TW202214413A - 樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法，能夠抑制裝載機機械手對支撐部的負擔並抑制不良品的產生。樹脂密封裝置（1）包括：具有第一清潔器部（140）的裝載機機械手（120）、具有第二清潔器部的卸載機機械手（220）、以及控制裝載機機械手（120）及卸載機機械手（220）的控制部（C），控制部（C）在將工件搬入樹脂密封模具（21）時，通過裝載機機械手（120）來清掃樹脂密封模具（21）中的至少下模具（23）的模具面（23A），在將工件從樹脂密封模具（21）搬出時，通過卸載機機械手（220）來清掃樹脂密封模具（21）中的至少下模具（23）的模具面（23A）。

Description

樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法
本發明涉及一種樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法。
在利用樹脂來對工件進行樹脂密封的樹脂密封裝置中，需要定期清掃樹脂密封模具的模具面。
專利文獻1中公開了一種搬送機構，其在裝載機（loader）及卸載機（unloader）的模具進入部具備清潔器部，在搬入或搬出工件時，清潔器（cleaner）部的旋轉的刷子清掃下模及上模的模具表面。
專利文獻2中公開了一種樹脂密封裝置，其在裝載機和/或卸載機設置有清潔器裝置，所述清潔器裝置在向開模的樹脂密封模具進退移動時，一邊清潔上模面和/或下模面一邊進行集塵，且包括：將附著於上模面和/或下模面的灰塵刮落的清潔刷、以及對上模面和/或下模面上的灰塵進行集塵的管道開口部。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-179025號公報 [專利文獻2]日本專利特開2002-240046號公報
[發明所要解決的問題] 一般而言，在卸載機機械手具備對模具面進行清潔的清潔器部，且不會在裝載機機械手具備重複的清潔器部。在所述情況下，支撐裝載機機械手的部分的負擔會減輕，但在由卸載機機械手進行清掃後、在裝載機機械手將工件搬入之前，掉落至模具面的灰塵有時會成為不良品的原因。另一方面，卸載機機械手與裝載機機械手兩者可具備相同結構的清潔器部，因此如專利文獻1及專利文獻2所述，存在卸載機機械手與裝載機機械手的兩者具備相同結構的清潔器部的現有例，起因於由裝載機機械手的大型化引起的應支撐的重量的增大、或刷子的動作的反作用等，對裝載機的負擔有時會增大。另外，考慮到因存在重複的清潔器部而使裝載機的機構變得複雜，樹脂密封裝置的成本變高的課題，以及為了防止樹脂成形後的樹脂屑在裝置內飛散而需要在樹脂成形後立刻進行清潔，實際上僅在卸載機機械手設置清潔器部。
本發明是鑒於此種情況而完成，本發明的目的在於提供一種樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法，能夠抑制裝載機機械手對支撐部的負擔並抑制不良品的產生。 [解決問題的技術手段]
本發明的一方式的樹脂密封裝置用於使用包括上模具及下模具的樹脂密封模具，對工件進行樹脂密封，所述樹脂密封裝置包括：裝載機機械手，構成為能夠相對於上模具與下模具之間的空間進退；卸載機機械手，構成為能夠相對於上模具與下模具之間的空間進退；以及控制部，控制裝載機機械手及卸載機機械手的動作，且裝載機機械手具有第一工件保持部及第一清潔器部，所述第一工件保持部構成為能夠保持工件，所述第一清潔器部在向樹脂密封模具的內部的進入方向上比第一工件保持部更靠前方側配置，卸載機機械手具有第二工件保持部及第二清潔器部，所述第二工件保持部構成為能夠保持工件，所述第二清潔器部在向樹脂密封模具的內部的進入方向上比第二工件保持部更靠前方側配置，控制部在將工件搬入樹脂密封模具時，通過裝載機機械手來清掃樹脂密封模具中的至少下模具的模具面，在將工件從樹脂密封模具搬出時，通過卸載機機械手來清掃樹脂密封模具中的至少下模具的模具面。
根據所述方式，例如，裝載機機械手可除去在由卸載機機械手進行清掃後落至樹脂密封模具的模具面的灰塵。例如，通過在即將設置工件之前除去灰塵，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，控制部也可控制：在使第一清潔器部接近下模具的模具面的狀態下，使將工件保持於第一工件保持部的裝載機機械手進入上模具與下模具之間的空間，清掃下模具的模具面的動作；將工件從第一工件保持部交接至下模具的模具面的動作；以及在使第一清潔器部與下模具的模具面分離的狀態下，從第一工件保持部釋放工件，使裝載機機械手從上模具與下模具之間的空間退出的動作。
所述方式中，第一清潔器部具有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔朝向樹脂密封模具的模具面開口，第二清潔器部具有第二抽吸孔及刷子，所述第二抽吸孔朝向樹脂密封模具的模具面開口，所述刷子的至少一部分收容在第二抽吸孔中。
根據所述方式，固定在樹脂密封模具的模具面上的灰塵被卸載機機械手的第二清潔器部所具備的刷子刮落，因此在裝載機機械手的第一清潔器部，可通過利用第一抽吸孔抽吸灰塵來除去。因此，可抑制裝載機機械手的大型化、重量增大，可降低對支撐裝載機機械手的裝載機的負擔。
在所述方式中，第一清潔器部也可還具有第一集塵構件，所述第一集塵構件構成為朝向樹脂密封模具的模具面突出，且能夠在第一抽吸孔與樹脂密封模具的模具面之間形成減壓的抽吸空間。
根據所述方式，第一抽吸孔的抽吸力提高，由此第一清潔器部的清掃效率提高，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，第一集塵構件也可構成為包圍第一抽吸孔的框狀。
根據所述方式，第一抽吸孔的抽吸力進一步提高。
在所述方式中，第一集塵構件具有第一前方部分及第一後方部分，所述第一前方部分相對於第一抽吸孔而配置在裝載機機械手的進入方向的前方側，所述第一後方部分相對於第一抽吸孔而配置在裝載機機械手的進入方向的後方側，且在樹脂密封模具的模具面的垂直方向上，第一前方部分的前端比第一後方部分的前端更靠近第一抽吸孔。
根據所述方式，可減少清掃時灰塵向工件側的灑落。
在所述方式中，第一清潔器部也可構成為至少一部分能夠沿著樹脂密封模具的模具面的垂直方向移動，在第一後方部分與樹脂密封模具的模具面滑動接觸時，第一前方部分也可與樹脂密封模具的模具面分離地構成。
根據所述方式，可減少灰塵向工件側的灑落，同時將灰塵取入抽吸空間。
在所述方式中，也可還包括膜供給裝置，所述膜供給裝置將離型膜供給至上模具的模具面，所述離型膜輔助工件從樹脂密封模具的脫模。
根據所述方式，上模具的模具面由離型膜保護，因此不會產生灰塵的附著。因此，第一清潔器部及第二清潔器部僅清掃下模具的模具面即可，可抑制裝載機機械手及卸載機機械手的大型化、重量增大。
本發明的一方式的樹脂密封品的製造方法包括：利用樹脂密封模具對第一工件進行樹脂密封；在通過卸載機機械手來將進行了樹脂密封的第一工件從樹脂密封模具搬出時，通過卸載機機械手來清掃樹脂密封模具的模具面；以及在通過裝載機機械手來將第二工件搬入樹脂密封模具時，通過裝載機機械手來清掃樹脂密封模具的模具面。
根據所述方式，例如，通過在即將設置工件之前除去灰塵，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，通過裝載機機械手來進行清掃也可包括：在將工件保持於裝載機機械手的第一工件保持部的狀態下，使裝載機機械手的第一清潔器部接近樹脂密封模具中的下模具的模具面，同時使裝載機機械手進入樹脂密封模具的上模具與下模具之間的空間，來清掃下模具的模具面。
在所述方式中，通過卸載機機械手來進行清掃也可包括：利用刷子來刮掃樹脂密封模具的模具面、以及利用抽吸孔來抽吸樹脂密封模具的模具面，通過裝載機機械手來進行清掃也可包括：利用抽吸孔來抽吸樹脂密封模具的模具面。
根據所述方式，固定在樹脂密封模具的模具面上的灰塵被卸載機機械手的刷子刮落，因此裝載機機械手可通過利用第一抽吸孔抽吸灰塵來除去。因此，可抑制裝載機機械手的大型化、重量增大，可降低對支撐裝載機機械手的裝載機的負擔。 [發明的效果]
根據本發明，可提供一種樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法，能夠抑制裝載機機械手對支撐部的負擔並抑制不良品的產生。
以下，參照圖式對本發明的實施方式進行說明。各實施方式的圖式是例示，各部的尺寸或形狀是示意性的，本申請發明的技術範圍不應解釋為限定於所述實施方式。
＜第一實施方式＞ 參照圖1對本發明的實施方式的樹脂密封裝置1的結構進行說明。圖1是概略地表示第一實施方式的樹脂密封裝置的結構的平面圖。
在各個圖式中，為了明確各個圖式相互的關係並有助於理解各構件的位置關係，有時為了方便而標注包含X軸、Y軸及Z軸的正交坐標系。將包含X軸及Y軸的面設為“XY面”，將Z軸的箭頭所朝的方向設為上方向，將與Z軸的箭頭朝向相反的方向設為下方向。
樹脂密封裝置1用於利用樹脂對工件W進行樹脂密封（模制）成形。如圖1所示，樹脂密封裝置1包括：供給樹脂密封前的工件W的內模組10；利用樹脂對工件W進行樹脂密封的壓製模組20、壓製模組30、壓製模組40、壓製模組50；以及回收進行了樹脂密封的工件W的外模組90。另外，樹脂密封裝置1包括遍及內模組10、壓製模組20～壓製模組50及外模組90設置的搬送機構。
在圖1所示的例子中構成為，內模組10、壓製模組20～壓製模組50及外模組90分別在X軸方向上排列配置，裝載機100及卸載機200能夠沿著遍及所述各模組延伸的引導部300移動。裝載機100及卸載機200的動作由對樹脂密封裝置1整體進行控制的控制部C控制。
樹脂密封裝置1對工件W進行樹脂密封。樹脂密封裝置1例如是通過注入至閉合的樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模腔內的樹脂的填充壓力來進行樹脂成形的傳遞成形機。此外，在以下所示的例子中，作為樹脂密封裝置的一例，說明包括對工件W進行樹脂密封的壓製模組20～壓製模組50的裝置整體，但本發明的樹脂密封裝置未必限於包括壓製模組。本發明的樹脂密封裝置只要是具有本實施方式的樹脂供給機構的裝置（例如，裝載機、裝載機機械手等），且用於工件的樹脂密封即可。
樹脂密封裝置1例如是對半導體元件進行樹脂密封的半導體樹脂密封裝置。在所述情況下，工件W例如包括半導體元件及半導體元件的支撐體。工件W並無限定，例如可為裝設有半導體元件的引線框架、裝設有半導體元件的中介層（interposer）基板、或者暫時貼合有半導體元件的帶有黏著片的載體板（carrier plate）等。另外，樹脂密封裝置1並不限定於用於半導體樹脂密封裝置中，也可用於對半導體元件以外的元件（例如，微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）晶片、電子器件等）進行樹脂密封的樹脂密封裝置中。此外，在後述的實施方式中，使用因加熱而產生翹曲或起伏那樣的薄型的長條狀的中介層基板進行說明，但也可為除此之外的工件。
以下，對圖1所示的各模組的結構進行說明。
內模組10包括框架供給部15、索引（index）部13、料片供給部17以及工件加熱部19。在框架供給部15排列著堆積收納有多個工件W的供給料盒（magazine）。索引部13對工件W的朝向進行定位。例如，索引部13是能夠旋轉地設置的台，使從框架供給部15的供給料盒接收的兩個工件W以彼此的相同邊相向的方式排列。索引部13將排列好的兩個工件W供給至工件加熱部19。料片供給部17將排列好的多個樹脂料片P供給至裝載機機械手120的料片保持孔125。樹脂料片P例如是將樹脂的粉末或顆粒等壓固成柱體狀而成，或者是將樹脂成形為柱體狀而成。工件加熱部19在將工件W搬入樹脂密封模具21～樹脂密封模具51前預先進行加熱（以下稱為“預加熱”），減小工件W與樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的溫度差。工件加熱部19構成為能夠從索引部13接收工件W。
壓製模組20、壓製模組30、壓製模組40、壓製模組50分別包括樹脂密封模具21、樹脂密封模具31、樹脂密封模具41、樹脂密封模具51。壓製模組20～壓製模組50在X軸方向上排列，樹脂密封模具21～樹脂密封模具51也在X軸方向上排列。樹脂密封模具21～樹脂密封模具51是例如包含下模具及上模具的能夠開閉的一對模具。壓製模組20～壓製模組50能夠將工件W保持在形成於樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的內部的模腔中。而且，壓製模組20～壓製模組50通過將樹脂注入至所述模腔，從而對工件W進行樹脂密封。注入至模腔的樹脂是使樹脂料片P在樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的內部軟化而成。在本實施方式中，樹脂密封裝置1例如包括四個壓製模組，但壓製模組的數量能夠適當變更。
外模組90包括打澆口託盤（degate pallet）91、打澆口機械手（degate hand）93及工件收納部95。打澆口託盤91從卸載機200接收連接了無用樹脂的狀態的工件W，並將其搬送至打澆口機械手93的下方。打澆口機械手93從所搬送的工件W中分離無用樹脂（剔料池（cull）及澆道（runner））。分離出的無用樹脂被回收至剔料池盒中。將分離出無用樹脂且樹脂密封過的工件W收納在工件收納部95的收納料盒中。從壓製模組20～壓製模組50觀察，外模組90設置在與內模組10相反的一側。但是，各模組的配置並不限定於所述，內模組10及外模組90也可設置在從壓製模組20～壓製模組50觀察時相同的一側。
搬送機構具有引導部300、裝載機100及卸載機200。引導部300以橫穿內模組10、壓製模組20～壓製模組50及外模組90的方式在X軸方向上延伸。
搬送機構對工件W及樹脂料片P進行搬送。具體而言，裝載機100將工件W及樹脂料片P從內模組10分別搬送至壓製模組20～壓製模組50，且裝載機100的裝載機機械手120將工件W及樹脂料片P搬入樹脂密封模具21～樹脂密封模具51。卸載機200的卸載機機械手從樹脂密封模具21～樹脂密封模具51搬出樹脂密封過的工件W，卸載機200將樹脂密封過的工件W從壓製模組20～壓製模組50搬送至外模組90。
控制部C在將工件W搬入樹脂密封模具21時，通過裝載機機械手120來清掃樹脂密封模具21中的至少下模具23的模具面23A，在將工件W從樹脂密封模具21搬出時，通過卸載機機械手220來清掃樹脂密封模具21中的至少下模具23的模具面23A。控制部C也可具有包括控制裝載機100的動作的控制部、以及控制卸載機200的動作的控制部的多個控制部。
接著，參照圖2及圖3，對樹脂密封模具21及裝載機機械手120的結構進行說明。圖2是概略地表示裝載機機械手的結構的平面圖。圖3是概略地表示進入樹脂密封模具的裝載機機械手的結構的剖面圖。此外，樹脂密封模具31～樹脂密封模具51的結構與樹脂密封模具21的結構相同，因此省略說明。
樹脂密封模具21由上模具22及下模具23構成。上模具22具有與下模具23相向的模具面22A，下模具23具有與上模具22相向的模具面23A。開模時，上模具22與下模具23相互分離，在上模具22的模具面22A與下模具23的模具面23A之間形成裝載機機械手120及卸載機機械手220能夠進入的空間。在上模具22側設置有膜供給裝置25。膜供給裝置25將離型膜RF供給至上模具22的模具面22A。膜供給裝置25包括：抽出部26，在利用樹脂密封模具21進行了樹脂密封後每次開模時抽出離型膜RF；以及捲繞部27，捲繞被抽出的離型膜RF。離型膜RF輔助進行了樹脂密封的工件W從樹脂密封模具21的脫模。另外，離型膜RF防止樹脂等灰塵附著於上模具22的模具面22A，從而不需要清掃上模具22的模具面22A。
裝載機100包括：裝載機主體190，構成為能夠沿著引導部300移動；以及裝載機機械手120，被裝載機主體190支撐，且構成為能夠相對於樹脂密封模具21的內部（上模具22與下模具23之間的空間）進退。裝載機機械手120的動作由控制部C控制。
裝載機機械手120包括：例如為了將樹脂密封前的工件W搬入樹脂密封模具21而進行保持的第一工件保持部121、第一工件保持部122；為了將樹脂料片P搬入樹脂密封模具21而進行保持的多個料片保持孔125；以及在向樹脂密封模具21的內部的進入方向上比第一工件保持部121、第一工件保持部122更靠前方側配置的第一清潔器部140。例如，第一工件保持部121、第一工件保持部122在X軸方向上排列，多個料片保持孔125在Y軸方向上排列。多個料片保持孔125配置在第一工件保持部121與第一工件保持部122之間。此外，第一工件保持部121、第一工件保持部122及多個料片保持孔125的配置並不限定於所述。
在用於將工件W搬入樹脂密封模具21的進入時，第一清潔器部140清掃下模具23的模具面23A。換言之，裝載機機械手120在將工件W保持於第一工件保持部121、第一工件保持部122的狀態下，一邊通過第一清潔器部140來清掃下模具23的模具面23A，一邊進入上模具22與下模具23之間的空間。第一清潔器部140清掃的灰塵是在由後述的卸載機機械手220進行清掃之後、在裝載機機械手120進入之前掉落至下模具23的模具面23A上的灰塵，例如是從離型膜RF脫落的樹脂片等。
第一清潔器部140構成為能夠沿下模具23的模具面23A的垂直（Z軸）方向移動。由此，控制部C在使第一清潔器部140接近下模具23的模具面23A的狀態下，使將工件W保持於第一工件保持部121、第一工件保持部122的裝載機機械手120進入樹脂密封模具21的內部，清掃下模具23的模具面23A。另外，控制部C在將工件W從第一工件保持部121、第一工件保持部122交接至下模具23的模具面23A後，在使第一清潔器部140與下模具23的模具面23A分離的狀態下，使從第一工件保持部121、第一工件保持部122釋放了工件W的裝載機機械手120從樹脂密封模具21的內部退出。此外，本結構在上模具22上始終配置有離型膜RF，因此設置僅對下模具23進行清掃的第一清潔器部140，但在不需要離型膜RF的結構的情況下，理想的是在裝載機機械手120還設置有對上模具22的模具面22A進行清潔的朝上的清潔器部。
第一清潔器部140包括：第一抽吸孔141，朝向下模具23的模具面23A開口；以及第一集塵構件142，構成為朝向下模具23的模具面23A突出，且能夠在第一抽吸孔141與下模具23的模具面23A之間形成減壓的抽吸空間。
第一抽吸孔141從抽吸空間吸取灰塵，將其送至省略圖示的管道。第一抽吸孔141在X軸方向上延伸，與第一工件保持部121、第一工件保持部122的兩者的整體在Y軸方向上相向。
第一集塵構件142具有相對於第一抽吸孔141而配置在裝載機機械手120的進入方向的前方側的第一前方部分142A、以及相對於第一抽吸孔141而配置在裝載機機械手120的進入方向的後方側的第一後方部分142B。第一前方部分142A及第一後方部分142B例如由耐熱的矽酮橡膠或海綿等彈性材料形成。作為一例，第一前方部分142A及第一後方部分142B各自的一端相互連接，各自的另一端相互連接。即，第一集塵構件142設置成包圍第一抽吸孔141的框狀。
在下模具23的模具面23A的垂直方向上，第一前方部分142A的前端比第一後方部分142B的前端略微離開模具面23A而有間隔。換言之，第一前方部分142A的前端比第一後方部分142B的前端更靠近第一抽吸孔141。在裝載機機械手120進入樹脂密封模具21時，即第一清潔器部140清掃下模具23的模具面23A時，安裝在第一清潔器部140與裝載機機械手120之間的致動器145可動伸長，第一後方部分142B與下模具23的模具面23A滑動接觸，以防止灰塵的灑落。此時，第一前方部分142A與下模具23的模具面23A分離，以便產生空氣流，以將灰塵取入至抽吸空間。在裝載機機械手120從樹脂密封模具21退出時，為了避免與設置在下模具23的模具面23A上的工件W的接觸，第一前方部分142A及第一後方部分142B的兩者與下模具23的模具面23A分離。
此外，第一集塵構件142的結構並不限定於所述。例如，第一前方部分142A及第一後方部分142B也可為相互分離的板狀的構件。另外，在下模具23的模具面23A的垂直方向上，第一前方部分142A及第一後方部分142B各自的前端也可以相同程度與第一抽吸孔141分離。
接著，參照圖4及圖5，對卸載機機械手220的結構進行說明。圖4是概略地表示卸載機機械手的結構的平面圖。圖5是概略地表示從樹脂密封模具退出的卸載機機械手的結構的剖面圖。此外，樹脂密封模具31～樹脂密封模具51的結構與樹脂密封模具21的結構相同，因此省略說明。
卸載機200包括：卸載機主體290，構成為能夠沿著引導部300移動；以及卸載機機械手220，被卸載機主體290支撐，且構成為能夠相對於樹脂密封模具21的內部（上模具22與下模具23之間的空間）進退。卸載機機械手220的動作由控制部C控制。
卸載機機械手220包括：例如為了將樹脂密封後的工件W（成形品）從樹脂密封模具21搬出而進行保持的第二工件保持部221、第二工件保持部222；以及在向樹脂密封模具21的內部的進入方向上比第二工件保持部221、第二工件保持部222更靠前方側配置的第二清潔器部240。
在用於將工件W從樹脂密封模具21搬出的退出時，第二清潔器部240清掃下模具23的模具面23A。換言之，卸載機機械手220在將工件W保持於第二工件保持部221、第二工件保持部222的狀態下，一邊通過第二清潔器部240來清掃下模具23的模具面23A，一邊從上模具22與下模具23之間的空間退出。第二清潔器部240清掃的灰塵例如是用於樹脂密封的樹脂固定在下模具23的模具面23A上的灰塵（毛刺（flash burr））等。
第二清潔器部240構成為能夠沿下模具23的模具面23A的垂直方向移動。由此，控制部C在使第二清潔器部240與下模具23的模具面23A分離的狀態下，使第二工件保持部221、第二工件保持部222空著的卸載機機械手220進入樹脂密封模具21的內部。另外，控制部C在利用第二工件保持部221、第二工件保持部222接收樹脂密封後的工件W後，在使第二清潔器部240接近下模具23的模具面23A的狀態下，使卸載機機械手220從樹脂密封模具21的內部退出，清掃下模具23的模具面23A。此外，本結構在上模具22上始終配置有離型膜RF，因此設置僅對下模具23進行清掃的第二清潔器部240，但在不需要離型膜RF的結構的情況下，理想的是在卸載機機械手220還設置有對上模具22的模具面22A進行清潔的朝上的清潔器部。
第二清潔器部240包括：第二抽吸孔241，朝向下模具23的模具面23A開口；第二集塵構件242，構成為朝向下模具23的模具面23A突出，且能夠在第二抽吸孔241與下模具23的模具面23A之間形成減壓的抽吸空間；以及刷子243，在抽吸空間刮落黏附在下模具23的模具面23A上的灰塵。刷子243例如為旋轉刷。第二集塵構件242還起到防止被刷子243刮落的灰塵向周圍飛散的作用。
第二抽吸孔241從抽吸空間吸取灰塵，將其送至省略圖示的管道。第二抽吸孔241在X軸方向上延伸，與第二工件保持部221、第二工件保持部222的兩者的整體在Y軸方向上相向。
第二集塵構件242具有相對於第二抽吸孔241而配置在卸載機機械手220的進入方向的前方側的第二前方部分242A、以及相對於第二抽吸孔241而配置在卸載機機械手220的進入方向的後方側的第二後方部分242B。第二前方部分242A及第二後方部分242B例如由耐熱矽酮橡膠或海綿等彈性材料形成。作為一例，第二前方部分242A及第二後方部分242B各自的一端相互連接，各自的另一端相互連接。即，第二集塵構件242設置成包圍第二抽吸孔241的框狀。
在卸載機機械手220從樹脂密封模具21退出時，即第二清潔器部240清掃下模具23的模具面23A時，安裝在第二清潔器部240與卸載機機械手220之間的致動器245可動伸長而與下模具23的模具面23A滑動接觸。在卸載機機械手220進入樹脂密封模具21時，為了避免與設置在下模具23的模具面23A上的工件W的接觸，第二前方部分242A及第二後方部分242B的兩者與下模具23的模具面23A分離。
此外，第二集塵構件242的結構並不限定於所述。
接著，參照圖6，對樹脂密封品的製造方法進行說明。圖6是表示使用第一實施方式的樹脂密封裝置的樹脂密封品的製造步驟的流程圖。
首先，將工件W搬入樹脂密封模具21（S10）。將經預加熱的樹脂密封前的工件W保持於裝載機機械手120，搬入開模的樹脂密封模具21的內部，設置於下模具23的模具面23A。
接著，對工件W進行樹脂密封（S20）。將樹脂密封模具21合模，向樹脂密封模具21的模腔注入液狀的樹脂。一邊對樹脂施加壓力一邊加熱，使樹脂硬化。
接著，一邊從樹脂密封模具21搬出工件W，一邊清掃樹脂密封模具21（S30）。首先，將樹脂密封模具21開模，在使第二工件保持部221、第二工件保持部222與下模具23的模具面23A分離的狀態下，使卸載機機械手220進入樹脂密封模具21的內部，以免與下模具23的模具面23A上的工件W發生干涉。接著，第二工件保持部221、第二工件保持部222接取樹脂密封過的工件（成形品）W，使致動器245伸長而使第二清潔器部240朝向下模具23的模具面23A接近。接著，一邊使第二清潔器部240清掃下模具23的模具面23A，一邊使將工件W保持於第二工件保持部221、第二工件保持部222的卸載機機械手220從樹脂密封模具21的內部退出。即，下模具23的模具面23A的清掃不會在卸載機機械手220向樹脂密封模具21的內部進入時實施，而是在退出時實施。所述開模後的由卸載機機械手220的第二清潔器部240進行的清掃是在成形後的樹脂殘渣飛散至裝置內之前進行清掃，對於固定在下模具23的模具面23A上的樹脂或樹脂碳化物等，一邊利用刷子243刮落一邊利用第二抽吸孔241抽吸除去。
接著，一邊將工件W搬入樹脂密封模具21，一邊清掃樹脂密封模具21（S40）。首先，在由卸載機機械手220進行樹脂密封模具21的清掃後，使膜供給裝置25工作，更新上模具22側的離型膜RF。接著，在使樹脂密封前的工件W保持於第一工件保持部121、第一工件保持部122的狀態下，使致動器145伸長而使第一清潔器部140朝向下模具23的模具面23A接近。接著，一邊使第一清潔器部140清掃下模具23的模具面23A，一邊使將工件W保持於第一工件保持部121、第一工件保持部122的卸載機機械手120進入樹脂密封模具21的內部。接著，將工件W從第一工件保持部121、第一工件保持部122交接至下模具23的模具面23A，使致動器145收縮而使第一清潔器部140與下模具23的模具面23A分離。接著，在使第一工件保持部121、第一工件保持部122與下模具23的模具面23A分離的狀態下，使裝載機機械手120從樹脂密封模具21的內部退出，以免與下模具23的模具面23A上的工件W發生干涉。即，下模具23的模具面23A的清掃是在裝載機機械手120向樹脂密封模具21的內部進入時實施，在退出時不實施。在所述開模後的第二次的清掃中，對於掉落至下模具23的模具面23A上的樹脂料片等，利用第一抽吸孔141抽吸除去。
樹脂密封品的製造在樹脂密封模具31～樹脂密封模具51中也依次與所述同樣地實施。
如上所述，本發明的一實施方式的樹脂密封裝置1包括：具有第一清潔器部140的裝載機機械手120、具有第二清潔器部240的卸載機機械手220、以及控制裝載機機械手120及卸載機機械手220的動作的控制部C，控制部C在裝載機機械手120將工件W搬入樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的內部時，通過裝載機機械手120來清掃樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的內部。例如，控制部C控制：在使第一清潔器部140接近下模具23的模具面23A的狀態下，使將工件W保持於第一工件保持部121、第一工件保持部122的裝載機機械手120進入上模具22與下模具23之間的空間，清掃下模具23的模具面23A，在使第一清潔器部140與下模具23的模具面23A分離的狀態下，從第一工件保持部121、第一工件保持部122釋放工件W，使裝載機機械手120從上模具22與下模具23之間的空間退出的動作。 據此，例如，裝載機機械手120可除去在由卸載機機械手220進行清掃後落至樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面的灰塵。通過在即將設置工件W之前除去灰塵，可降低不良品的產生率。
第一清潔器部140具有第一抽吸孔141，第二清潔器部240具有第二抽吸孔241及刷子243。 固定在樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面上的樹脂殘渣被卸載機機械手220的第二清潔器部240所具備的刷子243刮落。卸載機機械手220中必然包括使刷子可動的機構，由於伴隨卸載機機械手220的重量增大而大型化，因此卸載機主體290的負擔變大。在其中一個裝載機機械手120的第一清潔器部140，可通過利用第一抽吸孔141抽吸灰塵來除去。因此，可抑制裝載機機械手120的大型化、重量增大，可降低對支撐裝載機機械手120的裝載機主體190的負擔。
在所述方式中，第一清潔器部140也可還具有第一集塵構件142，所述第一集塵構件142構成為能夠形成抽吸空間。 據此，第一抽吸孔141的抽吸力提高，由此第一清潔器部140的清掃效率提高，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，第一集塵構件142也可構成為包圍第一抽吸孔141的框狀。 據此，第一抽吸孔141的抽吸力進一步提高。
在所述方式中，第一集塵構件142的第一前方部分142A的前端也可比第一後方部分142B的前端更靠近第一抽吸孔141。 據此，可減少清掃時灰塵向工件W側的灑落。
在所述方式中，在第一後方部分142B與樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面滑動接觸時，第一前方部分142A也可與樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面分離地構成。 據此，可減少灰塵向工件W側的灑落，同時將灰塵取入抽吸空間。
在所述方式中，第二清潔器部240也可還具有第二集塵構件242，所述第二集塵構件242構成為能夠形成抽吸空間。 據此，第二抽吸孔241的抽吸力提高，由此第二清潔器部240的清掃效率提高，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，第二集塵構件242也可構成為包圍第二抽吸孔241的框狀。 據此，第二抽吸孔241的抽吸力進一步提高。
在所述方式中，第一清潔器部140也可清掃下模具的模具面。 據此，由卸載機機械手220進行清掃後產生的灰塵大多為掉落物等且附著於下模具，因此通過清掃下模具的模具面，可充分減少不良品的產生。
在所述方式中，樹脂密封裝置1也可還包括將離型膜RF供給至上模具的模具面的膜供給裝置25。 據此，上模具的模具面由離型膜RF保護，因此不會產生灰塵的附著。因此，第一清潔器部140及第二清潔器部240僅清掃下模具的模具面即可，可抑制裝載機機械手120及卸載機機械手220的大型化、重量增大。此外，在上模具22中不需要離型膜RF的結構的情況下，也可在裝載機機械手120還設置對上模具22的模具面22A進行清潔的朝上的清潔器部。
本發明的一實施方式的樹脂密封品的製造方法包括：在通過卸載機機械手220來將進行了樹脂密封的第一工件W從樹脂密封模具21～樹脂密封模具51搬出時，通過卸載機機械手220來清掃樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面；以及在通過裝載機機械手120來將第二工件W搬入樹脂密封模具21～樹脂密封模具51時，通過裝載機機械手120來清掃樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面。例如，通過裝載機機械手120來進行清掃包括：在將工件W保持於裝載機機械手120的第一工件保持部121、第一工件保持部122的狀態下，使裝載機機械手120的第一清潔器部140接近樹脂密封模具21中的下模具23的模具面23A，同時使裝載機機械手120進入上模具22與下模具23之間的空間，來清掃下模具23的模具面23A。 據此，例如，通過在即將設置工件之前除去灰塵，可降低不良品的產生率。
在所述方式中，通過卸載機機械手220來進行清掃也可包括：利用刷子243來刮掃樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面、以及利用第二抽吸孔241來抽吸樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面，通過裝載機機械手120來進行清掃也可包括：利用第一抽吸孔141來抽吸樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面。 據此，固定在樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的模具面上的灰塵（樹脂殘渣）被卸載機機械手220的第二清潔器部240所具備的刷子243刮落，因此在裝載機機械手120的第一清潔器部140，可通過利用第一抽吸孔141抽吸灰塵來除去。因此，可抑制裝載機機械手120的大型化、重量增大，可降低對支撐裝載機機械手120的裝載機的負擔。
此外，在所述實施方式中，以第二清潔器部240僅清掃樹脂密封模具21～樹脂密封模具51的上模具及下模具中的下模具的結構為例進行了說明，但第二清潔器部240也可為清掃上模具及下模具兩者的結構。同樣地，第一清潔器部140也可為清掃上模具及下模具兩者的結構。
如以上所說明，根據本發明的一方式，可提供一種樹脂密封裝置及樹脂密封品的製造方法，能夠抑制裝載機機械手對支撐部的負擔並抑制不良品的產生。
以上說明的實施方式用於使本發明的理解變得容易，並非用於限定性地解釋本發明。實施方式所包括的各元件以及其配置、材料、條件、形狀及尺寸等並不限定於例示的內容，可適當變更。另外，能夠將不同的實施方式中示出的結構彼此部分地置換或組合。
1:樹脂密封裝置 10:內模組 13:索引部 15:框架供給部 17:料片供給部 19:工件加熱部 20～50:壓製模組 21～51:樹脂密封模具 22:上模具 23:下模具 22A、23A:模具面 25:膜供給裝置 26:抽出部 27:捲繞部 90:外模組 91:打澆口託盤 93:打澆口機械手 95:工件收納部 100:裝載機 120:裝載機機械手 121、122:第一工件保持部 125:料片保持孔 140:第一清潔器部 141:第一抽吸孔 142:第一集塵構件 142A:第一前方部分 142B:第一後方部分 145、245:致動器 190:裝載機主體 200:卸載機 220:卸載機機械手 221、222:第二工件保持部 240:第二清潔器部 241:第二抽吸孔 242:第二集塵構件 242A:第二前方部分 242B:第二後方部分 243:刷子 290:卸載機主體 300:引導部 C:控制部 P:樹脂料片 RF:離型膜 S10～S40:步驟 W:工件 XYZ:坐標軸
圖1是概略地表示第一實施方式的樹脂密封裝置的結構的平面圖。 圖2是概略地表示裝載機機械手的結構的平面圖。 圖3是概略地表示進入樹脂密封模具的裝載機機械手的結構的剖面圖。 圖4是概略地表示卸載機機械手的結構的平面圖。 圖5是概略地表示從樹脂密封模具退出的卸載機機械手的結構的剖面圖。 圖6是表示使用第一實施方式的樹脂密封裝置的樹脂密封品的製造步驟的流程圖。
21:樹脂密封模具
22:上模具
23:下模具
22A、23A:模具面
25:膜供給裝置
26:抽出部
27:捲繞部
120:裝載機機械手
122:第一工件保持部
140:第一清潔器部
141:第一抽吸孔
142:第一集塵構件
142A:第一前方部分
142B:第一後方部分
145:致動器
RF:離型膜
XYZ:坐標軸

Claims (11)

  1. 一種樹脂密封裝置，用於使用包括上模具及下模具的樹脂密封模具，對工件進行樹脂密封，所述樹脂密封裝置包括： 裝載機機械手，構成為能夠相對於所述上模具與所述下模具之間的空間進退； 卸載機機械手，構成為能夠相對於所述上模具與所述下模具之間的空間進退；以及 控制部，控制所述裝載機機械手及所述卸載機機械手的動作，且 所述裝載機機械手具有第一工件保持部及第一清潔器部，所述第一工件保持部構成為能夠保持工件，所述第一清潔器部在向所述樹脂密封模具的內部的進入方向上比所述第一工件保持部更靠前方側配置， 所述卸載機機械手具有第二工件保持部及第二清潔器部，所述第二工件保持部構成為能夠保持工件，所述第二清潔器部在向所述樹脂密封模具的內部的進入方向上比所述第二工件保持部更靠前方側配置， 所述控制部在將工件搬入所述樹脂密封模具時，通過所述裝載機機械手來清掃所述樹脂密封模具中的至少所述下模具的模具面，在將工件從所述樹脂密封模具搬出時，通過所述卸載機機械手來清掃所述樹脂密封模具中的至少所述下模具的模具面。
  2. 如請求項1所述的樹脂密封裝置，其中 所述控制部控制： 在使所述第一清潔器部接近所述下模具的模具面的狀態下，使將工件保持於所述第一工件保持部的所述裝載機機械手進入所述上模具與所述下模具之間的空間，清掃所述下模具的模具面的動作； 將工件從所述第一工件保持部交接至所述下模具的模具面的動作；以及 在使所述第一清潔器部與所述下模具的模具面分離的狀態下，從所述第一工件保持部釋放工件且使所述裝載機機械手從所述上模具與所述下模具之間的空間退出的動作。
  3. 如請求項1或請求項2所述的樹脂密封裝置，其中 所述第一清潔器部具有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔朝向所述樹脂密封模具的模具面開口， 所述第二清潔器部具有第二抽吸孔及刷子，所述第二抽吸孔朝向所述樹脂密封模具的模具面開口，所述刷子的至少一部分收容在所述第二抽吸孔中。
  4. 如請求項3所述的樹脂密封裝置，其中 所述第一清潔器部還具有第一集塵構件，所述第一集塵構件構成為朝向所述樹脂密封模具的模具面突出，且能夠在所述第一抽吸孔與所述樹脂密封模具的模具面之間形成減壓的抽吸空間。
  5. 如請求項4所述的樹脂密封裝置，其中 所述第一集塵構件構成為包圍所述第一抽吸孔的框狀。
  6. 如請求項4所述的樹脂密封裝置，其中 所述第一集塵構件具有第一前方部分及第一後方部分，所述第一前方部分相對於所述第一抽吸孔而配置在所述裝載機機械手的進入方向的前方側，所述第一後方部分相對於所述第一抽吸孔而配置在所述裝載機機械手的進入方向的後方側，且 在所述樹脂密封模具的模具面的垂直方向上，所述第一前方部分的前端比所述第一後方部分的前端更靠近所述第一抽吸孔。
  7. 如請求項6所述的樹脂密封裝置，其中 所述第一清潔器部構成為至少一部分能夠沿著所述樹脂密封模具的模具面的垂直方向移動， 在所述第一後方部分與所述樹脂密封模具的模具面滑動接觸時，所述第一前方部分與所述樹脂密封模具的模具面分離地構成。
  8. 如請求項1或請求項2所述的樹脂密封裝置， 還包括膜供給裝置，所述膜供給裝置將離型膜供給至所述上模具的模具面，所述離型膜輔助工件從所述樹脂密封模具的脫模。
  9. 一種樹脂密封品的製造方法，包括： 利用樹脂密封模具對第一工件進行樹脂密封； 在通過卸載機機械手來將進行了樹脂密封的第一工件從所述樹脂密封模具搬出時，通過所述卸載機機械手來清掃所述樹脂密封模具的模具面；以及 在通過裝載機機械手來將第二工件搬入所述樹脂密封模具時，通過所述裝載機機械手來清掃所述樹脂密封模具的模具面。
  10. 如請求項9所述的樹脂密封品的製造方法，其中 通過所述裝載機機械手來進行清掃包括：在將工件保持於所述裝載機機械手的第一工件保持部的狀態下，使所述裝載機機械手的第一清潔器部接近所述樹脂密封模具中的下模具的模具面，同時使所述裝載機機械手進入所述樹脂密封模具的上模具與下模具之間的空間，來清掃所述下模具的模具面。
  11. 如請求項9或請求項10所述的樹脂密封品的製造方法，其中 通過所述卸載機機械手來進行清掃包括：利用刷子來刮掃所述樹脂密封模具的模具面、以及利用抽吸孔來抽吸所述樹脂密封模具的模具面， 通過所述裝載機機械手來進行清掃包括：利用抽吸孔來抽吸所述樹脂密封模具的模具面。
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