KR20220044648A - 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법 - Google Patents

수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법 Download PDF

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료 타카야마
타카유키 야나기사와
타츠시 오구치
요헤이 사토
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아피쿠 야마다 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 로더 핸드의 지지부에의 부담을 억제하면서 불량품의 발생을 억제 가능한 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법을 제공한다.
[해결 수단] 수지 밀봉 장치(1)는, 제1 클리너부(140)를 가지는 로더 핸드(120)와, 제2 클리너부를 가지는 언로더 핸드(220)와, 로더 핸드(120) 및 언로더 핸드(220)를 제어하는 제어부(C)를 갖추고, 제어부(C)는, 워크를 수지 밀봉 금형(21)에 반입할 때, 수지 밀봉 금형(21) 중 적어도 하금형(23)의 금형면(23A)을 로더 핸드(120)에 의해 청소하게 하고, 워크를 수지 밀봉 금형(21)로부터 반출할 때, 수지 밀봉 금형(21) 중 적어도 하금형(23)의 금형면(23A)을 언로더 핸드(220)에 의해 청소하게 한다.

Description

수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법{RESIN SEALING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF RESIN SEALING PRODUCT}
본 발명은 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법에 관한 것이다.
워크를 수지로 수지 밀봉하는 수지 밀봉 장치에 있어서, 수지 밀봉 금형의 금형면은 정기적으로 청소가 필요하다.
특허문헌 1에는, 로더 및 언로더의 금형 진입부에 클리너부가 구비되어, 워크를 반입 또는 반출할 때 클리너부의 회전하는 브러시가 하형 및 상형의 금형 표면을 청소하는 반송 기구가 개시되어 있다.
특허문헌 2에는, 형 개방한 수지 밀봉 금형에 진퇴 이동할 때 상형면 및/또는 하형면을 클리닝하면서 집진하는 클리너 장치로서, 상형면 및/또는 하형면에 부착된 분진들을 긁어 내는 클리닝 브러시와, 상형면 및/또는 하형면 위의 분진을 집진하는 덕트 개구부를 갖추는 클리너 장치가 로더 및/또는 언로더에 설치된 수지 밀봉 장치가 개시되어 있다.
일본 특개 2008-179025호 공보 일본 특개 2002-240046호 공보
일반적으로는 언로더 핸드에 금형면을 클리닝하는 클리너부가 구비되고 또한 중복되는 클리너부는 로더 핸드에 구비되어 있지 않다. 이 경우, 로더 핸드를 지지하는 부분의 부담은 경감되지만, 언로더 핸드에 의한 청소 후, 로더 핸드가 워크를 반입할 때까지 금형면에 낙하하는 분진이 불량품의 원인이 되는 경우가 있다. 다른 한편으로, 언로더 핸드와 로더 핸드의 양쪽에 동일 구성의 클리너부가 구비되어도 되는 점에서, 특허문헌 1 및 2에 기재된 바와 같이, 언로더 핸드와 로더 핸드의 양쪽에 동일 구성의 클리너부가 구비된 종래예가 있으며, 로더 핸드의 대형화에 의한 지지해야 할 중량의 증대나, 브러시 동작의 반동 등에 기인하여, 로더에의 부담이 증대하는 경우가 있다. 또, 중복되는 클리너부가 있기 때문에 로더의 기구가 복잡해져 수지 밀봉 장치의 비용 상승으로 되는 과제와, 수지 성형 후의 수지 부수러기가 장치 내로 비산하지 않도록 하기 위해 수지 성형 후 바로 클리닝할 필요 때문에 실제로는 언로더 핸드에만 클리너부가 설치되고 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 로더 핸드의 지지부에의 부담을 억제하면서 불량품의 발생을 억제 가능한, 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 태양에 따른 수지 밀봉 장치는 상금형과 하금형으로 구성된 수지 밀봉 금형을 사용하여, 워크를 수지 밀봉하기 위한 수지 밀봉 장치로서, 상금형과 하금형과의 사이의 공간에 대하여 진퇴 가능하게 구성된 로더 핸드와, 상금형과 하금형과의 사이의 공간에 대하여 진퇴 가능하게 구성된 언로더 핸드와, 로더 핸드 및 언로더 핸드의 동작을 제어하는 제어부를 갖추고, 로더 핸드는 워크를 유지 가능하게 구성된 제1 워크 유지부와, 수지 밀봉 금형의 내부로의 진입 방향에서 제1 워크 유지부보다 전방측에 배치된 제1 클리너부를 가지고, 언로더 핸드는 워크를 유지 가능하게 구성된 제2 워크 유지부와, 수지 밀봉 금형의 내부로의 진입 방향에서 제2 워크 유지부보다 전방측에 배치된 제2 클리너부를 가지고, 제어부는 워크를 수지 밀봉 금형에 반입할 때 수지 밀봉 금형 중 적어도 하금형의 금형면을 로더 핸드에 의해 청소하게 하고, 워크를 수지 밀봉 금형으로부터 반출할 때 수지 밀봉 금형 중 적어도 하금형의 금형면을 언로더 핸드에 의해 청소하게 한다.
이 태양에 의하면, 예를 들면, 로더 핸드가 언로더 핸드에 의한 청소 후에 수지 밀봉 금형의 금형면에 떨어진 분진을 제거할 수 있다. 예를 들면, 워크의 설치의 직전에 분진을 제거함으로써, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제어부는, 제1 클리너부를 하금형의 금형면에 접근시킨 상태에서, 제1 워크 유지부에 워크를 유지시킨 로더 핸드를 상금형과 하금형과의 사이의 공간에 진입시키고, 하금형의 금형면을 청소하는 동작과, 제1 워크 유지부로부터 하금형의 금형면에 워크를 넘겨주는 동작과, 제1 클리너부를 하금형의 금형면으로부터 이간시킨 상태에서, 제1 워크 유지부로부터 워크를 개방한 로더 핸드를 상금형과 하금형과의 사이의 공간으로부터 퇴출시키는 동작을 제어해도 된다.
상기 태양에 있어서, 제1 클리너부는 수지 밀봉 금형의 금형면을 향하여 개구하는 제1 흡인 구멍을 가지고, 제2 클리너부는 수지 밀봉 금형의 금형면을 향하여 개구하는 제2 흡인 구멍과, 적어도 일부가 제2 흡인 구멍에 수용된 브러시를 가져도 된다.
이 태양에 의하면, 수지 밀봉 금형의 금형면에 고착한 분진은 언로더 핸드의 제2 클리너부에 구비된 브러시에 의해 긁어 내어지므로, 로더 핸드의 제1 클리너부에서는 제1 흡인 구멍에서 분진을 흡인함으로써 제거할 수 있다. 따라서, 로더 핸드의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있어, 로더 핸드를 지지하는 로더에의 부담을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 클리너부는 수지 밀봉 금형의 금형면을 향하여 돌출하고, 제1 흡인 구멍과 수지 밀봉 금형의 금형면과의 사이에 감압된 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제1 집진 부재를 더 가져도 된다.
이 태양에 의하면, 제1 흡인 구멍의 흡인력이 향상됨으로써 제1 클리너부의 청소 효율이 향상되어, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 집진 부재는 제1 흡인 구멍을 둘러싸는 프레임 형상으로 구성되어도 된다.
이 태양에 의하면, 제1 흡인 구멍의 흡인력이 더욱 향상된다.
상기 태양에 있어서, 제1 집진 부재는 제1 흡인 구멍에 대하여 로더 핸드의 진입 방향의 전방측에 배치된 제1 전방 부분과, 제1 흡인 구멍에 대하여 로더 핸드의 진입 방향의 후방측에 배치된 제1 후방 부분을 가지고, 수지 밀봉 금형의 금형면의 수직 방향에 있어서, 제1 전방 부분의 선단은 제1 후방 부분의 선단에 비해, 제1 흡인 구멍에 가까워도 된다.
이 태양에 의하면, 청소시에 워크 쪽으로의 분진의 흘림을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 클리너부는 적어도 일부가 수지 밀봉 금형의 금형면의 수직 방향을 따라 이동 가능하게 구성되어, 제1 후방 부분이 수지 밀봉 금형의 금형면에 미끄럼 접촉할 때, 제1 전방 부분은 수지 밀봉 금형의 금형면으로부터 이간하여 구성되어도 된다.
이 태양에 의하면, 워크 쪽으로의 분진의 흘림을 저감하면서, 분진을 흡인 공간에 가둘 수 있다.
상기 태양에 있어서, 수지 밀봉 금형으로부터의 워크의 이형을 보조하는 릴리스 필름을 상금형의 금형면에 공급하는 필름 공급 장치를 더 갖추어도 된다.
이 태양에 의하면, 상금형의 금형면은 릴리스 필름에 의해 보호되기 때문에, 분진의 부착은 생기지 않는다. 따라서, 제1 클리너부 및 제2 클리너부는 하금형의 금형면만을 청소하면 되어, 로더 핸드 및 언로더 핸드의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있다.
본 발명의 하나의 태양에 따른 수지 밀봉품의 제조 방법은 수지 밀봉 금형으로 제1 워크를 수지 밀봉하는 것과, 수지 밀봉된 제1 워크를 언로더 핸드에 의해 수지 밀봉 금형으로부터 반출할 때, 수지 밀봉 금형의 금형면을 언로더 핸드에 의해 청소하는 것과, 제2 워크를 로더 핸드에 의해 수지 밀봉 금형에 반입할 때, 수지 밀봉 금형의 금형면을 로더 핸드에 의해 청소하는 것을 포함한다.
이 태양에 의하면, 예를 들면, 워크의 설치 직전에 분진을 제거함으로써, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 로더 핸드에 의해 청소하는 것은, 로더 핸드의 제1 워크 유지부에 워크를 유지한 상태에서, 로더 핸드의 제1 클리너부를 수지 밀봉 금형 중 하금형의 금형면에 접근시키면서 로더 핸드를 수지 밀봉 금형 상금형과 하금형과의 사이의 공간에 진입시켜, 하금형의 금형면을 청소하는 것을 포함해도 된다.
상기 태양에 있어서, 언로더 핸드에 의해 청소하는 것은 수지 밀봉 금형의 금형면을 브러시로 긁는 것과, 수지 밀봉 금형의 금형면을 흡인 구멍에서 흡인하는 것을 포함하고, 로더 핸드에 의해 청소하는 것은 수지 밀봉 금형의 금형면을 흡인 구멍에서 흡인하는 것을 포함해도 된다.
이 태양에 의하면, 수지 밀봉 금형의 금형면에 고착된 분진은 언로더 핸드의 브러시에 의해 긁어 내어지므로, 로더 핸드는 제1 흡인 구멍에서 분진을 흡인함으로써 제거할 수 있다. 따라서, 로더 핸드의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있어, 로더 핸드를 지지하는 로더에의 부담을 저감할 수 있다.
본 발명에 의하면, 로더 핸드의 지지부에의 부담을 억제하면서 불량품의 발생을 억제 가능한, 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 수지 밀봉 장치의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 3은 수지 밀봉 금형에 진입한 로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 언로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 수지 밀봉 금형으로부터 퇴출하는 언로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 6은 제1 실시형태에 따른 수지 밀봉 장치를 사용한 수지 밀봉품의 제조 공정을 도시하는 흐름도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 각 실시형태의 도면은 예시이며, 각 부의 치수나 형상은 모식적인 것이고, 본원발명의 기술적 범위를 당해 실시형태에 한정하여 해석해서는 안 된다.
<제1 실시형태>
도 1을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 따른 수지 밀봉 장치(1)의 구성에 대해 설명한다. 도 1은 제1 실시형태에 따른 수지 밀봉 장치의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다.
각각의 도면에는, 각각의 도면 상호의 관계를 명확하게 하고, 각 부재의 위치 관계를 이해하는데 도움이 되기 위해, 편의적으로 X축, Y축 및 Z축으로 이루어지는 직교 좌표계를 붙이는 경우가 있다. X축 및 Y축을 포함하는 면을 「XY면」으로 하고, Z축의 화살표가 향하는 방향을 상측 방향, Z축의 화살표의 방향과는 반대 방향을 하측 방향으로 한다.
수지 밀봉 장치(1)는 워크(W)를 수지로 수지 밀봉(몰드) 성형하기 위해 사용된다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 수지 밀봉 장치(1)는 수지 밀봉 전의 워크(W)를 공급하는 인 모듈(10), 워크(W)를 수지로 수지 밀봉하는 프레스 모듈(20, 30, 40, 50), 및 수지 밀봉된 워크(W)를 회수하는 아웃 모듈(90)을 갖추고 있다. 또, 수지 밀봉 장치(1)는 인 모듈(10), 프레스 모듈(20∼50) 및 아웃 모듈(90)에 걸쳐 설치된 반송 기구를 갖추고 있다.
도 1에 도시하는 예에서는, 인 모듈(10), 프레스 모듈(20∼50) 및 아웃 모듈(90)이 각각 X축 방향으로 나란히 배치되고, 로더(100) 및 언로더(200)가 그것들의 각 모듈에 걸쳐 뻗어나오는 가이드부(300)를 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 로더(100) 및 언로더(200)의 동작은 수지 밀봉 장치(1) 전체를 제어하는 제어부(C)에 의해 제어된다.
수지 밀봉 장치(1)는 워크(W)를 수지 밀봉한다. 수지 밀봉 장치(1)는, 예를 들면, 닫힌 수지 밀봉 금형(21∼51)의 캐버티에 주입하는 수지의 충전 압력에 의해 수지 성형하는 트랜스퍼 성형기이다. 또한, 이하에 나타내는 예에서는, 수지 밀봉 장치의 일례로서, 워크(W)를 수지 밀봉하는 프레스 모듈(20∼50)을 갖추는 장치 전체를 설명하지만, 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는 반드시 프레스 모듈을 갖추는 것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명에 따른 수지 밀봉 장치는 본 실시형태에 따른 수지 공급 기구를 가지는 장치(예를 들면, 로더, 로더 핸드, 등)이며, 워크의 수지 밀봉에 사용되는 것이면 된다.
수지 밀봉 장치(1)는, 예를 들면, 반도체 소자를 수지 밀봉하는 반도체 수지 밀봉 장치이다. 이 경우, 워크(W)는, 예를 들면, 반도체 소자와, 반도체 소자의 지지체를 포함한다. 워크(W)는 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 반도체 소자가 장착된 리드프레임, 반도체 소자가 장착된 인터포저 기판, 또는, 반도체 소자가 일시적으로 첩합된 점착 시트 부착 캐리어 플레이트 등이어도 된다. 또, 수지 밀봉 장치(1)는 반도체 수지 밀봉 장치에 사용되는 것에 한정되는 것은 아니고, 반도체 소자 이외의 소자(예를 들면, MEMS팁, 전자 디바이스 등)를 수지 밀봉하는 수지 밀봉 장치에 사용되는 것이어도 된다. 또, 후술하는 실시형태에서는 가열에 의해 휨이나 굴곡이 발생하는 것과 같은 박형의 스트립 형상의 인터포저 기판을 사용하여 설명하지만, 그 이외의 워크이어도 된다.
이하에, 도 1에 도시하는 각 모듈의 구성에 대해 설명한다.
인 모듈(10)은 프레임 공급부(15)와, 인덱스부(13)와, 태블릿 공급부(17)와, 워크 가열부(19)를 갖추고 있다. 프레임 공급부(15)에는, 복수의 워크(W)를 쌓아 올려 수납한 공급 매거진이 줄지어져 있다. 인덱스부(13)는 워크(W)의 방향을 위치 결정한다. 예를 들면, 인덱스부(13)는 회전 가능하게 설치된 테이블이며, 프레임 공급부(15)의 공급 매거진으로부터 받은 2개의 워크(W)를, 서로의 같은 변이 마주 향하도록 정렬시킨다. 인덱스부(13)는 정렬시킨 2개의 워크(W)를 워크 가열부(19)에 공급한다. 태블릿 공급부(17)는 정렬시킨 복수의 수지 태블릿(P)을 로더 핸드(120)의 태블릿 유지 구멍(125)에 공급한다. 수지 태블릿(P)은, 예를 들면, 수지의 분말이나 펠릿 등을 기둥 모양으로 눌러 굳힌 것, 또는 수지를 기둥 모양으로 성형한 것이다. 워크 가열부(19)는 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21∼51)에의 반입 전에 예비적으로 가열하여(이하, 「예비 가열」이라고 한다.), 워크(W)와 수지 밀봉 금형(21∼51)과의 온도차를 작게 한다. 워크 가열부(19)는 인덱스부(13)로부터 워크(W)를 받기 가능하게 구성되어 있다.
프레스 모듈(20, 30, 40, 50)은, 각각, 수지 밀봉 금형(21, 31, 41, 51)을 갖추고 있다. 프레스 모듈(20∼50)은 X축 방향으로 줄지어 있고, 수지 밀봉 금형(21∼51)도 X축 방향으로 줄지어 있다. 수지 밀봉 금형(21∼51)은, 예를 들면, 하금형과 상금형으로 이루어지는 개폐 가능한 한 쌍의 금형이다. 프레스 모듈(20∼50)은 수지 밀봉 금형(21∼51)의 내부에 형성되는 캐버티에 워크(W)를 유지 가능하다. 그리고, 프레스 모듈(20∼50)은, 당해 캐버티에 수지를 주입함으로써, 워크(W)를 수지 밀봉한다. 캐버티에 주입되는 수지는 수지 태블릿(P)을 수지 밀봉 금형(21∼51)의 내부에서 연화시킨 것이다. 본 실시형태에 있어서, 수지 밀봉 장치(1)는 예를 들면, 4개의 프레스 모듈을 갖추고 있지만, 프레스 모듈의 수는 적당하게 변경 가능하다.
아웃 모듈(90)은 디게이트 파렛트(91)와, 디게이트 핸드(93)와, 워크 수납부(95)를 갖추고 있다. 디게이트 파렛트(91)는 불필요 수지가 접속된 상태의 워크(W)를 언로더(200)로부터 받고, 디게이트 핸드(93) 아래로 반송한다. 디게이트 핸드(93)는 반송된 워크(W)로부터 불필요 수지(컬과 러너)를 분리한다. 분리된 불필요 수지는 컬 박스에 회수된다. 불필요 수지를 분리한 수지 밀봉된 워크(W)는 워크 수납부(95)의 수납 매거진에 수납된다. 아웃 모듈(90)은 프레스 모듈(20∼50)에서 보아 모듈(10)과는 반대측에 설치되어 있다. 단, 각 모듈의 배치는 상기에 한정되는 것은 아니고, 인 모듈(10) 및 아웃 모듈(90)이 프레스 모듈(20∼50)에서 보아 같은 쪽에 설치되어도 된다.
반송 기구는 가이드부(300), 로더(100) 및 언로더(200)를 가지고 있다. 가이드부(300)는 인 모듈(10), 프레스 모듈(20∼50) 및 아웃 모듈(90)을 횡단하도록 X축 방향으로 뻗어 있다.
반송 기구는 워크(W) 및 수지 태블릿(P)을 반송한다. 구체적으로는, 로더(100)는 인 모듈(10)로부터 프레스 모듈(20∼50)의 각각에 워크(W) 및 수지 태블릿(P)을 반송하고, 로더(100)의 로더 핸드(120)가 수지 밀봉 금형(21∼51)에 워크(W) 및 수지 태블릿(P)을 반입한다. 언로더(200)의 언로더 핸드가 수지 밀봉 금형(21∼51)으로부터 수지 밀봉된 워크(W)를 반출하고, 언로더(200)는 프레스 모듈(20∼50)로부터 아웃 모듈(90)에 수지 밀봉된 워크(W)를 반송한다.
제어부(C)는 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21)에 반입할 때 수지 밀봉 금형(21) 중 적어도 하금형(23)의 금형면(23A)을 로더 핸드(120)에 의해 청소하게 하고, 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21)으로부터 반출할 때 수지 밀봉 금형(21) 중 적어도 하금형(23)의 금형면(23A)을 언로더 핸드(220)에 의해 청소하게 한다. 제어부(C)는 로더(100)의 동작을 제어하는 제어부와, 언로더(200)의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 복수의 제어부를 가져도 된다.
다음에 도 2 및 도 3을 참조하면서, 수지 밀봉 금형(21) 및 로더 핸드(120)의 구성에 대해 설명한다. 도 2는 로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다. 도 3은 수지 밀봉 금형에 진입한 로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다. 또한, 수지 밀봉 금형(31∼51)의 구성은 수지 밀봉 금형(21)의 구성과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
수지 밀봉 금형(21)은 상금형(22) 및 하금형(23)으로 구성되어 있다. 상금형(22)은 하금형(23)에 대향하는 금형면(22A)을 가지고, 하금형(23)은 상금형(22)에 대향하는 금형면(23A)을 가진다. 형 개방 시, 상금형(22)과 하금형(23)은 서로 이간하고, 상금형(22)의 금형면(22A)과 하금형(23)의 금형면(23A)과의 사이에, 로더 핸드(120) 및 언로더 핸드(220)가 진입 가능한 공간이 형성된다. 상금형(22) 측에는 필름 공급 장치(25)가 설치되어 있다. 필름 공급 장치(25)는 상금형(22)의 금형면(22A)에 릴리스 필름(RF)을 공급한다. 필름 공급 장치(25)는 수지 밀봉 금형(21)에서 수지 밀봉이 행해진 후의 형 개방할 때마다 릴리스 필름(RF)을 풀어내는 풀어내기부(26)와, 풀어내진 릴리스 필름(RF)을 권취하는 권취부(27)를 갖추고 있다. 릴리스 필름(RF)은 수지 밀봉된 워크(W)의 수지 밀봉 금형(21)으로부터의 이형을 보조한다. 또, 릴리스 필름(RF)은 상금형(22)의 금형면(22A)에의 수지 등의 분진의 부착을 방지하여, 상금형(22)의 금형면(22A)의 청소를 불필요하게 한다.
로더(100)는 가이드부(300)를 따라 이동 가능하게 구성된 로더 본체(190)와, 로더 본체(190)에 지지되어 수지 밀봉 금형(21)의 내부(상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간)에 대해 진퇴 가능하게 구성된 로더 핸드(120)를 갖추고 있다. 로더 핸드(120)의 동작은 제어부(C)에 의해 제어된다.
로더 핸드(120)는, 예를 들면, 수지 밀봉 전의 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21)에 반입하기 위해 유지하는 제1 워크 유지부(121, 122)와, 수지 태블릿(P)을 수지 밀봉 금형(21)에 반입하기 위해 유지하는 복수의 태블릿 유지구멍(125)과, 수지 밀봉 금형(21)의 내부로의 진입 방향에 있어서 제1 워크 유지부(121, 122)보다 전방측에 배치된 제1 클리너부(140)를 갖추고 있다. 예를 들면, 제1 워크 유지부(121, 122)는 X축 방향으로 줄지어 있고, 복수의 태블릿 유지구멍(125)은 Y축 방향으로 줄지어 있다. 복수의 태블릿 유지구멍(125)은 제1 워크 유지부(121)와 제1 워크 유지부(122)와의 사이에 배치되어 있다. 또한, 제1 워크 유지부(121, 122) 및 복수의 태블릿 유지구멍(125)의 배치는 상기에 한정되는 것은 아니다.
제1 클리너부(140)는, 수지 밀봉 금형(21)에 워크(W)를 반입하기 위한 진입 시에, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소한다. 바꿔 말하면, 로더 핸드(120)는, 제1 워크 유지부(121, 122)에 워크(W)를 유지한 상태에서, 제1 클리너부(140)에 의해 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하면서, 상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간에 진입한다. 제1 클리너부(140)가 청소하는 분진은 후술하는 언로더 핸드(220)에 의한 청소 후로서, 로더 핸드(120)가 진입할 때까지 하금형(23)의 금형면(23A)에 낙하한 분진이며, 예를 들면, 릴리스 필름(RF)으로부터 탈락한 수지 조각 등이다.
제1 클리너부(140)는 하금형(23)의 금형면(23A)의 수직(Z축) 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이것에 의해, 제어부(C)는, 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)에 접근시킨 상태에서, 제1 워크 유지부(121, 122)에 워크(W)를 유지시킨 로더 핸드(120)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부에 진입시켜, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하게 한다. 또, 제어부(C)는 제1 워크 유지부(121, 122)로부터 하금형(23)의 금형면(23A)에 워크(W)를 넘겨주게 한 후, 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨 상태에서, 제1 워크 유지부(121, 122)로부터 워크(W)를 개방한 로더 핸드(120)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부로부터 퇴출시킨다. 또한, 본 구성은 상금형(22)에 릴리스 필름(RF)이 상시 배치되어 있기 때문에 하금형(23)만을 청소하는 제1 클리너부(140)가 설치되어 있지만, 릴리스 필름(RF)을 필요로 하지 않는 구성의 경우에는, 상금형(22)의 금형면(22A)을 클리닝하는 상방향의 클리너부가 로더 핸드(120)에 더 설치되어 있는 것이 바람직하다.
제1 클리너부(140)는 하금형(23)의 금형면(23A)을 향하여 개구하는 제1 흡인 구멍(141)와, 하금형(23)의 금형면(23A)을 향해 돌출하고, 제1 흡인 구멍(141)과 하금형(23)의 금형면(23A)과의 사이에 감압된 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제1 집진 부재(142)를 갖추고 있다.
제1 흡인 구멍(141)은 흡인 공간으로부터 분진을 흡입하고, 도시를 생략한 덕트로 보낸다. 제1 흡인 구멍(141)은, X축 방향으로 뻗어 있고, 제1 워크 유지부(121, 122)의 양쪽 전체와 Y축 방향에서 대향하고 있다.
제1 집진 부재(142)는 제1 흡인 구멍(141)에 대해 로더 핸드(120)의 진입 방향의 전방측에 배치된 제1 전방 부분(142A)과, 제1 흡인 구멍(141)에 대해 로더 핸드(120)의 진입 방향의 후방측에 배치된 제1 후방 부분(142B)을 가지고 있다. 제1 전방 부분(142A) 및 제1 후방 부분(142B)은, 예를 들면, 내열의 실리콘 고무나 스펀지 등의 탄성 재료에 의해 형성되어 있다. 일례로서, 제1 전방 부분(142A) 및 제1 후방 부분(142B)의 각각의 일단이 서로 접속되고, 각각의 타단이 서로 접속되어 있다. 즉, 제1 집진 부재(142)가 제1 흡인 구멍(141)을 둘러싸는 프레임 형상으로 설치되어 있다.
하금형(23)의 금형면(23A)의 수직 방향에 있어서, 제1 전방 부분(142A)의 선단은, 제1 후방 부분(142B)의 선단에 비교하여, 금형면(23A)보다 조금 이간하여 간극이 있다. 바꿔 말하면, 제1 전방 부분(142A)의 선단은 제1 후방 부분(142B)의 선단에 비교하여 제1 흡인 구멍(141)에 가깝다. 로더 핸드(120)가 수지 밀봉 금형(21)에 진입할 때, 즉 제1 클리너부(140)가 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소할 때, 제1 클리너부(140)와 로더 핸드(120)의 사이에 부착되어 있는 액추에이터(145)가 가동 신장하여 제1 후방 부분(142B)은 분진을 흘리지 않고, 하금형(23)의 금형면(23A)에 미끄럼 접촉한다. 이때, 제1 전방 부분(142A)은 분진을 흡인 공간에 받아들일 수 있도록 에어 흐름을 만들기 때문에, 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간되어 있다. 로더 핸드(120)가 수지 밀봉 금형(21)으로부터 퇴출할 때, 하금형(23)의 금형면(23A)에 설치된 워크(W)와의 접촉을 피하기 위해, 제1 전방 부분(142A) 및 제1 후방 부분(142B) 양쪽은 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간한다.
또한, 제1 집진 부재(142)의 구성은 상기에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 전방 부분(142A) 및 제1 후방 부분(142B)은 서로 이간한 판 형상의 부재이어도 된다. 또, 하금형(23)의 금형면(23A)의 수직 방향에 있어서, 제1 전방 부분(142A) 및 제1 후방 부분(142B)의 각각의 선단은 제1 흡인 구멍(141)으로부터 동일한 정도 떨어저도 된다.
다음에 도 4 및 도 5를 참조하면서, 언로더 핸드(220)의 구성에 대해 설명한다. 도 4는 언로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 평면도이다. 도 5는 수지 밀봉 금형으로부터 퇴출하는 언로더 핸드의 구성을 개략적으로 도시하는 단면도이다. 또한, 수지 밀봉 금형(31∼51)의 구성은 수지 밀봉 금형(21)의 구성과 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.
언로더(200)는 가이드부(300)를 따라 이동 가능하게 구성된 언로더 본체(290)와, 언로더 본체(290)에 지지되어 수지 밀봉 금형(21)의 내부(상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간)에 대하여 진퇴 가능하게 구성된 언로더 핸드(220)를 갖추고 있다. 언로더 핸드(220)의 동작은 제어부(C)에 의해 제어된다.
언로더 핸드(220)는, 예를 들면, 수지 밀봉 후의 워크(W)(성형품)를 수지 밀봉 금형(21)으로부터 반출하기 위해 유지하는 제2 워크 유지부(221, 222)와, 수지 밀봉 금형(21)의 내부로의 진입 방향에 있어서 제2 워크 유지부(221, 222)보다 전방측에 배치된 제2 클리너부(240)를 갖추고 있다.
제2 클리너부(240)는, 수지 밀봉 금형(21)으로부터 워크(W)를 반출하기 위한 퇴출 시에, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소한다. 바꿔 말하면, 언로더 핸드(220)는, 제2 워크 유지부(221, 222)에 워크(W)를 유지한 상태에서, 제2 클리너부(240)에 의해 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하면서, 상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간으로부터 퇴출한다. 제2 클리너부(240)가 청소하는 분진은, 예를 들면, 수지 밀봉에 사용한 수지가 하금형(23)의 금형면(23A)에 고착된 것(플래시 버) 등이다.
제2 클리너부(240)는 하금형(23)의 금형면(23A)의 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이것에 의해, 제어부(C)는 제2 클리너부(240)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨 상태에서, 제2 워크 유지부(221, 222)가 빈 언로더 핸드(220)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부에 진입시킨다. 또, 제어부(C)는 제2 워크 유지부(221, 222)에서 수지 밀봉 후의 워크(W)를 받은 후, 제2 클리너부(240)를 하금형(23)의 금형면(23A)에 접근시킨 상태에서 언로더 핸드(220)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부로부터 퇴출시키고, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하게 한다. 또한, 본 구성은 상금형(22)에 릴리스 필름(RF)이 상시 배치되어 있기 때문에 하금형(23)만을 청소하는 제2 클리너부(240)를 설치하고 있지만, 릴리스 필름(RF)을 필요로 하지 않는 구성의 경우에는, 상금형(22)의 금형면(22A)을 클리닝하는 상방향의 클리너부가 언로더 핸드(220)에 더 설치되어 있는 것이 바람직하다.
제2 클리너부(240)는 하금형(23)의 금형면(23A)을 향하여 개구하는 제2 흡인 구멍(241)과, 하금형(23)의 금형면(23A)을 향하여 돌출하고, 제2 흡인 구멍(241)과 하금형(23)의 금형면(23A)과의 사이에 감압된 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제2 집진 부재(242)와, 흡인 공간에 있어서 하금형(23)의 금형면(23A)에 고착한 분진을 긁어 내는 브러시(243)를 갖추고 있다. 브러시(243)는, 예를 들면, 회전 브러시이다. 제2 집진 부재(242)는 브러시(243)에 의해 긁어 내진 분진의 주위로의 비산을 막는 역할도 담당하고 있다.
제2 흡인 구멍(241)은 흡인 공간으로부터 분진을 흡입하고, 도시를 생략한 덕트로 보낸다. 제2 흡인 구멍(241)은 X축 방향으로 뻗어 있고, 제2 워크 유지부(221, 222)의 양쪽 전체와 Y축 방향에서 대향하고 있다.
제2 집진 부재(242)는 제2 흡인 구멍(241)에 대해 언로더 핸드(220)의 진입 방향의 전방측에 배치된 제2 전방 부분(242A)과, 제2 흡인 구멍(241)에 대해 언로더 핸드(220)의 진입 방향의 후방측에 배치된 제2 후방 부분(242B)을 가지고 있다. 제2 전방 부분(242A) 및 제2 후방 부분(242B)은, 예를 들면, 내열 실리콘 고무나 스펀지 등의 탄성 재료에 의해 형성되어 있다. 일례로서, 제2 전방 부분(242A) 및 제2 후방 부분(242B)의 각각의 일단이 서로 접속되고, 각각의 타단이 서로 접속되어 있다. 즉, 제2 집진 부재(242)가 제2 흡인 구멍(241)을 둘러싸는 프레임 형상으로 설치되어 있다.
언로더 핸드(220)가 수지 밀봉 금형(21)으로부터 퇴출할 때, 즉 제2 클리너부(240)가 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소할 때, 제2 클리너부(240)와 언로더 핸드(220)의 사이에 부착되어 있는 액추에이터(245)가 가동 신장하여 하금형(23)의 금형면(23A)에 미끄럼 접촉한다. 언로더 핸드(220)가 수지 밀봉 금형(21)에 진입할 때, 하금형(23)의 금형면(23A)에 설치된 워크(W)와의 접촉을 피하기 위해, 제2 전방 부분(242A) 및 제2 후방 부분(242B)의 양쪽은 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간한다.
또한, 제2 집진 부재(242)의 구성은 상기에 한정되는 것은 아니다.
다음에 도 6을 참조하면서, 수지 밀봉품의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 6은 제1 실시형태에 따른 수지 밀봉 장치를 사용한 수지 밀봉품의 제조 공정을 도시하는 흐름도이다.
우선, 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21)에 반입한다(S10). 예비 가열된 수지 밀봉 전의 워크(W)를 로더 핸드(120)에 유지시키고, 형 개방한 수지 밀봉 금형(21)의 내부에 반입하고, 하금형(23)의 금형면(23A)에 설치한다.
다음에 워크(W)를 수지 밀봉한다(S20). 수지 밀봉 금형(21)을 체결하고, 수지 밀봉 금형(21)의 캐버티에 액상의 수지를 주입한다. 수지에 압력을 가하면서 가열하여, 수지를 경화시킨다.
다음에 수지 밀봉 금형(21)으로부터 워크(W)를 반출하면서 수지 밀봉 금형(21)을 청소한다(S30). 우선, 수지 밀봉 금형(21)을 형 개방하고, 하금형(23)의 금형면(23A) 위의 워크(W)에 간섭하지 않도록, 제2 워크 유지부(221, 222)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨 상태에서, 언로더 핸드(220)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부에 진입시킨다. 다음에 수지 밀봉된 워크(성형품)(W)를 제2 워크 유지부(221, 222)가 집어들고, 액추에이터(245)를 신장시켜 제2 클리너부(240)를 하금형(23)의 금형면(23A)을 향해 접근시킨다. 다음에 하금형(23)의 금형면(23A)을 제2 클리너부(240)에 의해 청소하게 하면서, 제2 워크 유지부(221, 222)에 워크(W)를 유지한 언로더 핸드(220)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부로부터 퇴출시킨다. 즉, 하금형(23)의 금형면(23A)의 청소는 언로더 핸드(220)의 수지 밀봉 금형(21)의 내부로의 진입 시에는 실시하지 않고, 퇴출 시에 실시한다. 이 형 개방 후의 언로더 핸드(220)의 제2 클리너부(240)에 의한 청소는 성형 후의 수지 찌꺼기가 장치 내로 비산하기 전에 청소하는 것으로, 하금형(23)의 금형면(23A)에 고착된 수지나 수지 탄화물 등을, 브러시(243)를 이용하여 긁어 내면서 제2 흡인 구멍(241)에서 흡인하여, 제거한다.
다음에 워크(W)를 수지 밀봉 금형(21)에 반입하면서 수지 밀봉 금형(21)을 청소한다(S40). 우선, 언로더 핸드(220)에 의한 수지 밀봉 금형(21)의 청소 후, 필름 공급 장치(25)를 작동시켜, 상금형(22) 측의 릴리스 필름(RF)을 쇄신한다. 다음에 제1 워크 유지부(121, 122)에 수지 밀봉 전의 워크(W)를 유지시킨 상태에서, 액추에이터(145)를 신장시켜 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)을 향해 접근시킨다. 다음에 하금형(23)의 금형면(23A)을 제1 클리너부(140)에 의해 청소하게 하면서, 제1 워크 유지부(121, 122)에 워크(W)를 유지한 로더 핸드(120)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부로 진입시킨다. 다음에 워크(W)를 제1 워크 유지부(121, 122)로부터 하금형(23)의 금형면(23A)에 넘겨주고, 액추에이터(145)를 수축시켜 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨다. 다음에 하금형(23)의 금형면(23A) 위의 워크(W)에 간섭하지 않도록, 제1 워크 유지부(121, 122)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨 상태에서, 로더 핸드(120)를 수지 밀봉 금형(21)의 내부로부터 퇴출시킨다. 즉, 하금형(23)의 금형면(23A)의 청소는 로더 핸드(120)의 수지 밀봉 금형(21)의 내부로의 진입 시에 실시하고, 퇴출 시에는 실시하지 않는다. 이 형 개방 후의 2회째의 청소에서는, 하금형(23)의 금형면(23A)에 낙하한 수지편 등을 제1 흡인 구멍(141)에서 흡인하여 제거한다.
수지 밀봉품의 제조는 수지 밀봉 금형(31∼51)에서도 차례차례, 상기와 마찬가지로 실시된다.
이상과 같이, 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 수지 밀봉 장치(1)는 제1 클리너부(140)를 가지는 로더 핸드(120)와, 제2 클리너부(240)를 가지는 언로더 핸드(220)와, 로더 핸드(120) 및 언로더 핸드(220)의 동작을 제어하는 제어부(C)를 가지고, 제어부(C)는, 로더 핸드(120)가 수지 밀봉 금형(21∼51)의 내부에 워크(W)를 반입할 때, 로더 핸드(120)에 의해 수지 밀봉 금형(21∼51)의 내부를 청소하게 한다. 예를 들면, 제어부(C)는 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)에 접근시킨 상태에서, 제1 워크 유지부(121, 122)에 워크(W)를 유지시킨 로더 핸드(120)를 상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간에 진입시켜, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하게 하고, 제1 클리너부(140)를 하금형(23)의 금형면(23A)으로부터 이간시킨 상태에서, 제1 워크 유지부(121, 122)로부터 워크(W)를 개방한 로더 핸드(120)를 상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간으로부터 퇴출시키는 동작을 제어한다.
이것에 의하면, 예를 들면, 로더 핸드(120)가 언로더 핸드(220)에 의한 청소 후에 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면에 떨어진 분진을 제거할 수 있다. 워크(W)의 설치 직전에 분진을 제거함으로써, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
제1 클리너부(140)는 제1 흡인 구멍(141)을 가지고, 제2 클리너부(240)는 제2 흡인 구멍(241) 및 브러시(243)를 가지고 있다.
수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면에 고착된 수지 찌꺼기는 언로더 핸드(220)의 제2 클리너부(240)에 구비된 브러시(243)에 의해 긁어 내진다. 언로더 핸드(220)에는 필연적으로 브러시를 가동하는 기구가 갖추어져, 언로더 핸드(220)의 중량 증대를 수반하는 대형화 때문에, 언로더 본체(290)의 부담은 커진다. 일방의 로더 핸드(120)의 제1 클리너부(140)에서는 제1 흡인 구멍(141)에서 분진을 흡인함으로써 제거할 수 있다. 따라서, 로더 핸드(120)의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있어, 로더 핸드(120)를 지지하는 로더 본체(190)에의 부담을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 클리너부(140)는 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제1 집진 부재(142)를 더 가져도 된다.
이것에 의하면, 제1 흡인 구멍(141)의 흡인력이 향상됨으로써 제1 클리너부(140)의 청소 효율이 향상되어, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 집진 부재(142)는 제1 흡인 구멍(141)을 둘러싸는 프레임 형상으로 구성되어도 된다.
이것에 의하면, 제1 흡인 구멍(141)의 흡인력이 더욱 향상된다.
상기 태양에 있어서, 제1 집진 부재(142)의 제1 전방 부분(142A)의 선단은 제1 후방 부분(142B)의 선단에 비해, 제1 흡인 구멍(141)에 가까워도 된다.
이것에 의하면, 청소 시에 워크(W) 쪽으로의 분진의 흘림을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제1 후방 부분(142B)이 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면에 미끄럼 접촉할 때, 제1 전방 부분(142A)은 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면으로부터 이간하여 구성되어도 된다.
이것에 의하면, 워크(W) 쪽으로 분진의 흘림을 저감하면서, 분진을 흡인 공간에 가둘 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제2 클리너부(240)는 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제2 집진 부재(242)를 더 가져도 된다.
이것에 의하면, 제2 흡인 구멍(241)의 흡인력이 향상됨으로써 제2 클리너부(240)의 청소 효율이 향상되어, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 제2 집진 부재(242)는 제2 흡인 구멍(241)을 둘러싸는 프레임 형상으로 구성되어도 된다.
이것에 의하면, 제2 흡인 구멍(241)의 흡인력이 더욱 향상된다.
상기 태양에 있어서, 제1 클리너부(140)는 하금형의 금형면을 청소해도 된다.
이것에 의하면, 언로더 핸드(220)에 의한 청소 후에 발생하는 분진은 낙하물 등 하금형에 부착되는 것이 많기 때문에, 하금형의 금형면을 청소함으로써, 충분히 불량품의 발생을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 수지 밀봉 장치(1)는 상금형의 금형면에 릴리스 필름(RF)을 공급하는 필름 공급 장치(25)를 더 갖추어도 된다.
이것에 의하면, 상금형의 금형면은 릴리스 필름(RF)에 의해 보호되기 때문에, 분진의 부착은 생기지 않는다. 따라서, 제1 클리너부(140) 및 제2 클리너부(240)는 하금형의 금형면만을 청소하면 되어, 로더 핸드(120) 및 언로더 핸드(220)의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있다. 또한, 상금형(22)에 릴리스 필름(RF)을 필요로 하지 않는 구성의 경우에는, 상금형(22)의 금형면(22A)을 클리닝하는 상방향의 클리너부를 로더 핸드(120)에 더 설치해도 된다.
본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 수지 밀봉품의 제조 방법은 수지 밀봉된 제1 워크(W)를 언로더 핸드(220)에 의해 수지 밀봉 금형(21∼51)으로부터 반출할 때, 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면을 언로더 핸드(220)에 의해 청소하는 것과, 제2 워크(W)를 로더 핸드(120)에 의해 수지 밀봉 금형(21∼51)에 반입할 때, 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면을 로더 핸드(120)에 의해 청소하는 것을 포함한다. 예를 들면, 로더 핸드(120)에 의해 청소하는 것은, 로더 핸드(120)의 제1 워크 유지부(121, 122)에 워크(W)를 유지한 상태에서, 로더 핸드(120)의 제1 클리너부(140)를 수지 밀봉 금형(21) 중 하금형(23)의 금형면(23A)에 접근시키면서 로더 핸드(120)를 상금형(22)과 하금형(23)과의 사이의 공간에 진입시켜, 하금형(23)의 금형면(23A)을 청소하는 것을 포함한다.
이것에 의하면, 예를 들면, 워크의 설치 직전에 분진을 제거함으로써, 불량품의 발생률을 저감할 수 있다.
상기 태양에 있어서, 언로더 핸드(220)에 의해 청소하는 것은 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면을 브러시(243)로 긁는 것과, 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면을 제2 흡인 구멍(241)에서 흡인하는 것을 포함하고, 로더 핸드(120)에 의해 청소하는 것은 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면을 제1 흡인 구멍(141)에서 흡인하는 것을 포함해도 된다.
이것에 의하면, 수지 밀봉 금형(21∼51)의 금형면에 고착한 분진(수지 찌꺼기)은 언로더 핸드(220)의 제2 클리너부(240)에 구비된 브러시(243)에 의해 긁어 내지므로, 로더 핸드(120)의 제1 클리너부(140)에서는 제1 흡인 구멍(141)에서 분진을 흡인함으로써 제거할 수 있다. 따라서, 로더 핸드(120)의 대형화·중량 증대를 억제할 수 있어, 로더 핸드(120)를 지지하는 로더에의 부담을 저감할 수 있다.
또한, 상기의 실시형태에 있어서, 제2 클리너부(240)가 수지 밀봉 금형(21∼51) 상금형 및 하금형 중 하금형만을 청소하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 제2 클리너부(240)는 상금형 및 하금형의 양쪽을 청소하는 구성이어도 된다. 마찬가지로 제1 클리너부(140)는 상금형 및 하금형 양쪽을 청소하는 구성이어도 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 하나의 태양에 의하면, 로더 핸드의 지지부에의 부담을 억제하면서 불량품의 발생을 억제 가능한, 수지 밀봉 장치, 및 수지 밀봉품의 제조 방법을 제공할 수 있다.
이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하여 해석하는 위한 것이 아니다. 실시형태가 갖추는 각 요소와 그 배치, 재료, 조건, 형상 및 사이즈 등은 예시한 것에 한정되는 것은 아니고 적당하게 변경할 수 있다. 또, 다른 실시형태에서 제시한 구성끼리를 부분적으로 치환 또는 조합시키는 것이 가능하다.
1…수지 밀봉 장치, 10…인 모듈, 20∼50…프레스 모듈, 21∼51…수지 밀봉 금형, 22… 상금형, 23…하금형, 22A, 23A…금형면, 25…필름 공급 장치, RF…릴리스 필름, 90…아웃 모듈, 100…로더, 120…로더 핸드, 140…제1 클리너부, 141…제1 흡인 구멍, 142…제1 집진 부재, 142A…제1 전방 부분, 142B… 제1 후방 부분, 200…언로더, 220…언로더 핸드, 240…제2 클리너부, 241…제2 흡인 구멍, 242…제2 집진 부재, 242A…제2 전방 부분, 242B…제2 후방 부분, 243…브러시

Claims (11)

  1. 상금형과 하금형으로 구성된 수지 밀봉 금형을 사용하여, 워크를 수지 밀봉하기 위한 수지 밀봉 장치로서,
    상기 상금형과 상기 하금형과의 사이의 공간에 대하여 진퇴 가능하게 구성된 로더 핸드와,
    상기 상금형과 상기 하금형과의 사이의 공간에 대하여 진퇴 가능하게 구성된 언로더 핸드와,
    상기 로더 핸드 및 상기 언로더 핸드의 동작을 제어하는 제어부
    를 갖추고,
    상기 로더 핸드는 워크를 유지 가능하게 구성된 제1 워크 유지부와, 상기 수지 밀봉 금형의 내부로의 진입 방향에 있어서 상기 제1 워크 유지부보다 전방측에 배치된 제1 클리너부를 가지고,
    상기 언로더 핸드는 워크를 유지 가능하게 구성된 제2 워크 유지부와, 상기 수지 밀봉 금형의 내부로의 진입 방향에 있어서 상기 제2 워크 유지부보다 전방측에 배치된 제2 클리너부를 가지고,
    상기 제어부는, 워크를 상기 수지 밀봉 금형에 반입할 때, 상기 수지 밀봉 금형 중 적어도 상기 하금형의 금형면을 상기 로더 핸드에 의해 청소하게 하고, 워크를 상기 수지 밀봉 금형으로부터 반출할 때, 상기 수지 밀봉 금형 중 적어도 상기 하금형의 금형면을 상기 언로더 핸드에 의해 청소하게 하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 제1 클리너부를 상기 하금형의 금형면에 접근시킨 상태에서, 상기 제1 워크 유지부에 워크를 유지시킨 상기 로더 핸드를 상기 상금형과 상기 하금형과의 사이의 공간에 진입시키고, 상기 하금형의 금형면을 청소하는 동작과,
    상기 제1 워크 유지부로부터 상기 하금형의 금형면에 워크를 넘겨주는 동작과,
    상기 제1 클리너부를 상기 하금형의 금형면으로부터 이간시킨 상태에서, 상기 제1 워크 유지부로부터 워크를 개방한 상기 로더 핸드를 상기 상금형과 상기 하금형과의 사이의 공간으로부터 퇴출시키는 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 밀봉 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 클리너부는 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 향해 개구하는 제1 흡인 구멍을 가지고, 상기 제2 클리너부는 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 향하여 개구하는 제2 흡인 구멍과, 적어도 일부가 상기 제2 흡인 구멍에 수용된 브러시를 갖는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 클리너부는 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 향해 돌출하고, 상기 제1 흡인 구멍과 상기 수지 밀봉 금형의 금형면과의 사이에 감압된 흡인 공간을 형성 가능하게 구성된 제1 집진 부재를 더 갖는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 집진 부재는 상기 제1 흡인 구멍을 둘러싸는 프레임 형상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 집진 부재는 상기 제1 흡인 구멍에 대하여 상기 로더 핸드의 진입 방향의 전방측에 배치된 제1 전방 부분과, 상기 제1 흡인 구멍에 대하여 상기 로더 핸드의 진입 방향의 후방측에 배치된 제1 후방 부분을 가지고,
    상기 수지 밀봉 금형의 금형면의 수직 방향에 있어서, 상기 제1 전방 부분의 선단은, 상기 제1 후방 부분의 선단에 비해, 상기 제1 흡인 구멍에 가까운 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 클리너부는 적어도 일부가 상기 수지 밀봉 금형의 금형면의 수직 방향을 따라 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제1 후방 부분이 상기 수지 밀봉 금형의 금형면에 미끄럼 접촉할 때, 상기 제1 전방 부분은 상기 수지 밀봉 금형의 금형면으로부터 이간하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수지 밀봉 금형으로부터의 워크의 이형을 보조하는 릴리스 필름을 상기 상금형의 금형면에 공급하는 필름 공급 장치를 더 갖추는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉 장치.
  9. 수지 밀봉 금형으로 제1 워크를 수지 밀봉하는 것과,
    수지 밀봉된 제1 워크를 언로더 핸드에 의해 상기 수지 밀봉 금형으로부터 반출할 때, 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 상기 언로더 핸드에 의해 청소하는 것과,
    제2 워크를 로더 핸드에 의해 상기 수지 밀봉 금형에 반입할 때, 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 상기 로더 핸드에 의해 청소하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉품의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 로더 핸드에 의해 청소하는 것은, 상기 로더 핸드의 제1 워크 유지부에 워크를 유지한 상태에서, 상기 로더 핸드의 제1 클리너부를 상기 수지 밀봉 금형 중 하금형의 금형면에 접근시키면서 상기 로더 핸드를 상기 수지 밀봉 금형 상금형과 하금형과의 사이의 공간에 진입시켜, 상기 하금형의 금형면을 청소하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉품의 제조 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 언로더 핸드에 의해 청소하는 것은 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 브러시로 긁는 것과, 상기의 금형면을 흡인 구멍에서 흡인하는 것을 포함하고,
    상기 로더 핸드에 의해 청소하는 것은 상기 수지 밀봉 금형의 금형면을 흡인 구멍에서 흡인하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 수지 밀봉품의 제조 방법.
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