JP2002101632A

JP2002101632A - アクチュエータ駆動装置

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Publication number: JP2002101632A
Application number: JP2000292937A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Miyajima; 博志宮島; Hideji Miyahara; 秀治宮原
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-09-26
Filing date: 2000-09-26
Publication date: 2002-04-05
Anticipated expiration: 2020-09-26
Also published as: DE60119648T2; EP1191678A2; EP1191678B1; US6853532B2; JP4590081B2; US20020051332A1; DE60119648D1; EP1191678A3

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で駆動用コイル、検出用コイルの相
互誘導効果の影響を除去することが可能なアクチュエー
タ駆動装置を提供すること。【解決手段】本発明は、スキャナ１の駆動用コイルに電
流を印加して運動させて、その際に検出用コイルの出力
信号をフィードバックして共振状態を発生及び維持させ
るアクチュエータ駆動装置であって、特に、上記駆動信
号として矩形波を用いており、且つ検出用コイルの出力
信号の特定の高周波成分を除去するためのＬＰＦ３を有
することを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可動部や固定部、
可動部と固定部を接続する弾性部材、磁界発生手段、駆
動用コイル、検出用コイル等を有する装置に係り、特に
当該可動部を常に共振状態で振動させるためのアクチュ
エータ駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電磁アクチュエータの例として
は、例えば光ピックアップに使用されるアクチュエータ
等がある。これは、振動ミラーによりトラッキング制御
を行う為のものであり、ミラー駆動用コイル及びミラー
振動検出用コイルがいずれも可動部に設けられ、磁石が
固定部に設けられ、駆動用コイルに電流を印加するとロ
ーレンツ力によりミラーが駆動され、この時磁界内で検
出用コイルが運動するために速度に比例した誘導起電力
が発生し、これが振動検出信号となる。

【０００３】このように２種類のコイルが相互に近接し
た位置に固定されて可動部に配置されていると、振動検
出用コイルには速度に比例した誘導起電力の他に、駆動
用コイルに印加する電流の変化に伴い両コイルの相互誘
導作用による起電力が発生する。

【０００４】以下、図１０にはマイクロマシン技術を用
いて製作した電磁型光スキャナの構成例を更に示し、駆
動用コイルと検出用コイルが近接して配置されている場
合に相互誘導作用による起電力が発生する原理を説明す
る。

【０００５】この図１０に示されるように、この電磁型
光スキャナでは、ミラー１００の両側には永久磁石１０
４が配設されている。この永久磁石１０４は、ヨーク１
０７に固着されている。上記ミラー１００は、その反射
面が同図でいう表面側に形成されており、同図でいう裏
面側には駆動用コイル１０２及び検出用コイル１０３が
形成されている。さらに、ミラー１００は、トーション
バー１０１を介して支持体１０５に接続されている。

【０００６】この電磁型光スキャナにおいては、支持体
１０５、トーションバー１０１、ミラー１００、駆動用
コイル１０２、検出用コイル１０３は、シリコンマイク
ロマシニングの技術で一体的に形成されており、その
後、ウエハを切断し、ベースフレーム１０６に接着し、
永久磁石１０４とヨーク１０７からなる磁気回路をベー
スフレーム１０６に固定することにより完成するもので
ある。

【０００７】このような構成において、上記駆動用コイ
ル１０２に交流信号を印加すると、永久磁石１０４によ
って引き起こされる磁界と駆動用コイル１０２に流れる
電流との相互関係により、ローレンツ力が働く。そし
て、このローレンツ力が働くことで、上記トーションバ
ー１０１を介して支持体１０５に接続されたミラー１０
０は、該トーションバー１０１を通る軸を中心に回転す
る。

【０００８】上記駆動用コイル１０２には交流信号が印
加されているため、電流の向きが逆になるとローレンツ
力が働く方向が逆になる。その結果として、上記ミラー
１００はトーションバー１０１を通る軸を中心に反対方
向に回転する。

【０００９】従って、上記駆動用コイル１０２に交流信
号を印加することで、ミラー１００は印加された交流信
号に対応して回転する向きが逆になり、更に交流信号の
周波数に対応して一定の周期で振動することになる。

【００１０】一方、検出用コイル１０３には、ファラデ
ーの法則により、角速度に比例した起電力が発生するこ
とになる。これがセンサ信号となる。

【００１１】上記ミラー１００の反射面に不図示の光源
からレーザー光を照射すると、該ミラー１００はレーザ
ー光を反射するが、ミラー１００は交流信号に応じて一
定周期で振動しているため、反射されたレーザー光は１
次元方向に走査する。

【００１２】なお、この電磁型光スキャナの上記ミラー
１００は、ばねの構造や材質により決定される固有の共
振周波数を有しており、一定の電流で駆動する場合は、
駆動信号の周波数が共振周波数に一致したときが振れ角
が最も大きくなる。

【００１３】ここで、図１１は駆動信号に対するセンサ
（角速度）信号の周波数特性を示している。この図１１
において、横軸は周波数を示しており、ここでは対数表
示をしている。センサ信号の振幅も同様に対数（ｄＢ）
表示している。この図１１に示されるように、駆動信号
の周波数が特定の周波数（共振周波数）になったとき
に、センサ信号の振幅が最大となり、この時に振れ角も
最大となる。

【００１４】ところで、図１１に示した周波数特性は理
想的な状態を示しているが、実際には駆動用コイルと検
出用コイルが近接しているために、両者の相互誘導によ
る信号がセンサ信号に含まれてしまう。

【００１５】即ち、駆動用コイル１０２に流れる電流
を、Ｉ＝Ｉ₀ｓｉｎωｔ（１）とおくと、コイル内部にはミラー面に略垂直な方向の磁
界が発生し、その磁束密度は近似的には電流に比例する
と考えられるので、Ｂ＝Ｂ₀ｓｉｎωｔ（２）とおくことが可能である。

【００１６】一方、検出用コイル１０３においては、上
記（２）式で表される磁界が内部で発生しており、且つ
時間的に変化するために電磁誘導によって誘導起電力が
発生する。近似的に、検出用コイル１０３の内部の磁界
が上記（２）式の値で一定で、検出用コイル１０３の面
積をＡとすると、発生する起電力は、Ｖ＝−（ｄＢＡ／ｄｔ）＝−ωＢ₀Ａｃｏｓωｔ（３）と表され、これが相互誘導による信号となる。

【００１７】この相互誘導作用による信号は、振動とは
無関係な信号であるため、振動検出信号に含まれるのは
好ましくない。

【００１８】かかる点に鑑みて、特開昭６４−２０１５
号公報では、固定部に第三のコイルを設け、駆動用コイ
ルと第三のコイルの相互誘導作用による起電力出力を、
振動検出用コイル出力に負帰還することにより、速度に
比例した誘導起電力のみを検出する振動ミラー装置に関
する技術が開示されている。

【００１９】また、特公平７−７００８３号公報では、
駆動用コイルを閉磁気回路の内側に、検出用コイルを閉
磁気回路の外側に、それぞれ配置し、両コイル間の相互
誘導作用を減少させることによって、検出用コイルには
略速度に比例した誘導起電力のみを発生させる振動ミラ
ー装置に関する技術が開示されている。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭６４−２０１５号公報により開示された技術におい
ては、固定部にコイルを新設する必要があるために、構
成が複雑化し、低価格化、小型化の障害になる可能性が
あり、さらに、厳密には駆動用コイルに対する検出用コ
イルと第三のコイルの位置が異なるために、それぞれの
相互誘導起電力が異なり、不要な信号成分を完全には除
去することができなかった。

【００２１】また、上記特公平７−７００８３号公報に
より開示された技術においては、閉磁気回路による磁気
シールド効果を利用しているが、完全ではないために、
駆動用コイルと検出用コイルの相互誘導起電力を完全に
は除去することができなかった。また、本来は両コイル
共に揺動軸から遠い位置に配置するのが最も効率的であ
るのに対して、この従来技術においては両コイルの間に
磁気回路を配置する必要があるために、コイル位置を最
適化することが困難であった。

【００２２】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、簡単な構成で駆動用コイ
ル、検出用コイルの相互誘導効果の影響を除去すること
が可能なアクチュエータ駆動装置を提供することにあ
る。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明の第１の態様では、可動部と固定部、当該可動部
と固定部を接続する弾性部材、磁界発生手段、駆動用コ
イル、検出用コイルを有し、当該駆動用コイルに電流を
印加して上記可動部を上記固定部に対して運動させて、
その際に上記検出用コイルの出力信号をフィードバック
して共振状態を発生及び維持させる、アクチュエータ駆
動装置において、上記駆動信号は矩形波であり、且つ上
記検出用コイルの出力信号の特定の高周波成分を除去す
る高周波除去手段を有することを特徴とするアクチュエ
ータ駆動装置が提供される。

【００２４】さらに、第２の態様では、上記第１の態様
において、上記高周波除去手段は、特定の高周波成分の
除去を行うローパスフィルタ、ノッチフィルタ、バンド
パスフィルタの少なくともいずれかであることを特徴と
するアクチュエータ駆動装置が提供される。

【００２５】また、第３の態様では、上記第２の態様に
おいて、上記特定の高周波成分の除去を行う各種フィル
タによる位相の変化を補償するための位相補償回路を更
に有することを特徴とするアクチュエータ駆動装置が提
供される。

【００２６】ここで、上記第１乃至第３の態様によれば
以下の作用が奏される。

【００２７】すなわち、上記第１の態様では、駆動信号
が矩形波であるために、矩形波の立ち上がり／立ち下が
りのごく短時間以外においては、駆動電流が変化せず、
従って理論的に相互誘導による起電力は検出コイルに発
生しない。また、上記矩形波の立ち上がり／立ち下がり
のごく短時間においては相互誘導によって短いパルスが
検出コイル出力に発生するが、この周波数成分は矩形波
駆動においては通常動作周波数に対してかなり高いた
め、検出コイル出力信号から高周波成分を除去すること
で略除去される。従って、検出コイル出力信号は、純粋
にアクチュエータ可動部の振動によって発生した信号と
なる。

【００２８】さらに、上記第２の態様では、第１の態様
の手法により、検出コイル出力に含まれる不要な相互誘
導成分による信号の周波数成分が、本来の検出コイル出
力信号の周波数とは異なることを利用して、ノッチフィ
ルタ又はバンドパスフィルタによって両成分が分離され
る。また、検出コイル出力に含まれる不要な相互誘導成
分による信号の周波数成分が、本来の検出コイル出力信
号の周波数に比して通常は極めて高いことを利用して、
ローパスフィルタによって本来の検出コイル出力信号の
みが分離され検出される。

【００２９】また、上記第３の態様では、第２の態様で
述べた各種フィルタにより本来の検出コイル出力信号を
分離する際に、フィルタの特性により位相が変化するこ
とを利用して位相が補償され、正確に共振状態が維持さ
れる。

【００３０】

【発明の実施の形態】先ず、本発明の実施の形態の理解
を深めるために、本発明のアクチュエータ駆動装置に関
わる基本的な原理について説明する。

【００３１】本発明の駆動対象となるアクチュエータの
一例である電磁型光スキャナを正弦波の交流で駆動する
場合については前述した通りである。

【００３２】ここで、当該電磁型光スキャナを正弦波の
交流で駆動した際の駆動周波数−振れ角の周波数特性
は、図２に示される通りである。

【００３３】以下、図２に示されるように、周波数帯域
によって領域をＡ乃至Ｃの３つに分割して各領域におけ
る挙動を詳細に説明する。

【００３４】先ず、領域Ａは、共振周波数に対して十分
低い周波数であり、当該範囲では振れ角は周波数に依存
せず、駆動信号と振れ角の位相差もない。即ち、電磁型
光スキャナの挙動は基本的に駆動信号に追従することに
なる。

【００３５】領域Ｂは、共振周波数付近であり、当該範
囲では振れ角の増加と位相の遅れが発生し、電磁型光ス
キャナの挙動は必ずしも駆動信号には追従しない。即
ち、電磁型光スキャナの振れ角は、周波数や減衰率に影
響されることになる。

【００３６】領域Ｃは、共振周波数に対して十分高い周
波数であり、当該範囲では基本的にバネの影響は無視す
ることができる。即ち、駆動力が一定であれば、電磁型
光スキャナの角加速度が一定になるように応答すること
になる。

【００３７】以上をまとめると、共振周波数では振れ角
のゲインが非常に高く、その後、高周波領域では振れ角
は急速に小さくなることになる。これは、角加速度が一
定になるように応答するためであると考えられる。

【００３８】ここに、本発明の実施の形態に係るアクチ
ュエータ駆動装置では、図２の周波数特性を有する電磁
型光スキャナ等を矩形波の交流で駆動するものである
が、この場合の駆動原理は、以下のように考えれば良い
ことになる。

【００３９】即ち、矩形波は幾つかの周波数成分を有す
る正弦波の合成によって得られ、フーリエ級数展開を行
うと各周波数成分に分解することが可能である。

【００４０】例えば、共振周波数をｆrとおくと、

【数１】という矩形波関数は、フーリエ級数展開すると、

【００４１】

【数２】と表される。

【００４２】ここで、時間領域でＩ（ｔ）を表したもの
と、それを周波数領域で表したものを、それぞれ図３
（ａ），（ｂ）に示す。

【００４３】これら図３（ａ），（ｂ）からも明らかな
ように、駆動信号を各周波数成分に分解すれば、各周波
数に対する電磁型光スキャナの応答を合成したものが矩
形波駆動信号に対する電磁型光スキャナの応答となる。

【００４４】このとき、上記（４）式によれば、矩形波
信号の周波数成分は、ｆr，３ｆr,５ｆr，…となってお
り、共振周波数以外はいずれも図２の領域Ｃに属し、且
つ上記（５）式における係数値も小さくなる。

【００４５】ゆえに、これらの周波数成分に対する電磁
型光スキャナの応答は、共振周波数成分に対する応答と
比較して、略無視することができることになる。

【００４６】従って、共振周波数で駆動している場合に
は、駆動波形が矩形波であっても、電磁型光スキャナの
応答は略正弦波的な応答になることが判る。

【００４７】次に、矩形波駆動における検出用コイルの
出力について説明する。

【００４８】上記（３）式によれば、相互誘導作用によ
る信号は、検出用コイル内部を通過する磁束の時間的な
変化率に比例することが判る。即ち、相互誘導作用によ
る信号は、駆動用コイルに流れる電流の時間的な変化率
に比例する。

【００４９】ところで、矩形波による駆動においては、
駆動用コイルに流れる電流は、矩形波の立ち上がり、立
ち下がりにおいて急峻に変化するが、それ以外のタイミ
ングにおいては一定となるため、相互誘導作用による信
号も、矩形波の立ち上がり、立ち下がりに同期したタイ
ミングでのみ発生する。

【００５０】一方、本来の検出信号は、電磁型光スキャ
ナの応答が正弦波的であるために、正弦波駆動の場合と
基本的に同じである。

【００５１】従って、矩形波駆動においては、図４
（ａ）に示すような検出信号が得られることになる。こ
こでは、参考までに、正弦波駆動における検出信号を図
４（ａ）の比較対象として図４（ｂ）に示している。

【００５２】この図４（ａ）より、電磁型光スキャナを
矩形波で駆動した場合には、駆動波形の立ち上がり、立
ち下がりに同期したタイミングでのみ短時間に相互誘導
成分が現れるが、上記駆動波形の立ち上がり、立ち下が
り以外のタイミングでは、相互誘導作用の影響は発生し
ないことが判る。

【００５３】尚、図４（ｂ）に示した検出信号は略正弦
波形状となっているが、厳密には相互誘導の影響で全体
に渡って正弦波から歪んだ波形となっている。

【００５４】本発明は、以上説明した原理の下に成り立
っており、相互誘導成分が現れる期間の検出信号のみ
を、高周波除去手段で除去することで、相互誘導の影響
のない検出信号を得ることを特徴とするものである。

【００５５】以下、上記原理を踏まえて、本発明の実施
の形態について詳述する。

【００５６】図１は本発明の第１の実施の形態に係るア
クチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図である。
図１に示されるように、スキャナ１の出力は、増幅用ア
ンプ２、低周波透過フィルタ（LPF；Low Pass Filte
r）３を介して共振周波数追従／振幅制御回路４の入力
に接続されている。さらに、この共振周波数追従／振幅
制御回路４の出力はその入力にフィードバックされると
共に、ドライバアンプ５を介してスキャナ１の入力に接
続されている。

【００５７】このような構成において、スキャナ１が運
動中には、その角速度に比例したセンサ信号が出力さ
れ、増幅用アンプ２により増幅される。

【００５８】ここで、スキャナ１の駆動信号が矩形波で
ある場合には、図中「増幅後センサ信号」として示した
ように、信号レベルが中立位置付近において、短時間に
相互誘導の成分を反映したパルスが含まれたセンサ信号
が得られる。

【００５９】この信号を、ＬＰＦ３を通すと、その出力
は図中「不要成分除去後センサ信号」として示したよう
に、相互誘導成分を反映したパルスが除去されて、正弦
波状のセンサ信号が得られる。

【００６０】ここで、図５は上記ＬＰＦ３の周波数特性
例を示す図である。

【００６１】同図において、横軸は周波数、縦軸は信号
の透過率（ゲイン）を示す。

【００６２】このＬＰＦ３においては、カットオフ周波
数より低い周波数成分の信号は略１００％透過し、カッ
トオフ周波数以上の周波数成分の信号は、周波数が高く
なるに連れて透過率は低減することになる。

【００６３】従って、図５に示されるように、スキャナ
１の共振周波数（本来のセンサ信号の周波数）がカット
オフ周波数より低く、相互誘導成分によるパルスの周波
数成分がカットオフ周波数より高くなるようにＬＰＦ３
のカットオフ周波数を設定すれば、本来のセンサ信号成
分のみを抽出することが可能である。

【００６４】この信号が共振周波数追従／振幅制御回路
４に入力されると、共振周波数追従／振幅制御回路４
は、センサ信号の振幅が目標値に一致し、且つ駆動周波
数が共振周波数と一致するように制御された矩形波状の
駆動信号を出力する。

【００６５】上記駆動周波数と共振周波数を一致させる
ためには、例えば周波数を僅かに変化させて振幅が最大
となる周波数を決定する方法や、駆動信号とセンサ信号
の位相差が所定の値となるように周波数を決定する方法
等があるが、必ずしもこれらには限定されないことは勿
論である。

【００６６】こうして、共振周波数追従／振幅制御回路
４より駆動信号が出力されると、これがドライバアンプ
５によって増幅されてスキャナ１の駆動用コイルに電流
が印加され、継続的に共振周波数において駆動される。

【００６７】以上に述べたように、第１の実施の形態に
よれば、駆動信号を矩形波とすることで、矩形波の立ち
上がり、立ち下がり以外のタイミングでは、原理的に相
互誘導が発生しないため、スキャナ１の運動状態を正確
に反映したセンサ信号が得られることになる。

【００６８】また、センサ信号からローパスフィルタ３
によって相互誘導により発生したパルス状の信号成分を
除去することにより、略完全にセンサ信号から相互誘導
成分を除去することが可能となり、スキャナ１の運動状
態を正確に反映したセンサ信号が得られることになる。

【００６９】尚、第１の実施の形態は、以下の如く改良
・変更が可能である。

【００７０】即ち、例えば、センサ信号の不要成分除去
のために、上述したＬＰＦ３を用いる代わりに、特定周
波数を透過させる「バンドパスフィルタ」或いは特定周
波数を除去する「ノッチフィルタ」を用いることも可能
である。

【００７１】詳細には、バンドバスフィルタを用いる場
合には、図６に示されるように、アクチュエータの共振
周波数（＝検出信号周波数）にフィルタの透過周波数を
合わせることで、本来のセンサ信号のみを分離して取り
出すことが可能となる。

【００７２】更に、ノッチフィルタを用いる場合には、
図７に示されるように、相互誘導成分を反映したパルス
の周波数成分にフィルタのカット周波数を合わせること
で、不要成分を除去して本来のセンサ信号のみを残すこ
とが可能となる。

【００７３】また、駆動信号は完全な矩形波が望ましい
が、回路設計上完全な矩形波は実現困難な場合がある。
その場合、立ち上がり、立ち下がりが比較的急峻でその
間は一定レベルを保つ擬似的な矩形波であっても良い。
但し、立ち上がり、立ち下がりの急峻さが矩形波に比べ
て劣るため、相互誘導成分によるパルスの周波数が低下
して、本来のセンサ信号との分離は若干困難となる。

【００７４】ここで、上記第１の実施の形態のようにフ
ィルタを使用すると、通常位相のずれが発生する。共振
周波数の追従を駆動信号と検出信号の位相差により行う
場合には、本来の検出信号に対して位相のずれた信号と
駆動信号の位相を比較することになり、共振周波数から
ずれた周波数に追従してしまう可能性がある。

【００７５】以下、かかる問題を解決した第２の実施の
形態について説明する。

【００７６】図８及び図９は、第２の実施の形態に係る
アクチュエータ駆動装置の構成を示すブロック図であ
る。尚、ここでは、図１と同一構成については同一符号
を付して説明を省略し、特徴的な部分を中心に説明する
ことにする。

【００７７】この図８の構成においては、共振周波数追
従／振幅制御回路４からの出力をフィードバックする経
路に位相補償回路６が設けられている点で図１の構成と
相違している。一方、図９の構成においては、ＬＰＦ３
の出力が位相補償回路６を介して共振周波数追従／振幅
制御回路４の入力に接続されている点で図１の構成と相
違している。その他の構成は第１の実施の形態と同様で
ある。

【００７８】以上述べたように、第２の実施の形態によ
れば、上記位相補償回路６により、ＬＰＦ３による位相
ずれと同等の位相ずれを発生させることで、本来の検出
信号に対して位相のずれた信号と駆動信号の位相を比較
し共振周波数からずれた周波数に追従してしまうような
事態を防止することができる。

【００７９】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を
逸脱しない範囲で種々の改良が可能である。

【００８０】例えば、上述した実施の形態では、本発明
のアクチュエータ駆動装置の駆動対象として電磁型光ス
キャナを例に挙げて説明したが、これに限定されること
なく、加速度センサ、角速度センサ（ジャイロ）等、共
振状態での動作を前提とする種々のものに適用できるこ
とは勿論である。

【００８１】また、例えば、不要信号の除去には、必ず
しもフィルタを使用する必要はなく、例えば不要信号と
同等レベルの信号を故意に作り出して、不要信号に極性
を反転させて加えることにより除去する手法も採用する
ことができる。

【００８２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
簡単な構成で駆動用コイル、検出用コイルの相互誘導効
果の影響を除去することが可能なアクチュエータ駆動装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエー
タ駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図２】電磁型光スキャナを正弦波の交流で駆動した際
の駆動周波数−振れ角の周波数特性を示す図である。

【図３】（ａ）は矩形波関数を時間領域で示した図であ
り、（ｂ）は矩形波関数を周波数領域で示した図であ
る。

【図４】（ａ）は矩形波駆動で得られる検出信号を示す
図であり、（ｂ）は正弦波駆動で得られる検出信号を示
す図である。

【図５】ＬＰＦ３の周波数特性例を示す図である。

【図６】バンドパスフィルタの周波数特性例を示す図で
ある。

【図７】ノッチフィルタの周波数特性例を示す図であ
る。

【図８】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエー
タ駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図９】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエー
タ駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図１０】マイクロマシン技術を用いて製作した電磁型
光スキャナの構成図である。

【図１１】駆動信号に対するセンサ（角速度）信号の周
波数特性を示す図である。

【符号の説明】

１スキャナ２増幅用アンプ３ＬＰＦ４共振周波数追従／振幅制御回路５ドライバアンプ６位相補償回路

フロントページの続きＦターム(参考） 5D118 AA01 AA13 BA01 BB02 BF02 BF03 CD03 DC07 5D119 AA01 BA01 CA05 DA01 DA05 EA02 JA52 5H633 BB09 GG03 GG17 GG22 HH02 JA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可動部と固定部、当該可動部と固定部を
接続する弾性部材、磁界発生手段、駆動用コイル、検出
用コイルを有し、当該駆動用コイルに電流を印加して上記可動部を上記固
定部に対して運動させて、その際に上記検出用コイルの
出力信号をフィードバックして共振状態を発生及び維持
させる、アクチュエータ駆動装置において、上記駆動信号は矩形波であり、且つ上記検出用コイルの出力信号の特定の高周波成分を
除去する高周波除去手段を有する、ことを特徴とするア
クチュエータ駆動装置。
【請求項２】上記高周波除去手段は、特定の高周波成
分の除去を行うローパスフィルタ、ノッチフィルタ、バ
ンドパスフィルタの少なくともいずれかであることを特
徴とする請求項１に記載のアクチュエータ駆動装置。
【請求項３】上記特定の高周波成分の除去を行う各種
フィルタによる位相の変化を補償するための位相補償回
路を更に有することを特徴とする請求項２に記載のアク
チュエータ駆動装置。