JP4555488B2 - クリーナ装置及び樹脂封止装置 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 31
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 87
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 50
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 50
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 33
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical group C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は型開きしたモールド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵するクリーナ装置及び該クリーナ装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、型開きしたモールド金型より成形品を取り出した後に、該モールド金型の金型面に付着した樹脂かすを除去するためクリーナ装置が設けられている。このクリーナ装置の１例について、図１１を参照して説明する。クリーナ装置１０１は、取付板１０２の上下に上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４が取付固定されている。上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４は、上型面及び下型面に対向してダクト開口部１０５、１０６を有するダクトフレーム１０７、１０８が設けられている。
【０００３】
このダクト開口部１０５、１０６には金型面に摺接して集塵する際のガイドとなるスカート部１０９、１１０が設けられている。ダクトフレーム１０７、１０８内には上下金型面より各々樹脂かすを掻き落とすクリーニングブラシ１１１、１１２が回転可能に収容されている。クリーニングブラシ１１１、１１２は、図示しない電動モータなどの駆動源により回転駆動される。上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４は、取付板１０２に設けられた連通孔１１３、１１４を通じて共通集塵ダクト部１１５に連通している。
【０００４】
樹脂成形後、型開きしたモールド金型にクリーナ装置１０１が進入する際に上集塵ダクト部１０３のクリーニングブラシ１１１を回転駆動させると共にダクトフレーム１０７、連通孔１１３、共通集塵ダクト部１１５を通じて吸引しながら集塵し上型面をクリーニングするようになっている。
また、モールド金型よりクリーナ装置１０１が退避する際に下集塵ダクト部１０４のクリーニングブラシ１１２を回転駆動させると共にダクトフレーム１０８、連通孔１１４、共通集塵ダクト部１１５を通じて吸引しながら集塵し下型面をクリーニングするようになっている。
【０００５】
また、近年、金型メンテナンスを簡略化し、サイクルタイムを短縮化して生産効率を高めるため、モールド金型の上型面及び／又は下型面をリリースフィルムで覆って樹脂封止する樹脂封止装置が開発され、実用化されている。この装置においては、樹脂封止が行われるたびに、モールド金型の上型面及び／又は下型面を覆うリリースフィルムを交換するだけで新たな樹脂封止が行える。
【０００６】
例えば、上型面及び下型面をリリースフィルムで覆う樹脂封止装置においては、クリーニングブラシがリリースフィルムに接触すると破れるおそれがあるため、クリーナ装置は省略される。また、上型面又は下型面の一方をリリースフィルムで覆う樹脂封止装置においては、リリースフィルムで覆われない一方の金型面のみをクリーニングするクリーナ装置が設けられる。例えば図１２に示すように、上型面のみをリリースフィルム１１７で覆うクリーナ装置１１６においては、下型面のみをクリーニングするため、取付板１０２には下集塵ダクト部１０４のみが取付固定されている。取付板１０２の上集塵ダクト部１０３の取付位置に設けられた連通孔１１３は閉鎖板１１８により閉鎖されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、リリースフィルムの使用／不使用によってクリーナ装置が不要であったり必要であったり、或いはリリースフィルムにより上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置構成によって、個別にクリーナ装置を製作するのは、製造コストが嵩む上に部品点数が多くなる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交換するたびに、クリーナ装置も交換する必要があり、メンテナンスの作業負担が増えて作業性が低下する。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、モールド金型の種類が変わっても共用できる汎用性を向上させたクリーナ装置及び該クリーナ装置を備えて製造コストやメンテナンス作業が効率化して行える樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、型開きしたモールド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵するクリーナ装置であって、上クリーナユニットの上集塵ダクト部と下クリーナユニットの下集塵ダクト部が各々連通して共用する共通集塵ダクト部を有し、前記上集塵ダクト部及び／又は下集塵ダクト部が前記共通集塵ダクト部との連通孔を個別に塞ぐように上クリーナユニット及び／又は下クリーナユニットが上型面及び／又は下型面をクリーニング可能なクリーニング位置と、上型面及び／又は下型面より退避した退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とする。
また、上下クリーナユニットは、上型面及び下型面に各々対向してダクト開口部を有する上下ダクトフレームと、該上下ダクトフレーム内に回転可能に収容され、金型面より樹脂かすを掻き落とす上下クリーニングブラシとを備えた上下集塵ダクト部と、上下クリーニングブラシを回転駆動する駆動機構と、上下ダクトフレームを移動させる移動機構とを具備したことを特徴とする。
【００１０】
また、樹脂封止装置においては、前述したクリーナ装置が、移動レール部からプレス部へ進退移動して被成形品を搬入するローダー及び／又は成形品を取り出すアンローダーに設けられていることを特徴とする。
また、クリーナ装置は、プレス部へ進退移動するワーク搬送部の先頭側に前記上下集塵ダクト部が一体に設けられていることを特徴とする。
また、ローダー及びアンローダーは、共通の移動レール部を移動可能に設けられており、共通集塵ダクト部は移動レール部に沿って設けられた装置本体側の集塵ダクトに連通可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。尚、本実施の態様では、樹脂封止装置の一例として、被成形品をプレス部に搬入する搬入部（ローダー）と、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出す搬出部（アンローダー）とが移動レール部を共用するタイプの樹脂封止装置について説明する。
図１はクリーナ装置の上視図、図２は図１の左側面図、図３は図１の右側面図、図４は上下クリーナユニットが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図、図５は図４のＸ−Ｘ断面図、図６は下クリーナユニットのみが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図、図７は図６のＹ−Ｙ断面図、図８（ａ）（ｂ）はクリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及び側面図、図９は増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した樹脂封止装置の平面図、図１０は図９の樹脂封止装置のプレス部の側面説明図である。
【００１２】
先ず、樹脂封止装置の概略構成について図９及び図１０を参照して説明する。
図９において、樹脂封止装置は被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。
【００１３】
図９において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１４】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、台座部９に設けられており、モールド金型８（上型面及び／又は下型面）をリリースフィルム１０により覆うフィルムユニットＦが取付け可能になっている。
本実施例は、上型面のみがリリースフィルム１０で覆われる場合について説明する。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部７を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１５】
フィルムユニットＦは、プレス部７の両側にフィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２を備えており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交する方向に張設されている。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の上型パーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、上型面に密着して張設される。
【００１６】
１３は移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにわたって連結されている。この移動レール部１３には、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、移動レール部１３を所要位置へ移動して所要のプレス部７に一方向から進退移動するようになっている。
【００１７】
１６はアンローダー１５の共通集塵ダクト部に接続可能な集塵ダクトであり、移動レール部１３に併設されている。集塵ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１８が設けられている。ダクト連結部１８には増設レールユニットＣの集塵ダクト１６が連結可能になっている。アンローダー１５のプレス部７への進入方向先頭側にはクリーナ装置１９が一体に設けられている。クリーナ装置１９は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー１５の共通集塵ダクト部が対応する集塵ダクト１６のダクト連結部１８に形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８より退避する際に下金型面をクリーニングしながら集塵動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１８】
図９において、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品は成形品取出部の下方に待機している移動テーブル２０へ受け渡される。アンローダー１５は、成形品を移動テーブル２０へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル２０は成形品を載置してディゲート部２１へ搬送する。ディゲート部２１は、移動テーブル２０へ載置されて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル２０は成形品のみを載置して成形品収納部へ搬送する。成形品収納部において、移動テーブル２０に搬送された成形品が成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル２０が成形品取出部へ向かって移動すると、ピックアップ２２は、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１９】
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。この増設レールユニットＣには、移動レール部１３どうしを連結してローダー１４及びアンローダー１５が長手方向に移動可能になっている。増設レールユニットＣの台座部９には、各種機能部が交換可能に設けられている。本実施例では増設するプレス部７が設けられている。
【００２０】
ここで、プレス部７を搭載した増設レールユニットＣの構成について図１０を参照して説明する。台座部９は、レール台座部９ａとベース台座部９ｂとを備えており、ベース台座部９ｂには、プレス部７が搭載されている。プレス部７には、モールド金型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
レール台座部９ａには、移動レール部１３が搭載されている。移動レール部１３には、レール支持部２４の上にレールブロック２５が固定されている。レールブロック２５の幅方向両側には、Ｌ字状に切欠かれたアングル部が設けられており、該アングル部にはレール２６が位置決め固定されている。また、レール支持部２４には、集塵ダクト１６がレール２６に沿って保持されている。また、レール台座部９ａには、ベース台座部９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及びフィルムユニット）の制御ユニット２７が設けられている。
【００２１】
ローダー１４及びアンローダー１５は、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのいずれかのレール支持部２４に設けられた軸部に回転可能に設けられた駆動側プーリと従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに、ベルト連結片により各々連繋している。ローダー１４及びアンローダー１５は、図示しない駆動源により各軸部を所定方向に回転駆動させることによりレール２６上を各ユニット間にわたって移動するようになっている。ローダー１４及びアンローダー１５の下面には、レール２６上をスライドするスライドガイド２８が設けられている。
【００２２】
また、モールド金型（上型）８の両側には長尺状のリリースフィルム１０を供給し巻き取るフィルムユニットＦが設けられている。このフィルムユニットＦは、装置奥側（移動レール部１３側）にリリースフィルム１０を供給するフィルム供給部１１を有し、装置手前側にリリースフィルム１０を巻き取るフィルム巻取り部１２を有している。フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、フィルムカバー１１ａ、１２ａを回動させて、フィルムロールを各々着脱できるようになっている。
【００２３】
また、フィルムユニットＦは、上型のみならず下型の両側に設けても良い。この場合、例えば装置奥側に設けられたフィルム供給部１１はフィルムロール装着（又は交換）する場合の作業スペースに乏しいため、モールド金型８が型開きした状態でフィルム供給部１１を上下に移動可能にして移動レール部１３側の空いたスペースからフィルムカバー１１ａを回動させてフィルムロールを着脱するようにしても良い。
【００２４】
次に、クリーナ装置１９を備えたアンローダー１５の構成について図８を参照して説明する。図８（ａ）において、アンローダー１５には、モールド金型より成形品を保持して取り出すワーク搬送部１５ａが設けられている。このワーク搬送部１５ａには、成形品を保持するための図示しないメカニカルハンド若しくは吸着部が設けられている。また、ワーク搬送部１５ａは、プレス部７へ進退動するため両側に複数のガイドローラ２９及び図示しない駆動ローラが設けられている。アンローダー駆動モータ３０を駆動することにより、図示しないベルト駆動伝達機構などを介して駆動ローラに駆動伝達して、該駆動ローラとガイドローラ２９とでフレーム部３１の両側に設けられたガイドレール３２を挟みながら、ワーク搬送部１５ａはプレス部７へ向かって進退動するようになっている。
【００２５】
３３は共通集塵ダクト部であり、その一端はクリーナ装置１９のダクト部と連通しており他端はホース３４を介して集塵ダクト１６のダクト連結部１８に連結するようになっている。３５は集塵動作検知用の圧力センサであり、共通集塵ダクト部３３の途中に設けられている。この圧力センサ３５は、後述する上下集塵ダクト部を併用したときと、何れか一方のみを使用した場合とで、圧力変化を監視して常に一定の吸引圧を保つように設計されている。
【００２６】
次に、クリーナ装置１９の具体的な構成について図１〜図３を参照して説明する。
クリーナ装置１９は、上クリーナユニット３６と下クリーナユニット３７とを備えており、上クリーナユニット３６には上集塵ダクト部３８が、下クリーナユニット３７には下集塵ダクト部３９が設けられている。上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト部３９は共通集塵ダクト部３３に連通孔４０，４１（図４参照所）を介して各々連通して共用するようになっている。また、本実施例では、上型面がリリースフィルム１０で覆われているため、上集塵ダクト部３８が上下に移動可能に設けられており、共通集塵ダクト部３３との連通孔４０を塞ぐようになっている。具体的には、上集塵ダクト部３８は、上型面をクリーニング可能なクリーニング位置Ｐと、上型面Ｔより下方へ退避した退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられている。尚、装置形態によっては、例えば下型面がリリースフィルム１０で覆われている場合には、下集塵ダクト部３９が共通集塵ダクト部３３との連通孔４１を塞ぐように移動可能に設けられていてもよく、また、リリースフィルム１０を使用しない場合には、上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト部３９が共通集塵ダクト部３３との連通孔４０，４１を塞ぐように移動可能に設けられていても良い。
【００２７】
上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト３９は、上型面Ｔ及び下型面Ｕに対向して上下ダクト開口部４２、４３が設けられた上下ダクトフレーム４４、４５を備えている。上下ダクト開口部４２、４３には、上型面Ｔ及び下型面Ｕに摺接して吸引空間を形成する上下スカート部（例えばゴムスカート部）４６、４７が設けられている。
【００２８】
上下ダクトフレーム４４、４５内には上下クリーニングブラシ４８、４９が夫々回転可能に収容されており、金型面より樹脂かすを掻き落とすようになっている。上下クリーニングブラシ４８、４９は、上下ダクトフレーム４４、４５に一体に設けられた上下駆動機構５０、５１により各々回転駆動される。具体的には、上下駆動モータ５２、５３のモータ軸には駆動プーリ５４、５５が設けられており、上下クリーニングブラシ４８、４９の回転軸には従動プーリ５６、５７が設けられている。駆動プーリ５４、５５と従動プーリ５６、５７との間には、ベルト（タイミングベルト、Ｖベルトなど）５８、５９が掛け渡されており、上下駆動モータ５２、５３より上下クリーニングブラシ４８、４９へ各々駆動伝達するようになっている。
【００２９】
次に、上ダクトフレーム４４を移動させる移動機構の構成について説明する。
６０は取付板であり、その一方側には下ダクトフレーム４５が取付固定されている。また、取付板６０には、下ダクトフレーム４５の上側にスライドレール６１が上下に設けられており、該スライドレール６１にはスライドガイド６２を介して上ダクトフレーム４４がスライド可能に連繋している。また、上ダクトフレーム４４には可動板６３が一体に設けられており、該可動板６３は取付板６０に設けられたガイド孔６０ａを挿通して上下ダクトフレーム取付面と反対面側へ延設されている。また、取付板６０の他方側（上下ダクトフレーム取付面と反対面側）にはエアシリンダ６４が取付固定されている。このエアシリンダ６４のシリンダロッド６４ａの先端部は可動板６３に連繋している。よって、エアシリンダ６４を作動させることにより、可動板６３を介して上ダクトフレーム４４がスライドレール６１に沿って上下動するようになっている。また、上ダクトフレーム４４の移動により連通孔４０が開閉されるため、該連通孔４０を形成する取付板６０と上ダクトフレーム４４との間にはシールパッキン材６５が嵌め込まれている。
【００３０】
次に、上ダクトフレーム４４の移動動作について図４〜図７を参照して説明する。図４及び図５は、上下クリーニングユニット３６、３７を作動させて上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニングする場合（即ちリリースフィルム１０を使用しない場合）の説明図である。上ダクトフレーム４４は、エアシリンダ６４により取付板６０に対して上動した位置で保持されている。ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプレス部７より退避する際に、上下クリーニングユニット３６、３７を作動させて上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニングする。即ち、上下ダクトフレーム４４、４５は、連通孔４０、４１を通じて各々共通集塵ダクト部３３に連通しており、上下クリーニングブラシ４８、４９を回転駆動させて上下スカート部４６、４７で囲まれた上下ダクト開口部４２、４３より樹脂かすなどの塵が上下集塵ダクト部３８、３９内へ吸引されて、連通孔４０、４１を通じて各々共通集塵ダクト部３３から装置本体側の集塵機１７へ集塵される。
【００３１】
次に、図６及び図７は、下クリーニングユニット３７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングする場合（即ち上型面のみにリリースフィルム１０を使用する場合）の説明図である。上ダクトフレーム４４は、エアシリンダ６４を作動させて取付板６０に対して下動させ、上型面Ｔをクリーニング可能なクリーニング位置Ｐ（図７の２点鎖線位置）から上型面Ｔより退避した退避位置Ｑ（図７の実線位置）へ移動させる。これにより、上ダクトフレーム４４は連通孔４０がシールパッキン材６５により遮断されており、共通集塵ダクト部３３からの吸引は作用しないようになっている。
【００３２】
ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプレス部７より退避する際に、下クリーニングユニット３７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングする。即ち、下ダクトフレーム４５は、連通孔４１を通じて共通集塵ダクト部３３に連通しており、下クリーニングブラシ４９のみを回転駆動させて下スカート部４７で囲まれた下ダクト開口部４３より樹脂かすなどの塵が下集塵ダクト部３９内へ吸引されて、連通孔４１を通じて共通集塵ダクト部３３から装置本体側の集塵機１７へ集塵される。
【００３３】
クリーナ装置１９を用いれば、プレス部７にリリースフィルム１０の使用／不使用によってクリーナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリースフィルム１０により上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリーナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であってもクリーナ装置１９を共用できるので、部品点数を減らして、製造コストを低減することができる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルム１０を使用するモールド金型８と使用しないモールド金型８とを交換するたびに、逐一クリーナ装置１９をも交換する必要がなくなるので、メンテナンスの作業を効率化して行える。
【００３４】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述した実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットにはプレス部７に限らず他の機能部が設けられていても良く、リリースフィルム１０を使用しなくても或いは上型及び下型の何れか又は双方に使用する場合でも良い。また、クリーナ装置１９はアンローダー１５に限らずローダー１５の何れかに設けられていても或いは双方に設けられていても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３５】
【発明の効果】
本発明に係るクリーナ装置を用いると、プレス部にリリースフィルムの使用／不使用によってクリーナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリースフィルムにより上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリーナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であってもクリーナ装置を共用できるので汎用性が高く、部品点数を減らして、製造コストを低減することができる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交換するたびに、逐一クリーナ装置をも交換する必要がなくなるので、メンテナンスの作業を効率化して行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーナ装置の上視図である。
【図２】図１のクリーナ装置の左側面図である。
【図３】図１のクリーナ装置の右側面図である。
【図４】上下クリーナユニットが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】下クリーナユニットのみが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図である。
【図７】図６のＹ−Ｙ断面図である。
【図８】クリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及び側面図である。
【図９】増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した樹脂封止装置の平面図である。
【図１０】図９の樹脂封止装置のプレス部の側面説明図である。
【図１１】従来のクリーナ装置の説明図である。
【図１２】従来のクリーナ装置の説明図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 被成形品供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１５ａ ワーク搬送部
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 移動テーブル
１９ クリーナ装置
２０ ディゲート部
２１ 成形品ピックアップ
２２ ピックアップ
２３ 収納マガジン
２４ レール支持部
２５ レールブロック
２６ レール
２７ 制御ユニット
２８、６２ スライドガイド
２９ ガイドローラ
３０ アンローダー駆動モータ
３１ フレーム部
３２ ガイドレール
３３ 共通集塵ダクト部
３４ ホース
３５ 圧力センサ
３６ 上クリーナユニット
３７ 下クリーナユニット
３８ 上集塵ダクト部
３９ 下集塵ダクト部
４０ ４１ 連通孔
４２ 上ダクト開口部
４３ 下ダクト開口部
４４ 上ダクトフレーム
４５ 下ダクトフレーム
４６ 上スカート部
４７ 下スカート部
４８ 上クリーニングブラシ
４９ 下クリーニングブラシ
５０ 上駆動機構
５１ 下駆動機構
５２ 上駆動モータ
５３ 下駆動モータ
５４、５５ 駆動プーリ
５６、５７ 従動プーリ
５８、５９ ベルト
６０ 取付板
６０ａ ガイド孔
６１ スライドレール
６３ 可動板
６４ エアシリンダ
６５ シールパッキン材
【発明の属する利用分野】
本発明は型開きしたモールド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵するクリーナ装置及び該クリーナ装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として用いられる樹脂封止装置には、型開きしたモールド金型より成形品を取り出した後に、該モールド金型の金型面に付着した樹脂かすを除去するためクリーナ装置が設けられている。このクリーナ装置の１例について、図１１を参照して説明する。クリーナ装置１０１は、取付板１０２の上下に上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４が取付固定されている。上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４は、上型面及び下型面に対向してダクト開口部１０５、１０６を有するダクトフレーム１０７、１０８が設けられている。
【０００３】
このダクト開口部１０５、１０６には金型面に摺接して集塵する際のガイドとなるスカート部１０９、１１０が設けられている。ダクトフレーム１０７、１０８内には上下金型面より各々樹脂かすを掻き落とすクリーニングブラシ１１１、１１２が回転可能に収容されている。クリーニングブラシ１１１、１１２は、図示しない電動モータなどの駆動源により回転駆動される。上集塵ダクト部１０３及び下集塵ダクト部１０４は、取付板１０２に設けられた連通孔１１３、１１４を通じて共通集塵ダクト部１１５に連通している。
【０００４】
樹脂成形後、型開きしたモールド金型にクリーナ装置１０１が進入する際に上集塵ダクト部１０３のクリーニングブラシ１１１を回転駆動させると共にダクトフレーム１０７、連通孔１１３、共通集塵ダクト部１１５を通じて吸引しながら集塵し上型面をクリーニングするようになっている。
また、モールド金型よりクリーナ装置１０１が退避する際に下集塵ダクト部１０４のクリーニングブラシ１１２を回転駆動させると共にダクトフレーム１０８、連通孔１１４、共通集塵ダクト部１１５を通じて吸引しながら集塵し下型面をクリーニングするようになっている。
【０００５】
また、近年、金型メンテナンスを簡略化し、サイクルタイムを短縮化して生産効率を高めるため、モールド金型の上型面及び／又は下型面をリリースフィルムで覆って樹脂封止する樹脂封止装置が開発され、実用化されている。この装置においては、樹脂封止が行われるたびに、モールド金型の上型面及び／又は下型面を覆うリリースフィルムを交換するだけで新たな樹脂封止が行える。
【０００６】
例えば、上型面及び下型面をリリースフィルムで覆う樹脂封止装置においては、クリーニングブラシがリリースフィルムに接触すると破れるおそれがあるため、クリーナ装置は省略される。また、上型面又は下型面の一方をリリースフィルムで覆う樹脂封止装置においては、リリースフィルムで覆われない一方の金型面のみをクリーニングするクリーナ装置が設けられる。例えば図１２に示すように、上型面のみをリリースフィルム１１７で覆うクリーナ装置１１６においては、下型面のみをクリーニングするため、取付板１０２には下集塵ダクト部１０４のみが取付固定されている。取付板１０２の上集塵ダクト部１０３の取付位置に設けられた連通孔１１３は閉鎖板１１８により閉鎖されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、リリースフィルムの使用／不使用によってクリーナ装置が不要であったり必要であったり、或いはリリースフィルムにより上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置構成によって、個別にクリーナ装置を製作するのは、製造コストが嵩む上に部品点数が多くなる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交換するたびに、クリーナ装置も交換する必要があり、メンテナンスの作業負担が増えて作業性が低下する。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、モールド金型の種類が変わっても共用できる汎用性を向上させたクリーナ装置及び該クリーナ装置を備えて製造コストやメンテナンス作業が効率化して行える樹脂封止装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、型開きしたモールド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵するクリーナ装置であって、上クリーナユニットの上集塵ダクト部と下クリーナユニットの下集塵ダクト部が各々連通して共用する共通集塵ダクト部を有し、前記上集塵ダクト部及び／又は下集塵ダクト部が前記共通集塵ダクト部との連通孔を個別に塞ぐように上クリーナユニット及び／又は下クリーナユニットが上型面及び／又は下型面をクリーニング可能なクリーニング位置と、上型面及び／又は下型面より退避した退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とする。
また、上下クリーナユニットは、上型面及び下型面に各々対向してダクト開口部を有する上下ダクトフレームと、該上下ダクトフレーム内に回転可能に収容され、金型面より樹脂かすを掻き落とす上下クリーニングブラシとを備えた上下集塵ダクト部と、上下クリーニングブラシを回転駆動する駆動機構と、上下ダクトフレームを移動させる移動機構とを具備したことを特徴とする。
【００１０】
また、樹脂封止装置においては、前述したクリーナ装置が、移動レール部からプレス部へ進退移動して被成形品を搬入するローダー及び／又は成形品を取り出すアンローダーに設けられていることを特徴とする。
また、クリーナ装置は、プレス部へ進退移動するワーク搬送部の先頭側に前記上下集塵ダクト部が一体に設けられていることを特徴とする。
また、ローダー及びアンローダーは、共通の移動レール部を移動可能に設けられており、共通集塵ダクト部は移動レール部に沿って設けられた装置本体側の集塵ダクトに連通可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。尚、本実施の態様では、樹脂封止装置の一例として、被成形品をプレス部に搬入する搬入部（ローダー）と、プレス部より成形品を成形品取出部へ取り出す搬出部（アンローダー）とが移動レール部を共用するタイプの樹脂封止装置について説明する。
図１はクリーナ装置の上視図、図２は図１の左側面図、図３は図１の右側面図、図４は上下クリーナユニットが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図、図５は図４のＸ−Ｘ断面図、図６は下クリーナユニットのみが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図、図７は図６のＹ−Ｙ断面図、図８（ａ）（ｂ）はクリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及び側面図、図９は増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した樹脂封止装置の平面図、図１０は図９の樹脂封止装置のプレス部の側面説明図である。
【００１２】
先ず、樹脂封止装置の概略構成について図９及び図１０を参照して説明する。
図９において、樹脂封止装置は被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適宜設置されている。
【００１３】
図９において、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であるターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板の加熱手段を設けても良い。
５は樹脂タブレット供給部であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動して供給する。
【００１４】
７はプレス部であり、モールド金型８及び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。プレス部７は、台座部９に設けられており、モールド金型８（上型面及び／又は下型面）をリリースフィルム１０により覆うフィルムユニットＦが取付け可能になっている。
本実施例は、上型面のみがリリースフィルム１０で覆われる場合について説明する。尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにプレス部７を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様に取付可能になっている（図示せず）。
【００１５】
フィルムユニットＦは、プレス部７の両側にフィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２を備えており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交する方向に張設されている。リリースフィルム１０は、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止する場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の上型パーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引することで、上型面に密着して張設される。
【００１６】
１３は移動レール部であり、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣにわたって連結されている。この移動レール部１３には、供給位置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びアンローダー１５は、移動レール部１３を所要位置へ移動して所要のプレス部７に一方向から進退移動するようになっている。
【００１７】
１６はアンローダー１５の共通集塵ダクト部に接続可能な集塵ダクトであり、移動レール部１３に併設されている。集塵ダクト１６の一端は集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１８が設けられている。ダクト連結部１８には増設レールユニットＣの集塵ダクト１６が連結可能になっている。アンローダー１５のプレス部７への進入方向先頭側にはクリーナ装置１９が一体に設けられている。クリーナ装置１９は、プレス部７より成形品を取り出す際に、アンローダー１５の共通集塵ダクト部が対応する集塵ダクト１６のダクト連結部１８に形成された連結孔（図示せず）に連結して、型開きしたモールド金型８より退避する際に下金型面をクリーニングしながら集塵動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するようになっている。
【００１８】
図９において、いずれかのプレス部よりアンローダー１５により取出された成形品は成形品取出部の下方に待機している移動テーブル２０へ受け渡される。アンローダー１５は、成形品を移動テーブル２０へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル２０は成形品を載置してディゲート部２１へ搬送する。ディゲート部２１は、移動テーブル２０へ載置されて搬送された成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル２０は成形品のみを載置して成形品収納部へ搬送する。成形品収納部において、移動テーブル２０に搬送された成形品が成形品ピックアップ２２により一旦保持される。そして、移動テーブル２０が成形品取出部へ向かって移動すると、ピックアップ２２は、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて成形品を収納する。
【００１９】
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。この増設レールユニットＣには、移動レール部１３どうしを連結してローダー１４及びアンローダー１５が長手方向に移動可能になっている。増設レールユニットＣの台座部９には、各種機能部が交換可能に設けられている。本実施例では増設するプレス部７が設けられている。
【００２０】
ここで、プレス部７を搭載した増設レールユニットＣの構成について図１０を参照して説明する。台座部９は、レール台座部９ａとベース台座部９ｂとを備えており、ベース台座部９ｂには、プレス部７が搭載されている。プレス部７には、モールド金型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。
レール台座部９ａには、移動レール部１３が搭載されている。移動レール部１３には、レール支持部２４の上にレールブロック２５が固定されている。レールブロック２５の幅方向両側には、Ｌ字状に切欠かれたアングル部が設けられており、該アングル部にはレール２６が位置決め固定されている。また、レール支持部２４には、集塵ダクト１６がレール２６に沿って保持されている。また、レール台座部９ａには、ベース台座部９ｂに搭載される機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及びフィルムユニット）の制御ユニット２７が設けられている。
【００２１】
ローダー１４及びアンローダー１５は、被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのいずれかのレール支持部２４に設けられた軸部に回転可能に設けられた駆動側プーリと従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルトに、ベルト連結片により各々連繋している。ローダー１４及びアンローダー１５は、図示しない駆動源により各軸部を所定方向に回転駆動させることによりレール２６上を各ユニット間にわたって移動するようになっている。ローダー１４及びアンローダー１５の下面には、レール２６上をスライドするスライドガイド２８が設けられている。
【００２２】
また、モールド金型（上型）８の両側には長尺状のリリースフィルム１０を供給し巻き取るフィルムユニットＦが設けられている。このフィルムユニットＦは、装置奥側（移動レール部１３側）にリリースフィルム１０を供給するフィルム供給部１１を有し、装置手前側にリリースフィルム１０を巻き取るフィルム巻取り部１２を有している。フィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、フィルムカバー１１ａ、１２ａを回動させて、フィルムロールを各々着脱できるようになっている。
【００２３】
また、フィルムユニットＦは、上型のみならず下型の両側に設けても良い。この場合、例えば装置奥側に設けられたフィルム供給部１１はフィルムロール装着（又は交換）する場合の作業スペースに乏しいため、モールド金型８が型開きした状態でフィルム供給部１１を上下に移動可能にして移動レール部１３側の空いたスペースからフィルムカバー１１ａを回動させてフィルムロールを着脱するようにしても良い。
【００２４】
次に、クリーナ装置１９を備えたアンローダー１５の構成について図８を参照して説明する。図８（ａ）において、アンローダー１５には、モールド金型より成形品を保持して取り出すワーク搬送部１５ａが設けられている。このワーク搬送部１５ａには、成形品を保持するための図示しないメカニカルハンド若しくは吸着部が設けられている。また、ワーク搬送部１５ａは、プレス部７へ進退動するため両側に複数のガイドローラ２９及び図示しない駆動ローラが設けられている。アンローダー駆動モータ３０を駆動することにより、図示しないベルト駆動伝達機構などを介して駆動ローラに駆動伝達して、該駆動ローラとガイドローラ２９とでフレーム部３１の両側に設けられたガイドレール３２を挟みながら、ワーク搬送部１５ａはプレス部７へ向かって進退動するようになっている。
【００２５】
３３は共通集塵ダクト部であり、その一端はクリーナ装置１９のダクト部と連通しており他端はホース３４を介して集塵ダクト１６のダクト連結部１８に連結するようになっている。３５は集塵動作検知用の圧力センサであり、共通集塵ダクト部３３の途中に設けられている。この圧力センサ３５は、後述する上下集塵ダクト部を併用したときと、何れか一方のみを使用した場合とで、圧力変化を監視して常に一定の吸引圧を保つように設計されている。
【００２６】
次に、クリーナ装置１９の具体的な構成について図１〜図３を参照して説明する。
クリーナ装置１９は、上クリーナユニット３６と下クリーナユニット３７とを備えており、上クリーナユニット３６には上集塵ダクト部３８が、下クリーナユニット３７には下集塵ダクト部３９が設けられている。上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト部３９は共通集塵ダクト部３３に連通孔４０，４１（図４参照所）を介して各々連通して共用するようになっている。また、本実施例では、上型面がリリースフィルム１０で覆われているため、上集塵ダクト部３８が上下に移動可能に設けられており、共通集塵ダクト部３３との連通孔４０を塞ぐようになっている。具体的には、上集塵ダクト部３８は、上型面をクリーニング可能なクリーニング位置Ｐと、上型面Ｔより下方へ退避した退避位置Ｑとの間を移動可能に設けられている。尚、装置形態によっては、例えば下型面がリリースフィルム１０で覆われている場合には、下集塵ダクト部３９が共通集塵ダクト部３３との連通孔４１を塞ぐように移動可能に設けられていてもよく、また、リリースフィルム１０を使用しない場合には、上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト部３９が共通集塵ダクト部３３との連通孔４０，４１を塞ぐように移動可能に設けられていても良い。
【００２７】
上集塵ダクト部３８及び下集塵ダクト３９は、上型面Ｔ及び下型面Ｕに対向して上下ダクト開口部４２、４３が設けられた上下ダクトフレーム４４、４５を備えている。上下ダクト開口部４２、４３には、上型面Ｔ及び下型面Ｕに摺接して吸引空間を形成する上下スカート部（例えばゴムスカート部）４６、４７が設けられている。
【００２８】
上下ダクトフレーム４４、４５内には上下クリーニングブラシ４８、４９が夫々回転可能に収容されており、金型面より樹脂かすを掻き落とすようになっている。上下クリーニングブラシ４８、４９は、上下ダクトフレーム４４、４５に一体に設けられた上下駆動機構５０、５１により各々回転駆動される。具体的には、上下駆動モータ５２、５３のモータ軸には駆動プーリ５４、５５が設けられており、上下クリーニングブラシ４８、４９の回転軸には従動プーリ５６、５７が設けられている。駆動プーリ５４、５５と従動プーリ５６、５７との間には、ベルト（タイミングベルト、Ｖベルトなど）５８、５９が掛け渡されており、上下駆動モータ５２、５３より上下クリーニングブラシ４８、４９へ各々駆動伝達するようになっている。
【００２９】
次に、上ダクトフレーム４４を移動させる移動機構の構成について説明する。
６０は取付板であり、その一方側には下ダクトフレーム４５が取付固定されている。また、取付板６０には、下ダクトフレーム４５の上側にスライドレール６１が上下に設けられており、該スライドレール６１にはスライドガイド６２を介して上ダクトフレーム４４がスライド可能に連繋している。また、上ダクトフレーム４４には可動板６３が一体に設けられており、該可動板６３は取付板６０に設けられたガイド孔６０ａを挿通して上下ダクトフレーム取付面と反対面側へ延設されている。また、取付板６０の他方側（上下ダクトフレーム取付面と反対面側）にはエアシリンダ６４が取付固定されている。このエアシリンダ６４のシリンダロッド６４ａの先端部は可動板６３に連繋している。よって、エアシリンダ６４を作動させることにより、可動板６３を介して上ダクトフレーム４４がスライドレール６１に沿って上下動するようになっている。また、上ダクトフレーム４４の移動により連通孔４０が開閉されるため、該連通孔４０を形成する取付板６０と上ダクトフレーム４４との間にはシールパッキン材６５が嵌め込まれている。
【００３０】
次に、上ダクトフレーム４４の移動動作について図４〜図７を参照して説明する。図４及び図５は、上下クリーニングユニット３６、３７を作動させて上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニングする場合（即ちリリースフィルム１０を使用しない場合）の説明図である。上ダクトフレーム４４は、エアシリンダ６４により取付板６０に対して上動した位置で保持されている。ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプレス部７より退避する際に、上下クリーニングユニット３６、３７を作動させて上型面Ｔ及び下型面Ｕを同時にクリーニングする。即ち、上下ダクトフレーム４４、４５は、連通孔４０、４１を通じて各々共通集塵ダクト部３３に連通しており、上下クリーニングブラシ４８、４９を回転駆動させて上下スカート部４６、４７で囲まれた上下ダクト開口部４２、４３より樹脂かすなどの塵が上下集塵ダクト部３８、３９内へ吸引されて、連通孔４０、４１を通じて各々共通集塵ダクト部３３から装置本体側の集塵機１７へ集塵される。
【００３１】
次に、図６及び図７は、下クリーニングユニット３７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングする場合（即ち上型面のみにリリースフィルム１０を使用する場合）の説明図である。上ダクトフレーム４４は、エアシリンダ６４を作動させて取付板６０に対して下動させ、上型面Ｔをクリーニング可能なクリーニング位置Ｐ（図７の２点鎖線位置）から上型面Ｔより退避した退避位置Ｑ（図７の実線位置）へ移動させる。これにより、上ダクトフレーム４４は連通孔４０がシールパッキン材６５により遮断されており、共通集塵ダクト部３３からの吸引は作用しないようになっている。
【００３２】
ワーク搬送部１５ａが成形品を保持してプレス部７より退避する際に、下クリーニングユニット３７のみを作動させて下型面Ｕをクリーニングする。即ち、下ダクトフレーム４５は、連通孔４１を通じて共通集塵ダクト部３３に連通しており、下クリーニングブラシ４９のみを回転駆動させて下スカート部４７で囲まれた下ダクト開口部４３より樹脂かすなどの塵が下集塵ダクト部３９内へ吸引されて、連通孔４１を通じて共通集塵ダクト部３３から装置本体側の集塵機１７へ集塵される。
【００３３】
クリーナ装置１９を用いれば、プレス部７にリリースフィルム１０の使用／不使用によってクリーナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリースフィルム１０により上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリーナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であってもクリーナ装置１９を共用できるので、部品点数を減らして、製造コストを低減することができる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルム１０を使用するモールド金型８と使用しないモールド金型８とを交換するたびに、逐一クリーナ装置１９をも交換する必要がなくなるので、メンテナンスの作業を効率化して行える。
【００３４】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明は上述した実施例に限定されるのではなく、増設レールユニットにはプレス部７に限らず他の機能部が設けられていても良く、リリースフィルム１０を使用しなくても或いは上型及び下型の何れか又は双方に使用する場合でも良い。また、クリーナ装置１９はアンローダー１５に限らずローダー１５の何れかに設けられていても或いは双方に設けられていても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３５】
【発明の効果】
本発明に係るクリーナ装置を用いると、プレス部にリリースフィルムの使用／不使用によってクリーナ装置が不要／必要であったりしても、或いはリリースフィルムにより上型面側を覆うか下型面側を覆うかなどの樹脂封止装置の装置形態によって、個別にクリーナ装置を製作する必要がなく、何れの装置形態であってもクリーナ装置を共用できるので汎用性が高く、部品点数を減らして、製造コストを低減することができる。
また、同一の樹脂封止装置において、リリースフィルムを使用するモールド金型と使用しないモールド金型とを交換するたびに、逐一クリーナ装置をも交換する必要がなくなるので、メンテナンスの作業を効率化して行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーナ装置の上視図である。
【図２】図１のクリーナ装置の左側面図である。
【図３】図１のクリーナ装置の右側面図である。
【図４】上下クリーナユニットが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】下クリーナユニットのみが作動状態でクリーニングブラシ部側から見た説明図である。
【図７】図６のＹ−Ｙ断面図である。
【図８】クリーナ装置を設けたアンローダーの平面図及び側面図である。
【図９】増設レールユニットにプレス部を搭載して増設した樹脂封止装置の平面図である。
【図１０】図９の樹脂封止装置のプレス部の側面説明図である。
【図１１】従来のクリーナ装置の説明図である。
【図１２】従来のクリーナ装置の説明図である。
【符号の説明】
Ａ 被成形品供給ユニット
Ｂ 成形品収納ユニット
Ｃ 増設レールユニット
Ｆ フィルムユニット
１ 被成形品供給部
２ 供給マガジン
３ ターンテーブル
４ 供給位置
５ 樹脂タブレット供給部
６ タブレットホルダー
７ プレス部
８ モールド金型
９ 供給側台座部
１０ リリースフィルム
１１ フィルム供給部
１２ フィルム巻取り部
１３ 供給側移動レール部
１４ ローダー
１５ アンローダー
１５ａ ワーク搬送部
１６ 供給側吸引ダクト
１７ 集塵機
１８ 移動テーブル
１９ クリーナ装置
２０ ディゲート部
２１ 成形品ピックアップ
２２ ピックアップ
２３ 収納マガジン
２４ レール支持部
２５ レールブロック
２６ レール
２７ 制御ユニット
２８、６２ スライドガイド
２９ ガイドローラ
３０ アンローダー駆動モータ
３１ フレーム部
３２ ガイドレール
３３ 共通集塵ダクト部
３４ ホース
３５ 圧力センサ
３６ 上クリーナユニット
３７ 下クリーナユニット
３８ 上集塵ダクト部
３９ 下集塵ダクト部
４０ ４１ 連通孔
４２ 上ダクト開口部
４３ 下ダクト開口部
４４ 上ダクトフレーム
４５ 下ダクトフレーム
４６ 上スカート部
４７ 下スカート部
４８ 上クリーニングブラシ
４９ 下クリーニングブラシ
５０ 上駆動機構
５１ 下駆動機構
５２ 上駆動モータ
５３ 下駆動モータ
５４、５５ 駆動プーリ
５６、５７ 従動プーリ
５８、５９ ベルト
６０ 取付板
６０ａ ガイド孔
６１ スライドレール
６３ 可動板
６４ エアシリンダ
６５ シールパッキン材
Claims (5)
- 型開きしたモールド金型に進退動する際に上型面及び／又は下型面をクリーニングしつつ集塵するクリーナ装置であって、上クリーナユニットの上集塵ダクト部と下クリーナユニットの下集塵ダクト部が各々連通して共用する共通集塵ダクト部を有し、前記上集塵ダクト部及び／又は下集塵ダクト部が前記共通集塵ダクト部との連通孔を個別に塞ぐように上クリーナユニット及び／又は下クリーナユニットが上型面及び／又は下型面をクリーニング可能なクリーニング位置と、上型面及び／又は下型面より退避した退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とするクリーナ装置。
- 前記上下クリーナユニットは、上型面及び下型面に各々対向してダクト開口部を有する上下ダクトフレームと、該上下ダクトフレーム内に回転可能に収容され、金型面より樹脂かすを掻き落とす上下クリーニングブラシとを備えた上下集塵ダクト部と、前記上下クリーニングブラシを回転駆動する駆動機構と、前記上下ダクトフレームを移動させる移動機構とを具備したことを特徴とする請求項１記載のクリーナ装置。
- 請求項１又は２に記載のクリーナ装置が、移動レール部からプレス部へ進退移動して被成形品を搬入するローダー及び／又は成形品を取り出すアンローダーに設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。
- 前記クリーナ装置は、プレス部へ進退移動するワーク搬送部の先頭側に前記上下集塵ダクト部が一体に設けられていることを特徴とする請求項３記載の樹脂封止装置。
- 前記ローダー及びアンローダーは、共通の移動レール部を移動可能に設けられており、前記共通集塵ダクト部は前記移動レール部に沿って設けられた装置本体側の集塵ダクトに連通可能に設けられていることを特徴とする請求項３又は４記載の樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001039005A JP4555488B2 (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | クリーナ装置及び樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001039005A JP4555488B2 (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | クリーナ装置及び樹脂封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002240046A JP2002240046A (ja) | 2002-08-28 |
| JP4555488B2 true JP4555488B2 (ja) | 2010-09-29 |
Family
ID=18901883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001039005A Expired - Lifetime JP4555488B2 (ja) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | クリーナ装置及び樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4555488B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113843947B (zh) * | 2020-06-25 | 2023-07-28 | 株式会社大镐技术 | 透镜及模具移送系统 |
| JP2022059734A (ja) | 2020-10-02 | 2022-04-14 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂封止装置、及び樹脂封止品の製造方法 |
| JP7430145B2 (ja) | 2021-01-26 | 2024-02-09 | Ｔｏｗａ株式会社 | 成形型用クリーニングブラシ、樹脂成形装置、樹脂成形品の製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5926178A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-10 | 精栄工産株式会社 | ダイクリ−ナ− |
| JP2932137B2 (ja) * | 1993-07-22 | 1999-08-09 | トーワ株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
| JPH11179737A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-06 | Tsukuba Seiko Kk | 金型面用クリーニング装置 |
-
2001
- 2001-02-15 JP JP2001039005A patent/JP4555488B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002240046A (ja) | 2002-08-28 |
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