JP2711158B2 - 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器 - Google Patents

共振周波数安定化方法および共振型光偏向器

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Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、印刷製版用の画像記録装置、画像読取装置
のように、高精度な光走査を要求される光ビーム走査装
置に適用される共振型光偏向器、いわゆるレゾナントス
キャナに関する。詳しくは、使用中のスキャナ部の温度
の変化による共振周波数の変動を抑制することができる
共振型光偏向器に関する。
〈従来の技術〉 主走査方向に偏向された光ビームによって、副走査方
向に移送される被走査体を２次元的に走査する光ビーム
走査装置が各種の画像記録装置および画像読取装置に適
用されている。
この光ビーム走査装置は、半導体レーザ等の光源より
射出された光ビームを光偏向器によって反射して主走査
方向に偏向し、この光ビームによって、主走査方向と略
直交する副走査方向に一定の速度で移送される被走査体
を２次元的に走査して、画像記録あるいは画像読取を行
う。
このような光ビーム走査装置の光偏向器としては、ポ
リゴンミラー、ガルバノメータミラー等の各種の光偏向
器が用いられているが、印刷製版用の画像記録装置およ
び画像読取装置のように高精度な光走査が要求される光
ビーム走査装置においては、共振型光偏向器、いわゆる
レゾナトスキャナがよく用いられる。
レゾナトスキャナは、入射光ビームを反射して偏向す
る反射ミラーを、この反射ミラーを含む可動部とこの可
動部を弾性的に支持するバネとからなる共振駆動系の共
振周波数（固有振動数）で自励共振させ、前記共振駆動
系、特にその振幅を制御することにより所定の光走査を
行うものである。前記共振駆動系の自励共振は、前記共
振駆動系のモータのドライブコイルに前記共振周波数の
電流を流すことにより維持されている。
〈発明が解決しようとする課題〉 ところが、このようなレゾナントスキャナは、温度変
化に応じて共振周波数が変化してしまうという問題点が
ある。
前述のように、前記レゾナントスキャナは前記可動部
と前記バネからなる共振駆動系を共振状態として前記反
射ミラーを揺動させるものであるので、前記可動部（反
射ミラーを含む）の慣性モーメントをＪ、前記バネのバ
ネ定数をｋとすると、共振周波数ｆは であり、また、マグネットとコイルにより付加された電
磁力の大きさをＭとし、減衰を比例減衰として、その定
数をＣとすると、共振状態での振幅θfは であって、その共振周波数や振幅は前記バネのバネ定数
やマグネット、コイルの磁束によって大きく影響され
る。ところが、周知のようにバネ定数は温度によって変
化し、また、マグネット、コイルの磁束も温度によって
変化するものである。
従って、反射ミラーの共振周波数や振幅はスキャナ部
の温度によって変化してしまう。このような温度変化に
よる共振周波数の変動の原因としては、温度変化による
板バネのバネ特性の変化や、マグネットの磁束の変化、
さらにそれらによる駆動系（揺動反射ミラー）振幅の変
化が主たる原因として挙げられる。
このように、前記レゾナントスキャナの共振周波数は
温度依存性がある。例えば共振周波数変化率（Δf/f）
／ΔＴ＝−２×10-4／℃程度の周波数変化が存在する。
このような温度依存性を有するレゾナントスキャナを
用いた光ビーム走査装置では、光走査、例えば読み取り
または書き込み（露光）する時に始め、共振周波数が安
定するまでしばらくレゾナントスキャナを駆動した後に
実際の２次元光走査を開始し、終了してから停止するこ
とを繰り返していた。
この場合、第６図に示すように、レゾナントスキャナ
の駆動を開始すると、前記スキャナ部、特にドライブコ
イル部の温度Ｔが始め急激に以後徐々に上昇し、共振周
波数ｆは始め急激に以後徐々に低下するため、光走査の
始めの偏向周波数は高く、だんだん偏向周波数が低下し
てきて終了することになる。
従って、このような光ビーム走査装置は、スキャナ部
の温度が変化するとスキャナの周波数が変化し、すなわ
ち光ビームによる主走査の繰り返し周波数が変化して、
走査線の間隔が変化するため副走査方向の画像サイズが
狂ってしまう。
例えば、複数枚の画像記録を行う場合、連続的に画像
書き込みが行われるが、１枚目と２枚目では出力画像の
副走査方向の寸法が違ってしまう。
ところで、副走査方向の送り速度をｖ、出力寸法を
Ｌ、寸法Ｌ間の主走査線の数をｙラインとするとき、主
走査線の間隔Δｌは、前記スキャナの光走査の周期は1/
fとなるのでΔｌ＝v/f、従ってＬ＝Δｌ・ｙ＝（v/f）
・ｙである。このため、スキャナ部の温度ＴがΔＴだけ
変化した時に生じる共振周波数ｆの変化Δｆと副走査方
向の寸法Ｌの変化ΔＬとの間の関係はΔL/L＝−Δf/fと
なる。
従って、例えば温度変化ΔＴが５℃、副走査方向の露
光長Ｌが500mmとすると、ΔＬ＝Ｌ（−Δf/f）＝Ｌ（２
×10-4・ΔＴ）＝0.5mmとなるため、高精度の光走査が
要求される分野、特にカラー印刷製版分野のように、画
像サイズに数10μｍオーダーの正確さを要求される分野
においては問題となっている。
このような問題点を解決するために、特に、第６図に
示すような光走査時と非走査時とでレゾナントスキャナ
の駆動と停止を繰り返す際にレゾナントスキャナのコイ
ル部に生じる温度変化をなくすために、非走査時におい
ても前記スキャナを停止せずに駆動することも考えられ
るが、レゾナントスキャナの寿命は共振している駆動時
間の累積時間にによって決まるものであるので、非走査
時においても共振駆動を続行するのは前記スキャナの寿
命を短くするという問題がある。互いに温度特性の異な
るバネ、すなわち温度の上昇によってバネ定数が向上す
るバネと低下するバネとを組み合わせたバネを用いたレ
ゾナントスキャナや、前記バネのバネ定数の変化を補償
するためのバネの役割をする、磁気的バネを有するレゾ
ナントスキャナ等が提案されている。
しかしながら、前者のレゾナントスキャナは、前記バ
ネの耐久性に問題を有すると共に、温度特性の異なるバ
ネを組合せることにより共振駆動系の可動部の振動がア
ンバラスなものとなってしまい、正確な光ビーム走査が
できないという問題点がある。また、後者のレゾナント
スキャナは、装置が複雑になると共に、磁気的バネ、つ
まり磁気回路によるバネには必ずヒステリシス損失が有
るため、共振によるミラーの揺動が小さくなってしま
い、ドライブコイルへの印加電流を大きくする必要があ
り、小さな電力で大きなミラーの振り角を得られるとい
うレゾナントスキャナの利点を消滅してしまう。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解消し、ス
キャナ部の温度変化、すなわち光走査（露光、読取）時
と非走査時との温度変化による共振周波数変動を抑制す
る共振型光偏向器の共振周波数安定化方法、およびこの
方法を用いて、光走査の精度、特に画像露光または画像
読取時の出力画像の寸法精度を向上させることができ、
しかも構造も簡単かつ安価な共振型光偏向器を提供する
ことにある。
〈課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、
反射ミラーを固有の共振周波数で揺動させることによ
り、入射光を反射して一次元方向に偏向して光走査を行
う共振型光偏向器を用いる際に、 非走査時のみに前記共振型光偏向器に、この共振型光
偏向器のコイル部の光走査時の発生熱量に相当する熱量
を与えて、前記共振型光偏向器の温度変動を所定範囲内
に抑え、前記揺動の共振周波数を安定化することを特徴
とする共振型光偏向器の共振周波数安定化方法を提供す
るものである。
本発明の第２の態様は、入射光を反射して１次元方向
に偏向して光走査を行う揺動反射ミラーと、該反射ミラ
ーを固有の共振周波数で揺動させる共振駆動系と、該共
振駆動系を駆動するコイル部と、前記共振駆動系を制御
する制御手段と、前記共振周波数以外の周波数の信号を
発生する信号発生装置と、前記反射ミラーの非走査時に
前記共振駆動系に流す信号を前記信号に切り換える信号
切換装置とを有することを特徴とする共振型光偏向器を
提供するものである。
また、本発明の第３の態様は、入射光を反射して１次
元方向に偏向して光走査を行う揺動反射ミラーと、該反
射ミラーを固有の共振周波数で揺動させる共振駆動系
と、該共振駆動系を制御する制御手段と、加熱タイミン
グを制御する手段を備え、前記反射ミラーの非走査時の
みに前記コイル部の光走査時の発熱量に相当する熱量を
前記共振駆動系および前記コイル部に与えるように加熱
する加熱装置とを有することを特徴とする共振型光偏向
器を提供するものである。
〈発明の作用〉 本発明の共振型光偏向器（以下、レゾナントスキャナ
という。）の共振周波数安定化方法は、光走査を行わな
い非走査時、例えば、非露光時あるいは非読取時におい
ても、光走査時すなわち露光時または読取時と同様にス
キャナ部に熱量を与えて使用中の前記スキャナ部の温度
変動を所定の許容範囲内に抑えるので、入射光を偏向す
る反射ミラーの揺動の共振周波数を安定化することがで
きる。
従って、本発明の共振周波数安定化方法を用いるレゾ
ナントスキャナは、上述のスキャナ部に熱量を与えるた
めに、前記レゾナントスキャナの共振駆動系、特にドラ
イブコイル部を、該ドライブコイルに外部信号発生装置
により発生された、前記レゾナントスキャナの共振周波
数と異なる周波数を有する電流を流すことにより、ある
いは加熱装置により、加熱して前記共振駆動系の温度変
動を抑制するように構成されている。従って、光走査が
断続的に行われる通常の光ビーム走査装置においても本
発明のレゾナントスキャナを用いることにより光走査の
断続による温度変化に起因する前記スキャナの共振周波
数変動を抑制することができる。
また、本発明のレゾナントスキャナは、非走査時には
前記ドライブコイルに外部信号発生装置による非共振周
波数の電流を出して、あるいは加熱装置により前記共振
駆動系を加熱するけれども、共振させて反射ミラーを揺
動させるわけではないので、前記スキャナの寿命を縮め
ることもない。
従って、本発明のレゾナントスキャナによれば、構造
が簡単かつ安価であるにもかかわらず、光走査の精度、
例えば、画像露光時または読取時の副走査方向の出力画
像の寸法精度を向上させることができる。
従って、本発明のレゾナントスキャナを用いる光ビー
ム走査装置は、スキャナ部の温度が変化した場合におい
ても、常に一定の画像サイズの高精度な画像記録、およ
び高精度な画像読取を行なうことが可能であるので、特
にカラー印刷製版分野のように画像サイズに高い精度を
要求される分野においては好適に適用可能である。
〈実施態様〉 以下に、本発明に係る共振周波数安定化方法およびこ
れを用いる共振型光偏向器（以下、レゾナントスキャナ
とする。）を添付の図面に示す好適実施例に基づいて詳
細に説明する。
第１図に、本発明の第１の態様に示す共振周波数安定
化方法を具体的に実施するレゾナントスキャナの第２の
態様の一実施例の制御ブロック図を含む概略斜視図が示
される。
同図に示す本発明の第２の態様のレゾナントスキャナ
10は、基本的にスキャナ本体12と本発明の第１の態様の
共振周波数安定化方法を制御する制御回路14とを有す
る。
スキャナ本体12において、光ビーム反射用のミラー16
は、ロータ18に固定されている。このロータ18には、板
バネ20と22、および板バネ24と26がそれぞれ十字型を成
すように固定され、各板バネはハウジング28に固定さ
れ、ロータ18を支持する。
さらに、ロータ18の図中右側には固定部材30を介して
円柱状のマグネット32が固定される。また、マグネット
32はコイル部34に小さな空隙をもって挿入される。
コイル部34には、第２図に概念的に示されるようにド
ライブコイル36およびピックアップコイル38が配置さ
れ、マグネット32およびドライブコイル36でレゾナント
スキャナ10を駆動するモータを形成する。
ここで、反射ミラー16を含めロータ18、固定部材30お
よびマグネット32からなる可動部と４枚の板ばね20,22,
24および26とは本発明の共振駆動系を構成し、この共振
駆動系は、当該共振駆動系の固有振動数、すなわち共振
周波数で自励共振し、反射ミラー16を前記共振周波数で
揺動させるものである。
ここで、前述したように、ミラー16およびロータ18な
どを含む可動部の慣性モーメントがＪであり、板バネ2
0,22,24および26のバネ定数がｋである時、前記可動部
と板バネ20〜26からなる振動系の固有振動数、すなわち
本発明でいう共振駆動系の共振周波数ｆは で表わされ、振幅θfは外力をM,減衰係数をＣとして、 で表わされる。
スキャナ本体12において、ドライブコイル36に制御回
路14から上記共振周波数ｆの電流が流されると、マグネ
ット32にこの共振周波数ｆで変動する所定振幅の外力が
加えられるため、ロータ18がその外力に応じて同じ周波
数で回動する。この外力の周波数はミラー16およびロー
タ18を含む可動部と板バネ20〜26からなる共振駆動系の
共振周波数ｆであるので、この共振駆動系は自励共振
し、ロータ18を上記の大きい振幅θf、例えば付加され
る外力の約300倍の振幅で回動させ、このロータ18に固
定された反射ミラー16を前記振幅θfおよび前記共振周
波数ｆで揺動させる。このように、レゾナントスキャナ
10は、スキャナ本体12の共振駆動系の共振を利用するも
のであるので、小さな外力で反射ミラー16の大きな揺動
振幅θfを得ることができるものである。また、反射ミ
ラー16は４枚の板バネ20〜26に支持されるロータ18に固
定されるために、共振型光偏向器10は補正を要するほど
の面倒れが生じることがない高精度の光偏向器である。
ところで、マグネット32の回動による磁束密度の変化
で生じるピックアップコイル38の誘導起電力を検出する
ことにより、ミラー16の振幅および共振周波数の信号が
検出される。
こうして後述するようにスキャナ本体12においては、
反射ミラー16の揺動振幅、すなわち振り角±θfは、ピ
ックアップコイル38によって検出され、制御回路14によ
り常に所定の値となるように制御される。また、ドライ
ブコイル36に流される電流は、ピックアップコイル38に
より検出された、共振周波数ｆを有する電力信号に基づ
き、制御回路14により反射ミラー16の振り角が一定にな
るように、その振幅のみが調整された電流であるので、
例え、温度変動等の使用環境の変化で共振周波数が変動
しても、前記共振駆動系を常に共振周波数で共振させる
ことができる。すなわち、レゾナントスキャナ10は、一
旦動き出せば、小さなエネルギを付加するだけで所定の
共振周波数で自励共振で動くようになる。
制御回路14は、スキャナ本体12の共振駆動系の共振を
制御し、本発明の制御手段を構成する共振制御回路40
と、前記共振周波数以外の周波数を有する外部信号を発
生する外部信号発生装置42と、反射ミラー16の非揺動時
にピックアップコイル38からの共振制御回路40内の内部
信号から前記外部信号に切り換える信号切換装置44とを
有する。
共振制御回路40は、ピックアップコイル38に接続され
る波形整形器46と、波形整形器46の出力側に接続される
フィードバック信号アンプ48と、アンプ48の出力側およ
び信号切換装置の入力側に接続される位相補償回路50
と、アンプ48の出力側に接続されるピーク電圧検出器52
と、基準電圧（レファレンス電圧）を発生する基準電圧
器54と、ピーク電圧検出器52のピーク電圧出力側および
基準電圧器54の出力側に接続される電圧演算器56と、電
圧演算器56に接続されるコントローラ58と、信号切換装
置44およびコントローラ58の出力側に接続される乗算器
60と、乗算器60の出力側およびドライブコイル36に接続
される出力アンプ62とを有する。
光走査中すなわちレゾナントスキャナ10の反射ミラー
16の揺動時（以下、自励共振モードという）では、共振
制御回路40において、マグネット32の回動に対応してピ
ックアップコイル38によって検出された共振周波数ｆを
有するピックアップ出力電圧信号は、波形整形器46によ
りノイズや高周波成分などを除去して整形された後、フ
ィードバック信号アンプ48により増幅され、一方は位相
補償回路50によって波形整形や増幅による位相のずれな
どが補償された後、内部信号として信号切換装置44に入
力される。ここで、信号切換装置44は自励共振モードで
あるので、この入力された共振周波数ｆの電圧信号はそ
のまま乗算器60に伝送される。
他方、アンプ48で増幅されたピックアップ出力電圧信
号は、ピーク電圧検出器52に入力され、そのピーク電圧
が検出される。このピーク電圧は−（マイナス）として
反射ミラー16の振り角を所定の振り角に調整するための
基準電圧器54から発生された所定の振り角に相当する基
準電圧（レファレンス電圧）は＋（プラス）として電圧
演算器56で加算され、その結果、すなわち比較結果
（差）の電圧値がコントローラ58に入力される。この電
圧値は、コントローラ50によって、反射ミラー16の振り
角が常に一定になるようにPID制御されフィードバック
すべき振幅補正量に相当する電圧値とされ、乗算器60に
伝送される。
信号切換装置44から入力され、共振周波数ｆを持つ電
圧信号と、コントローラ58から入力される振幅補正電圧
値とは乗算器60で掛け合わせられ、反射ミラー16の所定
振り角に相当する適正な振幅θfおよび共振周波数ｆを
有する電圧信号とされた後、出力アンプ62により電流増
幅され適正な出力電流信号、すなわち適正な振幅および
共振周波数のドライブ電流信号とされ、ドライブコイル
36に入力される。
こうして、自励共振モードではレゾナントスキャナ10
は、所定振り角および周波数で反射ミラー16を揺動させ
ることができる。
一方、非走査中、すなわち、レゾナントスキャナ10の
反射ミラー16を揺動させない時（以下、外部信号モード
という）では、信号切換装置44は、乗算器60へ伝送する
信号を前述の自励共振モードにおける位相補償回路50か
らの内部信号から、外部信号発生装置42からの外部信号
に切り換える。
ここで、外部信号発生装置42は、共振周波数ｆ以外の
周波数すなわち、スキャナ本体12のロータ18などの可動
部を駆動させることがなく、反射ミラー16を揺動させな
い周波数の信号を発生させるものであればどのようなも
のでもよく、適当な周波数の発振器であればよい。外部
信号の周波数は、非共振周波数であれば特に制限はない
が、共振周波数ｆの２〜３倍の高周波数とすることがで
きる。また、外部信号の波形は、どのような波形でもよ
く、正弦波、矩形波、三角波およびのこぎり波など任意
の波形を有するものであればよい。
ところで、自励共振モードと外部信号モードとのモー
ド切換を行う信号切換装置44のタイミング制御は、図示
しない検出装置により、適用される光ビーム走査装置の
走査光を検出することにより行ってもよいが、この光ビ
ーム走査装置の制御装置、例えば画像処理装置64などか
らのタイミング制御信号により行うように構成してもよ
い。
外部信号モードでは、スキャナ本体12は駆動されない
ので、ピックアップコイル38には誘導起電力は生じない
ので、ピーク電圧値はほぼ０となると考えられるので、
基準電圧器54による基準電圧値がコントローラ58を通し
て、また、外部信号発生装置42において発生された非共
振周波数の電圧信号が信号切換装置44を通して、乗算器
60に伝送され、乗算器60で掛け合わせられ、所定振幅の
非共振周波数信号とされた後、出力アンプ62で、自励共
振モードにおけるドライブ電流とほぼ同程度の電力とな
るドライブ電流とされた後、ドライブコイル36に加えら
れる。ここで、外部信号モードでも自励共振モードでも
ほぼ同じ電力の電流が加えられるので、両モードにおけ
るドライブコイル36からの発熱量およびスキャナ全体の
温度分布はほぼ同一となる。従って、モード切換によっ
てコイル部34に生じる温度変動は小さい。
第３図に、本発明の第１の態様のレゾナントスキャナ
10の偏向器状態（ａ）、コイル部34の温度Ｔ（ｂ）、反
射ミラー16の偏向周波数（ｃ）、ドライブコイル36の偏
向器駆動周波数（ｄ）およびドライブコイル36の偏向器
駆動電流（ｅ）の時間（ｔ）に対するグラフを示す。
本発明の第２の態様のレゾナントスキャナ10は、光ビ
ーム走査装置の光走査を開始する前に、第３図偏向器駆
動周波数（ｄ）に示すように、外部信号モードで外部信
号発生装置42により発生された非共振周波数である500H
zの外部信号によるドライブ（駆動）電流がドライブコ
イル36に加えられることにより駆動されるが、共振しな
いので、スキャナ本体12は動き出さず第３図（ａ）の偏
向器の状態すなわち反射ミラー16は揺動せず停止（OF
F）の状態であるが、第３図（ｂ）のコイル部34の温度
（Ｔ）は始め上昇し、ほぼ一定値または所定温度範囲内
に安定する。
温度安定後、信号切換装置44により外部信号モードか
ら自励共振モードに切り換えられ、光走査が開始される
が、この光走査時Ａでは、スキャナ10は共振周波数200H
zで駆動され、偏向器状態第３図（ａ）は駆動（ON）の
状態になり、反射ミラー16は揺動する。この時、ドライ
ブコイル36に加えられる偏向器駆動電流（ｅ）の最大振
幅（peak to peak）は同じであるので、コイル部34にお
ける発熱もほぼ同じである。従って、第３図（ｂ）のコ
イル部34の温度（Ｔ）もほぼ一定値または所定温度範囲
内で変化するので、反射ミラー16の偏向周波数第３図
（ｃ）もほぼ200Hzの一定値を保つ。
光走査すなわち、露光または読取が終了すると、信号
切換装置44は、自励共振モードから外部共振モードに切
り換えて、非走査時Ｂとなる。非走査時Ｂでは、偏向器
状態第３図（ａ）は停止（OFF）となり、反射ミラー16
は揺動しないが、ドライブコイル36には、第３図（ｄ）
と（ｅ）に示すように同じ最大振幅を持ち、非共振周波
数の500Hz交流が流れるので第３図（ｂ）のようにコイ
ル部34の温度Ｔはあまり変動せず、ほぼ一定値を保つ。
このように、非走査時Ｂにおいても周波数が非共振周
波数であり、振幅が同じである電流を光走査時Ａと同様
に、スキャナ10を駆動するためのドライブコイル36に流
しておくので、非走査時Ｂから光走査時Ａにモードが変
わっても、コイル部34の温度変動が極めて小さいので、
モード切換の際の共振周波数の変動が極めて小さい。
従って、レゾナントスキャナ10の使用中の温度の変動
を極めて小さくすることができ、スキャナ10の光走査中
の共振周波数の変動を極めて小さくすることができるの
で、光走査、例えば、露光または読取時における副走査
方向の出力寸法（露光長または読取長）の変動を極めて
小さくすることができる。従って、本発明のレゾナント
スキャナ10を用いる光ビーム走査装置は高精度の光走査
が可能である。
以下に、本発明の第３の態様に係る共振型光偏向器を
第４図に示すレゾナントスキャナ70を好適実施例として
詳細に説明する。
第４図に示すレゾナントスキャナ70は、本発明の加熱
装置を構成するセラミックヒータ72およびヒータ駆動電
源74さらにそのタイミングを制御するタイミング制御回
路76を除き第１図および第２図に示すレゾナントスキャ
ナ10と同様の構成を有するものであり、同じ構成要素に
は同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
セラミックヒータ72は、スキャナ本体12のコイル部34
を加熱するものであるが、第３図（ａ）に示すようなス
キャナ70の非走査時Ｂに光走査時Ａにコイル部34に発生
する熱量と同じ熱量をコイル部34に付与し、光走査時Ａ
と非走査時Ｂとのスキャナ70の駆動状態の変化の際のス
キャナ70、特に、第３図（ｂ）に示すようにコイル部34
の温度変化が極めて小さくほぼ所定の温度範囲内に納ま
るようにすることができるものであればよい。
ヒータ駆動電源74は、セラミックヒータ72に必要な発
熱量、すなわち光走査時Ａにおいてコイル部34に発生す
る熱量に相当する熱量を発生させるのに必要な電流を流
すためのものである。
タイミング制御回路76は、光ビーム走査装置の制御回
路、例えば画像処理装置64からの１枚、１頁あるいは複
数行からなる１走査単位の光走査タイミング情報を受け
て、走査時には、セラミックヒータ72の電源74を停止
（OFF）し、共振制御回路78からドライブコイル36への
駆動電流を流すのに対し、非走査時には、共振制御回路
78からドライブコイル36への駆動電流が流れないので、
セラミックヒータ72の電源74を駆動（ON）するもので、
少なくともセラミックヒータ72のオン−オフ（ON−OF
F）制御することができるものであればよい。
なお、スキャナ本体12の構成は第１図および第２図に
示すものと全く同一であり、共振制御回路78の構成は、
位相補償回路50と乗算器60が直接接続されていること以
外は第１図および第２図に示す共振制御回路40と全く同
一であり、その説明は省略する。
前述したように一般的に、レゾナントスキャナは、そ
の共振周波数に温度依存性を有するものであり、その共
振周波数の温度変化すなわち共振周波数変化率は、 （Δf/f）／ΔＴ＝−２×10-4／℃ 程度である。
このような周波数の変動を生じる温度変化の原因とし
ては、光走査時にドライブコイル36から発生する熱がマ
グネット32、固定部材30、ロータ18あるいはハウジング
28などを介して板バネ20〜26に伝達されるので、特に光
走査時と非走査時とにおけるスキャナ本体12の温度が変
化してしまい、板バネ20〜26の温度が変化することが挙
げられる。このような温度変化による共振周波数の変動
の原因としては、温度変化による板バネのバネ特性の変
化や、マグネット32の磁束の変化、さらにそれらによる
ロータ18（ミラー16）振幅の変化が主たる原因として挙
げられる。
従って、本発明の第３の態様における加熱装置として
は、第４図に示すセラミックヒータ72に限定されず、ス
キャナ70の駆動時（光走査時）におけるスキャナ70の各
部の温度状態をスキャナ70の非駆動時（非走査時）にも
保持することができるものであればどのようなものでも
よいが、発熱量制御およびオン−オフ制御が容易な発熱
体が好ましい。また、トランジスタを発熱体として用い
てもよい。従って、セラミックヒータ72などの発熱体の
配置場所も図示例のコイル部34に限定されるものではな
く、ハウジング28やスキャナ本体12内部の板バネ20〜26
の近辺等、スキャナ本体12の温度、特に板バネ20〜26の
温度とコイル部34の温度をほぼ一定に維持可能な各種の
場所が適用可能である。
レゾナントスキャナ70は、以上のような構成を有し、
非走査時Ｂにおいても、コイル部34をセラミックヒータ
72により加熱して光走査時Ａと同様な一定温度に保持す
ることにより、光走査時Ａと非走査時Ｂとのスキャナの
駆動状態の切換を行っても、常に光走査時Ａにおけるミ
ラー16の共振周波数を一定のものとすることができる。
以上、本発明の第２および第３のいずれの態様におい
ても、用いられるレゾナントスキャナのスキャナ本体お
よび共振制御回路は上述の実施例に限定されるわけでは
なく、様々なバネおよびミラーを含む可動部からなる共
振駆動系を有するものであってもよい。
従って、本発明のレゾナントスキャナを適用すること
により、副走査方向の画像サイズの狂いの少ない画像記
録ができる画像記録装置や、画像読取装置を実現するこ
とが可能である。
第５図に、前述のレゾナントスキャナ10を画像記録装
置に適用した一例を示す。
第５図に示す画像記録装置80は、前記本発明の第１の
態様のレゾナントスキャナ10を光偏向器として適用し、
ラスタースキャンを適用する文字・線画像記録装置であ
って、基本的に、記録用レーザービーム82a（以下、記
録ビーム82aとする）を射出する記録ユニット42と、格
子用レーザービーム84a（以下、格子ビーム84aとする）
を射出する格子ユニット84と、ｆθレンズ86と、記録材
料Ｓを所定の位置に保持するための露光ドラム88と、露
光ドラム88と共に記録材料Ｓを挟持搬送するニップロー
ラ90および92と、格子ビーム84aを所定の方向に反射す
る長尺ミラー94と、画像同期信号発生手段である格子96
および集光バー98とから構成されるものである。
このような画像記録装置80においては、各光ビームユ
ニットより射出された記録ビーム82aおよび格子ビーム8
4aは、レゾナントスキャナ10によって矢印ｃで示される
主走査方向に反射・偏向され、次いでｆθレンズ86によ
って記録材料Ｓ上において所定のビームスポットとなる
ように調整され、記録ビーム82aは、露光ドラム88とニ
ップローラ90および92とによって矢印ｄで示される副走
査方向に挟持搬送される記録材料Ｓ上に結像し、これを
２次元的に走査露光して画像を記録し、一方、格子ビー
ム84aは長尺ミラー94に反射されて格子96を走査し、記
録ビーム82aの位置検出信号、つまり画像同期信号とさ
れる。
記録ユニット82は、記録ビーム82aを射出するもの
で、記録用光ビームを射出する半導体レーザーと、この
半導体レーザーから射出されたレーザービームを整形す
るコリメータレンズとが一体的にユニット化されて構成
されるものである。
一方、格子ユニット84は格子ビーム84aを射出するも
ので、基本的に前述の記録ユニット82と同様の構成を有
し、格子走査用光ビーム光源としての半導体レーザー
と、この半導体レーザーから射出されたレーザービーム
を整形するコリメータレンズとが一体的にユニット化さ
れて構成される。
それぞれの光ビームユニットより射出された記録ビー
ム82aおよび格子ビーム84aは、次いで、本発明のレゾナ
ントスキャナ10によって矢印ｃで示される主走査方向に
反射・偏向される。
レゾナントスキャナ10によって反射・偏向された各光
ビームは、次いでｆθレンズ86に入射し、所定の位置に
所定のビームスポット形状で結像するように調整され
る。
ｆθレンズ86を通過した格子ビーム84aは長尺ミラー9
4によって上方に反射され、格子96を走査する。
格子96を通過した格子ビーム84aは、集光バー98によ
って集光され、その光量がフォトマルチプライヤー等の
光検出器100によって測光され、電気信号に変換され
る。
格子96に入射した格子ビーム84aは、記録材料Ｓを走
査する記録ビーム82aと全く同様にレゾナントスキャナ1
0によって矢印ｃで示される主走査方向に反射・偏向さ
れたものである。従って、格子ビーム84aによる格子96
の走査に応じた周期的な光量変化より得られた電気信号
より、記録ビーム82aの正確な位置を検出するための同
期信号を得ることができ、この同期信号より記録材料Ａ
上における記録ビーム82aの主走査をより高精度のもの
とすることができる。
一方、ｆθレンズ86を通過した記録ビーム82aは、露
光ドラム88とニップローラ90および92とによって所定の
画像記録位置に保持されつつ、矢印ｄで示される副走査
方向に挟持搬送される記録材料Ｓ上に結像して、記録材
料Ｓを２次元的に走査露光して画像を記録する。
このような画像記録装置80は、本発明のレゾナントス
キャナ10を適用するものであるので、光走査時と非走査
時におけるレゾナントスキャナの駆動と停止に伴う温度
変化によって記録材料Ｓの主走査の周波数が変更するこ
とがなく、副走査方向の画像サイズの正確な画像記録を
行なうことができる。従って、画像サイズに高い精度を
要求される印刷製版用、特にカラー印刷製版用の画像記
録装置に好適に適用される。
ところで、本発明の共振型光偏向器を用いる光ビーム
走査装置において、光走査開始毎に共振周波数を周波数
検出器により測定し、使用環境温度などの変動によっ
て、共振周波数ｆがΔｆ変動したとするとき、副走査速
度、例えば感光材料、記録材料などの被走査体の副走査
搬送速度ｖ′を、Δｌを走査線間隔とする時、 ｖ′＝Δｌ・（ｆ＋Δｆ） に設定するように、副走査搬送用モータ、例えばサーボ
モータを制御する副走査速度制御装置を併用することに
より、副走査方向寸法精度をさらに高精度のものとする
ことができる。
このように、室温、使用環境温度の変化を補償する共
振周波数１点補正方式の副走査速度制御装置に関して
は、本出願人の出願に係る特願昭62-220257号明細書に
開示された「被走査体の搬送速度制御装置」を用いるこ
とができる。
以上、本発明に係る共振型光偏向器、すなわちレゾナ
ントスキャナについて添付の図面に示される好適実施例
を基に詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において、
各種の変更および改良が可能であるのはもちろんのこと
である。
〈発明の効果〉 以上詳述したように、本発明の第１の態様に示す共振
周波数安定化方法によれば、非走査時においても、共振
型光偏向器の共振駆動系に熱量を加えることにより、す
なわち、これを具体的に実施する本発明の第２の態様の
共振型光偏向器によれば、非走査時においても、非共振
周波数の信号による駆動電流を共振駆動系に流すことに
より、また、本発明の第３の態様の共振型光偏向器によ
れば、非走査時において、共振駆動系に加熱装置によ
り、光走査時における前記共振駆動系の発熱量とほぼ同
じ熱量を与えることにより、光走査時と非走査時との切
換による前記共振駆動系の温度変動を小さなものとし、
共振周波数の変動を抑え、光走査時において常に一定の
共振周波数を得ることを可能としたものである。
従って、本発明の共振型光偏向器を適用することによ
り、特に副走査方向の画像サイズの正確な画像記録装置
や、画像読取装置が実現可能で、印刷製版分野のように
画像サイズに高い精度を要求される分野には好適に適用
可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に係る共振型光偏向器の制御回路を含
む一実施例の概略斜視図である。 第２図は、第１図に示す共振型光偏向器のコイル部およ
び制御回路を概念的に示す図である。 第３図は、第１図に示す共振型光偏向器のタイムチャー
トの一実施例である。 第４図は、本発明に係る共振型光偏向器の制御回路を含
む別の実施例の概略斜視図である。 第５図は、第１図に示す共振型光偏向器を適用する画像
記録装置の概略斜視図である。 第６図は、従来の共振型光偏向器のタイムチャートであ
る。 符号の説明 10,70……レゾナントスキャナ、12……スキャナ本体、1
4……制御回路、16……ミラー、18……ロータ、20,22,2
4,26……板バネ、28……ハウジング、30……固定部材、
32……マグネット、34……コイル部、36……ドライブコ
イル、38……ピックアップコイル、40,78……共振制御
回路、42……外部信号発生装置、44……信号切換装置、
46……波形整形器、48……フィードバック信号アンプ、
50……位相補償回路、52……ピーク電力検出器、54……
基準電圧器、58……コントローラ、60……乗算器、62…
…出力アンプ、64……画像処理装置、72……セラミック
ヒータ、74……ヒータ駆動電源、76……タイミング制御
回路、ｓ……記録材料

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】反射ミラーを固有の共振周波数で揺動させ
    ることにより、入射光を反射して一次元方向に偏向して
    光走査を行う共振型光偏向器を用いる際に、 非走査時のみに前記共振型光偏向器に、この共振型光偏
    向器のコイル部の光走査時の発生熱量に相当する熱量を
    与えて、前記共振型光偏向器の温度変動を所定範囲内に
    抑え、前記揺動の共振周波数を安定化することを特徴と
    する共振型光偏向器の共振周波数安定化方法。
  2. 【請求項２】入射光を反射して１次元方向に偏向して光
    走査を行う揺動反射ミラーと、該反射ミラーを固有の共
    振周波数で揺動させる共振駆動系と、該共振駆動系を制
    御する制御手段と、前記共振周波数以外の周波数の信号
    を発生する信号発生装置と、前記反射ミラーの非走査時
    に前記共振駆動系に流す信号を前記信号に切り換える信
    号切換装置とを有することを特徴とする共振型光偏向
    器。
  3. 【請求項３】入射光を反射して１次元方向に偏向して光
    走査を行う揺動反射ミラーと、該反射ミラーを固有の共
    振周波数で揺動させる共振駆動系と、該共振駆動系を駆
    動するコイル部と、前記共振駆動系を制御する制御手段
    と、加熱タイミングを制御する手段を備え、前記反射ミ
    ラーの非走査時のみに前記コイル部の光走査時の発熱量
    に相当する熱量を前記共振駆動系および前記コイル部に
    与えるように加熱する加熱装置とを有することを特徴と
    する共振型光偏向器。
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Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5581067A (en) * 1990-05-08 1996-12-03 Symbol Technologies, Inc. Compact bar code scanning module with shock protection
US5900961A (en) * 1992-03-13 1999-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Scanning optical device
WO1996013892A1 (en) * 1994-10-31 1996-05-09 Psc Inc. System for driving and controlling the motion of an oscillatory electromechanical system especially suitable for use in an optical scanner
WO1996037797A1 (en) * 1995-05-26 1996-11-28 General Scanning, Inc. Wide field of view microscope and scanning system useful in the microscope
US5521740A (en) * 1995-07-11 1996-05-28 General Scanning, Inc. Resonant optical scanner
US5909302A (en) * 1996-08-02 1999-06-01 Guissin; Rami Staring scanner
US7098871B1 (en) * 1998-08-05 2006-08-29 Microvision, Inc. Optical scanning system with correction
US6384406B1 (en) 1999-08-05 2002-05-07 Microvision, Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
US6661393B2 (en) 1999-08-05 2003-12-09 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6795221B1 (en) 1999-08-05 2004-09-21 Microvision, Inc. Scanned display with switched feeds and distortion correction
US6362912B1 (en) 1999-08-05 2002-03-26 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6654158B2 (en) 2001-04-20 2003-11-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms
US6433907B1 (en) * 1999-08-05 2002-08-13 Microvision, Inc. Scanned display with plurality of scanning assemblies
US6515781B2 (en) * 1999-08-05 2003-02-04 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6245590B1 (en) 1999-08-05 2001-06-12 Microvision Inc. Frequency tunable resonant scanner and method of making
US6882462B2 (en) * 2002-11-01 2005-04-19 Microvision, Inc. Resonant scanner with asymmetric mass distribution
US6445362B1 (en) 1999-08-05 2002-09-03 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6653621B2 (en) * 2001-03-23 2003-11-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner and method of making
US7262765B2 (en) * 1999-08-05 2007-08-28 Microvision, Inc. Apparatuses and methods for utilizing non-ideal light sources
US6924476B2 (en) * 2002-11-25 2005-08-02 Microvision, Inc. Resonant beam scanner with raster pinch compensation
US6256131B1 (en) 1999-08-05 2001-07-03 Microvision Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
US6285489B1 (en) 1999-08-05 2001-09-04 Microvision Inc. Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms
JP4590081B2 (ja) * 2000-09-26 2010-12-01 オリンパス株式会社 アクチュエータ駆動装置
JP4562960B2 (ja) * 2001-07-13 2010-10-13 オリンパス株式会社 光スキャナ駆動回路
US7023402B2 (en) * 2001-09-21 2006-04-04 Microvision, Inc. Scanned display with pinch, timing, and distortion correction
US6836349B2 (en) 2001-12-07 2004-12-28 Jds Uniphase Corporation Optical performance monitoring device
US20050050562A1 (en) * 2003-04-02 2005-03-03 Staar S.A. Information carrier loading device
CN100443947C (zh) * 2004-06-29 2008-12-17 佳能株式会社 控制图像形成装置的方法
JP5159028B2 (ja) * 2004-06-29 2013-03-06 キヤノン株式会社 揺動体を有する光偏向装置、及びその調整方法
US7436566B2 (en) * 2005-11-22 2008-10-14 Canon Kabushiki Kaisha Oscillating device, optical deflector and method of controlling the same
JP2007199682A (ja) 2005-12-27 2007-08-09 Konica Minolta Holdings Inc 光偏向器および光ビーム走査装置
JP4986479B2 (ja) * 2006-03-03 2012-07-25 株式会社リコー 光走査装置および画像形成装置
US20080001850A1 (en) * 2006-06-06 2008-01-03 Mark Champion Beam scanner with reduced phase error
KR100766600B1 (ko) * 2006-07-18 2007-10-12 삼성전자주식회사 스캐너
CN100495103C (zh) * 2006-07-21 2009-06-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 取样反射镜驱动平台的锁紧机构
JP2008228524A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Hitachi Via Mechanics Ltd 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置
JP5089205B2 (ja) * 2007-03-19 2012-12-05 キヤノン株式会社 画像形成装置、及びその制御方法
JP2009025795A (ja) * 2007-06-21 2009-02-05 Canon Inc 光偏向器
US8345339B2 (en) 2007-06-21 2013-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical deflector
JP5220120B2 (ja) * 2008-10-17 2013-06-26 パナソニック株式会社 走査型画像表示装置
WO2011091093A1 (en) * 2010-01-22 2011-07-28 Cambridge Technology, Inc. Low wobble wide scan angle taut-band resonant scanners with matched coefficients of thermal expansion and interchangeable mirrors
DE102010039762A1 (de) 2010-08-25 2012-03-01 Carl Zeiss Ag Anordnung zum Beeinflussen der Leistungsaufnahme eines optischen Scanners

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6053855B2 (ja) * 1977-10-24 1985-11-27 キヤノン株式会社 ガルバノ・ミラ−・スキヤナ装置
US4370019A (en) * 1978-12-23 1983-01-25 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning device with temperature control means
US4502752A (en) * 1982-11-08 1985-03-05 General Scanning, Inc. Resonant actuator for optical scanning
DE3538898A1 (de) * 1985-11-02 1987-05-07 Zeiss Carl Fa Elektro-magnetisch angetriebener schwingspiegel
US4686363A (en) * 1986-01-21 1987-08-11 Printware, Inc. Self-resonant scanner biasing system
US4990808A (en) * 1987-02-17 1991-02-05 General Scanning, Inc. Symmetrical resonant scanner and drive
JP2584224B2 (ja) * 1987-03-30 1997-02-26 富士写真フイルム株式会社 光ビ−ム記録装置
US4874215A (en) * 1987-04-23 1989-10-17 General Scanning, Inc. Tunable resonant mechanical system
JPS63311321A (ja) * 1987-06-15 1988-12-20 Sharp Corp 走査型光プリンタ
JPS6440923A (en) * 1987-08-07 1989-02-13 Fuji Photo Film Co Ltd Optical unit

Also Published As

Publication number Publication date
EP0428100A3 (en) 1992-12-23
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