JP4370880B2 - 光学素子の製造方法、記録及び/又は再生装置及び光学顕微鏡装置 - Google Patents
光学素子の製造方法、記録及び/又は再生装置及び光学顕微鏡装置 Download PDFInfo
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- 第1の光学ガラスの一主面上にプローブとなる膜を成膜した後に、各光学素子に対応した複数のプローブをリソグラフィ技術によりパターン形成するプローブ形成工程と、
上記複数のプローブが形成された第1の光学ガラスと、この第1の光学ガラスと同質の第2の光学ガラスとを互いに突き合わされて接合される接合面の間に当該プローブが位置するように接合し、接合一体化された光学ガラスブロックを形成するブロック形成工程と、
上記光学ガラスブロックに対して球面研磨加工を施すことによって、各光学素子毎に分割された球状のレンズ体を形成する球面研磨工程と、
上記球状のレンズ体に対して平面研磨加工を施すことによって、接合面と直交する面を上記プローブの先端部が臨む位置まで平坦化し、この面を集光された光ビームの出射面とする半球状又は超半球状のレンズ体を形成する平面研磨工程とを有する光学素子の製造方法。 - 近接場光を利用して光記録媒体に対する信号の記録及び/又は再生を行う記録及び/又は再生装置において、
光ビームを出射する光源と、
上記光記録媒体に近接した状態で対向配置され、上記光源から出射された光ビームを集光させて上記光記録媒体の信号記録面に照射する光学ヘッドと、
上記光記録媒体の信号記録面で反射された光ビームの光強度の変化を検出する光強度検出手段とを備え、
上記光学ヘッドは、上記光源から出射された光ビームを集光させる対物レンズと、
上記対物レンズにより集光される光ビームの光路中に配置された光学素子と、
上記対物レンズ及び上記光学素子を支持する支持体とを備え、
上記光学素子は、第1のレンズ素子と第2のレンズ素子とが互いの接合面を突き合わせて接合されると共に、この接合面と直交する面を上記対物レンズにより集光された光ビームの出射面とするレンズ体と、
上記第1のレンズ素子と上記第2のレンズ素子との間に配置されると共に、上記レンズ体の出射面に臨む先端部が当該レンズ体の出射面に集光される光ビームのスポットよりも小となるプローブとを備えることを特徴する記録及び/又は再生装置。 - 上記光記録媒体を回転駆動する回転駆動手段を備え、
上記支持体は、上記回転駆動手段により回転駆動される上記光記録媒体の信号記録面上を浮上するスライダであることを特徴とする請求項2記載の記録及び/又は再生装置。 - 上記光強度検出手段により検出された光強度の変化に基づいて、上記光記録媒体と上記光学ヘッドとの間の距離を測定する測定手段と、
上記測定手段の測定結果に基づいて、上記光学ヘッドを光軸方向に変位駆動するヘッド駆動手段とを備えることを特徴とする請求項2記載の記録及び/又は再生装置。 - 上記光記録媒体を面内方向に移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項2記載の記録及び/又は再生装置。
- 近接場光を利用して試料の観察を行う光学顕微鏡装置において、
光ビームを出射する光源と、
上記試料と近接した状態で対向配置され、上記光源から出射された光ビームを集光させて上記試料の表面に照射する光学ヘッドと、
上記試料の表面で反射された光ビームの光強度の変化を検出する光強度検出手段とを備え、
上記光学ヘッドは、上記光源から出射された光ビームを集光させる対物レンズと、
上記対物レンズにより集光される光ビームの光路中に配置された光学素子と、
上記対物レンズ及び上記光学素子を支持する支持体とを備え、
上記光学素子は、第1のレンズ素子と第2のレンズ素子とが互いの接合面を突き合わせて接合されると共に、この接合面と直交する面を上記対物レンズにより集光された光ビームの出射面とするレンズ体と、
上記第1のレンズ素子と上記第2のレンズ素子との間に配置されると共に、上記レンズ体の出射面に臨む先端部が当該レンズ体の出射面に集光される光ビームのスポットよりも小となるプローブとを備えることを特徴する光学顕微鏡装置。 - 上記試料を回転駆動する回転駆動手段を備え、
上記支持体は、上記回転駆動手段により回転駆動される上記試料の表面上を浮上するスライダであることを特徴とする請求項6記載の光学顕微鏡装置。 - 上記光強度検出手段により検出された光強度の変化に基づいて、上記試料と上記光学ヘッドとの間の距離を測定する測定手段と、
上記測定手段の測定結果に基づいて、上記光学ヘッドを光軸方向に変位駆動するヘッド駆動手段とを備えることを特徴とする請求項6記載の光学顕微鏡装置。 - 上記試料を面内方向に移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項6記載の光学顕微鏡装置。
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JP2003374676A JP4370880B2 (ja) | 2003-11-04 | 2003-11-04 | 光学素子の製造方法、記録及び/又は再生装置及び光学顕微鏡装置 |
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