JP4507840B2 - 光アシスト型磁気記録ヘッド、磁気記録装置、及び光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、磁気記録媒体への情報記録時に、対象となる記録部を光照射によって局所的に加熱し、この加熱によって局所的に保磁力を低下させて情報の記録を行う光（熱）アシスト磁気記録用の光アシスト型磁気記録ヘッド、磁気記録装置、及び光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法に関する。

記録媒体に対する記録容量の増大化の要求に伴って、益々高記録密度化の要求が高まっている。
磁気記録において、垂直磁化記録は、面内記録に比して高記録密度化が図られるが、いずれの記録態様においても、高記録密度化、低ノイズ化を図るには、磁気記録媒体における記録磁性層の保磁力を高める必要がある。

磁気記録媒体に対する磁気記録は、記録情報に応じて、異なる向きの磁界を、磁気記録ヘッドによって磁気記録媒体の強磁性の記録磁性層の特定局所領域に与えることによって、この特定局所領域における磁化の向きを変化させた記録磁区による情報ピットを形成することによってなされる。

このような磁化による記録方式における情報の記録密度の限界は、異なる磁化による記録磁区間に生じる境界のゆらぎ、すなわち磁区間の境界面の乱れや不確定性で決定される。また、このゆらぎが記録情報信号のジッターとなって現れ、Ｓ／Ｎの低下をきたすなどの問題も生じる。
この境界のゆらぎは、磁区に存在する磁性粒子、すなわち磁性層を構成する磁性粒子のサイズを小さくすることによって抑制できるが、このように磁性粒子のサイズを小さくすると、熱的安定性が低下して、熱による磁化方向の変化が生じやすくなる。したがって、この熱的安定性を確保するためには保磁力を更に高めることが必要になる。

したがって、上述したように、磁気記録媒体の記録密度を決定する磁区（ビット）の境界のゆらぎを小さくし、更に情報記録や長期保存の安定化を向上させるには、保磁力すなわち磁気異方性エネルギーの高い磁気記録媒体が必要となる。
これに伴って、磁気記録がなされる磁気ヘッドにおいては、強力な記録磁界を発生することができ、しかも、高記録密度化を図る上で、記録磁界を狭小領域で発生させる磁気ヘッドが必要となる。
しかし、このような磁気ヘッドを、より小型構造で得ることに限界がある。

これに対し、磁気記録ヘッドによる磁界印加がなされるべき磁気記録媒体の所定箇所に対してレーザ光を照射して加熱することによって一時的に材料の保磁力を低下させて磁気記録を行う、光アシスト（または熱アシスト）による磁気記録方法を行うことのできる磁気記録ヘッドが提案された（例えば特許文献１参照）。

ところで、上述したレーザ光照射による光（熱）アシストによる記録方法による場合、目的とする磁気記録部の保磁力を必要充分に低下させるだけの熱量をレーザ光照射で得られること、記録密度を高める上で目的とする記録部以外では、保磁力低下を来たすことがないようにレーザ光を絞り、更に磁界印加部とレーザ光照射スポットが一致もしくは近接する最適位置関係に設定されることが望まれる。

このように、レーザ光を、所定位置に充分な光量をもって照射するには、光学レンズを用いる方法が有効である。
特許2809688号公報

上述したように、光アシスト磁気記録を行う場合、レーザ光を光学レンズ系を用いて、磁気記録媒体の所定部に照射することが望ましいが、通常の光学レンズ系におけるように、ファーフィールド対応のレンズを用いるのでは、その光スポットが、磁気ヘッドによる記録磁界領域より大きすぎて、前述した目的とする記録部を限定的に加熱し、保磁力低下を他部に及ぼすことなく、目的とする記録部に限定的に行うようにすることは困難である。

また、この場合、レーザ光のスポット上に記録磁気ヘッドが配置されることから、この記録磁気ヘッドによって、レンズから磁気記録媒体に向かう光路が遮断されて、レーザ光が磁気記録媒体上の目的とする位置に到達することができない。
このような不都合を回避するには、磁気記録媒体の裏面からレーザ光を入射する対向型配置とすることが考えられるが、この場合は、記録膜上の磁界のスポット位置と、レンズの焦点を一致させることの新たな制御機構ないしは制御方法を必要とする。

そこで、上述した光アシスト記録にあっては、ニアフィールド型レンズを用いることが望まれる。
しかしながら、このニアフィールド型レンズは、磁気記録媒体に極めて近接して配置されるものであることから、記録磁気ヘッドの配置に問題が生じる。

本発明においては、ニアフィールド型構成として、充分小さいスポットを光照射対象の磁気記録媒体上に形成でき、しかも、磁気ヘッドの配置によってレーザ光が遮られる不都合を効果的に改善し、更に、製造の簡易化を図ることができるようにした光アシスト型磁気記録ヘッドと、この光アシスト型磁気記録ヘッドを有する磁気記録装置と、光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法を提供するものである。

本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドは、対物レンズ、及び半球あるいは超半球レンズから構成され、実効開口数が１．０以上であり、近接光を発生するための集光レンズ系を有し、前記半球あるいは超半球レンズの内部に記録用薄膜磁気ヘッドが埋め込まれた構造を有することを特徴とする。
またさらに、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記記録用薄膜磁気ヘッドは、記録磁界を発生する薄膜磁極による主磁極と、記録補助用の薄膜磁極による副磁極と、磁界発生用薄膜コイルとによる垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドであることを特徴とする。

また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記半球あるいは超半球レンズは、その底面が中心部に突出部を有する平面もしくは円錐面とされていることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記主磁極は、前記底面の前記突出部から、前記半球あるいは超半球レンズの内部に、前記半球あるいは超半球レンズの光軸に近接平行して配置されて成ることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記主磁極は、前記半球あるいは超半球レンズの底面側で断面小とされたことを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記主磁極が、前記集光レンズ系の光軸に近接平行して配置され、近接光の開口構造が、前記集光レンズ系の光軸上に形成されたことを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記記録用薄膜磁気ヘッドが、先端部間に磁気ギャップが形成された第１及び第２の薄膜磁極と、磁界発生用薄膜コイルとを有するリング型インダクティブ磁気ヘッドによることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記磁気ギャップの中心が、前記集光レンズ系の光軸に近接する位置に選定され、近接光の開口構造が、前記集光レンズ系の光軸上に形成されたことを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記記録用薄膜磁気ヘッドは、記録磁界を発生する薄膜磁極による主磁極と、記録補助用の薄膜磁極による副磁極と、磁界発生用薄膜コイルとを有し、該コイルの端末部が前記半球あるいは超半球レンズの外面に形成された電極に延長され、該電極を介して外部配線に接続され成ることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、前記記録用薄膜磁気ヘッドが磁界発生用薄膜コイルを有し、該コイルが透明導電材料によって形成されて成ることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光アシスト型磁気記録ヘッドにおいて、半球あるいは超半球レンズの内部に、前記記録用薄膜磁気ヘッドと共に、磁気抵抗効果型薄膜再生磁気ヘッドが配置されて成ることを特徴とする。

本発明による磁気記録装置は、レーザ光源と、光アシスト磁気記録ヘッドと、該光アシスト磁気記録ヘッドの磁気記録媒体とのギャップを規定もしくは制御するギャップ調整手段とを有し、前記光アシスト磁気記録ヘッドは、前記磁気記録媒体に対し磁界を発生させる記録用薄膜磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体に対し前記レーザ光源からのレーザ光を集光する集光レンズ系とを有し、該集光レンズ系は、対物レンズ及び半球あるいは超半球レンズから構成され、実効開口数が１．０以上とされ、前記磁気記録媒体に対する情報の記録を、前記ギャップ調整手段によって前記磁気記録媒体に対する前記光アシスト磁気記録ヘッドのギャップ調整がなされた状態で、前記集光レンズ系により前記レーザ光源からのレーザ光を前記磁気記録媒体に集光照射させて、前記薄膜磁気ヘッドからの磁界発生による情報の記録を行うことを特徴とする。

また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記ギャップ調整手段が、浮上スライダより成り、該浮上スライダに前記光アシスト磁気ヘッドが搭載されて成ることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記磁気記録媒体に照射された前記レーザ光の反射光の検出手段を具備し、該検出手段による検出出力によって、前記ギャップ調整手段のギャップサーボ信号を得ることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記光アシスト磁気ヘッドが２軸アクチュエータに搭載され、該２軸アクチュエータによって前記光アシスト磁気ヘッドの光軸方向及びこれと直交する方向の２軸調整がなさることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記反射光の検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記光学系による上記磁気記録媒体に対するフォーカシングサーボ信号を得ることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記反射光の検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記記録用薄膜磁気ヘッドによる上記磁気記録媒体に対する磁界印加のトラッキングサーボ信号を得ることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、記録トラックの長手方向と交叉する方向に関してランド・アンド・グルーブの凹凸が形成された磁気記録媒体が用いられ、該磁気記録媒体に対する上記レーザ光の反射光の上記検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記記録用薄膜磁気ヘッドによる上記磁気記録媒体に対する磁界印加のトラッキングサーボ信号を得ることを特徴とする。
また、本発明は、上記磁気記録装置において、前記磁気記録媒体が、記録層の下に軟磁性層を有することを特徴とする。

本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法は、所定の波長帯の光を透過する第１の光学部材の端面に溝を形成する工程と、該溝内に記録用薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、該記録用薄膜磁気ヘッド上を、保護膜を構成する絶縁膜によって覆う工程と、 前記保護膜を平坦化研磨する工程と、前記第１の光学部材上に、上記溝内の上記記録用薄膜磁気ヘッドを挟み込んで、前記同一の波長帯の光を透過する第２の光学部材を接合して接合体を形成する工程と、該接合体を球面研磨して上記薄膜磁気ヘッドが内部に埋め込まれた半球状または超半球状の光学レンズを形成する工程を有することを特徴とする。

また、本発明は、上記光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法において、前記溝内に記録用薄膜磁気ヘッドを形成する工程が、前記溝内に高透磁率材による第１の薄膜磁極を形成する工程と、該第１の薄膜磁極上に絶縁膜を形成した後、金属導体薄膜による磁界発生用薄膜コイルを形成する工程と、該磁界発生用薄膜コイル上に絶縁膜を形成する工程と、該絶縁層上に高透磁率材による第２の磁極を形成する工程とを有することを特徴とする。
また、本発明は、上記光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法において、前記半球状または超半球状の光学レンズの形成工程後に、該半球状または超半球状の光学レンズの外面に電極を形成する工程を有し、前記磁界発生用薄膜コイルの形成工程において、該半球状または超半球状の光学レンズ内の前記磁界発生用薄膜コイルの端末部を、前記第１の光学部材の前記第２の光学部材との接合面に延長形成して、前記半球状または超半球状の光学レンズの外面の電極に接続されるようにしたことを特徴とする。

上述したように、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドは、その集光レンズ系を、対物レンズ、及び半球あるいは超半球レンズによる構成とすることによって、実効開口数が１．０以上とし、近接光を発生する構成としたことにより、目的とする磁気記録媒体上でのスポット径を充分小さくできるものである。更に、本発明においては、その集光レンズ系の半球あるいは超半球レンズの内部に、レンズ内部における磁気ヘッドによる光遮蔽を効果的に回避できるものである。

すなわち、本発明においては、開口数が１．０以上、すなわち、広角入射を図ったことによって、磁気ヘッドをレンズ間に配置したにも拘わらず、磁気ヘッドによる遮光効果の低減を図ることができる。また、この磁気ヘッドの構成を薄膜ヘッドとしたことによって、更にこの遮蔽効果を抑制できるものである。したがって、磁気記録媒体の所定の記録部のみに小径スポットで必要充分に加熱でき、局部的に保磁力を低下させることができる。
そして、レンズ内部に記録用磁気ヘッドを配置したことによって、レンズを充分磁気記録媒体に近接することができるものである。
そして更に、記録磁界の印加位置を光アシストのスポットとを理想的位置関係の、すなわち両者をほぼ一致もしくは近接させることができるものである。

また、上述したようにレンズ内に磁気ヘッドが配置された構成としたことにより、磁気ヘッドの機械的保持が、安定してなされることから、薄膜技術によって充分薄型小型に構成でき、磁界印加を微小領域に行う構成とすることができるものである。
また、本発明による磁気記録装置は、上述した本発明による光アシスト型磁気ヘッドを用いたことにより、上述したと同様の効果が得られる。そして、ギャップ調整手段を設けたことによって、磁気記録媒体に対する光アシスト型磁気ヘッドのギャップを所要に設定できることから、安定した記録動作を行うことができる。
そして、光アシスト構成によってレーザ光を用いるので、このレーザ光の磁気記録媒体から反射光（戻り光）によってギャップサーボ、フォーカシングサーボ、トラッキングサーボ信号を得ることができ、磁気ヘッドの媒体に対する位置関係を特段の手段を設けることなく行うことができるものである。

また、本発明製造方法によれば、本発明による光アシスト型磁気ヘッドを構成する記録用薄膜磁気ヘッドが内蔵された半球もしくは超半球レンズを、レンズの形成と同時に作製することから、製造の簡易化と、レンズと磁気ヘッドの信号関係の精度を高めることができるものである。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明するが、本発明は、この実施の形態に限られるものでない。

まず、本発明による磁気記録装置の実施の形態を、この磁気記録装置を構成する本発明による磁気記録ヘッドの実施の形態とともに説明する。
図１は、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドを有する磁気記録装置の概略構成図である。

この実施の形態において、磁気記録装置１２は、図１に示すように、レーザ光源６と、光アシスト型磁気記録ヘッド１と、磁気記録媒体１１例えば磁気ディスクが配置されて回転駆動される磁気記録媒体１１の配置部６１と、レーザ光源６と光アシスト型磁気記録ヘッド１との間に配置されたビームスプリッタ７と、光アシスト型磁気記録ヘッド１からの磁気記録媒体１１に照射した光の反射光（戻り光）を検出する反射光検出手段８と、この検出出力を演算することによって所望のサーボ信号例えばフォーカシング、トラッキング等の各サーボを行う。

光アシスト型磁気記録ヘッド１は、対物レンズ３と、半球あるいは超半球レンズ（以下半球／超半球レンズと記す）２とによって構成され、実効開口数が１．０以上とされる集光レンズ系を有し、その半球／超半球レンズ２内に、記録用薄膜磁気ヘッド２０が配置されて成る。

図２は、この磁気記録装置を構成する集光レンズ系の構成を示す模式的斜視図である。
記録用薄膜磁気ヘッド２０は、垂直磁気記録用の磁気ヘッド構成とすることができ、この場合の例を図２に模式的に示す。この垂直記録型記録ヘッド２０は、それぞれ薄膜磁極による記録磁界発生用の磁極２２と、その記録補助用の副磁極２３と、磁界発生用の薄膜コイル２４とを有して成る。
この薄膜コイル２４には、信号電源５が接続されて、記録信号電流が導入される。

磁気記録媒体１１の配置部６１は、例えばディスク状の磁気記録媒体が載置された状態で、スピンドルモータ１０によって回転駆動するようになされている。
磁気記録媒体１１例えばハードディスクは、例えばガラスによる基板１１ａ、記録層１１ｃと、例えば垂直記録において記録層１１ｃの基板１１ａ側に透磁率の高い軟磁性層１１ｂを有する構成とし得る。

この構成による磁気ヘッドにおいて、その薄膜コイル２４に記録信号電流が印加されると、薄膜コイル２４の中心軸に沿って磁束が発生する。発生した磁束は主磁極２２を通過し、磁気記録媒体１１に対向する先端部で磁化が集中する。この場合、磁気記録媒体１１に、上述した軟磁性層１１ｂが存在すると、鏡像効果により媒体表面に垂直な磁束が発生し、記録層１１ｃに垂直な記録磁界が印加される。かつ軟磁性層１１ｂによる鏡像効果により、発生する記録磁界は、主磁極２２の先端径とほぼ同程度の範囲にのみ分布するので、主磁極２２先端を微細化することにより、局所的に記録磁場を印加することが可能となるものである。

上述の構成において、対物レンズ３と半球／超半球レンズ２の組み合わせによるレンズ系４は、近接場光記録で用いられる所謂ＳＩＬ（Solid Immersion Lens）やＳｕｐｅｒ−ＳＩＬ構成であり、実効的開口数１．０を超える近接場光の発生がなされるものである。

通常、単体の対物レンズによる集光スポット径は、光の回折限界によって、光の波長をλとし、対物レンズの開口率をＮＡ_ｏｂｊとするとλ／ＮＡ_ｏｂｊ程度までにしか絞ることができない。しかし、上述のＳＩＬレンズ系やＳｕｐｅｒ−ＳＩＬレンズ系によれば、半球及び超半球の光学レンズの焦点面すなわち底面で、それぞれ光学レンズの屈折率をｎとすると、スポット径を１／ｎ及び１／ｎ^２にまで縮小低減できる。
更に、これらの構成による光学レンズの底面を記録媒体に対向させ、記録媒体との間隙をλ／１０以下とした場合には、近接場光による結像作用によって、光学レンズ２の底面におけるのと同様に、磁気記録媒体１１上に直径１／ｎ及び１／ｎ^２の光スポットを形成できる。

上述した図１の構成において、レーザ光源６からのレーザ光は、ビームスプリッタ７を透過して、集光レンズ系４に導入され、その対物レンズ３によって集光されて、半球／超半球レンズ２に入射する。この入射光は、半球／超半球レンズ２の底面及この底面に近接対向する磁気記録媒体１１に集光スポットが形成される。したがって、この底面側に配置された記録用薄膜磁気ヘッド２０の磁界発生用の主磁極２２によって磁気記録媒体１１に対する記録磁界印加により記録がなされる目的とする記録部もしくはその近傍にレーザ光の微細スポットが照射される。したがって、このレーザ光の照射スポットによって、目的とする垂直記録部の昇温がなされ、この記録部の保磁力を局部的に低下させることができる。すなわち光（熱）アシストがなされる。

そして、この光アシストに用いた光は、その一部が、磁気記録媒体１１の表面から反射されて、レンズ系４を通じてビームスプリッタ７に導入され、これによって光路が入射光路と分離されて反射光検出手段８に導入される。
この反射光検出手段８は、例えば通常の光ディスクの光ピックアップにおける光検出手段と同様に、複数の分割フォトダイオードにより、反射光のファーフィールド成分を検出する。これらの出力を用いて、それぞれ所要の演算がなされて、フォーカシングサーボ信号、トラッキングサーボ信号等が得られる。さらに、この本発明構成においては、磁気記録媒体表面からの反射光のうち、ニアフィールド成分の反射光量が、集光レンズ系４と磁気記録媒体１１との間隔、すなわちギャップ量に比例して変化する。そこで、このニアフィールド成分の反射光量によりギャップサーボ信号を得ることができるものである。

そして、これらサーボ信号によって、フォーカシング、トラッキング制御を行い、更に、上述したギャップ調整手段６２によるってギャップ制御を行う。
これら、フォーカシング、トラッキング及びギャップ制御は、後述するように、集光レンズ系４を、２軸アクチュエータに搭載し、この２軸アクチュエータによって行うことが
できる。

半球／超半球レンズ２は、種々の構成を採り得るものであり、例えば図１及び図３Ａに示すように、底面の中央部に、外部に突出する突出形状部２Ｐを形成し、ここに集光点を形成するようにすることもできる。この突出部２Ｐの形状としては、図１及び図３Ａで示した円筒形状とすることもできるし、図３Ｂに示すように円錐形状とすることができる。あるいは切頭円錐形状、角柱形状、半球面の曲面形状とすることができる。このようにして、集光部において、底面を突出させて磁気記録媒体１１との間隔を近接場光によるスポットを形成する狭隘な間隔（ギャップ）に設定しときに問題となるレンズの傾きによって半球状または超半球状の光学レンズ２の集光部周辺において、その底面が、不用意に磁気記録媒体面に接触することを回避することができる。

図４Ａと図４Ｂとは、それぞれ、本発明による垂直記録用の光アシスト型磁気記録ヘッド１を構成する半球／超半球レンズ２の一例の構成を示す概略断面図と、この半球あるいは超半球レンズ２の要部の断面図である。
この場合、半球／超半球レンズ２内にそれぞれ薄膜コイルによる記録磁界発生用の主磁極２２と、その補助用の副磁極２３とが積層され、副磁極２３の、主磁極と磁気的に結合するＬ字状屈曲部に薄膜コイル２４が巻回されるパターンとすることができる。そして、主磁極２２は、図４Ａに示すように、半球／超半球レンズ２の、入射光Ｌ_２及び集束光Ｌ_３
の光軸Ｏに、もしくは光軸Ｏに近接平行して形成される。

光アシスト磁気記録用の磁気記録ヘッド及び磁気記録装置においては、記録媒体１１の目的とする所定部に対する、光スポットの形成位置と磁界の印加位置を正確に合わせる必要がある。記録効率を高めるためには、記録磁界・印加位置と光スポット中心は、なるべく近接していることが望ましい。なぜなら両者の距離が大きくなるにつれ、温度勾配、および最高到達温度が低下してしまい、記録効率が低減してしまうからである。しかし磁極による光の遮蔽を避けるように磁極を配置するためには、記録磁界の印加位置と光スポット中心が離れていたほうが容易である。レーザ光スポットによる媒体表面の昇温特性を解析した結果から、記録磁界印加中心と光スポット中心間距離は、数１００ｎｍ以下、望ましくは５０〜１００ｎｍ程度が適当であると考えられる。

本発明による磁気記録ヘッドの構成によれば、後述する本発明による磁気記録ヘッドの製造方法によって、上述した主磁極２２によって磁気記録媒体１１上に印加形成される磁界の位置と、レーザ光Ｌ_１に基づく集束光Ｌ_３によって磁気記録媒体１１上に形成される光スポットの位置との相対位置を、正確に選定することができる。

また、この例において主磁極２２は、入射レーザ光Ｌ_１及び集束光Ｌ_３の光路内に形成されているものの、光軸外でこれに近接して平行に形成されており、更に磁気記録媒体１１に対する印加磁界を狭隘なものとするために、半球／超半球レンズ２の底面の例えば突出部において、半球／超半球レンズ２の頂部側におけるよりも断面小の例えば幅狭に形成される。しかし、底面とは反対側の頂部側においては、集光レンズ系４への入射レーザ光Ｌ_１の、半球／超半球レンズ２への入射光Ｌ_２の入射側の光束すなわち光路径が大であることから、これに比して主軸２２は、断面形状例えばその径が小さく、この主磁極２２による集束光Ｌ_３の光路形成に対する遮蔽及び阻害は回避される。

また、副磁極２３は、主磁極２２に比して断面形状が大、例えば幅広、肉厚に形成されるが、集束光Ｌ_３によって最終的に形成される半球／超半球レンズ２の底面及び磁気記録媒体１１上の光スポットからは離れているため、集束光Ｌ_３光路全体に対する遮蔽量は一定以下となる。
副磁極２３による集束光Ｌ_３の遮蔽を光学シミュレーションで解析したところ、半球／超半球レンズ２の底面における収差の増大とスポットにおける光量減少はみられたものの、スポット径には殆ど変化がみられなかった。そして、このスポット光量は入射レーザ光Ｌ_１の入射パワーを増大させることによって補うことができることから、磁気記録媒体１１の所定部に対して所望の光照射が可能となる。

図５Ａと図５Ｂとは、それぞれ、本発明の他の実施形態による半球あるいは超半球レンズの構成を示す概略断面図と、この半球あるいは超半球レンズの要部の断面図である。
この例では、ハードディスク用の磁気記録ヘッドで広く用いられている面内磁気記録を行うリング型構成によるインダクティブ型磁気記録ヘッド２０を構成する光アシスト磁気ヘッドを構成するものである。

このリング型インダクティブ型の記録用薄膜磁気ヘッド２０は、図５Ｂに示すように、所謂上部磁極と呼称される高透磁率材による第１の薄膜磁極２２ａと、所謂下部磁極と呼称される高透磁率材による第２の薄膜磁極２３ａとを有し、これら磁極間が、図５Ｂ、中矢印ａで示す狭小間隙すなわち磁気ギャップを挟んで対向する構成を有する。
磁気ギャップは、その中心が光軸Ｏに近接する位置に選定される。なお、このリングインダクティブ型の記録用薄膜磁気ヘッド２０による場合にも、後述するような、半球／超半球レンズ２の底面に開口構造が設けられた構成とすることができる。

磁界発生用薄膜コイル２４で発生した磁束は、第１及び第２の薄膜磁極２２ａ及び２３ａによる閉磁路内の磁気ギャップからの漏れ磁界による磁界が、記録磁界として磁気記録媒体１１に印加される。このインダクティブ型の構成による磁気ヘッドにおいては、上述の記録磁界のうち、磁気記録媒体１１の媒体面に平行な面内成分を用いて磁気記録を行う。
しかしながら、或る場合は、垂直成分を用いて垂直磁気記録を行うことも可能である。

図６Ａと図６Ｂは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドを構成する半球あるいは超半球レンズ２の底面に開口構造を設けた構成を示す概略断面図と、半球あるいは超半球レンズの要部の構造を示す拡大断面図である。
この本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１を構成する記録用薄膜磁気ヘッド２０は、半球／超半球レンズ２の底面の、集束光Ｌ_３による光スポット形成位置に、開口２６Ｗが形成された例えば金属薄板による開口構造２６を有する。

光は、その光自身の波長以下の微小開口を通常の伝播モードで通過することはできないことから、例えば開口構造２６によって、半球／超半球レンズ２の底面の光透過領域が直径１０ｎｍ〜１００ｎｍの開口２６Ｗのみとされると、開口２６Ｗからは、入射した光に代わって近接場光が開口周辺に発生する。

このような開口構造２６による微小開口２６Ｗが形成された構成により、半球／超半球レンズ２の底面及び記録媒体１１上での光スポットの、スポット径と主磁極２２からの相対位置とを正確に制御することが可能とされる。

なお、前述したように、記録効率を高めるためには、記録磁界・印加位置と光スポット中心は、なるべく近接していることが望ましい。なぜなら両者の距離が大きくなるにつれ、温度勾配、および最高到達温度が低下してしまい、記録効率が低減してしまうからである。一方磁極の配置をする上では光スポット中心と磁極間距離は離れていたほうが容易である。以上の点から、主磁極２２からスポットまでの距離は数１００ｎｍ以下、望ましくは５０〜１００ｎｍ程度とすることが好ましい。また、開口構造２６を構成する材料としては、可視光域で表面プラズモン共鳴を発生させることが可能な銀（Ａｇ）や金（Ａｕ）を用いることが、開口からの発生光量の増大を図ることができるため、特に好ましい。

図７は、本発明による磁気記録装置における、半球もしくは超半球レンズ２と、記録用薄膜磁気ヘッド２０を構成する薄膜磁界発生用薄膜コイル２４の電流を制御する信号電源５との関係を示す模式図である。
記録用薄膜磁気ヘッド２０は、磁界発生用薄膜コイル２４の巻回部２４ｃが、半球あるいは超半球レンズ２内部の、入射光が光軸の周りに形成する円錐状の領域内に形成され、磁界発生用薄膜コイル２４の端部２４ｔが、半球あるいは超半球レンズ２の外面まで延長形成され、この外面に形成された電極６３介して、外部配線によって信号電源５に接続されている。

このようにして、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１においては、記録用薄膜磁気ヘッド２０を構成する磁界発生用薄膜コイル２４に対して信号電源５から通電を行うことによって例えば垂直記録用ヘッド構成においては主磁極２２から磁界の発生がなされる。

ここで、磁界発生用薄膜コイル２４及び配線パターンは、銅（Ｃｕ）などの導電性金属薄膜によって構成することができるが、ＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide）などの透明導電材料によって構成することが好ましい。磁界発生用薄膜コイル２４の巻回部は通常、直径１０μｍ〜数１００μｍ、厚さ数μｍの領域に形成されるが、半球／超半球レンズ２を構成する材料と、屈折率などの光学的性質が等しいか類似した透明導電材料による構成とすることにより、磁界発生用薄膜コイル２４による集束光Ｌ_３の散乱や反射などが低減され、上述した光スポットの形状に対する影響も低減される。

また、光アシスト型磁気記録ヘッド１は、この配線パターンから半球／超半球レンズ２の外縁部に導出された箇所と、上述の信号電源５とが、例えば光学レンズ２の底部の配線パターン導出箇所や半球／超半球レンズ２の外部に形成された電極６３におけるワイヤーボンディング等によって接続された構成とすることもできる。

図８は、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１の、半球／超半球レンズ２内に薄膜磁気再生ヘッドが積層形成された例の構成を示す概略断面図である。
本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１は、半球／超半球レンズ２中に、記録用薄膜磁気ヘッド２０とは別に磁気再生ヘッド２８が形成された構成とすることもできる。

磁気再生ヘッド２８は、薄膜磁気抵抗（ＭＲ；Magneto Resistive）ヘッド、例えばＮｉＦｅ薄膜による磁気抵抗（ＡＭＲ；Anisotropic Mgneto Resistive）ヘッド、あるスピンバルブヘッド、巨大磁気抵抗（ＧＭＲ；Giant Magneto Resistive）ヘッド、トンネリング磁気抵抗（ＴＭＲ；Tunneling Magneto Resistive）ヘッドなどの高感度薄膜再生磁気ヘッドによって構成することができる。
このように半球／超半球レンズ２内に薄膜再生磁気ヘッド２８が併設された構成により、光アシスト磁気記録用の記録用薄膜磁気ヘッド２０と、再生磁気ヘッド２８との間のアジマスロスの低減が図られ、磁気記録媒体１１の記録密度の増大化が可能とされる。

本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１は、前述したギャップ調整手段６２を兼ねる２軸アクチュエータに搭載されて、フォーカシング調整、トラッキング調整と、更にフォーカシング調整に重畳してギャップ調整を行うことができる。フォーカシング調整は、媒体表面からの反射光のファーフィールド成分を用い、レンズの結像点が媒体記録層と一致するように行う。フォーカシング調整により、レンズ底面と媒体表面との距離は、レンズの焦点深度の範囲、すなわち±１００ｎｍ程度の範囲まで制御される。しかるのちにギャップ調整により、レンズ底面と媒体表面との距離を極めて近接させる。例えばレンズ底面と媒体表面との距離は２０±２ｎｍ程度まで制御する必要がある。ギャップ検出信号としては、前述の、媒体表面からのニアフィールド成分の反射光量を用いることができる。レンズ底面と媒体表面との距離はｎｍオーダーで近接しているため、ギャップ制御は近接光場を発生させる意味で重要であるばかりでなく、レンズ表面／媒体表面の界面でのトライボロジー的信頼性を確保するうえでも極めて重要である。
図９Ａと図９Ｂは、２軸アクチュエータを、磁気記録媒体１１との関係と共に示した斜視図で、２軸アクチュエータの、２軸アクチュエータ機構を示した斜視図である。

この２軸アクチュエータは、２軸アクチュエータ機構４１が粗動アクチュエータ機構４２を具備し、この粗動アクチュエータ機構４２によって磁気記録媒体１１例えば磁気ディスクのラジアル方向に粗動調整がなされる。
２軸アクチュエータ機構４１は、集光レンズ系４が搭載され、図９Ｂに示すように、上述の２軸アクチュエータ機構４１が、支持ばね４１ａによって、例えば支持体２９内に集光レンズ系４が支持され、第１及び第２のボイスコイルモータ４１ｂ及び４１ｃによって、前述したトラッキングサーボ信号によって磁気記録媒体１１の媒体面に水平な方向すなわちトラッキング方向（矢印ｘで図示）に移動調整し得るようになされ、フォーカスサーボ信号と更にギャップサーボ信号によって光軸方向すなわち媒体面に垂直な方向すなわちフォーカス方向（矢印ｙで図示）とに対する駆動がなされる構成とする。

図１０は、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッド１の、ギャップを一定に保持するギャップ調整手段６２を浮上スライダ構成とした場合の一部を断面とする側面図である。この浮上型構成においては、サスペンション１３の遊端に支持されたスライダ１４に、光アシスト型磁気ヘッド１が搭載され、磁気ヘッド１と対向する磁気記録媒体の移動もしくは回転によって浮上するスライダの浮上量によって光アシスト型磁気ヘッド１と媒体１１とのギャップが規定される構成による。

本発明による磁気記録装置１においては、上述したアクチュエータによる集光レンズ系４及び光アシスト型磁気記録ヘッド１の制御による能動制御型の構成に限らず、半球／超半球レンズ２に対向する磁気記録媒体１１の移動もしくは回転（矢印で図示）によって浮上をなされる受動制御型の構成とすることもできる。また、この構成における浮上スライダ１４及びこのスライダによる浮上機構が、上述したギャップ調整手段を兼ねる構成とすることもできる。

次に、本発明による磁気記録ヘッドの製造方法の実施の形態について説明する。
図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｃは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。

まず、所定の波長帯の光を透過する、例えば光学ガラス、ＳｉＣ、アルミナ、石英、ダイヤモンド基板などによる第１の光学部材３１を用意し、図１１Ａに示すように、この第１の光学部材３１の所定位置に、フォトリソグラフィー及びエッチング、例えばDeep RIE（Reactive Ion Etching）法によって、深さ数μｍ〜数十μｍの溝３１ａを形成する。
ここで、Deep-RIE法とは、通常のRIE法に比べてエッチング対象を深く垂直にエッチングする方法である。エッチングガスとしてＳＦ_６及びＣ_４Ｆ_８を用い、主にＳＦ_６によってエッチングを行うとともに、主にＣ_４Ｆ_８によってエッチングで形成される溝の側壁に保護膜を形成することによって、深く垂直なエッチングが可能とされる。

続いて、図１１Ｂに示すように、先に形成した溝３１ａ内の、最終的に得る磁気ヘッドにおける底部側すなわち端面側に、例えばレジストパターニングとメッキ或いはスパッタリングによって、高透磁率磁性材による第２の薄膜磁極すなわち副磁極２３を形成し、この副磁極２３の形成部を除く溝３１ａ内に、副磁極２３と等しい高さまで例えばＳｉＯ_２、アルミナ、レジストによる絶縁層３２を形成する。
その後、図１１Ｃに示すように、副磁極２３の一部の上面に、レジストパターニングとメッキ或いはスパッタリングによって副磁極架橋部２３ｂを形成し、この副磁極架橋部２３ａの形成部を除く副磁極２３上及び絶縁膜３２上に、層間絶縁膜３３を形成する。

続いて、図１１Ｄに示すように、レジストパターニングとメッキ或いはスパッタリングによって、例えばＣｕ、アルミニウム（Ａｌ）、ＩＴＯなどの導体膜による巻回構造によるコイル２４を形成する。
その後、図１２Ａに示すように、コイル２４の上面及び側面を層間絶縁膜３３の形成によって被覆し、副磁極架橋部２３ｃを、副磁極架橋部２３ｂの上にレジストパターニングとメッキ或いはスパッタリングによって形成する。

続いて、図１２Ｂに示すように、副磁極架橋部２３ｃ上から、最終的に得る磁気ヘッド
における底部側すなわち端面側にかけて、レジストパターニングとメッキ或いはスパッタリングによって、例えば第１の薄膜磁極すなわち主磁極２２を形成し、主磁極２２から層間絶縁膜３５に渡って、その上面を覆う保護膜として絶縁膜３６を形成する。
その後、図１２Ｃに示すように、第１の光学部材３１と、溝３１ａの上部に形成された絶縁膜３６とを平坦化研磨することによって、記録用薄膜磁気ヘッド２０を第１の光学部材３１の溝３１ａ内に形成する。
ここでは記録用薄膜磁気ヘッドとして、垂直記録用磁気ヘッドにおける形成プロセスを示したが、リング型インダクティブヘッドも同様のプロセスで形成可能である。また再生用薄膜磁気ヘッドを併設する場合には、上記と同様のプロセスにより、再生用磁気ヘッドを形成した後、記録用磁気ヘッドの形成を行えばよい。このプロセスにより、記録ヘッドの方をレンズ光軸側に設置することができる。

図１３Ａ〜図１３Ｄ、図１４Ａ〜図１４Ｃは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の、上述の工程に引き続いての工程の説明に供する工程図である。

まず、図１３Ａに示すように、上述した磁気記録ヘッド構体の形成工程で得た、例えば同一端面に多数の記録用薄膜磁気ヘッド２０が同時に形成された第１の光学部材３１を用意し、この第１の光学部材３１と同一の波長帯の光を透過する第２の光学部材４１を、例えば光学接着剤による接着や、圧着加熱による溶着すなわちオプティカルコンタクト法によって、第１の光学部材３１と、記録用薄膜磁気ヘッド２０が形成された端面で、図１３Ｂに示すように接合して接合体５１を得る。

その後、図１３Ｃに示すように、接合体５１を第１の研磨手段５２による機械研磨によって円柱状とし、この円柱状の接合体５１に対して、先に形成した多数の記録用薄膜磁気ヘッド２０の形成間隔に応じて、最終的に得る球状体中に記録用薄膜磁気ヘッド２０が各１つずつ内包される間隔で機械研磨を行い、図１４Ａに示すように、粗球形状の球状体５３を作製する。

続いて、図１４Ｂに示すように、粗球形状の球状体５３に対して、内面が半球型の湾曲面とされた、互いに対向する１組の第２の研磨手段５４ａ及び５４ｂによって粗球形状の球状体５３を回転及び揺動して研磨することにより、所望の真球度及び表面粗度を有し、入射光に対して所定の収差量を示す球状体とする。

その後、図１４Ｃに示すように、この球状体を所定のチップ５５内に固定し、所定の高さを有する半球状または超半球状に成形することによって、記録用薄膜磁気ヘッド２０を内包する半球／超半球レンズ２を得て、この半球／超半球レンズ２と前述した対物レンズ３とを所望の位置角度で組み合わせて集光レンズ系４を形成することによって、上述した、集光レンズ系４と記録用薄膜磁気ヘッド２０とによる光アシスト型磁気記録ヘッド１を製造することができるものである。

なお、この光アシスト型磁気記録ヘッド１の製造において、予め磁界発生用薄膜コイル２４を、最終的に半球／超半球レンズ２の外面となる第２の光学部材４１との接合面に延長形成しておき、製造した半球／超半球レンズ２の外面に表出した磁界発生用薄膜コイル２４の端末部に電極を形成して、信号電源５との接続を図る構成とすることができる。

なお、本発明による磁気記録ヘッド、磁気記録装置、及び磁気記録ヘッドの製造方法は、この実施の形態に限られるものではない。
例えば、本発明による磁気記録ヘッドにおいては、副磁極でなく、主磁極を内芯としてコイルが巻回形成された構成とすることもできるし、主磁極及び副磁極のそれぞれ一方に巻回するコイルが例えば複数形成された構成とすることもできる。

また、磁気記録媒体は、従来のハードディスクと同様の構成のほか、例えば記録トラックの長手方向と交叉する方向に関してランド・アンド・グルーブの凹凸が形成された構成とすることができ、この磁気記録媒体に対するレーザ光の照射に基づいて、その反射光の検出によって、光アシスト型磁気記録ヘッドによる磁界印加のトラッキングサーボ信号を得ることも可能である。

また、上述の実施の形態ではディスク状の磁気記録媒体に対する光アシスト磁気記録用の磁気記録装置と、この磁気記録装置を構成する磁気記録ヘッドを例として説明したが、本発明による磁気記録装置及び磁気記録ヘッドを、テープ状など他の磁気記録媒体に対する光アシスト磁気記録に適用することもできるなど、本発明は種々の変更及び変形をなされうる。

本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドを有する磁気記録装置の概略構成図である。 本発明による磁気記録装置を構成する集光レンズ系の構成を示す模式的斜視図である。 図３Ａと図３Ｂとは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドを構成する半球／超半球レンズの構成の一例を示す概略構成図である。 図４Ａ及び図４Ｂは、それぞれ、本発明による半球あるいは超半球レンズの一例の構成を示す概略断面図と、この半球あるいは超半球レンズの要部の構造を示す断面図である。 図５Ａ及び図５Ｂは、それぞれ、本発明による半球あるいは超半球レンズの他の例の構成を示す概略断面図と、この半球あるいは超半球レンズの要部の構造を示す断面図である。 図６Ａ及び図６Ｂは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドを構成する半球あるいは超半球レンズの底面に開口形成手段を設けた例の構成を示す概略断面図と、半球あるいは超半球レンズの要部の構造を示す断面図である。 本発明による磁気記録装置における、半球もしくは超半球レンズと、記録用薄膜磁気ヘッドを構成する薄膜磁界発生用薄膜コイルの電流を制御する信号電源との関係を示す模式図である。 本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの、半球もしくは超半球レンズ内に磁気再生ヘッドが形成された例の構成を示す概略断面図である。 図９Ａ及び図９Ｂは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの、２軸アクチュエータによる構成の一例を示す、磁気記録媒体に対向する概略斜視図と、この２軸アクチュエータの一例の構成を示す概略斜視図である。 本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの、対向する磁気記録媒体の移動もしくは回転によって浮上をなされる構成による、一例の概略構成図である。 図１１Ａ〜図１１Ｄは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。 図１２Ａ〜図１２Ｃは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。 図１３Ａ〜図１３Ｄは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。 図１４Ａ〜図１４Ｃは、それぞれ、本発明による光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法の一例の説明に供する工程図である。

符号の説明

１・・・光アシスト型磁気記録ヘッド、２・・・半球／超半球レンズ、２ａ・・・記録用薄膜磁気ヘッド、３・・・対物レンズ、４・・・集光レンズ系、５・・・信号電源、６・・・レーザ光源、７・・・ビームスプリッタ、８・・・反射光検出手段、１０・・・スピンドルモータ、１１・・・磁気記録媒体、１１ａ・・・基板、１１ｂ・・・軟磁性層、１１ｃ・・・記録層、１２・・・磁気記録装置、１３・・・サスペンション、１４・・・スライダ、２２・・・主磁極、２２ａ・・・第１の薄膜磁極、２３・・・副磁極、２３ａ・・・第２の薄膜磁極、２３ｂ，２３ｃ・・・副磁極架橋部、２４・・・磁界発生用薄膜コイル、２６・・・開口構造、２７・・・シールド、２８・・・磁気再生ヘッド、２９・・・支持体、３１・・・第１の光学部材、３１ａ・・・溝、３２・・・絶縁膜、３３・・・層間絶縁膜、３５・・・層間絶縁膜、３６・・・絶縁膜、４１・・・第２の光学部材、５１・・・接合体、５２・・・第１の研磨手段、５３・・・球状体、５４ａ，５４ｂ・・・第２の研磨手段、５５・・・チップ、６１・・・磁気記録媒体の配置部、６２・・・ギャップ調整手段

Claims (20)

1. 対物レンズ、及び半球あるいは超半球レンズから構成され、実効開口数が１．０以上であり、近接光を発生するための集光レンズ系を有し、前記半球あるいは超半球レンズの内部に記録用薄膜磁気ヘッドが埋め込まれた構造を有し、前記記録用薄膜磁気ヘッドは、記録磁界を発生する薄膜磁極による主磁極と、記録補助用の薄膜磁極による副磁極と、磁界発生用薄膜コイルとによる垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドである光アシスト型磁気記録ヘッド。
2. 前記半球あるいは超半球レンズは、その底面が中心部に突出部を有する平面もしくは円錐面とされていることを特徴とする請求項１に記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
3. 前記主磁極は、前記半球あるいは超半球レンズの底面から、前記半球あるいは超半球レンズの内部に、前記半球あるいは超半球レンズの光軸に近接平行して配置されて成ることを特徴とする請求項１に記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
4. 前記主磁極は、前記半球あるいは超半球レンズの底面の前記突出部で断面小とされたことを特徴とする請求項２記載の光アシスト型磁気ヘッド。
5. 前記主磁極が、前記集光レンズ系の光軸に近接平行して配置され、
   近接光の開口構造が、前記集光レンズ系の光軸上に形成されたことを特徴とする請求項１記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
6. 対物レンズ、及び半球あるいは超半球レンズから構成され、実効開口数が１．０以上であり、近接光を発生するための集光レンズ系を有し、前記半球あるいは超半球レンズの内部に記録用薄膜磁気ヘッドが埋め込まれた構造を有し、前記記録用薄膜磁気ヘッドは、先端部間に磁気ギャップが形成された第１及び第２の薄膜磁極と、磁界発生用薄膜コイルとを有するリング型インダクティブ磁気ヘッドによることを特徴とする光アシスト型磁気記録ヘッド。
7. 前記磁気ギャップの中心が、前記集光レンズ系の光軸に近接する位置に選定され、
   近接光の開口構造が、前記集光レンズ系の光軸上に形成されたことを特徴とする請求項６に記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
8. 前記記録用薄膜磁気ヘッドが磁界発生用薄膜コイルを有し、該コイルが透明導電材料によって形成されて成ることを特徴とする請求項１に記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
9. 半球あるいは超半球レンズの内部に、前記記録用薄膜磁気ヘッドと共に、磁気抵抗効果型薄膜再生磁気ヘッドが配置されて成ることを特徴とする請求項１に記載の光アシスト型磁気記録ヘッド。
10. レーザ光源と、
    光アシスト磁気記録ヘッドと、
    該光アシスト磁気記録ヘッドの磁気記録媒体とのギャップを規定もしくは制御するギャップ調整手段とを有し、
    前記光アシスト磁気記録ヘッドは、記録磁界を発生する薄膜磁極による主磁極と、記録補助用の薄膜磁極による副磁極と、磁界発生用薄膜コイルとを備え、前記磁気記録媒体に対し磁界を発生させる垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体に対し前記レーザ光源からのレーザ光を集光する集光レンズ系とを有し、
    該集光レンズ系は、対物レンズ及び半球あるいは超半球レンズから構成され、実効開口数が１．０以上とされ、前記半球あるいは超半球レンズの内部に前記記録用薄膜磁気ヘッドが埋め込まれ、
    前記磁気記録媒体に対する情報の記録を、前記ギャップ調整手段によって前記磁気記録媒体に対する前記光アシスト磁気記録ヘッドのギャップ調整がなされた状態で、前記集光レンズ系により前記レーザ光源からのレーザ光を前記磁気記録媒体に集光照射させて、前記薄膜磁気ヘッドからの磁界発生による情報の記録を行うことを特徴とする情報記録装置。
11. 前記ギャップ調整手段が、浮上スライダより成り、該浮上スライダに前記光アシスト磁気記録ヘッドが搭載されて成ることを特徴とする請求項１０に記載の情報記録装置。
12. 前記磁気記録媒体に照射された前記レーザ光の反射光の検出手段を具備し、
    該検出手段による検出出力によって、前記ギャップ調整手段のギャップサーボ信号を得ることを特徴とする請求項１０に記載の情報記録装置。
13. 前記光アシスト磁気記録ヘッドが２軸アクチュエータに搭載され、該２軸アクチュエータによって前記光アシスト磁気記録ヘッドの光軸方向及びこれと直交する方向の２軸調整がなさることを特徴とする請求項１０に記載の情報記録装置。
14. 前記反射光の検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記集光レンズ系による上記磁気記録媒体に対するフォーカシングサーボ信号を得ることを特徴とする請求項１２に記載の情報記録装置。
15. 前記反射光の検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記記録用薄膜磁気ヘッドによる上記磁気記録媒体に対する磁界印加のトラッキングサーボ信号を得ることを特徴とする請求項１２に記載の情報記録装置。
16. 記録トラックの長手方向と交叉する方向に関してランド・アンド・グルーブの凹凸が形成された磁気記録媒体が用いられ、該磁気記録媒体に対する上記レーザ光の反射光の上記検出手段による検出出力から上記光アシスト磁気ヘッドの上記記録用薄膜磁気ヘッドによる上記磁気記録媒体に対する磁界印加のトラッキングサーボ信号を得ることを特徴とする請求項１２に記載の情報記録装置。
17. 前記磁気記録媒体が、記録層の下に軟磁性層を有することを特徴とする請求項１０に記載の情報記録装置。
18. 所定の波長帯の光を透過する第１の光学部材の端面に溝を形成する工程と、
    該溝内に記録用薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、
    該記録用薄膜磁気ヘッド上を、保護膜を構成する絶縁膜によって覆う工程と、
    前記保護膜を平坦化研磨する工程と、
    前記第１の光学部材上に、上記溝内の上記記録用薄膜磁気ヘッドを挟み込んで、前記同一の波長帯の光を透過する第２の光学部材を接合して接合体を形成する工程と、
    該接合体を球面研磨して上記薄膜磁気ヘッドが内部に埋め込まれた半球状または超半球状の光学レンズを形成する工程を有することを特徴とする光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法。
19. 前記溝内に記録用薄膜磁気ヘッドを形成する工程が、
    前記溝内に高透磁率材による第１の薄膜磁極を形成する工程と、
    該第１の薄膜磁極上に絶縁膜を形成した後、金属導体薄膜による磁界発生用薄膜コイルを形成する工程と、
    該磁界発生用薄膜コイル上に絶縁膜を形成する工程と、
    該絶縁層上に高透磁率材による第２の磁極を形成する工程とを有することを特徴とする、
    請求項１８に記載の光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法。
20. 前記半球状または超半球状の光学レンズの形成工程後に、該半球状または超半球状の光学レンズの外面に電極を形成する工程と、金属導体薄膜による磁界発生用薄膜コイルを形成する工程と、を有し、前記磁界発生用薄膜コイルの形成工程において、該半球状または超半球状の光学レンズ内の前記磁界発生用薄膜コイルの端末部を、前記第１の光学部材の前記第２の光学部材との接合面に延長形成して、前記半球状または超半球状の光学レンズの外面の電極に接続されるようにしたことを特徴とする請求項１８に記載の光アシスト型磁気記録ヘッドの製造方法。

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