やミラー等部品点数が多くなり、調整箇所
も増える事から性能低下や調整時間などコストアップの
原因となる。
は、光導波路やミラー等部品点数が多くなり、調整箇所
も増える事から性能低下や調整時間などコストアップの
原因となる。
【００１０】そこで、特開２０００−２１５４９４にお
いて、大久保らは、可とう性を有する略棒状の光導波路
を用い、該光導波路の一端側にコア内を伝搬する光の少
なくとも一部をクラッドを透過する方向に反射する反射
面を設け、該反射面で反射された光が透過する部位を中
心とするクラッド表面に光の透過を遮断する遮光膜を形
成し、さらに反射面で反射された光が透過する部位に対
応する遮光膜の一部を削除して使用する光の波長よりも
小さな開口部を形成することにより、先端の下面より近
接場光を発生し得る片持ち梁状の光ピックアップを実現
し、極めてシンプルな構成の光情報記録再生装置を提供
している。
いて、大久保らは、可とう性を有する略棒状の光導波路
を用い、該光導波路の一端側にコア内を伝搬する光の少
なくとも一部をクラッドを透過する方向に反射する反射
面を設け、該反射面で反射された光が透過する部位を中
心とするクラッド表面に光の透過を遮断する遮光膜を形
成し、さらに反射面で反射された光が透過する部位に対
応する遮光膜の一部を削除して使用する光の波長よりも
小さな開口部を形成することにより、先端の下面より近
接場光を発生し得る片持ち梁状の光ピックアップを実現
し、極めてシンプルな構成の光情報記録再生装置を提供
している。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光導波
路とミラー、レンズ等を個別に用意し組み立てる情報記
録再生装置では、微小開口より十分強い近視野光を生成
し、超高密度な情報の記録再生・高ＳＮ比化を実現する
ことができるが、光源から微小開口を有する近視野光ヘ
ッドの微小開口まで効率良く光束を導くために、光導波
路（薄膜光導波路や光ファイバー等）とミラー、レンズ
が必要となり、部品点数が増加してしまう。部品点数の
増加は調整箇所を増やし、コストアップの要因となって
しまうという課題があった。さらに増えた部品は近視野
光ヘッドの質量を増大させるので、高速なトラッキング
が困難となり、高速な情報の再生記録が困難となるとい
う課題があった。
路とミラー、レンズ等を個別に用意し組み立てる情報記
録再生装置では、微小開口より十分強い近視野光を生成
し、超高密度な情報の記録再生・高ＳＮ比化を実現する
ことができるが、光源から微小開口を有する近視野光ヘ
ッドの微小開口まで効率良く光束を導くために、光導波
路（薄膜光導波路や光ファイバー等）とミラー、レンズ
が必要となり、部品点数が増加してしまう。部品点数の
増加は調整箇所を増やし、コストアップの要因となって
しまうという課題があった。さらに増えた部品は近視野
光ヘッドの質量を増大させるので、高速なトラッキング
が困難となり、高速な情報の再生記録が困難となるとい
う課題があった。
【００１２】また、特開２０００−２１５４９４の大久
保らの光ピックアップを用いた情報記録再生装置では、
光導波路のコア内を伝搬する光束を、クラッドを透過す
る方向に反射する反射面により微小開口に導いている
が、反射面が形成されたコアからクラッド側に反射され
た光束は広がり角をもち発散しながら微小開口に導かれ
るので、微小開口での光束のエネルギー密度が低下し、
微小開口近傍に十分強い近視野光を生成することができ
なくなってしまうという課題があった。そこで、微小開
口に入射される光束の高ＮＡ化をはかり微小開口での光
束のエネルギー密度を高くするために、微小開口と反射
面が形成されたコアとの間に微小なボールレンズを挿入
し、微小開口に導く光束のエネルギー密度を高くしよう
としている。
保らの光ピックアップを用いた情報記録再生装置では、
光導波路のコア内を伝搬する光束を、クラッドを透過す
る方向に反射する反射面により微小開口に導いている
が、反射面が形成されたコアからクラッド側に反射され
た光束は広がり角をもち発散しながら微小開口に導かれ
るので、微小開口での光束のエネルギー密度が低下し、
微小開口近傍に十分強い近視野光を生成することができ
なくなってしまうという課題があった。そこで、微小開
口に入射される光束の高ＮＡ化をはかり微小開口での光
束のエネルギー密度を高くするために、微小開口と反射
面が形成されたコアとの間に微小なボールレンズを挿入
し、微小開口に導く光束のエネルギー密度を高くしよう
としている。
【００１３】微小開口に入射される光束の高ＮＡ化をは
かるためには、レンズに入射される光束の径を大きく
し、焦点距離の短いレンズを用いることで実現できる。
レンズに入射される光束の径を大きくするには、コア端
面からレンズの距離を十分に長くとる必要がある。
かるためには、レンズに入射される光束の径を大きく
し、焦点距離の短いレンズを用いることで実現できる。
レンズに入射される光束の径を大きくするには、コア端
面からレンズの距離を十分に長くとる必要がある。
【００１４】しかし、可とう性を有する略棒状の光導波
路は通常１００μｍ程度以下の厚さであり、微小開口に
入射される光束のエネルギー密度を上げるために高ＮＡ
化することは困難である。光導波路を厚くし、反射面が
形成されたコアとボールレンズとの距離を長くすること
で微小開口に入射される光束の高ＮＡ化は可能である
が、そうすると光導波路の可とう性が損なわれ、且つ光
ピックアップが厚くなり重心位置が高くなるので、高速
なトラッキングが困難となるという課題があった。
路は通常１００μｍ程度以下の厚さであり、微小開口に
入射される光束のエネルギー密度を上げるために高ＮＡ
化することは困難である。光導波路を厚くし、反射面が
形成されたコアとボールレンズとの距離を長くすること
で微小開口に入射される光束の高ＮＡ化は可能である
が、そうすると光導波路の可とう性が損なわれ、且つ光
ピックアップが厚くなり重心位置が高くなるので、高速
なトラッキングが困難となるという課題があった。
【００１５】従って本発明は、光源からの光束を効率よ
く微小開口に導きつつも部品点数の増加を防ぎ、近視野
光ヘッドの質量を軽くし、微小開口近傍により強い近視
野光を生成し、高速トラッキングを行う超高密度で高速
な情報の記録再生および再生信号の高ＳＮ比化を実現す
る安価な情報記録再生装置を提供することを目的とす
る。
く微小開口に導きつつも部品点数の増加を防ぎ、近視野
光ヘッドの質量を軽くし、微小開口近傍により強い近視
野光を生成し、高速トラッキングを行う超高密度で高速
な情報の記録再生および再生信号の高ＳＮ比化を実現す
る安価な情報記録再生装置を提供することを目的とす
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】そこで、上記課題を解決
するために本発明に係る第１の情報記録再生装置は、光
源と、サスペンションと、前記サスペンションアームに
固定されたフレクシャーと、微小開口が形成された近視
野光ヘッドと、コア及びクラッドを備えた略棒状の光導
波路と、前記光導波路の一端面側に前記近視野光ヘッド
に光を照射するために形成された反射面と、受光部と、
記録媒体と、から構成されている近視野光を利用した光
情報記録再生装置において、前記近視野光ヘッドには微
小開口とは異なる面にレンズ機能が形成されており、前
記光導波路には前記光導波路の途中にコア端面が形成さ
れていることを特徴とする。
するために本発明に係る第１の情報記録再生装置は、光
源と、サスペンションと、前記サスペンションアームに
固定されたフレクシャーと、微小開口が形成された近視
野光ヘッドと、コア及びクラッドを備えた略棒状の光導
波路と、前記光導波路の一端面側に前記近視野光ヘッド
に光を照射するために形成された反射面と、受光部と、
記録媒体と、から構成されている近視野光を利用した光
情報記録再生装置において、前記近視野光ヘッドには微
小開口とは異なる面にレンズ機能が形成されており、前
記光導波路には前記光導波路の途中にコア端面が形成さ
れていることを特徴とする。
【００１７】従って、近視野光を用いることで超高密度
な情報記録・再生が可能になるだけでなく、近視野光ヘ
ッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集光でき
る。よって、微小開口近傍で生成される近視野光の強度
が強くなり、光の利用効率を飛躍的に上げることができ
る。そのため、高出力なレーザーを使う必要が無く、レ
ーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力化、装置
の小型化がはかれ、再生信号の高ＳＮ比化、高速記録再
生を実現する情報記録再生装置を提供することができ
る。
な情報記録・再生が可能になるだけでなく、近視野光ヘ
ッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集光でき
る。よって、微小開口近傍で生成される近視野光の強度
が強くなり、光の利用効率を飛躍的に上げることができ
る。そのため、高出力なレーザーを使う必要が無く、レ
ーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力化、装置
の小型化がはかれ、再生信号の高ＳＮ比化、高速記録再
生を実現する情報記録再生装置を提供することができ
る。
【００１８】さらに、コア端面から離れた位置にある反
射面と光導波路は一体で作成可能であるので、コア端面
と反射面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らす
ことができるの。よって、さらなる装置の低コスト化
と、微小開口近傍に生成される近視野光の強度の安定性
をはかる事ができる情報記録再生装置を提供することが
できる。
射面と光導波路は一体で作成可能であるので、コア端面
と反射面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らす
ことができるの。よって、さらなる装置の低コスト化
と、微小開口近傍に生成される近視野光の強度の安定性
をはかる事ができる情報記録再生装置を提供することが
できる。
【００１９】また、本発明に係る第２の情報記録再生装
置は、前記反射面が、前記光導波路の前記コアに対して
略４５度の角度を有する平面であることを特徴とする。
置は、前記反射面が、前記光導波路の前記コアに対して
略４５度の角度を有する平面であることを特徴とする。
【００２０】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、反射面が４５度の斜面であるので、
反射面で反射した光束の光軸は近視野光ヘッドに作成さ
れるレンズに垂直に入射するので、光束を微小開口に収
差なく集光することができる。よって、微小開口近傍に
生成される近視野光の強度が反射面の角度が４５度以外
に場合に比べ強くなり、光の利用効率がよく、さらなる
低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再
生がはかれる。
装置の効果に加え、反射面が４５度の斜面であるので、
反射面で反射した光束の光軸は近視野光ヘッドに作成さ
れるレンズに垂直に入射するので、光束を微小開口に収
差なく集光することができる。よって、微小開口近傍に
生成される近視野光の強度が反射面の角度が４５度以外
に場合に比べ強くなり、光の利用効率がよく、さらなる
低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再
生がはかれる。
【００２１】また、本発明に係る第３の情報記録再生装
置は前記コア端面にレンズ機能を有していることを特徴
とする。
置は前記コア端面にレンズ機能を有していることを特徴
とする。
【００２２】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、光導波路のコアの先端部の形状を凸
あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とすること
で、近視野光ヘッドに作成されたレンズと組み合わせる
ことにより、近視野光ヘッドの微小開口にエネルギー密
度の高い光束をより集光でき、微小開口近傍で生成され
る近視野光の強度をさらに強くすることができるので、
光の利用効率を飛躍的に上げることができる。よって、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生を実現できる。
装置の効果に加え、光導波路のコアの先端部の形状を凸
あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とすること
で、近視野光ヘッドに作成されたレンズと組み合わせる
ことにより、近視野光ヘッドの微小開口にエネルギー密
度の高い光束をより集光でき、微小開口近傍で生成され
る近視野光の強度をさらに強くすることができるので、
光の利用効率を飛躍的に上げることができる。よって、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生を実現できる。
【００２３】また、本発明に係る第４の情報記録再生装
置は、前記反射面は、前記コア端面から照射される光束
の広がり角が前記反射面で反射することにより大きくな
るような面であることを特徴とする。
置は、前記反射面は、前記コア端面から照射される光束
の広がり角が前記反射面で反射することにより大きくな
るような面であることを特徴とする。
【００２４】従って、本発明に係る第１から第３の情報
記録再生装置のいずれか１つの効果に加え、光導波路の
反射面が凹形状等のような反射面に入射された光束の広
がり角よりも反射後に光束の広がり角が大きくなるよう
な面とすることにより、近視野光ヘッドの微小開口にエ
ネルギー密度の高い光束をより集光できるようになる。
よって、微小開口近傍で生成される近視野光の強度をさ
らに強くすることができるので、光の利用効率をさらに
上げることができ、更なる低消費電力化、装置の小型
化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。
記録再生装置のいずれか１つの効果に加え、光導波路の
反射面が凹形状等のような反射面に入射された光束の広
がり角よりも反射後に光束の広がり角が大きくなるよう
な面とすることにより、近視野光ヘッドの微小開口にエ
ネルギー密度の高い光束をより集光できるようになる。
よって、微小開口近傍で生成される近視野光の強度をさ
らに強くすることができるので、光の利用効率をさらに
上げることができ、更なる低消費電力化、装置の小型
化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。
【００２５】また、本発明に係る第５の情報記録再生装
置は、前記光導波路が、前記フレクシャをも含んでいる
ことを特徴とする。
置は、前記光導波路が、前記フレクシャをも含んでいる
ことを特徴とする。
【００２６】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、光導波路にフレクシャ機能をも持た
せることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時間の
短縮かでき、低コスト化できる。
装置の効果に加え、光導波路にフレクシャ機能をも持た
せることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時間の
短縮かでき、低コスト化できる。
【００２７】また、本発明に係る第６の情報記録再生装
置は、前記ヘッド用レンズ機能が、フレネルレンズによ
り実現されることを特徴とする。
置は、前記ヘッド用レンズ機能が、フレネルレンズによ
り実現されることを特徴とする。
【００２８】従って、本発明に係る第１の情報記録再生
装置の効果に加え、近視野光ヘッドに作成するレンズと
してフレネルレンズを用いた場合には、レンズ径を大き
くしても薄型の近視野光ヘッドが作成可能であり、微小
開口に入射される光束のさらなる高ＮＡ化が可能であ
り、更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、
高速記録再生が可能となる。その上、フレネルレンズは
大量生産可能であり、低コスト化をはかれる。
装置の効果に加え、近視野光ヘッドに作成するレンズと
してフレネルレンズを用いた場合には、レンズ径を大き
くしても薄型の近視野光ヘッドが作成可能であり、微小
開口に入射される光束のさらなる高ＮＡ化が可能であ
り、更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、
高速記録再生が可能となる。その上、フレネルレンズは
大量生産可能であり、低コスト化をはかれる。
【００２９】また、本発明に係る第７の情報記録再生装
置は、前記光導波路が、反射面を持つ透明層を有する光
ファイバーであることを特徴とする。
置は、前記光導波路が、反射面を持つ透明層を有する光
ファイバーであることを特徴とする。
【００３０】従って、本発明に係る第１の光情報記録再
生装置の効果に加え、光導波路に反射面を持つ透明層を
有する光ファイバーを用いる事により、反射面を形成す
る際に用いる基板の大きさにより光導波路の長さが決ま
ることもなく、光波路の長さを光ファイバーの長さを変
える事ができ、レーザーを任意の場所に配置できる。
生装置の効果に加え、光導波路に反射面を持つ透明層を
有する光ファイバーを用いる事により、反射面を形成す
る際に用いる基板の大きさにより光導波路の長さが決ま
ることもなく、光波路の長さを光ファイバーの長さを変
える事ができ、レーザーを任意の場所に配置できる。
【００３１】さらに、一枚の基板から作成できる反射面
付の光導波路の個数を多くすることができ、さらなる低
コスト化を容易にする事ができる。
付の光導波路の個数を多くすることができ、さらなる低
コスト化を容易にする事ができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の情報記録再生装置
について、添付の図面を参照して詳細に説明する。 （実施の形態１）図１は、本実施の形態１の情報記録再
生装置の構成を説明した図である。
について、添付の図面を参照して詳細に説明する。 （実施の形態１）図１は、本実施の形態１の情報記録再
生装置の構成を説明した図である。
【００３３】本実施の形態に係る情報再生装置は、従来
の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光
を発生する微小開口（図示略）を有する近視野光ヘッド
１０４を記録媒体１０５の表面に数十ナノメートルまで
近接した状態で記録媒体１０５を高速に回転させ、近視
野光ヘッド１０４が記録媒体１０５と常に一定の相対配
置で浮上するために、フレクシャー１０８をサスペンシ
ョンアーム１０７ の先端部に形成している。サスペン
ションアーム１０７はボイスコイルモータ（図示略）に
よって記録媒体１０５の半径方向に移動可能である。こ
こで、近視野光ヘッド１０４は、記録媒体１０５に微小
開口が対面するように配置されている。
の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光
を発生する微小開口（図示略）を有する近視野光ヘッド
１０４を記録媒体１０５の表面に数十ナノメートルまで
近接した状態で記録媒体１０５を高速に回転させ、近視
野光ヘッド１０４が記録媒体１０５と常に一定の相対配
置で浮上するために、フレクシャー１０８をサスペンシ
ョンアーム１０７ の先端部に形成している。サスペン
ションアーム１０７はボイスコイルモータ（図示略）に
よって記録媒体１０５の半径方向に移動可能である。こ
こで、近視野光ヘッド１０４は、記録媒体１０５に微小
開口が対面するように配置されている。
【００３４】レーザー１０１からの光束を近視野光ヘッ
ド１０４に導く為に、レンズ１０２とサスペンションア
ーム１０７に固定されたコアとクラッドからなる光導波
路１０３を用いている。ここで、必要に応じて、レーザ
ー１０１は回路系１１０により強度変調などをかけるこ
ともできる。
ド１０４に導く為に、レンズ１０２とサスペンションア
ーム１０７に固定されたコアとクラッドからなる光導波
路１０３を用いている。ここで、必要に応じて、レーザ
ー１０１は回路系１１０により強度変調などをかけるこ
ともできる。
【００３５】また、記録媒体１０５に記録された情報を
読みだす為の受光ヘッド１０６がサスペンションアーム
１０９に取り付けられ、サスペンションアーム１０９は
サスペンションアーム１０７と同じボイスコイルモータ
（図示略）に取付けされている。
読みだす為の受光ヘッド１０６がサスペンションアーム
１０９に取り付けられ、サスペンションアーム１０９は
サスペンションアーム１０７と同じボイスコイルモータ
（図示略）に取付けされている。
【００３６】次に、本実施の形態１の近視野光ヘッドの
構成について説明する。
構成について説明する。
【００３７】図２は本実施の形態１に係る情報記録再生
装置の導波路と近視野光ヘッドについて説明した図であ
る。
装置の導波路と近視野光ヘッドについて説明した図であ
る。
【００３８】近視野光ヘッド１０４は、ヘッド用レンズ
機能を実現するために例えば透明なガラス基板上にマイ
クロレンズ２０５を形成し、さらに、その記録媒体面側
に常に一定の相対配置で浮上するためにエアーベアリン
グサーフェス２０４が形成されている。そして、マイク
ロレンズ２０５が形成された面以外は遮光膜（図示略）
で覆われている。近視野光ヘッド１０４の底面の遮光膜
には微小開口２０６が形成されている。マイクロレンズ
２０５は、光導波路１０３からの光束を微小開口２０６
に集光している。この近視野光ヘッド１０４の上部には
コア２０１とクラッド２０２からなる光導波路１０３が
固定されている。
機能を実現するために例えば透明なガラス基板上にマイ
クロレンズ２０５を形成し、さらに、その記録媒体面側
に常に一定の相対配置で浮上するためにエアーベアリン
グサーフェス２０４が形成されている。そして、マイク
ロレンズ２０５が形成された面以外は遮光膜（図示略）
で覆われている。近視野光ヘッド１０４の底面の遮光膜
には微小開口２０６が形成されている。マイクロレンズ
２０５は、光導波路１０３からの光束を微小開口２０６
に集光している。この近視野光ヘッド１０４の上部には
コア２０１とクラッド２０２からなる光導波路１０３が
固定されている。
【００３９】ここで、近視野光ヘッド１０４を作成する
ための基板として使用するレーザーの波長での光を透過
するガラス基板を用いたが、シリコン基板等を用い、マ
イクロレンズ２０５と光束が透過する部分だけ使用する
波長での光を透過する材料で作成してもよい。
ための基板として使用するレーザーの波長での光を透過
するガラス基板を用いたが、シリコン基板等を用い、マ
イクロレンズ２０５と光束が透過する部分だけ使用する
波長での光を透過する材料で作成してもよい。
【００４０】また、マイクロレンズ２０５は、通常の球
面あるいは非球面レンズ、屈折率分布形レンズ、フレネ
ルレンズなどを用いる事ができる。特にフレネルレンズ
を用いると、平面形のレンズが作成可能であり、径の大
きなレンズを作成しても、近視野光ヘッドの厚さを薄く
することが可能である。フレネルレンズは、フォトリソ
グラフィ技術を用いて大量生産可能である。
面あるいは非球面レンズ、屈折率分布形レンズ、フレネ
ルレンズなどを用いる事ができる。特にフレネルレンズ
を用いると、平面形のレンズが作成可能であり、径の大
きなレンズを作成しても、近視野光ヘッドの厚さを薄く
することが可能である。フレネルレンズは、フォトリソ
グラフィ技術を用いて大量生産可能である。
【００４１】次に、本実施の形態１で用いる光導波路に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００４２】図３は本実施の形態１に係る光導波路の形
状について説明した図である。図３（ａ）は、光導波路
の上面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＡＡ
‘の断面図を示している。
状について説明した図である。図３（ａ）は、光導波路
の上面図である。図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＡＡ
‘の断面図を示している。
【００４３】光導波路１０３は、コア２０１とクラッド
２０２から構成され、光導波路１０３の一端面側に近視
野光ヘッド１０４に光を照射するために形成された反射
面２０３が形成されている。ここで、反射面２０３には
必要に応じて反射膜が形成されている。
２０２から構成され、光導波路１０３の一端面側に近視
野光ヘッド１０４に光を照射するために形成された反射
面２０３が形成されている。ここで、反射面２０３には
必要に応じて反射膜が形成されている。
【００４４】光導波路１０３のコア２０１は、光導波路
１０３の途中で終わっており、反射面２０３の手前にコ
ア端面がある。コア端面より反射面２０３までの領域は
クラッド２０２と同じ材質で形成されている。コア２０
１を伝搬してきた光束はコア端面でクラッド２０２と同
じ屈折率の媒質中に出射され、ある広がり角を持った発
散光束として反射面２０３で反射され近視野光ヘッドに
照射される。
１０３の途中で終わっており、反射面２０３の手前にコ
ア端面がある。コア端面より反射面２０３までの領域は
クラッド２０２と同じ材質で形成されている。コア２０
１を伝搬してきた光束はコア端面でクラッド２０２と同
じ屈折率の媒質中に出射され、ある広がり角を持った発
散光束として反射面２０３で反射され近視野光ヘッドに
照射される。
【００４５】図２において、上記のような広がりを持っ
た発散光束は、近視野光ヘッド１０４に作成されたマイ
クロレンズ２０５により微小開口２０６に集光される。
光導波路１０３の途中でコア２０１を止めてあるので、
コア端面からマイクロレンズ２０５までの距離を長くす
る事ができ、マイクロレンズ２０５に照射される光束の
半径を大きくすることができる。その後、マイクロレン
ズ２０５で微小開口２０６に光束を集光させることで、
微小開口に入射される光束の高ＮＡ化がはかれる。高Ｎ
Ａ化することで、微小開口２０６に集光される光束のス
ポットサイズを小さくでき、微小開口によりエネルギー
密度の高い光束を照射することができる。よって、微小
開口２０６近傍に生成される近視野光の強度を強くする
ことができる。
た発散光束は、近視野光ヘッド１０４に作成されたマイ
クロレンズ２０５により微小開口２０６に集光される。
光導波路１０３の途中でコア２０１を止めてあるので、
コア端面からマイクロレンズ２０５までの距離を長くす
る事ができ、マイクロレンズ２０５に照射される光束の
半径を大きくすることができる。その後、マイクロレン
ズ２０５で微小開口２０６に光束を集光させることで、
微小開口に入射される光束の高ＮＡ化がはかれる。高Ｎ
Ａ化することで、微小開口２０６に集光される光束のス
ポットサイズを小さくでき、微小開口によりエネルギー
密度の高い光束を照射することができる。よって、微小
開口２０６近傍に生成される近視野光の強度を強くする
ことができる。
【００４６】たとえば、本実施の形態では、コア端面か
らマイクロレンズ２０５までの距離を１ｍｍ程度にする
ことができ、コア端面でコア２０１から出射される光速
の広がり角がＮＡ＝０．１とすると、マイクロレンズ２
０５で半径１００μｍ程度に光束は広げられる。近視野
光ヘッド１０４の厚さを４００μｍ、近視野光ヘッドを
作成するガラスの屈折率を１．７とすると、微小開口２
０６に入射される光束のＮＡは０．４以上となり、微小
開口２０６に光束が集光され、エネルギー密度が高くな
り、微小開口２０６近傍に生成される近視野光の強度が
強くなる。
らマイクロレンズ２０５までの距離を１ｍｍ程度にする
ことができ、コア端面でコア２０１から出射される光速
の広がり角がＮＡ＝０．１とすると、マイクロレンズ２
０５で半径１００μｍ程度に光束は広げられる。近視野
光ヘッド１０４の厚さを４００μｍ、近視野光ヘッドを
作成するガラスの屈折率を１．７とすると、微小開口２
０６に入射される光束のＮＡは０．４以上となり、微小
開口２０６に光束が集光され、エネルギー密度が高くな
り、微小開口２０６近傍に生成される近視野光の強度が
強くなる。
【００４７】また、マイクロレンズ２０５としてフレネ
ルレンズを用いた場合には、レンズ径を大きくしても薄
型の近視野光ヘッドが作成可能であり、レンズ表面と微
小開口の距離を短くすることで、微小開口に入射される
光束のさらなる高ＮＡ化が可能である。
ルレンズを用いた場合には、レンズ径を大きくしても薄
型の近視野光ヘッドが作成可能であり、レンズ表面と微
小開口の距離を短くすることで、微小開口に入射される
光束のさらなる高ＮＡ化が可能である。
【００４８】次に、図１と図２を用いて記録媒体１０５
に記録された情報の再生および情報の記録方法について
説明する。
に記録された情報の再生および情報の記録方法について
説明する。
【００４９】図１において、サスペンションアーム１０
７の先端に取り付けた微小開口をもつ近視野光ヘッド１
０４をフライングヘッド技術により一定の高さに浮上さ
せ、記録媒体１０５の上に存在する任意のデータマーク
へアクセスする。高速に回転する記録媒体１０５ に近
視野光ヘッド１０４を追従させるため、記録媒体１０５
のうねりに対応して姿勢を安定させるフレクチャ１０８
機能をもたせている。レーザー１０１ から出射された
光束は、レンズ１０２により光導波路１０３に入射さ
れ、近視野光ヘッド１０４に導かれる。
７の先端に取り付けた微小開口をもつ近視野光ヘッド１
０４をフライングヘッド技術により一定の高さに浮上さ
せ、記録媒体１０５の上に存在する任意のデータマーク
へアクセスする。高速に回転する記録媒体１０５ に近
視野光ヘッド１０４を追従させるため、記録媒体１０５
のうねりに対応して姿勢を安定させるフレクチャ１０８
機能をもたせている。レーザー１０１ から出射された
光束は、レンズ１０２により光導波路１０３に入射さ
れ、近視野光ヘッド１０４に導かれる。
【００５０】光導波路１０３のコア２０１は、光導波路
１０３の途中で終わっており、反射面２０３の手前にコ
ア端面がある。コア端面より反射面２０３までの領域は
クラッド２０２と同じ材質で形成されている。コア２０
１を伝搬してきた光束はコア端面でクラッド２０２と同
じ屈折率の媒質中に出射され、ある広がり角を持った光
束として反射面２０３で反射され近視野光ヘッドに照射
される。
１０３の途中で終わっており、反射面２０３の手前にコ
ア端面がある。コア端面より反射面２０３までの領域は
クラッド２０２と同じ材質で形成されている。コア２０
１を伝搬してきた光束はコア端面でクラッド２０２と同
じ屈折率の媒質中に出射され、ある広がり角を持った光
束として反射面２０３で反射され近視野光ヘッドに照射
される。
【００５１】その際、すでに説明したように図３におい
て、光導波路１０３の途中でコア２０１を止めコア端面
を形成してあるので、マイクロレンズ２０５までの距離
を長くする事ができ、マイクロレンズ２０５に照射され
る光束の半径を大きくすることができる。その後、マイ
クロレンズ２０５で微小開口２０６に光束を集光させる
ことで、微小開口にエネルギー密度の高い光束を照射す
ることができる。よって、微小開口２０６近傍に生成さ
れる近視野光の強度を強くすることができる。
て、光導波路１０３の途中でコア２０１を止めコア端面
を形成してあるので、マイクロレンズ２０５までの距離
を長くする事ができ、マイクロレンズ２０５に照射され
る光束の半径を大きくすることができる。その後、マイ
クロレンズ２０５で微小開口２０６に光束を集光させる
ことで、微小開口にエネルギー密度の高い光束を照射す
ることができる。よって、微小開口２０６近傍に生成さ
れる近視野光の強度を強くすることができる。
【００５２】この近視野光と記録媒体１０５との相互作
用の結果発生した散乱光は、サスペンションアーム１０
９に固定された受光ヘッド１０６によって受光されて電
気信号に変換され、回路系１１０に伝送される。これを
必要に応じて増幅し、情報の再生信号とする。
用の結果発生した散乱光は、サスペンションアーム１０
９に固定された受光ヘッド１０６によって受光されて電
気信号に変換され、回路系１１０に伝送される。これを
必要に応じて増幅し、情報の再生信号とする。
【００５３】また、記録媒体１０５への情報の記録は、
記録媒体１０５と微小開口を近接させながら記録媒体の
所望の位置に微小開口を有する近視野光ヘッド１０４を
移動させ、微小開口から近視野光を記録媒体１０５に照
射し書き込み動作を行うことで実現される。
記録媒体１０５と微小開口を近接させながら記録媒体の
所望の位置に微小開口を有する近視野光ヘッド１０４を
移動させ、微小開口から近視野光を記録媒体１０５に照
射し書き込み動作を行うことで実現される。
【００５４】本実施の形態においては、近視野光を発生
させる近視野光ヘッド１０４と受光ヘッド１０６をそれ
ぞれサスペンションアームにとりつけているが、近視野
光ヘッド１０４と受光ヘッド１０６を一体化し、1 つの
サスペンションアームで実施することも可能である。
させる近視野光ヘッド１０４と受光ヘッド１０６をそれ
ぞれサスペンションアームにとりつけているが、近視野
光ヘッド１０４と受光ヘッド１０６を一体化し、1 つの
サスペンションアームで実施することも可能である。
【００５５】記録媒体からの情報の再生や記録に近視野
光による相互作用を利用していることから、光の回折限
界を超える記録密度での記録や再生が実現される。微小
開口から発生する近視野光は、微小開口からの距離に強
く依存して減衰するが、本実施の形態におけるフレクシ
ャー構造によって近視野光ヘッドが記録媒体の動きに追
従するために、常に安定した相互作用が起き、情報の記
録・再生中常に安定した信号出力が得られる。
光による相互作用を利用していることから、光の回折限
界を超える記録密度での記録や再生が実現される。微小
開口から発生する近視野光は、微小開口からの距離に強
く依存して減衰するが、本実施の形態におけるフレクシ
ャー構造によって近視野光ヘッドが記録媒体の動きに追
従するために、常に安定した相互作用が起き、情報の記
録・再生中常に安定した信号出力が得られる。
【００５６】また、本実施の形態は、記録媒体に記録さ
れた情報を透過で再生しているが、記録媒体に記録され
た情報を通常のＣＤやＤＶＤ等のように反射で情報を再
生する場合にも適応可能である。その場合には、微小開
口近傍に受光素子を作成した近視野光ヘッドを用いたり
することで実現可能である。
れた情報を透過で再生しているが、記録媒体に記録され
た情報を通常のＣＤやＤＶＤ等のように反射で情報を再
生する場合にも適応可能である。その場合には、微小開
口近傍に受光素子を作成した近視野光ヘッドを用いたり
することで実現可能である。
【００５７】次に、本実施の形態で用いた光導波路１０
３の作成方法について説明する。
３の作成方法について説明する。
【００５８】図４は本実施の形態１に係る光導波路の作
成方法について説明した図である。
成方法について説明した図である。
【００５９】まずステップＳ４０１では、基板にはシリ
コン基板４０１を使用し、このシリコン基板４０１の上
にクラッドとなる低屈折率層４０２として酸化シリコン
や窒化シリコン等の石英系材料、ポリイミドやポリメタ
クリル酸といった高分子等の誘電体材料を堆積させる。
誘電体材料である酸化シリコンの場合、スパッタリング
法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、真空蒸着法に
よって容易に形成できる。また、ポリイミドやポリメタ
クリル酸等のプラスティック材料は、液状プラスティッ
クを塗布して硬化積層させればよい。ここで、基板とし
てはシリコン基板４０１以外にガラス基板などを用いて
も良いが、基板の平坦性や入手の容易さ、コスト等を考
え、半導体分野で一般に広く流通しているシリコン基板
を用いた。
コン基板４０１を使用し、このシリコン基板４０１の上
にクラッドとなる低屈折率層４０２として酸化シリコン
や窒化シリコン等の石英系材料、ポリイミドやポリメタ
クリル酸といった高分子等の誘電体材料を堆積させる。
誘電体材料である酸化シリコンの場合、スパッタリング
法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、真空蒸着法に
よって容易に形成できる。また、ポリイミドやポリメタ
クリル酸等のプラスティック材料は、液状プラスティッ
クを塗布して硬化積層させればよい。ここで、基板とし
てはシリコン基板４０１以外にガラス基板などを用いて
も良いが、基板の平坦性や入手の容易さ、コスト等を考
え、半導体分野で一般に広く流通しているシリコン基板
を用いた。
【００６０】次にステップＳ４０２で、ステップＳ４０
１で作成された低屈折率層４０２の上に低屈折率層４０
２よりも屈折率の高いコアとなる高屈折率層４０３を低
屈折率層４０２の形成と同様の方法で形成する。酸化シ
リコン等の石英系材料を用いた場合には、屈折率を大き
くするには、成膜時にゲルマニウムをドープすればよ
い。さらに高屈折率層４０３の上に、レジスト膜４０４
をスピンコート等の方法により形成する。
１で作成された低屈折率層４０２の上に低屈折率層４０
２よりも屈折率の高いコアとなる高屈折率層４０３を低
屈折率層４０２の形成と同様の方法で形成する。酸化シ
リコン等の石英系材料を用いた場合には、屈折率を大き
くするには、成膜時にゲルマニウムをドープすればよ
い。さらに高屈折率層４０３の上に、レジスト膜４０４
をスピンコート等の方法により形成する。
【００６１】次にステップＳ４０３で、通常の半導体製
造工程で用いられるフォトリソグラフィ技術を使用し
て、コア形状を形成するためのマスク材としてレジスト
膜４０４をパターニングしてコア形状レジスト４０５を
形成する。
造工程で用いられるフォトリソグラフィ技術を使用し
て、コア形状を形成するためのマスク材としてレジスト
膜４０４をパターニングしてコア形状レジスト４０５を
形成する。
【００６２】次にステップＳ４０４で、コアを形成する
ためコア形状レジスト４０５を用いて高屈折率層４０３
をエッチングし、その後マスク材であるコア形状レジス
ト４０５を除去することにより、コア２０１をパターニ
ングする。
ためコア形状レジスト４０５を用いて高屈折率層４０３
をエッチングし、その後マスク材であるコア形状レジス
ト４０５を除去することにより、コア２０１をパターニ
ングする。
【００６３】次にステップＳ４０５で、パターニングさ
れたコア２０１を覆うように低屈折率層４０６を形成す
る。このようにして、光導波路の途中でコア端面を持つ
光導波路が形成される。
れたコア２０１を覆うように低屈折率層４０６を形成す
る。このようにして、光導波路の途中でコア端面を持つ
光導波路が形成される。
【００６４】次にステップＳ４０６で、光導波路をシリ
コン基板４０１を光導波路の端面が４５度の角度になる
ようにダイシングを行い、反射面を形成し、コア２０１
とクラッド２０２からなる光導波路１０３が形成され
る。
コン基板４０１を光導波路の端面が４５度の角度になる
ようにダイシングを行い、反射面を形成し、コア２０１
とクラッド２０２からなる光導波路１０３が形成され
る。
【００６５】最後にステップＳ４０７で、シリコン基板
４０１を除去し、クラッド２０２の端面が４５度の角度
を持ち、コア２０１が途中で終わっている光導波路１０
３を作成する事ができる。必要に応じて４５度の反射面
には反射膜を成膜する。
４０１を除去し、クラッド２０２の端面が４５度の角度
を持ち、コア２０１が途中で終わっている光導波路１０
３を作成する事ができる。必要に応じて４５度の反射面
には反射膜を成膜する。
【００６６】ここで、４５度の反射面を形成するのにダ
イシングを行ったが、この方法以外にもクラッド２０２
をフォトリソグラフィ技術を用いて、等方エッチングす
ることでも作成可能である。
イシングを行ったが、この方法以外にもクラッド２０２
をフォトリソグラフィ技術を用いて、等方エッチングす
ることでも作成可能である。
【００６７】また、反射面の角度は４５度であることが
望ましいが、必ずしも４５度である必要はない。しか
し、反射面が４５度の場合には、反射面で反射した光束
の光軸は近視野光ヘッドに作成されるマイクロレンズに
垂直に入射するので、微小開口に収差なく集光すること
ができ、微小開口近傍に生成される近視野光の強度が反
射面の角度が４５度以外に場合に比べ強くなる。
望ましいが、必ずしも４５度である必要はない。しか
し、反射面が４５度の場合には、反射面で反射した光束
の光軸は近視野光ヘッドに作成されるマイクロレンズに
垂直に入射するので、微小開口に収差なく集光すること
ができ、微小開口近傍に生成される近視野光の強度が反
射面の角度が４５度以外に場合に比べ強くなる。
【００６８】従って以上説明したように、本実施の形態
に係る情報記録再生装置において、近視野光を用いるこ
とで超高密度な情報記録・再生が可能になるだけでな
く、コアとクラッドからなる光導波路とコア端面から離
れた位置にある反射面と、近視野光ヘッドに作成された
マイクロレンズとを組み合わせることにより、近視野光
ヘッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集光で
き、微小開口近傍で生成される近視野光の強度を強くす
ることができ、光の利用効率が飛躍的に上げることがで
きる。よって高出力なレーザーを使う必要が無くなり、
レーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力化、装
置の小型化が可能となる。
に係る情報記録再生装置において、近視野光を用いるこ
とで超高密度な情報記録・再生が可能になるだけでな
く、コアとクラッドからなる光導波路とコア端面から離
れた位置にある反射面と、近視野光ヘッドに作成された
マイクロレンズとを組み合わせることにより、近視野光
ヘッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集光で
き、微小開口近傍で生成される近視野光の強度を強くす
ることができ、光の利用効率が飛躍的に上げることがで
きる。よって高出力なレーザーを使う必要が無くなり、
レーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力化、装
置の小型化が可能となる。
【００６９】さらに、受光ヘッドに入射される記録媒体
との相互作用の結果発生する散乱光の強度を強くする事
ができるので、再生信号の高ＳＮ比化、高速再生が可能
となる。
との相互作用の結果発生する散乱光の強度を強くする事
ができるので、再生信号の高ＳＮ比化、高速再生が可能
となる。
【００７０】その上、コアとクラッドからなる光導波路
とコア端面から離れた位置にある反射面は、光導波路の
コアを途中で止め、反射面の手前にコア端面がある光導
波路として一体で作成可能であるので、コア端面と反射
面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らすことが
できる。よって、さらなる装置の低コスト化、微小開口
近傍に生成される近視野光の強度の安定化をはかる事が
でき、記録媒体への高速な情報の記録が可能な情報記録
再生装置を提供することができる。
とコア端面から離れた位置にある反射面は、光導波路の
コアを途中で止め、反射面の手前にコア端面がある光導
波路として一体で作成可能であるので、コア端面と反射
面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らすことが
できる。よって、さらなる装置の低コスト化、微小開口
近傍に生成される近視野光の強度の安定化をはかる事が
でき、記録媒体への高速な情報の記録が可能な情報記録
再生装置を提供することができる。
【００７１】また、反射面が４５度の斜面の場合には、
反射面で反射した光束の光軸が近視野光ヘッドに作成さ
れるマイクロレンズに垂直に入射するので、微小開口に
微小開口に収差なく集光することができる。よって、微
小開口近傍に生成される近視野光の強度が反射面の角度
が４５度以外に場合に比べ強くなり、光の利用効率がよ
く、さらなる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比
化、高速記録再生が可能となる。
反射面で反射した光束の光軸が近視野光ヘッドに作成さ
れるマイクロレンズに垂直に入射するので、微小開口に
微小開口に収差なく集光することができる。よって、微
小開口近傍に生成される近視野光の強度が反射面の角度
が４５度以外に場合に比べ強くなり、光の利用効率がよ
く、さらなる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比
化、高速記録再生が可能となる。
【００７２】さらに、近視野光ヘッドのヘッド用レンズ
機能をマイクロレンズで実現する場合には、レンズ径を
大きくしても薄型の近視野光ヘッドが作成可能であり、
レンズ表面と微小開口の距離を短くすることで、微小開
口に入射される光束のさらなる高ＮＡ化が可能であり、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生が可能となる。その上、フレネルレンズは大量
生産可能であり、低コスト化をはかれる。
機能をマイクロレンズで実現する場合には、レンズ径を
大きくしても薄型の近視野光ヘッドが作成可能であり、
レンズ表面と微小開口の距離を短くすることで、微小開
口に入射される光束のさらなる高ＮＡ化が可能であり、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生が可能となる。その上、フレネルレンズは大量
生産可能であり、低コスト化をはかれる。
【００７３】さらに、光導波路にフレクシャ機能をも持
たせることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時間
の短縮かできる。 （実施の形態２）図５に本発明の実施の形態２に係る情
報再生装置に用いる他の光導波路の作成方法について説
明する図を示す。本実施の形態は、実施の形態１におけ
る光導波路に置き換えて使用するものであるので、その
他の構成は実施の形態１と同じであるので、説明を一部
省略あるいは簡単にする。
たせることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時間
の短縮かできる。 （実施の形態２）図５に本発明の実施の形態２に係る情
報再生装置に用いる他の光導波路の作成方法について説
明する図を示す。本実施の形態は、実施の形態１におけ
る光導波路に置き換えて使用するものであるので、その
他の構成は実施の形態１と同じであるので、説明を一部
省略あるいは簡単にする。
【００７４】図５において、まずステップＳ５０１で
は、基板にはシリコン基板５０１を用意する。基板とし
てはシリコン基板５０１以外のガラス基板などでも良い
が、基板の平坦性や入手の容易さ、コスト等を考え、半
導体分野で一般に広く流通しているシリコン基板を用い
た。
は、基板にはシリコン基板５０１を用意する。基板とし
てはシリコン基板５０１以外のガラス基板などでも良い
が、基板の平坦性や入手の容易さ、コスト等を考え、半
導体分野で一般に広く流通しているシリコン基板を用い
た。
【００７５】次に、ステップＳ５０２では、シリコン基
板５０１に光ファイバー５０２を固定する。
板５０１に光ファイバー５０２を固定する。
【００７６】次に、ステップＳ５０３では、シリコン基
板５０１に固定された光ファイバー５０２に光ファイバ
ー５０２の太さ程度の厚さまで透明層５０３を堆積させ
る。堆積させる材料としては、実施の形態１の図４で用
いた酸化シリコンや窒化シリコン等の石英系材料、ポリ
イミドやポリメタクリル酸といった高分子等の誘電体材
料を用いることができる。この透明層５０３の屈折率
は、光ファイバ端面での反射を少なくするために、光導
波路５０２のコアの屈折率に近い値にすることが望まし
い。
板５０１に固定された光ファイバー５０２に光ファイバ
ー５０２の太さ程度の厚さまで透明層５０３を堆積させ
る。堆積させる材料としては、実施の形態１の図４で用
いた酸化シリコンや窒化シリコン等の石英系材料、ポリ
イミドやポリメタクリル酸といった高分子等の誘電体材
料を用いることができる。この透明層５０３の屈折率
は、光ファイバ端面での反射を少なくするために、光導
波路５０２のコアの屈折率に近い値にすることが望まし
い。
【００７７】次にステップＳ５０４で、シリコン基板５
０１を透明層５０３が光ファイバー５０２に対して４５
度の角度になるようにダイシングを行い反射面５０４を
形成する。
０１を透明層５０３が光ファイバー５０２に対して４５
度の角度になるようにダイシングを行い反射面５０４を
形成する。
【００７８】最後にステップＳ５０５で、シリコン基板
５０１を除去し、光ファイバーに対して反射面５０４が
４５度の角度を持ち、光ファイバー５０２のコアが途中
で止まっている反射面をもつ光導波路を作成する事がで
きる。必要に応じて４５度の反射面には反射膜を成膜す
る。
５０１を除去し、光ファイバーに対して反射面５０４が
４５度の角度を持ち、光ファイバー５０２のコアが途中
で止まっている反射面をもつ光導波路を作成する事がで
きる。必要に応じて４５度の反射面には反射膜を成膜す
る。
【００７９】ここで、４５度の反射面を形成するのにダ
イシングを行ったが、この方法以外にも透明層５０３を
フォトリソグラフィ技術を用いて、等方エッチングする
ことでも作成可能である。
イシングを行ったが、この方法以外にも透明層５０３を
フォトリソグラフィ技術を用いて、等方エッチングする
ことでも作成可能である。
【００８０】他の部分の構成や、情報の記録再生方法に
ついては、実施の形態１の説明と全く同じであるので説
明を省略する。
ついては、実施の形態１の説明と全く同じであるので説
明を省略する。
【００８１】以上説明したように、本実施の形態に係る
情報記録再生装置において、実施の形態１の効果に加
え、光導波路に４５度の反射面を持つ透明層を有する光
ファイバーを用いる事により、図４に示した実施の形態
１で用いた光導波路の作成方法のように基板の大きさに
より光導波路の長さが決まることもなく、光波路の長さ
を光ファイバーの長さを変える事ができ、光源であるレ
ーザーを任意の場所に配置できる。
情報記録再生装置において、実施の形態１の効果に加
え、光導波路に４５度の反射面を持つ透明層を有する光
ファイバーを用いる事により、図４に示した実施の形態
１で用いた光導波路の作成方法のように基板の大きさに
より光導波路の長さが決まることもなく、光波路の長さ
を光ファイバーの長さを変える事ができ、光源であるレ
ーザーを任意の場所に配置できる。
【００８２】さらに、実施の形態１では、光導波路を基
板サイズに入る程度の長さにすると、１枚の基板から同
時に作成できる個数が少なくなってしまうが、本実施の
形態では、一枚の基板から作成できる反射面付の光導波
路の個数が多くすることができ、さらなる低コスト化を
容易にする事ができる。 （実施の形態３）つぎに本発明の実施の形態３に係る情
報記録再生装置について説明する。本実施の形態は、実
施の形態１における光導波路のコア端面の形状を変えた
場合の実施の形態である。よって、実施の形態１と同じ
部分については、説明を一部省略あるいは簡単にする。
板サイズに入る程度の長さにすると、１枚の基板から同
時に作成できる個数が少なくなってしまうが、本実施の
形態では、一枚の基板から作成できる反射面付の光導波
路の個数が多くすることができ、さらなる低コスト化を
容易にする事ができる。 （実施の形態３）つぎに本発明の実施の形態３に係る情
報記録再生装置について説明する。本実施の形態は、実
施の形態１における光導波路のコア端面の形状を変えた
場合の実施の形態である。よって、実施の形態１と同じ
部分については、説明を一部省略あるいは簡単にする。
【００８３】図６は、実施の形態３に係る情報記録再生
装置において、光導波路の形状（コア部分）を示した図
である。
装置において、光導波路の形状（コア部分）を示した図
である。
【００８４】実施の形態１では、光導波路のコア端面の
形状は平面であったが、図６の実施の形態では、コア２
０１の端面の形状をレンズ機能を有する凹形状とした凹
形状先端部６０１としている。コアの端面を凹形状先端
部６０１とすることで、コア端面が平面の場合に比べ、
コア２０１から出射される光束の広がり角度はより大き
くなり、近視野光ヘッドに作成されたマイクロレンズに
入射される光束の径がさらに大きくなる。
形状は平面であったが、図６の実施の形態では、コア２
０１の端面の形状をレンズ機能を有する凹形状とした凹
形状先端部６０１としている。コアの端面を凹形状先端
部６０１とすることで、コア端面が平面の場合に比べ、
コア２０１から出射される光束の広がり角度はより大き
くなり、近視野光ヘッドに作成されたマイクロレンズに
入射される光束の径がさらに大きくなる。
【００８５】また、図７は、実施の形態３に係る情報記
録再生装置において、他の光導波路の形状（コア部）を
示した図である。
録再生装置において、他の光導波路の形状（コア部）を
示した図である。
【００８６】この実施の形態では、コア２０１の端面の
形状をレンズ機能を有する凸形状とした凸形状先端部７
０１としている。コアの端面を凸形状先端部７０１とす
ることで、コア２０１から出射された光束は一度集光さ
れた後、発散しながらマイクロレンズに入射する。コア
端面の形状が平面の場合に比べ、コア端面からマイクロ
レンズまでの距離が同じ場合には、マイクロレンズに入
射される光束の径を大きくする事ができる。
形状をレンズ機能を有する凸形状とした凸形状先端部７
０１としている。コアの端面を凸形状先端部７０１とす
ることで、コア２０１から出射された光束は一度集光さ
れた後、発散しながらマイクロレンズに入射する。コア
端面の形状が平面の場合に比べ、コア端面からマイクロ
レンズまでの距離が同じ場合には、マイクロレンズに入
射される光束の径を大きくする事ができる。
【００８７】情報記録再生装置に用いる光導波路のコア
端面の形状を図６や図７のようにすることにより、近視
野光ヘッドに作成されたマイクロレンズに入射される光
束の径が、コア端面が平面の場合に比べさらに大きくな
る。すると、マイクロレンズにより微小開口に入射され
る光束のＮＡはさらに大きくなり、微小開口での光束の
スポットサイズを更に小さくすることができる。よっ
て、微小開口に集光されるエネルギー密度がさらに大き
くなり、微小開口近傍に生成される近視野光の強度をさ
らに強くすることができる。
端面の形状を図６や図７のようにすることにより、近視
野光ヘッドに作成されたマイクロレンズに入射される光
束の径が、コア端面が平面の場合に比べさらに大きくな
る。すると、マイクロレンズにより微小開口に入射され
る光束のＮＡはさらに大きくなり、微小開口での光束の
スポットサイズを更に小さくすることができる。よっ
て、微小開口に集光されるエネルギー密度がさらに大き
くなり、微小開口近傍に生成される近視野光の強度をさ
らに強くすることができる。
【００８８】ここで、コア端面にレンズ機能を有する凸
あるいは凹形状先端部を用いたが、このような形状以外
にも、屈折率分布レンズ等のレンズ機能を有するものを
コア端面に形成しても同様の効果を得られる。
あるいは凹形状先端部を用いたが、このような形状以外
にも、屈折率分布レンズ等のレンズ機能を有するものを
コア端面に形成しても同様の効果を得られる。
【００８９】他の部分の構成や情報の記録再生について
は実施の形態１と全く同じであるので説明を省略する。
は実施の形態１と全く同じであるので説明を省略する。
【００９０】従って以上説明したように、本実施の形態
に係る情報記録再生装置は、実施の形態１に係る情報記
録再生装置の効果に加え、光導波路のコア先端部の形状
を凸あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とする
ことで、近視野光ヘッドに作成されたマイクロレンズと
組み合わせることにより、近視野光ヘッドの微小開口に
エネルギー密度の高い光束を集光でき、微小開口近傍で
生成される近視野光の強度をさらに強くすることができ
る。よって、光の利用効率が飛躍的に上げることができ
るので、更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比
化、高速記録再生が可能となる。 （実施の形態４）つぎに本発明の実施の形態４に係る情
報記録再生装置について説明する。本実施の形態は、実
施の形態１における光導波路の反射面の形状を変えた場
合の実施の形態である。よって、実施の形態１と同じ部
分については、説明を一部省略あるいは簡単にする。
に係る情報記録再生装置は、実施の形態１に係る情報記
録再生装置の効果に加え、光導波路のコア先端部の形状
を凸あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とする
ことで、近視野光ヘッドに作成されたマイクロレンズと
組み合わせることにより、近視野光ヘッドの微小開口に
エネルギー密度の高い光束を集光でき、微小開口近傍で
生成される近視野光の強度をさらに強くすることができ
る。よって、光の利用効率が飛躍的に上げることができ
るので、更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比
化、高速記録再生が可能となる。 （実施の形態４）つぎに本発明の実施の形態４に係る情
報記録再生装置について説明する。本実施の形態は、実
施の形態１における光導波路の反射面の形状を変えた場
合の実施の形態である。よって、実施の形態１と同じ部
分については、説明を一部省略あるいは簡単にする。
【００９１】図８は、実施の形態４に係る情報記録再生
装置において、光導波路の断面図である。光導波路の反
射面がコア端面から出射される光束の広がり角が反射面
で反射することにより大きくなるような面として凹形状
である凹形状反射面８０１である以外は実施の形態１の
図３の光導波路と同じである。
装置において、光導波路の断面図である。光導波路の反
射面がコア端面から出射される光束の広がり角が反射面
で反射することにより大きくなるような面として凹形状
である凹形状反射面８０１である以外は実施の形態１の
図３の光導波路と同じである。
【００９２】光導波路の反射面である凹形状反射面８０
１は、コア２０１の端面から出射された光束を反射する
ことで、反射した光束の広がり角度をさらに大きくする
ことができる。よって、近視野光ヘッドに作成されたマ
イクロレンズに入射さる光束の径を実施の形態１の比べ
さらに大きくすることができる。すると、マイクロレン
ズにより微小開口に入射される光束のＮＡはさらに大き
くなり、微小開口での光束のスポットサイズを更に小さ
くすることができる。よって、微小開口に集光されるエ
ネルギー密度がさらに大きくなり、微小開口近傍に生成
される近視野光の強度をさらに強くすることができる。
１は、コア２０１の端面から出射された光束を反射する
ことで、反射した光束の広がり角度をさらに大きくする
ことができる。よって、近視野光ヘッドに作成されたマ
イクロレンズに入射さる光束の径を実施の形態１の比べ
さらに大きくすることができる。すると、マイクロレン
ズにより微小開口に入射される光束のＮＡはさらに大き
くなり、微小開口での光束のスポットサイズを更に小さ
くすることができる。よって、微小開口に集光されるエ
ネルギー密度がさらに大きくなり、微小開口近傍に生成
される近視野光の強度をさらに強くすることができる。
【００９３】このような反射面の形状は、ブレード形状
を反射面の形状と同じにすることで、ダイシングを行う
ことで作成できる。また、エッチングによってもこのよ
うな反射面の形状を作成することは可能である。
を反射面の形状と同じにすることで、ダイシングを行う
ことで作成できる。また、エッチングによってもこのよ
うな反射面の形状を作成することは可能である。
【００９４】また、凹形状反射面８０１は、実施の形態
２のような光ファイバーを用いた場合や、実施の形態３
のようなコア端面が平面でない場合にも適用することが
できる。
２のような光ファイバーを用いた場合や、実施の形態３
のようなコア端面が平面でない場合にも適用することが
できる。
【００９５】さらに、本実施の形態では、反射面の形状
を凹形状反射面としたが、このような形状以外にも、反
射面に入射された光束の広がり角度を広げるような構造
である反射形の回折格子等を形成しても同様の効果が得
られる。
を凹形状反射面としたが、このような形状以外にも、反
射面に入射された光束の広がり角度を広げるような構造
である反射形の回折格子等を形成しても同様の効果が得
られる。
【００９６】他の部分の構成や情報の記録再生について
は実施の形態１と全く同じであるので説明を省略する。
は実施の形態１と全く同じであるので説明を省略する。
【００９７】従って以上説明したように、本実施の形態
に係る情報記録再生装置は、実施の形態１から実施の形
態３に係る情報記録再生装置の効果に加え、光導波路の
反射面をコア端面から出射される光束の広がり角が反射
面で反射することにより大きくなるような面とすること
により、近視野光ヘッドの微小開口にエネルギー密度の
高い光束を集光でき、微小開口近傍で生成される近視野
光の強度をさらに強くすることができる。よって、光の
利用効率をさらに上げることができ、更なる低消費電力
化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能と
なる。
に係る情報記録再生装置は、実施の形態１から実施の形
態３に係る情報記録再生装置の効果に加え、光導波路の
反射面をコア端面から出射される光束の広がり角が反射
面で反射することにより大きくなるような面とすること
により、近視野光ヘッドの微小開口にエネルギー密度の
高い光束を集光でき、微小開口近傍で生成される近視野
光の強度をさらに強くすることができる。よって、光の
利用効率をさらに上げることができ、更なる低消費電力
化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能と
なる。
【００９８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る第１の
情報記録再生装置によれば、近視野光を用いることで超
高密度な情報記録・再生が可能になるだけでなく、近視
野光ヘッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集
光できる。よって、微小開口近傍で生成される近視野光
の強度が強くなり、光の利用効率を飛躍的に上げること
ができる。そのため、高出力なレーザーを使う必要が無
く、レーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力
化、装置の小型化がはかれ、再生信号の高ＳＮ比化、高
速記録再生を実現する情報記録再生装置を提供すること
ができる。
情報記録再生装置によれば、近視野光を用いることで超
高密度な情報記録・再生が可能になるだけでなく、近視
野光ヘッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束を集
光できる。よって、微小開口近傍で生成される近視野光
の強度が強くなり、光の利用効率を飛躍的に上げること
ができる。そのため、高出力なレーザーを使う必要が無
く、レーザーでの発熱を抑える事ができ、低消費電力
化、装置の小型化がはかれ、再生信号の高ＳＮ比化、高
速記録再生を実現する情報記録再生装置を提供すること
ができる。
【００９９】さらに、コア端面から離れた位置にある反
射面と光導波路は一体で作成可能であるので、コア端面
と反射面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らす
ことができる。よって、さらなる装置の低コスト化、微
小開口近傍に生成される近視野光の強度の安定性をはか
る事ができる情報記録再生装置を提供することができ
る。
射面と光導波路は一体で作成可能であるので、コア端面
と反射面との位置合わせが必要なく、部品点数を減らす
ことができる。よって、さらなる装置の低コスト化、微
小開口近傍に生成される近視野光の強度の安定性をはか
る事ができる情報記録再生装置を提供することができ
る。
【０１００】以上説明したように本発明に係る第２の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、反射面が４５度の斜面であるの
で、反射面で反射した光束の光軸は近視野光ヘッドに作
成されるレンズに垂直に入射するので、微小開口に収差
なく集光することができる。よって、微小開口近傍に生
成される近視野光の強度が反射面の角度が４５度以外に
場合に比べ強くなり、光の利用効率がよく、さらなる低
消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生
がはかれる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、反射面が４５度の斜面であるの
で、反射面で反射した光束の光軸は近視野光ヘッドに作
成されるレンズに垂直に入射するので、微小開口に収差
なく集光することができる。よって、微小開口近傍に生
成される近視野光の強度が反射面の角度が４５度以外に
場合に比べ強くなり、光の利用効率がよく、さらなる低
消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生
がはかれる。
【０１０１】以上説明したように本発明に係る第３の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路のコアの先端部の形状
を凸あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とする
ことで、近視野光ヘッドに作成されたレンズとを組み合
わせることにより、近視野光ヘッドの微小開口にエネル
ギー密度の高い光束をより集光でき、微小開口近傍で生
成される近視野光の強度をさらに強くすることができ、
光の利用効率を飛躍的に上げることができる。よって、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生を実現できる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路のコアの先端部の形状
を凸あるいは凹形状等のレンズ機能を有する機構とする
ことで、近視野光ヘッドに作成されたレンズとを組み合
わせることにより、近視野光ヘッドの微小開口にエネル
ギー密度の高い光束をより集光でき、微小開口近傍で生
成される近視野光の強度をさらに強くすることができ、
光の利用効率を飛躍的に上げることができる。よって、
更なる低消費電力化、装置の小型化、高ＳＮ比化、高速
記録再生を実現できる。
【０１０２】以上説明したように本発明に係る第４の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１から第３の
情報記録再生装置の効果に加え、光導波路の反射面を凹
形状のような反射面で反射することにより光束の広がり
角が大きくなるような面とすることにより、近視野光ヘ
ッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束をより集光
できる。よって、微小開口近傍で生成される近視野光の
強度をさらに強くすることができるので、光の利用効率
をさらに上げることができ、更なる低消費電力化、装置
の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１から第３の
情報記録再生装置の効果に加え、光導波路の反射面を凹
形状のような反射面で反射することにより光束の広がり
角が大きくなるような面とすることにより、近視野光ヘ
ッドの微小開口にエネルギー密度の高い光束をより集光
できる。よって、微小開口近傍で生成される近視野光の
強度をさらに強くすることができるので、光の利用効率
をさらに上げることができ、更なる低消費電力化、装置
の小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。
【０１０３】以上説明したように本発明に係る第５の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路にフレクシャ機能をも
持たせることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時
間の短縮化、低コスト化できる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路にフレクシャ機能をも
持たせることで、更なる部品点数の削減、組立て調整時
間の短縮化、低コスト化できる。
【０１０４】以上説明したように本発明に係る第６の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、近視野光ヘッドに作成するヘッ
ド用レンズ機能としてフレネルレンズにより実現する場
合には、レンズ径を大きくしても薄型の近視野光ヘッド
が作成可能であり、微小開口に入射される光束のさらな
る高ＮＡ化が可能であり、更なる低消費電力化、装置の
小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。その
上、フレネルレンズは大量生産可能であり、低コスト化
をはかれる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、近視野光ヘッドに作成するヘッ
ド用レンズ機能としてフレネルレンズにより実現する場
合には、レンズ径を大きくしても薄型の近視野光ヘッド
が作成可能であり、微小開口に入射される光束のさらな
る高ＮＡ化が可能であり、更なる低消費電力化、装置の
小型化、高ＳＮ比化、高速記録再生が可能となる。その
上、フレネルレンズは大量生産可能であり、低コスト化
をはかれる。
【０１０５】以上説明したように本発明に係る第７の情
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路に４５度の反射面を持
つ透明層を有する光ファイバーを用いる事により、図４
に示した実施の形態１で用いた光導波路の作成方法のよ
うに基板の大きさにより光導波路の長さが決まることも
なく、光波路の長さを光ファイバーの長さを変える事が
でき、光源であるレーザーを任意の場所に配置できるさ
らに、実施の形態１では、光導波路を基板サイズに入る
程度に長くすると、１枚の基板から同時に作成できる個
数が少なくなってしまうが、本実施の形態では、一枚の
基板から作成できる反射面付の光導波路の個数が多くす
ることができ、さらなる低コスト化を容易にする事がで
きる。
報記録再生装置によれば、本発明に係る第１の情報記録
再生装置の効果に加え、光導波路に４５度の反射面を持
つ透明層を有する光ファイバーを用いる事により、図４
に示した実施の形態１で用いた光導波路の作成方法のよ
うに基板の大きさにより光導波路の長さが決まることも
なく、光波路の長さを光ファイバーの長さを変える事が
でき、光源であるレーザーを任意の場所に配置できるさ
らに、実施の形態１では、光導波路を基板サイズに入る
程度に長くすると、１枚の基板から同時に作成できる個
数が少なくなってしまうが、本実施の形態では、一枚の
基板から作成できる反射面付の光導波路の個数が多くす
ることができ、さらなる低コスト化を容易にする事がで
きる。
【図１】本発明の実施の形態１に係る光情報記録再生装
置について説明した図である。
置について説明した図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る光情報記録再生装
置の導波路と近視野光ヘッドについて説明した図であ
る。
置の導波路と近視野光ヘッドについて説明した図であ
る。
【図３】本発明の実施の形態１に係る光導波路の形状に
ついて説明した図である。
ついて説明した図である。
【図４】光導波路の作成方法について説明した図であ
る。
る。
【図５】本発明の実施の形態２に係る光導波路の他の作
成方法について説明した図である。
成方法について説明した図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る光導波路（コア）
の形状について説明した図である。
の形状について説明した図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る他の光導波路（コ
ア）の形状について説明した図である。
ア）の形状について説明した図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る他の光導波路の形
状について説明した図である。
状について説明した図である。
１０１ レーザー １０２ レンズ １０３ 光導波路 １０４ 近視野光ヘッド １０５ 記録媒体 １０６ 受光ヘッド １０７、１０９ サスペンションアーム １０８ フレクシャー １１０ 回路系 ２０１ コア部 ２０２ クラッド部 ２０３、５０４ 反射面 ２０４ エアーベアリングサーフェス ２０５ マイクロレンズ ２０６ 微小開口 ４０１、５０１ シリコン基板 ４０２、４０６ 低屈折率層 ４０３ 高屈折率層 ４０４ レジスト膜 ４０５ コア形状レジスト ５０２ 光ファイバー ５０３ 透明層 ６０１ 凹形状先端部 ７０１ 凸形状先端部 ８０１ 凹形状反射面
フロントページの続き (72)発明者 光岡 靖幸 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 前田 英孝 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 篠原 陽子 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Ｆターム(参考） 2H037 AA04 BA02 CA06 CA08 CA09 CA10 CA11 2H047 KA04 KA15 MA03 MA07 RA04 TA01 TA32 5D119 AA01 AA22 AA43 BA01 JA35 JA36 JA43 JA57
Claims (7)
- 【請求項１】 光源と、 サスペンションアームと、 前記サスペンションアームに固定されたフレクシャー
と、 微小開口が形成された近視野光ヘッドと、 コア及びクラッドを備えた略棒状の光導波路と、 前記光導波路の一端面側に前記近視野光ヘッドに光を照
射するために形成された反射面と、 受光部と、 記録媒体と、から構成されている近視野光を利用した情
報記録再生装置において、 前記近視野光ヘッドに微小開口とは異なる面にヘッド用
レンズ機能が形成されており、 前記光導波路には前記光導波路の途中にコア端面が形成
されていることを特徴とする情報記録再生装置。 - 【請求項２】 前記反射面が、前記光導波路の前記コア
に対して略４５度の角度を有する平面であることを特徴
とする請求項１に記載の情報記録再生装置 - 【請求項３】 前記コア端面にレンズ機能を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の情報記録再生装置 - 【請求項４】 前記反射面は、前記コア端面から出射さ
れる光束の広がり角が前記反射面で反射することにより
大きくなるような面であることを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれかに記載の情報記録再生装置 - 【請求項５】 前記光導波路が、前記フレクシャをも含
んでいることを特徴とする請求項１に記載の情報記録再
生装置。 - 【請求項６】 前記ヘッド用レンズ機能が、フレネルレ
ンズにより実現されることを特徴とする請求項１に記載
の情報記録再生装置。 - 【請求項７】 前記光導波路が、前記反射面を持つ透明
層を有する光ファイバーであることを特徴とする請求項
１に記載の情報記録再生装置。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2001040589A JP4267834B2 (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 情報記録再生装置 |
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| EP02251022A EP1233410B1 (en) | 2001-02-16 | 2002-02-14 | Information recording/reproduction apparatus |
| DE60234658T DE60234658D1 (de) | 2001-02-16 | 2002-02-14 | Informationsaufzeichnungs- / -wiedergabegerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001040589A JP4267834B2 (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 情報記録再生装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=18903167
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001040589A Expired - Fee Related JP4267834B2 (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 情報記録再生装置 |
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| EP (1) | EP1233410B1 (ja) |
| JP (1) | JP4267834B2 (ja) |
| DE (1) | DE60234658D1 (ja) |
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| JP2006172665A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Seiko Instruments Inc | 近視野光ヘッド |
| JP2007079426A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Ricoh Printing Systems Ltd | 光記録装置 |
| JP2008034000A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Seiko Instruments Inc | ヘッドジンバル機構及び情報記録再生装置 |
| JP2008090954A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド、近接場光アシスト磁気記録ヘッド、及び近接場光ヘッドの製造方法 |
| US7720332B2 (en) | 2004-12-10 | 2010-05-18 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Optical fiber illuminator, method of fabricating optical fiber illuminator, and optical recording head and optical recording and reading apparatus having the optical fiber illuminator |
| JP2011165277A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Seiko Instruments Inc | 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 |
| JP5353896B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2013-11-27 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路 |
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| DE69940577D1 (de) * | 1998-11-09 | 2009-04-23 | Seiko Instr Inc | Nahfeld Abtastkopf und Herstellungsverfahren dafür |
| JP2002005810A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-09 | Canon Inc | プローブ及びその製造方法、表面観察装置、露光装置、情報処理装置 |
| JP4245117B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2009-03-25 | セイコーインスツル株式会社 | 光情報記録再生装置 |
| JP4313784B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2009-08-12 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光ヘッドおよび該近視野光ヘッドを搭載した情報記録再生装置 |
| KR101181446B1 (ko) * | 2008-11-28 | 2012-09-19 | 한국전자통신연구원 | 광도파로 및 양방향 광송수신 장치 |
| US8469610B2 (en) * | 2011-01-18 | 2013-06-25 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical connection system with plug having optical turn |
| US10025033B2 (en) * | 2016-03-01 | 2018-07-17 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Optical fiber structure, optical communication apparatus and manufacturing process for manufacturing the same |
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| US4626679A (en) * | 1982-09-22 | 1986-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical head and method of detecting the focus thereof |
| JPH05234117A (ja) | 1991-12-24 | 1993-09-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光ヘッド装置及び光ディスク記憶システム |
| US5351229A (en) * | 1991-12-24 | 1994-09-27 | International Business Machines Corporation | Tribo-attractive contact slider for an optical read/write system |
| JP3213436B2 (ja) * | 1993-05-24 | 2001-10-02 | シャープ株式会社 | 光プローブ素子、光プローブ素子を用いた記録再生装置、および光プローブ素子の製造方法 |
| US5940549A (en) * | 1996-07-30 | 1999-08-17 | Seagate Technology, Incorporated | Optical system and method using optical fibers for storage and retrieval of information |
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| JPH11265520A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Hitachi Ltd | 近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの加工方法および光記録再生装置 |
| JP3873521B2 (ja) * | 1998-05-08 | 2007-01-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 光ヘッドおよびディスク装置 |
| JP4020229B2 (ja) * | 1998-05-11 | 2007-12-12 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光学ヘッド |
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-
2001
- 2001-02-16 JP JP2001040589A patent/JP4267834B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-02-07 US US10/068,450 patent/US7054255B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-14 EP EP02251022A patent/EP1233410B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-14 DE DE60234658T patent/DE60234658D1/de not_active Expired - Lifetime
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