JP2006172665A

JP2006172665A - 近視野光ヘッド

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Publication number: JP2006172665A
Application number: JP2004367051A
Authority: JP
Inventors: Manabu Omi; 学大海; Masakazu Hirata; 雅一平田
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2004-12-20
Filing date: 2004-12-20
Publication date: 2006-06-29
Anticipated expiration: 2024-12-20
Also published as: JP4515244B2

Abstract

【課題】小型で高い機械的強度と光効率を持つ近視野光ヘッドを提供すること。
【解決手段】近視野光ヘッドは、近視野光を発生させる近視野光発生素子と、光ファイバーを接着固定する固定溝２０２と、固定溝と交差する接着剤逃げ溝２０４を持つ。
【選択図】図２

Description

この発明は、光の回折限界を超える高密度で情報を記録再生する光ヘッド、あるいは高分解能でサンプル表面の状態を検査する近視野光プローブに関する。

近年情報化社会における画像・動画・音楽などの情報の急激な増加に対応するため、情報記録再生装置は大容量化・小型化が進められている。光を用いた情報記録再生装置においては、記録密度が光波長に依存するため、短い波長の光を用いることで高密度化が図られてきた。波長に依存しない記録密度の実現の方法としては、近視野光を用いた記録再生原理が注目されている。また、記録媒体あるいはその原盤を検査する装置も高性能化が求められており、高密度で情報が記録された媒体を高速に検査する装置が必要とされている。媒体検査装置のプローブは、記録再生装置のヘッドと同一原理で媒体表面を評価することによって実際の情報再生を再現するものや、走査型プローブ顕微鏡の原理で媒体表面を評価することによってより精密な検査を行うもの、あるいはその両者を複合させたものなどがある。

近視野光ヘッドを利用した記録再生装置は、基本的構成は従来型の磁気ディスク装置と同じで、磁気ヘッドの代わりに近視野光ヘッドを用いる。このような近視野光ヘッドでは、光ファイバーや光導波路からの出射光を反射面での反射によって方向を変え、レンズを通して集光することで、光学的微小開口に光を照射させていた（特許文献１参照。）。より詳細には図１０、図１１を用いて説明する。

図１０は従来技術による近視野光ヘッド１０００の代表的な構造の断面図である。近視野光ヘッド１０００は光反射基板１００１と近視野光素子基板１００２が接着された構造であり、光ファイバー１０３が上記２枚の基板の間に挟まれて固定されている。光反射基板１００１はＳｉから成り、Ｖ溝１００３とミラー面１００４を持つ。Ｖ溝１００３とミラー面１００４はともにＳｉの結晶異方性エッチングによって形成された、基板表面から約５５°の角度を持つ面から成る。光ファイバー１０３はＶ溝１００３に固定され、接着される。

近視野光素子基板１００２はガラスから成り、上面にマイクロレンズ１００５を持ち、下面に空気浮上面１００６と、錐状ティップ１００７を持つ。錐状ティップ１００７は遮光膜で覆われている（図示略）が、ティップ先端１００８の微小領域のみ遮光膜が除去されている。レーザー（図示略）からの光は光ファイバー１０３によって近視野光ヘッド１０００内部に導入され、光ファイバー１０３端面から出射光１０１１となって出射し、ミラー面１００４で反射した後、マイクロレンズ１００５で集光され、錐状ティップ１００７内部に照射される。光エネルギーの一部はティップ先端１００８の、遮光膜が除去された領域付近に近視野光１０１２となって分布する。この近視野光１０１２を、記録媒体（図示略）表面のデータマークと相互作用させ、その結果発生した散乱光を検出することで、高密度な情報の記録再生を可能とする。

図１１は、上述の光反射基板１００１の底面側すなわち近視野光素子基板１００２と接着する側を示した図である。光反射基板１００１にはＶ溝１００３が形成されており、そこに光ファイバー１０３が接着固定されている。Ｖ溝１００３の終端はミラー面１００４となっている。光ファイバー１０３とＶ溝１００３の接着は接着剤による。典型的には光ファイバー１０３に接着剤を塗布し、Ｖ溝１００３に挿入することによって接着する。

このようにして作製した近視野光ヘッドは小型で高い光効率を持つため、記録媒体表面に近接させて走査することにより、高密度な記録再生を行うことができる。また、媒体検査装置のプローブとしても、回転する媒体に近接させて空気浮上させるため高速走査が可能であり、媒体表面の広い領域を短時間で検査することができる。
国際特許公開第００／２８５３６号パンフレット（第４１−４６頁、第１−６、８、２１、２４−３０、４１−４５図）

しかしながら、上述した従来技術による近視野光ヘッドでは、光ファイバー１０３を光反射基板１００１に接着固定する際に、光ファイバー１０３に接着剤を塗布してから光反射基板１００１のＶ溝１００３に固定しているため、接着剤がミラー面１００４にまで流出してミラー面１００４表面を汚してしまう。ミラー面１００４は、光ファイバー１０３からの光を高効率で反射しなければならないが、接着剤によるコンタミネーションのために反射が乱され、高効率で近視野光素子基板１００２に光照射ができない、という課題があった。

この課題を防止するために、光ファイバー１０３を光反射基板１００１に接着する際に、光反射基板１００１を傾けて接着剤をミラー面１００４に到達しないようにする方法が有り得る。しかし、接着剤は光ファイバー１０３の側面全体に均一に塗布することで安定な接着を確保したいため、光反射基板１００１は水平に保持した状態で接着を行うことが望ましい。また、この課題を防止する別の方法として、使用する接着剤を少なめにすることによってミラー面１００４にまで接着剤が到達し得ないようにする方法も有り得る。
しかし、接着剤は光ファイバー１０３とＶ溝１００３を確実に接着することが必要であり、円筒形の光ファイバー１０３と、側面が平面であるＶ溝１００３の接着面を固定するためには十分な量の接着剤を使用することが望ましい。光ファイバー１０３と、光反射基板１００１の固定はミクロン以下の精度で行う必要があり、わずかなずれによってもヘッドの光効率が大幅に劣化してしまう。高い光効率で良好なＳ／Ｎ比を持つ近視野光ヘッドのためには、光ファイバー１０３と光反射基板１００１をしっかりと固定し、なおかつミラー面１００４には接着剤が付着しないようにしなければならない。従来技術による近視野光ヘッドでは、この両方の条件を同時に満足することができなかった。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、第１の溝を有する基板と、前記第１の溝に接着剤で接着され、光源からの伝搬光を導入する光ファイバーと、記録媒体に対向して設けられ、反射面を介して行路を変更した前記伝搬光を近視野光に変換する近視野光発生素子とを有し、前記近視野光を介して前記記録媒体表面と相互作用することで、前記記録媒体に情報を記録あるいは前記記録媒体に記録された情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、前記基板は、前記第１の溝と交差し、前記接着剤の逃げ溝となる第２の溝を更に有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。
また、前記本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記第２の溝の深さが、前記第１の溝の深さと同じ深さである、または第１の溝の深さより深いことを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第３の態様は、第１または第２の態様において、前記基板は、前記反射面が形成された第１の基板と、前記近視野光発生素子を備える第２の基板とから成り、前記第１の基板面に前記第１の溝と前記第２の溝を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第４の態様は、第３の態様において、前記第１の溝の前記光源と反対側の一方端が、前記反射面を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第５の態様は、第３または第４の態様において、前記第１の基板がＳｉから成り、前記第１の溝と前記第２の溝が、前記Ｓｉの結晶異方性エッチングによって形成されたＶ字状の溝であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第６の態様は、第３から第５のいずれかの態様において、前記第２の基板は、前記第２の溝と嵌合する凸状の突起部を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第７の態様は、第３から第６のいずれかの態様において、前記反射面で反射した前記伝搬光を前記近視野光発生素子に集光するレンズを前記第２の基板内に有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第８の態様は、第１または第２の態様において、前記光ファイバーは、前記光源とは反対側の一方端に、前記伝搬光の行路を変更して前記近視野光発生素子に導く前記反射面を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第９の態様は、第８の態様において、前記基板がＳｉから成り、前記第１の溝と前記第２の溝が、前記Ｓｉの結晶異方性エッチングによって形成されたＶ字状の溝であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第１０の態様は、第８または第９の態様において、前記反射面で反射した前記伝搬光を前記近視野光発生素子に集光するレンズを前記基板内に有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第１１の態様は、第１から第１０のいずれかの態様において、前記近視野光発生素子が、前記伝搬光の波長よりも小さな光学的開口であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第１２の態様は、第１から第１１のいずれかの態様において、前記第１の溝の深さが、前記第２の溝との交差部を境として、前記反射面側と前記光源側とで異なっていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。

また、前記本発明の第１３の態様は、第１から第１２のいずれかの態様において、前記第２の溝が、前記基板の側面まで達していることを特徴とする近視野光ヘッドにある。

本発明によれば、光ファイバーと近視野光ヘッドを接着するための接着剤を十分な量使用して接着し、近視野光ヘッドを水平に保持することで光ファイバーの側面全体に均一に接着剤が広がった状態で接着することができ、なおかつ余分な接着剤が接着剤逃げ溝に流出するためにミラー面に到達することがないためミラー面は高い反射率を保証される。これにより、機械的強度が高く、光効率の高い近視野光ヘッドを実現できる。

また、本発明によれば、光ファイバーを固定する固定溝と、接着剤逃げ溝の両方が高い形状精度で作製することができる。また、低コストで量産に適した構造となり、安定した高い性能で、低コストの近視野光ヘッドを実現できる。
また、本発明によれば、分解能が伝搬光の波長ではなく光学的開口のサイズで決定されるため、光の回折限界を超える分解能の近視野光ヘッドを実現できる。
また、本発明によれば、光ファイバーからの光を近視野光素子基板に向けて反射させることができ、小型で低浮上量による高記録密度の近視野光ヘッドを実現できる。

また、本発明によれば、光ファイバーが固定溝と接着剤逃げ溝との交差部で行き止まり、光ファイバーの前後方向の位置合わせが不要になることで、高い組立精度を低コストで実現できる。

また、本発明によれば、余分な接着剤が光反射基板の側面に流出し、光反射基板上面を汚すことなく、近視野光素子基板と安定した接着を実現できる。

また、本発明によれば、近視野光素子基板と光反射基板を高い位置精度で組み立てることが容易に可能となり、高性能で低コストの近視野光ヘッドを実現できる。

また、本発明によれば、近視野光ヘッドを単一の基板から作製することもでき、小型のヘッドとなるため、記録媒体表面からの浮上量を低減することによって高Ｓ／Ｎ比を持つ高記録密度なヘッドを実現できる。

以下に、この発明の実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１に本発明の実施の形態１に係るOLE_LINK1近視野光ヘッドを用いた情報再生装置の概略を示すOLE_LINK1。本実施の形態に係る情報再生装置は、従来の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光を発生する光学的微小開口（図示略）を有する近視野光ヘッド１０６を記録媒体１０７の表面に数十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体１０７を高速に回転させ、近視野光ヘッド１０６が記録媒体１０７と常に一定の相対配置で浮上するために、フレクシャー１０５をサスペンションアーム１０４の先端部に形成している。サスペンションアーム１０４はボイスコイルモータ（図示略）によって記録媒体１０７の半径方向に移動可能である。ここで、近視野光ヘッド１０６は、記録媒体１０７に光学的微小開口が対面するように配置されている。

レーザー１０１からの光束をフレクシャー１０５近傍まで導く光伝搬部は、レンズ１０２とサスペンションアーム１０４に固定された光ファイバー１０３から構成されている。

ここで、光ファイバー１０３を用いたが、これは、光導波路や空中光伝搬を用いてもよい。また、必要に応じて、レーザー１０１は回路系１０８により強度変調などをかけることもできる。概略をわかりやすくするために、サスペンションアーム１０４とフレクシャー１０５と近視野光ヘッド１０６はそれぞれ分解した形で示してあるが、実際には、それぞれは接続され必要に応じて固定されている。

近視野光ヘッド１０６の断面は、図１０で説明した従来技術による近視野光ヘッドと同様であり、２個の基板あるいは部品が光ファイバーを挟み込むように接着されている。この２個の部品のうち、記録媒体１０７から遠い方の部品を光反射部と呼ぶ。

図２に本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッド１０６のうち、光反射部２００の斜視図を示す。光反射部２００は光反射基板２０１と光ファイバー１０３から成る。光反射基板２０１には固定溝２０２と、それに交差する接着剤逃げ溝２０４が形成されている。固定溝２０２の終端はミラー面２０３になっている。光ファイバー１０３は固定溝２０２に接着固定されている。光反射基板２０１はＳｉから成り、固定溝２０２と接着剤逃げ溝２０４はどちらもＳｉの結晶異方性エッチングによって形成したものである。

図３（ａ）（ｂ）にそれぞれ光反射基板２０１の上面図、断面図を示す。接着剤逃げ溝２０４は固定溝２０２よりも深く形成されている。接着剤塗布部２０５は、光ファイバー１０３の側面に塗布した接着剤が、光ファイバー１０３と固定溝２０２側面を接着する面である。光ファイバー１０３に塗布した接着剤のうち、光ファイバー１０３と固定溝２０２の接着に消費される以外は、固定溝２０２の中を流れて拡散し、一部は固定溝２０２と接着剤逃げ溝２０４の交差部に達する。接着剤逃げ溝２０４は固定溝２０２よりも深く掘られているため、接着剤は交差部から接着剤逃げ溝２０４内に流入し、固定溝２０２の終端部にあるミラー面２０３の方向には進まない。

これにより、必要以上の接着剤を塗布した光ファイバー１０３を接着した場合でも、余分な接着剤は接着剤逃げ溝２０４に逃げるため、ミラー面２０３を汚す可能性が無い。光ファイバー１０３と、固定溝２０２は十分な強度で接着されており、なおかつ、ミラー面２０３は常に高い光反射率を維持することができる。十分な強度の接着を保証するために接着剤の量を厳密に制御する必要がなく、必要量よりも若干多めに塗布すればよい。固定溝２０２と接着剤逃げ溝２０４はどちらもＳｉの結晶異方性エッチングによって形成されているため、高い形状精度を持ち、低コストで作製可能である。十分な機械的強度と高い光効率を持つ近視野光ヘッドを低コストで安定的に作製することが可能となった。
（実施の形態２）
図４（ａ）（ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係る近視野光ヘッドの光反射基板の上面図と断面図を示す。光反射基板は、固定溝３０１と、それに交差する接着剤逃げ溝３０４が形成されている。固定溝３０１の、接着剤逃げ溝３０４との交差部よりも先の部分３０２は、交差部の手前部分よりも浅い溝になっており、終端部はミラー面３０３になっている。図５は、光反射基板の斜視図を示す。光ファイバー１０３は固定溝３０１に固定されるが、両溝交差部よりも先の部分３０２は、固定溝３０１よりも浅い溝になっているため、光ファイバー１０３先端面３０６は、接着剤逃げ溝３０４の側面３０５に突き当たる形で固定されている。

このような構造の近視野光ヘッドは、余分な接着剤が接着剤逃げ溝３０４に流出することでミラー面３０３に付着することがない。光ファイバー１０３からの光は、極めて平坦度の高いミラー面で反射するため、光損失が少なく、近視野光素子基板に高い光効率で照射される。これにより、高い光効率の近視野光ヘッドが実現される。また、光ファイバー１０３を固定溝３０１に接着固定する際に、先端が接着剤逃げ溝３０４の側面３０５に突き当てるため、光軸方向の固定位置精度が両溝形成精度で決定される。これにより、光ファイバー１０３と、光反射基板３００の接着固定の工程を容易に高精度なものにできる。

（実施の形態３）
図６は本発明の実施の形態３に係る近視野光ヘッドの光反射基板４００の斜視図を示す。光反射基板４００には固定溝４０１と、それに交差する接着剤逃げ溝４０２、さらにそれに交差する接着剤逃げ溝延長部４０３、が形成されている。光ファイバー１０３は固定溝４０１に接着固定されている。固定溝４０１の、接着剤逃げ溝４０２との交差部より先の部分は、実施の形態１のように手前部分と同じ深さでもよいし、実施の形態２のように浅くなっていてもよい。本実施の形態の特徴は、実施の形態１あるいは２の構造に加えて接着剤逃げＶ溝延長部４０３を持つ点である。このような構造にすることによって、余分な接着剤を受け入れる容積がより大きくなり、組立工程における接着剤量の許容量が大きくなり、制御がより容易になる。
（実施の形態４）
図７は本発明の実施の形態４に係る近視野光ヘッドの光反射基板５００の斜視図を示す。光反射基板５００には固定溝５０１と、それに交差する接着剤逃げ溝５０２、さらにそれに交差する接着剤逃げ溝延長部５０３、が形成されている。光ファイバー１０３は固定溝５０１に接着固定されている。本実施の形態と実施の形態３との相違は、接着剤逃げ溝延長部５０３が、光反射基板５００の側面５０４にまで達している点である。このような構造にすることにより、余分な接着剤を接着剤逃げＶ溝延長部から光反射基板の側面に流出させることができる。これにより、光ファイバー１０３に接着剤を多く塗布しても、光反射基板５００の上面に溢れることが無く、近視野光素子基板（図示略）との接着に障害とならない。
（実施の形態５）
図８は本発明の実施の形態５に係る近視野光ヘッドの光反射基板４００と、近視野光素子基板７００の斜視図を示す。光反射基板４００は実施の形態３で実施したものと同一であるので説明を略す。本実施の形態の特徴は、近視野光素子基板７００が、突起部７０１を持っている点である。突起部７０１は、光反射基板４００の接着剤逃げＶ溝延長部に嵌め込まれ、接着固定される。このような構造にすることにより、組立時の位置合わせがより容易になり、製造コストが低減される。また、光反射基板４００と近視野光素子基板７００の接着面積が大きくなるため接着力が上がり、機械的強度の大きな近視野光ヘッドとなる。
（実施の形態６）
図９は本発明の実施の形態６に係る近視野光ヘッド６００を示す。近視野光素子基板６０には固定溝６０３と、接着剤逃げ溝６０４と、マイクロレンズ６０７を持つ。マイクロレンズ６０７は、近視野光素子基板６０１の表面から窪んだ領域に形成されている。光ファイバー６０２は、その先端面６０５が光軸に対して４５度の角度で斜めに研磨されている。本実施の形態の特徴は、光反射基板が存在せず、近視野光ヘッド６００が近視野光素子基板６０１と光ファイバー６０２のみから成っている点である。光ファイバー６０２の先端面６０５が斜めに研磨されていることによりこのような構造が可能となっている。
光ファイバー６０２は固定溝６０３に接着剤を用いて固定されているが、塗布する接着剤が多すぎた場合には余分な接着剤が接着剤逃げ溝６０４に流入する。これにより、光入射面６０６およびマイクロレンズ６０７に接着剤が付着することが防止できる。光入射面６０６およびマイクロレンズ６０７は常に高い光透過効率を持ち、十分な接着剤を塗布された光ファイバー６０２は固定溝６０３にしっかりと固定される。

このような小型近視野光ヘッドは、記録媒体表面に対して微小な浮上が可能となり、近視野光を介した相互作用がより局在化され、また強いものとなるため、高密度で高Ｓ／Ｎ比を持つ記録再生ヘッドが実現される。本実施の形態においては、近視野光素子基板６００はガラスから成るものを用いたが、Ｓｉ基板から作製することも可能であり、その場合は実施の形態１のように固定溝６０３と接着剤逃げ溝６０４はＳｉの結晶異方性エッチングによるＶ溝にすることができる。図示を略した光源からの光はＳｉを透過する赤外領域の波長を使用することで、一枚基板から成る小型薄型の近視野光ヘッドが実現される。

本発明の実施の形態１にかかわる近視野光ヘッドを用いた情報再生装置の概略を示す。本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッド１０６のうち、光反射部２００の斜視図を示す。光反射基板２０１の上面図（ａ）と断面図（ｂ）を示す。本発明の実施の形態２に係る近視野光ヘッドの光反射基板の上面図（ａ）と断面図（ｂ）を示す。光反射基板の斜視図を示す。本発明の実施の形態３に係る近視野光ヘッドの光反射基板４００の斜視図を示す。本発明の実施の形態４に係る近視野光ヘッドの光反射基板５００の斜視図を示す。本発明の実施の形態５に係る近視野光ヘッドの光反射基板４００と、近視野光素子基板７００の斜視図を示す。本発明の実施の形態６に係る近視野光ヘッド６００を示す。従来技術による近視野光ヘッド１０００の代表的な構造の断面図を示す。従来技術による光反射基板１００１の底面側を示す。

符号の説明

１０１レーザー
１０２レンズ
１０３光ファイバー
１０４サスペンションアーム
１０５フレクシャー
１０６近視野光ヘッド
１０７記録媒体
１０８回路系
２００光反射部
２０１光反射基板
２０２固定溝
２０３ミラー面
２０４接着剤逃げ溝
２０５接着剤塗布部
３０１固定溝
３０２固定溝３０１の接着剤逃げ溝３０４との交差部よりも先の部分
３０３ミラー面
３０４接着剤逃げ溝
３０５接着剤逃げ溝３０４の側面
３０６光ファイバー１０３の先端面
４００光反射基板
４０１固定溝
４０２接着剤逃げ溝
４０３接着剤逃げ溝延長部
５００光反射基板
５０１固定溝
５０２接着剤逃げ溝
５０３接着剤逃げ溝延長部
５０４光反射基板５００の側面
６００近視野光ヘッド
６０１近視野光素子基板
６０２光ファイバー
６０３固定溝
６０４接着剤逃げ溝
６０５光ファイバー先端面
６０７マイクロレンズ
７００近視野光素子基板
７０１突起部
１０００従来技術による近視野光ヘッド
１００１光反射基板
１００２近視野光素子基板
１００３Ｖ溝
１００４ミラー面
１００５マイクロレンズ
１００６空気浮上面
１００７錐状ティップ
１００８ティップ先端
１０１１出射光
１０１２近視野光

Claims

第１の溝を有する基板と、前記第１の溝に接着剤で接着され、光源からの伝搬光を導入する光ファイバーと、記録媒体に対向して設けられ、反射面を介して行路を変更した前記伝搬光を近視野光に変換する近視野光発生素子とを有し、前記近視野光を介して前記記録媒体表面と相互作用することで、前記記録媒体に情報を記録あるいは前記記録媒体に記録された情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記基板は、前記第１の溝と交差し、前記接着剤の逃げ溝となる第２の溝を更に有することを特徴とする近視野光ヘッド。
前記第２の溝の深さが、前記第１の溝の深さと同じ深さである、または前記第１の溝の深さより深いことを特徴とする請求項１に記載の近視野光ヘッド。
前記基板は、前記反射面が形成された第１の基板と、前記近視野光発生素子を備える第２の基板とから成り、前記第１の基板面に前記第１の溝と前記第２の溝を有することを特徴とする請求項１または２に記載の近視野光ヘッド。
前記第１の溝の前記光源と反対側の一方端が、前記反射面を有することを特徴とする請求項３に記載の近視野光ヘッド。
前記第１の基板がＳｉから成り、前記第１の溝と前記第２の溝が、前記Ｓｉの結晶異方性エッチングによって形成されたＶ字状の溝であることを特徴とする請求項３または４に記載の近視野光ヘッド。
前記第２の基板は、前記第２の溝と嵌合する凸状の突起部を有することを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
前記反射面で反射した前記伝搬光を前記近視野光発生素子に集光するレンズを前記第２の基板内に有することを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
前記光ファイバーは、前記光源とは反対側の一方端に、前記伝搬光の行路を変更して前記近視野光発生素子に導く前記反射面を有することを特徴とする請求項１または２に記載の近視野光ヘッド。
前記基板がＳｉから成り、前記第１の溝と前記第２の溝が、前記Ｓｉの結晶異方性エッチングによって形成されたＶ字状の溝であることを特徴とする請求項８に記載の近視野光ヘッド。
前記反射面で反射した前記伝搬光を前記近視野光発生素子に集光するレンズを前記基板内に有することを特徴とする請求項８または９に記載の近視野光ヘッド。
前記近視野光発生素子が、前記伝搬光の波長よりも小さな光学的開口であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
前記第１の溝の深さが、前記第２の溝との交差部を境として、前記反射面側と前記光源側とで異なっていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
前記第２の溝が、前記基板の側面まで達していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の近視野光ヘッド。