JP2005182895A - 光学ヘッド、露光装置、記録及び/又は再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光ビームL1を集光させる集光レンズ2と、集光レンズ2により集光された光ビームL1の光路中に配置されるSIL3と、集光レンズ2及びSIL3を支持する支持体4とを備え、SIL3は、球体の一部が平坦化され、その球面側を集光レンズ2により集光された光ビームL1が入射される入射面5aとし、その平面側を集光レンズ2により集光された光ビームL1の出射面5bとする半球状又は超半球状のレンズ体5と、レンズ体5の出射面5bに形成されると共に、当該出射面5bに集光される光ビームL1のスポットよりも大となる金属薄膜7とを有する。
【選択図】 図1
Description
NA=n・sinθmax
ここで、最大入射角θmaxよりも小さい一定の入射角θ0と屈折率nとの積n・sinθ0が1となるように、屈折率n及び最大入射角θmaxが設定されている。これにより、集光レンズ2及びSIL3で実現される開口数NAを1よりも大きくすることが可能である。
Claims (11)
- 光ビームを集光させる集光レンズと、
上記集光レンズにより集光された光ビームの光路中に配置される光学素子と、
上記集光レンズ及び上記光学素子を支持する支持体とを備え、
上記光学素子は、球体の一部が平坦化され、その球面側を上記集光レンズにより集光された光ビームが入射される入射面とし、その平面側を上記集光レンズにより集光された光ビームの出射面とする半球状又は超半球状のレンズ体と、
上記レンズ体の出射面に形成されると共に、当該出射面に集光される光ビームのスポットよりも大となる金属薄膜とを有することを特徴とする光学ヘッド。 - 上記レンズ体は、上記金属薄膜が形成された上記出射面の中央部分が突出された突部を有することを特徴とする請求項1記載の光学ヘッド。
- 上記光学素子は、ソリッド・イマージョン・レンズ(SIL:Solid Immersion Lens)又はソリッド・イマージョン・ミラー(SIM:Solid Immersion Mirror)であることを特徴とする請求項1記載の光学ヘッド。
- 近接場を利用して露光用原盤に対する露光を行う露光装置において、
上記露光用の光ビームを出射する露光用光源と、
上記露光用原盤の露光面に近接した状態で対向配置され、上記露光用光源から出射された光ビームを集光させて上記露光用原盤の露光面に照射する光学ヘッドとを備え、
上記光学ヘッドは、上記露光用光源から出射された光ビームを集光させる集光レンズと、
上記集光レンズにより集光された光ビームの光路中に配置される光学素子と、
上記集光レンズ及び上記光学素子を支持する支持体とを備え、
上記光学素子は、球体の一部が平坦化され、その球面側を上記集光レンズにより集光された光ビームが入射される入射面とし、その平面側を上記集光レンズにより集光された光ビームの出射面とする半球状又は超半球状のレンズ体と、
上記レンズ体の出射面に形成されると共に、当該出射面に集光される上記露光用光源からの光ビームのスポットよりも大となる金属薄膜とを有することを特徴とする露光装置。 - 上記レンズ体は、上記金属薄膜が形成された上記出射面の中央部分が突出された突部を有することを特徴とする請求項4記載の露光装置。
- 上記光学素子は、ソリッド・イマージョン・レンズ(SIL:Solid Immersion Lens)又はソリッド・イマージョン・ミラー(SIM:Solid Immersion Mirror)であることを特徴とする請求項4記載の露光装置。
- 上記露光用光源から出射される光ビームと波長の異なるギャップ制御用の光ビームを出射するギャップ制御用光源と、
上記ギャップ制御用光源から出射された光ビームを上記光学ヘッドの集光レンズに入射させて上記光学素子の出射面に集光させると共に、上記光学素子の出射面で反射された戻りの光ビームの光強度を検出する光強度検出手段と、
上記光強度検出手段により検出された光強度に応じて、上記光学ヘッドと上記露光用原盤との間の間隔を制御するギャップ制御手段と、
上記ギャップ制御手段からの制御信号に基づいて、上記光学ヘッドを少なくとも光軸方向に変位駆動するヘッド駆動手段とを備え、
上記レンズ体の出射面には、上記金属薄膜よりも大となる上記ギャップ制御用光源からの光ビームのスポットが形成されることを特徴とする請求項4記載の露光装置。 - 近接場を利用して光記録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を行う記録及び/又は再生装置において、
上記記録及び/又は再生用の光ビームを出射する記録及び/又は再生用光源と、
上記光記録媒体の信号記録面に近接した状態で対向配置され、上記記録及び/又は再生用光源から出射された光ビームを集光させて上記光記録媒体の信号記録面に照射する光学ヘッドとを備え、
上記光学ヘッドは、上記記録及び/又は再生用光源から出射された光ビームを集光させる集光レンズと、
上記集光レンズにより集光された光ビームの光路中に配置される光学素子と、
上記集光レンズ及び上記光学素子を支持する支持体とを備え、
上記光学素子は、球体の一部が平坦化され、その球面側を上記集光レンズにより集光された光ビームが入射される入射面とし、その平面側を上記集光レンズにより集光された光ビームの出射面とする半球状又は超半球状のレンズ体と、
上記レンズ体の出射面に形成されると共に、当該出射面に集光される光ビームのスポットよりも大となる金属薄膜とを有することを特徴とする記録及び/又は再生装置。 - 上記レンズ体は、上記金属薄膜が形成された上記出射面の中央部分が突出された突部を有することを特徴とする請求項8記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記光学素子は、ソリッド・イマージョン・レンズ(SIL:Solid Immersion Lens)又はソリッド・イマージョン・ミラー(SIM:Solid Immersion Mirror)であることを特徴とする請求項8記載の記録及び/又は再生装置。
- 上記記録及び/又は再生用光源から出射される光ビームと波長の異なるギャップ制御用の光ビームを出射するギャップ制御用光源と、
上記ギャップ制御用光源から出射された光ビームを上記光学ヘッドの上記集光レンズに入射させて上記光学素子の出射面に集光させると共に、上記光学素子の出射面で反射された戻りの光ビームの光強度を検出する光強度検出手段と、
上記光強度検出手段により検出された光強度に応じて、上記光学ヘッドと上記光記録媒体との間の間隔を制御するギャップ制御手段と、
上記ギャップ制御手段からの制御信号に基づいて、上記光学ヘッドを少なくとも光軸方向に変位駆動するヘッド駆動手段とを備え、
上記レンズ体の出射面には、上記金属薄膜よりも大となる上記ギャップ制御用光源からの光ビームのスポットが形成されることを特徴とする請求項8記載の記録及び/又は再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|---|
WO2012127854A1 (ja) * | 2011-03-22 | 2012-09-27 | パナソニック株式会社 | 光情報装置及びトラッキング方法 |
WO2012140876A1 (ja) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | パナソニック株式会社 | 光情報装置、光ディスクドライブ装置、光情報記録装置、光情報再生装置、ギャップ制御方法及び光ピックアップ |
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US8837264B2 (en) | 2011-04-14 | 2014-09-16 | Panasonic Corporation | Optical information device, optical disc driving device, optical information recording device, optical information reproducing device, gap control method, and optical pickup |
JP5994198B2 (ja) * | 2011-04-14 | 2016-09-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光情報装置、光ディスクドライブ装置、光情報記録装置、光情報再生装置、ギャップ制御方法及び光ピックアップ |
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