JP2002240046A

JP2002240046A - クリーナ装置及び樹脂封止装置

Info

Publication number: JP2002240046A
Application number: JP2001039005A
Authority: JP
Inventors: Tomio Katsuie; 富男勝家
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2001-02-15
Filing date: 2001-02-15
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-02-15
Also published as: JP4555488B2

Abstract

(57)【要約】【課題】モールド金型の種類が変わっても共用できる
汎用性を向上させたクリーナ装置を提供する。【解決手段】上クリーナユニット３６の上集塵ダクト
部３８と下クリーナユニットの下集塵ダクト部３９が連
通して共用する共通集塵ダクト３３を有し、上集塵ダク
ト部３８が移動して共通集塵ダクト３３との連通孔４０
を塞ぐように移動可能に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する利用分野】本発明は型開きしたモールド
金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリー
ニングしつつ集塵するクリーナ装置及び該クリーナ装置
を備えた樹脂封止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置として用いられる樹脂封
止装置には、型開きしたモールド金型より成形品を取り
出した後に、該モールド金型の金型面に付着した樹脂か
すを除去するためクリーナ装置が設けられている。この
クリーナ装置の１例について、図１１を参照して説明す
る。クリーナ装置１０１は、取付板１０２の上下に上集
塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４が取付固定
されている。上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部
１０４は、上型面及び下型面に対向してダクト開口部１
０５、１０６を有するダクトフレーム１０７、１０８が
設けられている。

【０００３】このダクト開口部１０５、１０６には金型
面に摺接して集塵する際のガイドとなるスカート部１０
９、１１０が設けられている。ダクトフレーム１０７、
１０８内には上下金型面より各々樹脂かすを掻き落とす
クリーニングブラシ１１１、１１２が回転可能に収容さ
れている。クリーニングブラシ１１１、１１２は、図示
しない電動モータなどの駆動源により回転駆動される。
上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４は、取
付板１０２に設けられた連通孔１１３、１１４を通じて
共通集塵ダクト部１１５に連通している。

【０００４】樹脂成形後、型開きしたモールド金型にク
リーナ装置１０１が進入する際に上集塵ダクト部１０３
のクリーニングブラシ１１１を回転駆動させると共にダ
クトフレーム１０７、連通孔１１３、共通集塵ダクト部
１１５を通じて吸引しながら集塵し上型面をクリーニン
グするようになっている。また、モールド金型よりクリ
ーナ装置１０１が退避する際に下集塵ダクト部１０４の
クリーニングブラシ１１２を回転駆動させると共にダク
トフレーム１０８、連通孔１１４、共通集塵ダクト部１
１５を通じて吸引しながら集塵し下型面をクリーニング
するようになっている。

【０００５】また、近年、金型メンテナンスを簡略化
し、サイクルタイムを短縮化して生産効率を高めるた
め、モールド金型の上型面及び／又は下型面をリリース
フィルムで覆って樹脂封止する樹脂封止装置が開発さ
れ、実用化されている。この装置においては、樹脂封止
が行われるたびに、モールド金型の上型面及び／又は下
型面を覆うリリースフィルムを交換するだけで新たな樹
脂封止が行える。

【０００６】例えば、上型面及び下型面をリリースフィ
ルムで覆う樹脂封止装置においては、クリーニングブラ
シがリリースフィルムに接触すると破れるおそれがある
ため、クリーナ装置は省略される。また、上型面又は下
型面の一方をリリースフィルムで覆う樹脂封止装置にお
いては、リリースフィルムで覆われない一方の金型面の
みをクリーニングするクリーナ装置が設けられる。例え
ば図１２に示すように、上型面のみをリリースフィルム
１１７で覆うクリーナ装置１１６においては、下型面の
みをクリーニングするため、取付板１０２には下集塵ダ
クト部１０４のみが取付固定されている。取付板１０２
の上集塵ダクト部１０３の取付位置に設けられた連通孔
１１３は閉鎖板１１８により閉鎖されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リリー
スフィルムの使用／不使用によってクリーナ装置が不要
であったり必要であったり、或いはリリースフィルムに
より上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止
装置の装置構成によって、個別にクリーナ装置を製作す
るのは、製造コストが嵩む上に部品点数が多くなる。ま
た、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを
使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交
換するたびに、クリーナ装置も交換する必要があり、メ
ンテナンスの作業負担が増えて作業性が低下する。

【０００８】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、モールド金型の種類が変わっても共用できる汎用
性を向上させたクリーナ装置及び該クリーナ装置を備え
て製造コストやメンテナンス作業が効率化して行える樹
脂封止装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。即ち、型開きしたモー
ルド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をク
リーニングしつつ集塵するクリーナ装置においては、上
クリーナユニットの上集塵ダクト部と下クリーナユニッ
トの下集塵ダクト部が各々連通して共用する共通集塵ダ
クト部を有し、上集塵ダクト部及び／又は下集塵ダクト
部が共通集塵ダクト部との連通孔を個別に塞ぐように上
クリーナユニット及び／又は下クリーナユニットが移動
可能に設けられていることを特徴とする。また、上クリ
ーナユニット及び／又は下クリーナユニットは、上型面
及び／又は下型面をクリーニング可能なクリーニング位
置と、上型面及び／又は下型面より退避した退避位置と
の間を移動可能に設けられていることを特徴とする。ま
た、上下クリーナユニットは、上型面及び下型面に各々
対向してダクト開口部を有する上下ダクトフレームと、
該上下ダクトフレーム内に回転可能に収容され、金型面
より樹脂かすを掻き落とす上下クリーニングブラシとを
備えた上下集塵ダクト部と、上下クリーニングブラシを
回転駆動する駆動機構と、上下ダクトフレームを移動さ
せる移動機構とを具備したことを特徴とする。

【００１０】また、樹脂封止装置においては、前述した
クリーナ装置が、移動レール部からプレス部へ進退移動
して被成形品を搬入するローダー及び／又は成形品を取
り出すアンローダーに設けられていることを特徴とす
る。また、クリーナ装置は、プレス部へ進退移動するワ
ーク搬送部の先頭側に前記上下集塵ダクト部が一体に設
けられていることを特徴とする。また、ローダー及びア
ンローダーは、共通の移動レール部を移動可能に設けら
れており、共通集塵ダクト部は移動レール部に沿って設
けられた装置本体側の集塵ダクトに連通可能に設けられ
ていることを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について添付図面と共に詳述する。尚、本実施の態様で
は、樹脂封止装置の一例として、被成形品をプレス部に
搬入する搬入部（ローダー）と、プレス部より成形品を
成形品取出部へ取り出す搬出部（アンローダー）とが移
動レール部を共用するタイプの樹脂封止装置について説
明する。図１はクリーナ装置の上視図、図２は図１の左
側面図、図３は図１の右側面図、図４は上下クリーナユ
ニットが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説
明図、図５は図４のＸ−Ｘ断面図、図６は下クリーナユ
ニットのみが作動状態でクリーニングブラシ部側から見
た説明図、図７は図６のＹ−Ｙ断面図、図８（ａ）
（ｂ）はクリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及
び側面図、図９は増設レールユニットにプレス部を搭載
して増設した樹脂封止装置の平面図、図１０は図９の樹
脂封止装置のプレス部の側面説明図である。

【００１２】先ず、樹脂封止装置の概略構成について図
９及び図１０を参照して説明する。図９において、樹脂
封止装置は被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニッ
トＢとの間に増設レールユニットＣを分離可能に備えて
いる。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ
及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と
台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えるこ
とが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、
受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フ
ィルムユニット等が適宜設置されている。

【００１３】図９において、１は基板供給部であり、供
給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板など
の基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて
供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置
４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供
給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。５は樹
脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出す
リニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブ
レットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を
供給位置まで移動して供給する。

【００１４】７はプレス部であり、モールド金型８及び
該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構
及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しなが
ら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装
備されている。プレス部７は、台座部９に設けられてお
り、モールド金型８（上型面及び／又は下型面）をリリ
ースフィルム１０により覆うフィルムユニットＦが取付
け可能になっている。本実施例は、上型面のみがリリー
スフィルム１０で覆われる場合について説明する。尚、
成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレ
ス部７を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に
取付可能になっている（図示せず）。

【００１５】フィルムユニットＦは、プレス部７の両側
にフィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２を備え
ており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交す
る方向に張設されている。リリースフィルム１０は、Ｑ
ＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露
出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タ
イプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バン
プ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止す
る場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０
は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有
するもので、金型面より容易に剥離するものであって、
柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦ
Ｅ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロ
ス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用
いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の
上型パーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸
引することで、上型面に密着して張設される。

【００１６】１３は移動レール部であり、被成形品供給
ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニ
ットＣにわたって連結されている。この移動レール部１
３には、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレ
ットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持す
るローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すア
ンローダー１５が共用して移動可能になっている。ロー
ダー１４及びアンローダー１５は、移動レール部１３を
所要位置へ移動して所要のプレス部７に一方向から進退
移動するようになっている。

【００１７】１６はアンローダー１５の共通集塵ダクト
部に接続可能な集塵ダクトであり、移動レール部１３に
併設されている。集塵ダクト１６の一端は集塵機１７に
連結しており、他端にはダクト連結部１８が設けられて
いる。ダクト連結部１８には増設レールユニットＣの集
塵ダクト１６が連結可能になっている。アンローダー１
５のプレス部７への進入方向先頭側にはクリーナ装置１
９が一体に設けられている。クリーナ装置１９は、プレ
ス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー１５の
共通集塵ダクト部が対応する集塵ダクト１６のダクト連
結部１８に形成された連結孔（図示せず）に連結して、
型開きしたモールド金型８より退避する際に下金型面を
クリーニングしながら集塵動作を行い、樹脂かすなどの
塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。

【００１８】図９において、いずれかのプレス部よりア
ンローダー１５により取出された成形品は成形品取出部
の下方に待機している移動テーブル２０へ受け渡され
る。アンローダー１５は、成形品を移動テーブル２０へ
受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テ
ーブル２０は成形品を載置してディゲート部２１へ搬送
する。ディゲート部２１は、移動テーブル２０へ載置さ
れて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツ
イストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離
する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収
される。移動テーブル２０は成形品のみを載置して成形
品収納部へ搬送する。成形品収納部において、移動テー
ブル２０に搬送された成形品が成形品ピックアップ２２
により一旦保持される。そして、移動テーブル２０が成
形品取出部へ向かって移動すると、ピックアップ２２
は、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて
旋回して向きを揃えて成形品を収納する。

【００１９】増設レールユニットＣは、被成形品供給ユ
ニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設
けられている。この増設レールユニットＣには、移動レ
ール部１３どうしを連結してローダー１４及びアンロー
ダー１５が長手方向に移動可能になっている。増設レー
ルユニットＣの台座部９には、各種機能部が交換可能に
設けられている。本実施例では増設するプレス部７が設
けられている。

【００２０】ここで、プレス部７を搭載した増設レール
ユニットＣの構成について図１０を参照して説明する。
台座部９は、レール台座部９ａとベース台座部９ｂとを
備えており、ベース台座部９ｂには、プレス部７が搭載
されている。プレス部７には、モールド金型８を開閉す
る公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧
を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装
備されている。レール台座部９ａには、移動レール部１
３が搭載されている。移動レール部１３には、レール支
持部２４の上にレールブロック２５が固定されている。
レールブロック２５の幅方向両側には、Ｌ字状に切欠か
れたアングル部が設けられており、該アングル部にはレ
ール２６が位置決め固定されている。また、レール支持
部２４には、集塵ダクト１６がレール２６に沿って保持
されている。また、レール台座部９ａには、ベース台座
部９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例で
はプレス部及びフィルムユニット）の制御ユニット２７
が設けられている。

【００２１】ローダー１４及びアンローダー１５は、被
成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設
レールユニットＣのいずれかのレール支持部２４に設け
られた軸部に回転可能に設けられた駆動側プーリと従動
側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに、ベ
ルト連結片により各々連繋している。ローダー１４及び
アンローダー１５は、図示しない駆動源により各軸部を
所定方向に回転駆動させることによりレール２６上を各
ユニット間にわたって移動するようになっている。ロー
ダー１４及びアンローダー１５の下面には、レール２６
上をスライドするスライドガイド２８が設けられてい
る。

【００２２】また、モールド金型（上型）８の両側には
長尺状のリリースフィルム１０を供給し巻き取るフィル
ムユニットＦが設けられている。このフィルムユニット
Ｆは、装置奥側（移動レール部１３側）にリリースフィ
ルム１０を供給するフィルム供給部１１を有し、装置手
前側にリリースフィルム１０を巻き取るフィルム巻取り
部１２を有している。フィルム供給部１１及びフィルム
巻取り部１２は、フィルムカバー１１ａ、１２ａを回動
させて、フィルムロールを各々着脱できるようになって
いる。

【００２３】また、フィルムユニットＦは、上型のみな
らず下型の両側に設けても良い。この場合、例えば装置
奥側に設けられたフィルム供給部１１はフィルムロール
装着（又は交換）する場合の作業スペースに乏しいた
め、モールド金型８が型開きした状態でフィルム供給部
１１を上下に移動可能にして移動レール部１３側の空い
たスペースからフィルムカバー１１ａを回動させてフィ
ルムロールを着脱するようにしても良い。

【００２４】次に、クリーナ装置１９を備えたアンロー
ダー１５の構成について図８を参照して説明する。図８
（ａ）において、アンローダー１５には、モールド金型
より成形品を保持して取り出すワーク搬送部１５ａが設
けられている。このワーク搬送部１５ａには、成形品を
保持するための図示しないメカニカルハンド若しくは吸
着部が設けられている。また、ワーク搬送部１５ａは、
プレス部７へ進退動するため両側に複数のガイドローラ
２９及び図示しない駆動ローラが設けられている。アン
ローダー駆動モータ３０を駆動することにより、図示し
ないベルト駆動伝達機構などを介して駆動ローラに駆動
伝達して、該駆動ローラとガイドローラ２９とでフレー
ム部３１の両側に設けられたガイドレール３２を挟みな
がら、ワーク搬送部１５ａはプレス部７へ向かって進退
動するようになっている。

【００２５】３３は共通集塵ダクト部であり、その一端
はクリーナ装置１９のダクト部と連通しており他端はホ
ース３４を介して集塵ダクト１６のダクト連結部１８に
連結するようになっている。３５は集塵動作検知用の圧
力センサであり、共通集塵ダクト部３３の途中に設けら
れている。この圧力センサ３５は、後述する上下集塵ダ
クト部を併用したときと、何れか一方のみを使用した場
合とで、圧力変化を監視して常に一定の吸引圧を保つよ
うに設計されている。

【００２６】次に、クリーナ装置１９の具体的な構成に
ついて図１〜図３を参照して説明する。クリーナ装置１
９は、上クリーナユニット３６と下クリーナユニット３
７とを備えており、上クリーナユニット３６には上集塵
ダクト部３８が、下クリーナユニット３７には下集塵ダ
クト部３９が設けられている。上集塵ダクト部３８及び
下集塵ダクト部３９は共通集塵ダクト部３３に連通孔４
０，４１（図４参照所）を介して各々連通して共用する
ようになっている。また、本実施例では、上型面がリリ
ースフィルム１０で覆われているため、上集塵ダクト部
３８が上下に移動可能に設けられており、共通集塵ダク
ト部３３との連通孔４０を塞ぐようになっている。具体
的には、上集塵ダクト部３８は、上型面をクリーニング
可能なクリーニング位置Ｐと、上型面Ｔより下方へ退避
した退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられている。
尚、装置形態によっては、例えば下型面がリリースフィ
ルム１０で覆われている場合には、下集塵ダクト部３９
が共通集塵ダクト部３３との連通孔４１を塞ぐように移
動可能に設けられていてもよく、また、リリースフィル
ム１０を使用しない場合には、上集塵ダクト部３８及び
下集塵ダクト部３９が共通集塵ダクト部３３との連通孔
４０，４１を塞ぐように移動可能に設けられていても良
い。

【００２７】上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト３９
は、上型面Ｔ及び下型面Ｕに対向して上下ダクト開口部
４２、４３が設けられた上下ダクトフレーム４４、４５
を備えている。上下ダクト開口部４２、４３には、上型
面Ｔ及び下型面Ｕに摺接して吸引空間を形成する上下ス
カート部（例えばゴムスカート部）４６、４７が設けら
れている。

【００２８】上下ダクトフレーム４４、４５内には上下
クリーニングブラシ４８、４９が夫々回転可能に収容さ
れており、金型面より樹脂かすを掻き落とすようになっ
ている。上下クリーニングブラシ４８、４９は、上下ダ
クトフレーム４４、４５に一体に設けられた上下駆動機
構５０、５１により各々回転駆動される。具体的には、
上下駆動モータ５２、５３のモータ軸には駆動プーリ５
４、５５が設けられており、上下クリーニングブラシ４
８、４９の回転軸には従動プーリ５６、５７が設けられ
ている。駆動プーリ５４、５５と従動プーリ５６、５７
との間には、ベルト（タイミングベルト、Ｖベルトな
ど）５８、５９が掛け渡されており、上下駆動モータ５
２、５３より上下クリーニングブラシ４８、４９へ各々
駆動伝達するようになっている。

【００２９】次に、上ダクトフレーム４４を移動させる
移動機構の構成について説明する。６０は取付板であ
り、その一方側には下ダクトフレーム４５が取付固定さ
れている。また、取付板６０には、下ダクトフレーム４
５の上側にスライドレール６１が上下に設けられてお
り、該スライドレール６１にはスライドガイド６２を介
して上ダクトフレーム４４がスライド可能に連繋してい
る。また、上ダクトフレーム４４には可動板６３が一体
に設けられており、該可動板６３は取付板６０に設けら
れたガイド孔６０ａを挿通して上下ダクトフレーム取付
面と反対面側へ延設されている。また、取付板６０の他
方側（上下ダクトフレーム取付面と反対面側）にはエア
シリンダ６４が取付固定されている。このエアシリンダ
６４のシリンダロッド６４ａの先端部は可動板６３に連
繋している。よって、エアシリンダ６４を作動させるこ
とにより、可動板６３を介して上ダクトフレーム４４が
スライドレール６１に沿って上下動するようになってい
る。また、上ダクトフレーム４４の移動により連通孔４
０が開閉されるため、該連通孔４０を形成する取付板６
０と上ダクトフレーム４４との間にはシールパッキン材
６５が嵌め込まれている。

【００３０】次に、上ダクトフレーム４４の移動動作に
ついて図４〜図７を参照して説明する。図４及び図５
は、上下クリーニングユニット３６、３７を作動させて
上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニングする場合
（即ちリリースフィルム１０を使用しない場合）の説明
図である。上ダクトフレーム４４は、エアシリンダ６４
により取付板６０に対して上動した位置で保持されてい
る。ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプレス部７
より退避する際に、上下クリーニングユニット３６、３
７を作動させて上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニ
ングする。即ち、上下ダクトフレーム４４、４５は、連
通孔４０、４１を通じて各々共通集塵ダクト部３３に連
通しており、上下クリーニングブラシ４８、４９を回転
駆動させて上下スカート部４６、４７で囲まれた上下ダ
クト開口部４２、４３より樹脂かすなどの塵が上下集塵
ダクト部３８、３９内へ吸引されて、連通孔４０、４１
を通じて各々共通集塵ダクト部３３から装置本体側の集
塵機１７へ集塵される。

【００３１】次に、図６及び図７は、下クリーニングユ
ニット３７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングす
る場合（即ち上型面のみにリリースフィルム１０を使用
する場合）の説明図である。上ダクトフレーム４４は、
エアシリンダ６４を作動させて取付板６０に対して下動
させ、上型面Ｔをクリーニング可能なクリーニング位置
Ｐ（図７の２点鎖線位置）から上型面Ｔより退避した退
避位置Ｑ（図７の実線位置）へ移動させる。これによ
り、上ダクトフレーム４４は連通孔４０がシールパッキ
ン材６５により遮断されており、共通集塵ダクト部３３
からの吸引は作用しないようになっている。

【００３２】ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプ
レス部７より退避する際に、下クリーニングユニット３
７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングする。即
ち、下ダクトフレーム４５は、連通孔４１を通じて共通
集塵ダクト部３３に連通しており、下クリーニングブラ
シ４９のみを回転駆動させて下スカート部４７で囲まれ
た下ダクト開口部４３より樹脂かすなどの塵が下集塵ダ
クト部３９内へ吸引されて、連通孔４１を通じて共通集
塵ダクト部３３から装置本体側の集塵機１７へ集塵され
る。

【００３３】クリーナ装置１９を用いれば、プレス部７
にリリースフィルム１０の使用／不使用によってクリー
ナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリース
フィルム１０により上型面側を覆うか下型面側を覆うか
などの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリー
ナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であって
もクリーナ装置１９を共用できるので、部品点数を減ら
して、製造コストを低減することができる。また、同一
の樹脂封止装置において、リリースフィルム１０を使用
するモールド金型８と使用しないモールド金型８とを交
換するたびに、逐一クリーナ装置１９をも交換する必要
がなくなるので、メンテナンスの作業を効率化して行え
る。

【００３４】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述した実施例に限定されるの
ではなく、増設レールユニットにはプレス部７に限らず
他の機能部が設けられていても良く、リリースフィルム
１０を使用しなくても或いは上型及び下型の何れか又は
双方に使用する場合でも良い。また、クリーナ装置１９
はアンローダー１５に限らずローダー１５の何れかに設
けられていても或いは双方に設けられていても良い等、
発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るの
はもちろんである。

【００３５】

【発明の効果】本発明に係るクリーナ装置を用いると、
プレス部にリリースフィルムの使用／不使用によってク
リーナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリ
ースフィルムにより上型面側を覆うか下型面側を覆うか
などの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリー
ナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であって
もクリーナ装置を共用できるので汎用性が高く、部品点
数を減らして、製造コストを低減することができる。ま
た、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを
使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交
換するたびに、逐一クリーナ装置をも交換する必要がな
くなるので、メンテナンスの作業を効率化して行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーナ装置の上視図である。

【図２】図１のクリーナ装置の左側面図である。

【図３】図１のクリーナ装置の右側面図である。

【図４】上下クリーナユニットが作動状態でクリーニン
グブラシ部側から見た説明図である。

【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。

【図６】下クリーナユニットのみが作動状態でクリーニ
ングブラシ部側から見た説明図である。

【図７】図６のＹ−Ｙ断面図である。

【図８】クリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及
び側面図である。

【図９】増設レールユニットにプレス部を搭載して増設
した樹脂封止装置の平面図である。

【図１０】図９の樹脂封止装置のプレス部の側面説明図
である。

【図１１】従来のクリーナ装置の説明図である。

【図１２】従来のクリーナ装置の説明図である。

【符号の説明】

Ａ被成形品供給ユニットＢ成形品収納ユニットＣ増設レールユニットＦフィルムユニット１被成形品供給部２供給マガジン３ターンテーブル４供給位置５樹脂タブレット供給部６タブレットホルダー７プレス部８モールド金型９供給側台座部１０リリースフィルム１１フィルム供給部１２フィルム巻取り部１３供給側移動レール部１４ローダー１５アンローダー１５ａワーク搬送部１６供給側吸引ダクト１７集塵機１８移動テーブル１９クリーナ装置２０ディゲート部２１成形品ピックアップ２２ピックアップ２３収納マガジン２４レール支持部２５レールブロック２６レール２７制御ユニット２８、６２スライドガイド２９ガイドローラ３０アンローダー駆動モータ３１フレーム部３２ガイドレール３３共通集塵ダクト部３４ホース３５圧力センサ３６上クリーナユニット３７下クリーナユニット３８上集塵ダクト部３９下集塵ダクト部４０４１連通孔４２上ダクト開口部４３下ダクト開口部４４上ダクトフレーム４５下ダクトフレーム４６上スカート部４７下スカート部４８上クリーニングブラシ４９下クリーニングブラシ５０上駆動機構５１下駆動機構５２上駆動モータ５３下駆動モータ５４、５５駆動プーリ５６、５７従動プーリ５８、５９ベルト６０取付板６０ａガイド孔６１スライドレール６３可動板６４エアシリンダ６５シールパッキン材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】型開きしたモールド金型に進退動する際
に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵す
るクリーナ装置において、上クリーナユニットの上集塵ダクト部と下クリーナユニ
ットの下集塵ダクト部が各々連通して共用する共通集塵
ダクト部を有し、前記上集塵ダクト部及び／又は下集塵
ダクト部が前記共通集塵ダクト部との連通孔を個別に塞
ぐように上クリーナユニット及び／又は下クリーナユニ
ットが移動可能に設けられていることを特徴とするクリ
ーナ装置。
【請求項２】前記上クリーナユニット及び／又は下ク
リーナユニットは、上型面及び／又は下型面をクリーニ
ング可能なクリーニング位置と、上型面及び／又は下型
面より退避した退避位置との間を移動可能に設けられて
いることを特徴とする請求項１記載のクリーナ装置。
【請求項３】前記上下クリーナユニットは、上型面及
び下型面に各々対向してダクト開口部を有する上下ダク
トフレームと、該上下ダクトフレーム内に回転可能に収
容され、金型面より樹脂かすを掻き落とす上下クリーニ
ングブラシとを備えた上下集塵ダクト部と、前記上下ク
リーニングブラシを回転駆動する駆動機構と、前記上下
ダクトフレームを移動させる移動機構とを具備したこと
を特徴とする請求項１又は２記載のクリーナ装置。
【請求項４】請求項１〜３のうち何れかに記載のクリ
ーナ装置が、移動レール部からプレス部へ進退移動して
被成形品を搬入するローダー及び／又は成形品を取り出
すアンローダーに設けられていることを特徴とする樹脂
封止装置。
【請求項５】前記クリーナ装置は、プレス部へ進退移
動するワーク搬送部の先頭側に前記上下集塵ダクト部が
一体に設けられていることを特徴とする請求項４記載の
樹脂封止装置。
【請求項６】前記ローダー及びアンローダーは、共通
の移動レール部を移動可能に設けられており、前記共通
集塵ダクト部は前記移動レール部に沿って設けられた装
置本体側の集塵ダクトに連通可能に設けられていること
を特徴とする請求項４又は５記載の樹脂封止装置。