JPH03154019A - 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器 - Google Patents

共振周波数安定化方法および共振型光偏向器

Info

Publication number
JPH03154019A
JPH03154019A JP1294726A JP29472689A JPH03154019A JP H03154019 A JPH03154019 A JP H03154019A JP 1294726 A JP1294726 A JP 1294726A JP 29472689 A JP29472689 A JP 29472689A JP H03154019 A JPH03154019 A JP H03154019A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonant
scanning
frequency
scanner
resonance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1294726A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2711158B2 (ja
Inventor
Yoshiaki Inoue
義章 井上
Katsuto Sumi
克人 角
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP1294726A priority Critical patent/JP2711158B2/ja
Priority to US07/611,621 priority patent/US5247384A/en
Priority to DE69028597T priority patent/DE69028597T2/de
Priority to EP90121623A priority patent/EP0428100B1/en
Publication of JPH03154019A publication Critical patent/JPH03154019A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2711158B2 publication Critical patent/JP2711158B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N1/053—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position in main scanning direction, e.g. synchronisation of line start or picture elements in a line
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/113—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
    • H04N1/1135—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors for the main-scan only
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/12—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using the sheet-feed movement or the medium-advance or the drum-rotation movement as the slow scanning component, e.g. arrangements for the main-scanning
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/024—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof deleted
    • H04N2201/02406—Arrangements for positioning elements within a head
    • H04N2201/02439—Positioning method
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
    • H04N2201/0471—Detection of scanning velocity or position using dedicated detectors
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
    • H04N2201/04734—Detecting at frequent intervals, e.g. once per line for sub-scan control
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
    • H04N2201/04739—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanning head or scanning carriage
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
    • H04N2201/04744—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanned beam or a reference beam
    • H04N2201/04746—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanned beam or a reference beam after modulation by a grating, mask or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04753—Control or error compensation of scanning position or velocity
    • H04N2201/04755—Control or error compensation of scanning position or velocity by controlling the position or movement of a scanning element or carriage, e.g. of a polygonal mirror, of a drive motor
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
    • H04N2201/04—Scanning arrangements
    • H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
    • H04N2201/04753—Control or error compensation of scanning position or velocity
    • H04N2201/04794—Varying the control or compensation during the scan, e.g. using continuous feedback or from line to line

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、印刷製版用の画像記録装置、画像読取装置の
ように、高精度な光走査を要求される光ビーム走査装置
に適用される共振型光偏向器、いわゆるレゾナントスキ
ャナに関する。
詳しくは、使用中のスキャナ部の温度の変化による共振
周波数の変動を抑制することができる共振型光偏向器に
関する。
〈従来の技術〉 主走査方向に偏向された光ビームによって、副走査方向
に移送される被走査体を２次元的に走査する光ビーム走
査装置が各種の画像記録装置および画像読取装置に通用
されている。
この光ビーム走査装置は、半導体レーザ等の光源より射
出された光ビームを光偏向器によフて反射して主走査方
向に偏向し、この光ビームによつて、主走査方向と略直
交する副走査方向に一定の速度で移送される被走査体を
２次元的に走査して、画像記録あるいは画像読取を行う
。
このような光ビーム走査装置の光偏向器としては、ポリ
ゴンミラー　ガルバノメータミラー等の各種の光偏向器
が用いられているが、印刷製版用の画像記録装置および
画像読取装置のように高精度な光走査が要求される光ビ
ーム走査装置においては、共振型光偏向器、いわゆるレ
ゾナントスキャナがよく用いられる。
レゾナントスキャナは、入射光ビームを反射して偏向す
る反射ミラーを、この反射ミラーを含む可動部とこの可
動部を弾性的に支持するバネとからなる共振駆動系の共
振周波数（固有撮動数）で自励共振させ、前記共振駆動
系、特にその振幅を制御することにより所定の光走査を
行うものである。　前記共振駆動系の自励共振は、前記
共振駆動系のモータのドライブコイルに前記共振周波数
の電流を流すことにより維持されている。
〈発明が解決しようとする課題〉 ところが、このようなレゾナントスキャナは、温度変化
に応じて共振周波数が変化してしまうという問題点があ
る。
前述のように、前記レゾナントスキャナは前記可動部と
前記バネからなる共振駆動系を共振状態として前記反射
ミラーを揺動させるものであるので、前記可動部（反射
ミラーを含む）の慣性−モーメントをＪ、前記バネのバ
ネ定数をｋとすると、共振周波数ｆは であり、また、マグネットとコイルにより付加された電
磁力の大きさをＭとし、減衰を比例減衰として、その定
数をＣとすると、共振状態での振幅θｆは であって、その共振周波数や振幅は前記バネのバネ定数
やマグネット、コイルの磁束によって大きく影響される
。　ところが、周知のようにバネ定数は温度によって変
化し、また、マグネット、コイルの磁束も温度によって
変化するものである。
従って、反射ミラーの共振周波数や振幅はスキャナ部の
温度によって変化してしまう。　このような温度変化に
よる共振周波数の変動の原因としては、温度変化による
板バネのバネ特性の変化や、マグネットの磁束の変化、
さらにそれらによる駆動系（揺動反射ミラー）振幅の変
化が主たる原因として挙げられる。
このよう″に、前記レゾナントスキャナの共振周波数は
温度依存性がある。　例えば共振周波数変化！Ｉ！　（
Ａｆ／ｆ）／、ａｒ＝−２ｘ　ｔ　Ｏ−’／℃程度の周
波数変化が存在する。
このような温度依存性を有するレゾナントスキャナを用
いた光ビーム走査装置では、光走査、例えば読み取りま
たは書き込み（露光）する時に始め、共振周波数が安定
するまでしばらくレゾナントスキャナを駆動した後に実
際の２次元光走査を開始し、終了してから停止すること
を繰り返していた。
この場合、第６図に示すように、レゾナントスキャナの
駆動を開始すると、前記スキャナ部、特にドライブコイ
ル部の温度Ｔが始め急激に以後徐々に上昇し、共振周波
数ｆは始め急激に以後徐々に低下するため、光走査の始
めの偏向周波数は高く、だんだん偏向周波数が低下し′
てきて終了することになる。
従って、このような光ビーム走査装置は、スキャナ部の
温度が変化するとスキャナの周波数が変化し、すなわち
光ビームによる主走査の繰り返し周波数が変化して、走
査線の間隔が変化するため副走査方向の画像サイズが狂
ってしまう。
例えば、複数枚の画像記録を行う場合、連続的に画像書
き込みが行われるが、１枚目と２枚目では出力画像の副
走査方向の寸法が違ってしまう。
ところで、副走査方向の送り速度をｖ１出力寸法をし、
寸法り間の主走査線の数をｙラインとするとき、主走査
線の間隔Δ１は、前記スキャナの光走査の周期は１／ｆ
となるのでΔＬ＝　ｖ　／　ｆ　、従ってＬ−Δｊ！　
・ｙ＝　（ｖ／ｆ）ｙである。　このため、スキャナ部
の温度ＴがΔＴだけ変化した時に生じる共振周波数ｆの
変化Δｆと副走査方向の寸法りの変化ΔＬどの間の関係
はΔＬ／Ｌ−−Δｆ／ｆとなる。
従って、例えば温度変化ΔＴが５℃、副走査方向の露光
長しが５００ｍｍとすると、ΔＬ！Ｌ　（−Δｆ／ｆ）
　＝Ｌ　（２ｘ　１０−嶋ＡＴ）−０，５ｍｍとなるた
め、高精度の光走査が要求される分野、特にカラー印刷
製版分野のように、画像サイズに数１０μｍオーダーの
正確さを要求される分野においては問題となっている。
このような問題点を解決するために、特に、第６図に示
すような光走査時と非走査時とでレゾナントスキャナの
駆動と停止を繰り返す際にレゾナントスキャナのコイル
部に生じる温度変化をなくすために、非走査時において
も前記スキャナを停止せずに駆動することも考えられる
が、レゾナントスキャナの寿命は共振している駆動時間
の累積時間によりて決まるものであるので、非走査時に
おいても共振駆動を続行するのは前記スキャナの寿命を
短くするという問題がある。　互いに温度特性の異なる
バネ、すなわち温度の上昇によってバネ定数が向上する
バネと低下するバネとを組み合わせたバネを用いたレゾ
ナントスキャナや、前記バネのバネ定数の変化を補償す
るためのバネの役割をする、磁気的バネを有するレゾナ
ントスキャナ等が提案されている。
しかしながら、前者のレゾナントスキャナは、前記バネ
の耐久性に問題を有すると共に、温度特性の異なるバネ
を組合せることにより共振駆動系の可動部の揺動がアン
バランスなものとなってしまい、正確な光ビーム走査が
できないという問題点がある。　また、後者のレゾナン
トスキャナは、装置が複雑になると共に、磁気的バネ、
つまり磁気回路によるバネには必ずヒステリシス損失が
有るため、共振によるミラーの揺動が小さくなってしま
い、ドライブコイルへの印加電流を大きくする必要があ
り、小さな電力で大きなミラーの振り角を得られるとい
うレゾナントスキャナの利点を消滅してしまう。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解消し、スキ
ャナ部の温度変化、すなわち光走査（露光、読取）時と
非走査時との温度変化による共振周波数変動を抑制する
共振型光偏向器の共振周波数安定化方法、およびこの方
法を用いて、光走査の精度、特に画像露光または画像読
取時の出力画像の寸法精度を向上させることができ、し
かも構造も簡単かつ安価な共振型光偏向器を提供するこ
とにある。
く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、反
射ミラーを固有の共振周波数で揺動させることにより、
入射光を反射して一次元方向に偏向して光走査を行う共
振型光偏向器を用いる際に、 非走査時に熱量を与えて、前記共振型光偏向器の温度変
動を所定範囲内に抑え、前記揺動の共振周波数を安定化
することを特徴とする共振型光偏向器の共振周波数安定
化方法を提供するものである。
本発明の第２の態様は、入射光を反射して１次元方向に
偏向して光走査を行う揺動反射ミラーと、該反射ミラー
を固有の共振周波数で揺動させる共振駆動系と、該共振
駆動系を制御する制御手段と、前記共振周波数以外の周
波数の信号を発生する信号発生装置と、前記反射ミラー
の非走査時に前記共振駆動系に流す信号を前記信号に切
り換える信号切換装置とを有することを特徴とする共振
型光偏向器を提供するものである。
また、本発明の第３の態様は、入射光を反射して１次元
方向に偏向して光走査を行う揺動反射ミラーと、該反射
ミラーを固有の共振周波数で揺動させる共振駆動系と、
該共振駆動系を制御する制御手段と、前記反射ミラーの
非走査時に前記共振駆動系を加熱する加熱装置とを有す
ることを特徴とする共振型光偏向器を提供するものであ
る。
〈発明の作用〉 本発明の共振型光偏向器（以下、レゾナントスキャナと
いう、）の共振周波数安定化方法は、光走査を行わない
非走査時、例えば、非露光時あるいは非読取時において
も、光走査時すなわち露光時または読取時と同様にスキ
ャナ部に熱量を与えて使用中の前記スキャナ部の温度変
動を所定の許容範囲内に抑えるので、入射光を偏向する
反射ミラーの揺動の共振周波数を安定化することができ
る。
従って、本発明の共振周波数安定化方法を用いるレゾナ
ントスキャナは、上述のスキャナ部に熱量を与えるため
に、前記レゾナントスキャナの共振駆動系、特にドライ
ブコイル部を、該ドライブコイルに外部信号発生装置に
より発生された、前記レゾナントスキャナの共振周波数
と異なる周波数を有する電流を流すことにより、あるい
は加熱装置により、加熱して前記共振駆動系の温度変動
を抑制するように構成されている。　従って、光走査が
断続的に行われる通常の光ビーム走査装置においても本
発明のレゾナントスキャナを用いることにより光走査の
断続による温度変化に起因する前記スキャナの共振周波
数変動を抑制することができる。
また、本発明のレゾナントスキャナは、非走査時には前
記ドライブコイルに外部信号発生装置による非共振周波
数の電流を出して、あるいは加熱装置により前記共振駆
動系を加熱するけれども、共振させて反射ミラーを揺動
させるわけでないので、前記スキャナの寿命を縮めるこ
ともない。
従りて、本発明のレゾナントスキャナによれば、構造が
簡単かつ安価であるにもかかわらず、光走査の精度、例
えば、画像露光時または読取時の副走査方向の出力画像
の寸法精度を向上させることができる。
従って、本発明のレゾナントスキャナを用いる光ビーム
走査装置は、スキャナ部の温度が変化した場合において
も、常に一定の画像サイズの高精度な画像記録、および
高精度な画像読取を行なうことが可能であるので、特に
カラー印刷製版分野のように画像サイズに高い精度を要
求される分野においては好適に適用可能である。
〈実施態様〉 以下に、本発明に係る共振周波数安定化方法およびこれ
を用いる共振型光偏向器（以下、レゾナントスキャナと
する。）を添付の図面に示す好適実施例に基づいて詳細
に説明する。
第１図に、本発明の第１の態様に示す共振周波数安定化
方法を具体的に実施するレゾナントスキャナの第２の態
様の一実施例の制御ブロック図を含む概略斜視図が示さ
れる。
同図に示す本発明の第２の態様のレゾナントスキャナ１
０は、基本的にスキャナ本体１２と本発明の第１の態様
の共振周波数安定化方法を制御する制御回路１４とを有
する。
スキャナ本体１２において、光ビーム反射用のミラー１
６は、ロータ１８に固定されている。　このロータ１８
には、板バネ２０と２２、および板バネ２４と２６がそ
れぞれ十字型を成すように固定され、各板バネはハウジ
ング２８に固定され、ロータ１８を支持する。
さらに、ロータ１８の図中右側には固定部材３０を介し
て円柱状のマグネット３２が固定される。　また、マグ
ネット３２はコイル部３４に小さな空隙をもって挿入さ
れる。
コイル部３４には、第２図に概念的に示されるようにド
ライブコイル３６およびピックアップコイル３８が配置
され、マグネット３２およびドライブコイル３６でレゾ
ナントスキャナ１０を駆動するモータを形成する。
ここで、反射ミラー１６を含めロータ１８、固定部材３
０およびマグネット３２からなる可動部と４枚の板バネ
２０，２２．２４および２６とは本発明の共振駆動系を
構成し、この共振駆動系は、当該共振駆動系の固有振動
数、すなわち共振周波数で自助共振し、反射ミラー１６
を前記共振周波数で揺動させるものである。
ここで、前述したように、ミラー１６およびロータ１８
などを含む可動部の慣性モーメントがＪであり、板バネ
２０，２２．２４および２６のバネ定数がｋである時、
前記可動部と板バネ２０〜２６からなる振動系の固有振
動数、すなわち本発明でいう共振駆動系の共振周波数ｆ
は で表わされ、振幅θｔは外力をＭ、減衰係数をＣとして
、 で表わされる。
スキャナ本体１２において、ドライブコイル３６に制御
回路１４から上記共振周波数ｆの電流が流されると、マ
グネット３２にこの共振周波数ｆで変動する所定振幅の
外力が加えられるため、ロータ１８がその外力に応じて
同じ周波数で回動する。　この外力の周波数はミラー１
６およびロータ１８を含む可動部と板バネ２０〜２６か
らなる共振駆動系の共振周波数ｆであるので、この共振
駆動系は自助共振し、ロータ１８を上記の大きい振幅θ
ｆ、例えば付加される外力の約３００倍の振幅で回動さ
せ、このロータ１８に固定された反射ミラー１６を前記
振幅θｆおよび前記共振周波数ｆで揺動させる。　　こ
のように、レゾナントスキャナ１０は、スキャナ本体１
２の共振駆動系の共振を利用するものであるので、小さ
な外力で反射ミラー１６の大きな揺動振幅θｆを得るこ
とができるものである。　また、反射ミラー１６は４枚
の板バネ２０〜２６に支持されるロータ１８に固定され
るために、共振型光偏向器１０は補正を要するほどの面
倒れが生じることがない高精度の光偏向器である。
ところで、マグネット３２の回動による磁束密度の変化
で生じるピックアップコイル３８の誕導起電力を検出す
ることにより、ミラー１６の振幅および共振周波数の信
号が検出される。
こうして後述するようにスキャナ本体１２においては、
反射ミラー１６の揺動振幅、すなわち振り角±θｆは、
ピックアップコイル３８によって検出され、制御回路１
４により常に所定の値となるように制御される。　　ま
た、ドライブコイル３６に流される電流は、ピックアッ
プコイル３８により検出された、共振周波数ｆを有する
電圧信号に基づき、制御回路１４により反射ミラー１６
の振り角が一定になるように、その振幅のみが調整され
た電流であるので、例え、温度変動等の使用環境の変化
で共振周波数が変動しても、前記共振駆動系を常に共振
周波数で共振させることができる。　すなわち、レゾナ
ントスキャナ１０は、−旦動き出せば、小さなエネルギ
を付加するだけで所定の共振周波数で自助共振で動くよ
うになる。
制御回路１４は、スキャナ本体１２の共振駆動系の共振
を制御し、本発明の制御手段を構成する共振制御回路４
０と、前記共振周波数以外の周波数を有する外部信号を
発生する外部信号発生装置４２と、反射ミラー１６の非
揺動時にピックアップコイル３８からの共振制御回路４
０内の内部信号から前記外部信号に切り換える信号切換
装置４４とを有する。
共振制御回路４０は、ピックアップコイル３８に接続さ
れる波形整形器４６と、波形整形器４６の出力側に接続
されるフィードバック信号アンプ４８と、アンプ４８の
出力側および信号切換装置の入力側に接続される位相補
償回路５０と、アンプ４８の出力側に接続されるピーク
電圧検出器５２と、基準電圧（レファレンス電圧）を発
生する基準電圧器５４と、ピーク電圧検出器５２のピー
ク電圧出力側および基準電圧器５４の出力側に接続され
る電圧演算器５６と、電圧演算器５６に接続されるコン
トローラ５８と、信号切換装置４４およびコントローラ
５８の出力側に接続される乗算器６０と、乗算器６０の
出力側およびドライブコイル３６に接続される出力アン
プ６２とを有する。
光走査中すなわちレゾナントスキャナ１０の反射ミラー
１６の揺動時（以下、自助共振モードという）では、共
振制御回路４０において、マグネット３２の回動に対応
してピックアップコイル３８によって検出された共振周
波数ｆを有するピックアップ出力電圧信号は、波形整形
器４６によりノイズや高周波成分などを除去して整形さ
れた後、フィードバック信号アンプ４８により増幅され
、一方は位相補償回路５０によって波形整形や増幅によ
る位相のずれなどが補償された後、内部信号として信号
切換装置４４に人力される。　ここで、信号切換装置４
４は自助共振モードであるので、この入力された共振周
波数ｆの電圧信号はそのまま乗算器６０に伝送される。
他方、アンプ４８で増幅されたピックアップ出力電圧信
号は、ピーク電圧検出器５２に入力され、そのピーク電
圧が検出される。　こ　のピーク電圧は−（マイナス）
として反射ミラー１６の振り角を所定の振り角に調整す
るための基準電圧器５４から発生された所定の振り角に
相当する基準電圧（レファレンス電圧）は＋（プラス）
として電圧演算器５６で加算され、その結果、すなわち
比較結果（差）の電圧値がコントローラ５８に入力され
る。　この電圧値は、コントローラ５０によって、反射
ミラー１６の振り角が常に一定になるようにＰＩＤ制御
されフィードバックすべき振幅補正量に相当する電圧値
とされて、乗算器６０に伝送される。
信号切換装置４４から入力され、共振周波数ｆを持つ電
圧信号と、コントローラ５８から入力される振幅補正電
圧値とは乗算器６０で掛は合わせられ、反射ミラー１６
の所定振り角に相当する適正な振幅θｆおよび共振周波
数ｆを有する電圧信号とされた後、出力アンプ６２によ
り電流増幅され適正な出力電流信号、すなわち適正な振
幅および共振周波数のドライブ電流信号とされ、ドライ
ブコイル３６に入力される。
こうして、自助共振モードではレゾナントスキャナ１０
は、所定振り角および周波数で反射ミラー１６を揺動さ
せることができる。
一方、非走査中、すなわち、レゾナントスキャナ１０の
反射ミラー１６を揺動させない時（以下、外部信号モー
ドという）では、信号切換装置４４は、乗算器６０へ伝
送する信号を前述の自励共振モードにおける位相補償回
路５０からの内部信号から、外部信号発生装置４２から
の外部信号に切り換える。
ここで、外部信号発生装置４２は、共振周波数ｆ以外の
周波数すなわち、スキャナ本体１２のロータ１８などの
可動部を駆動させることがなく、反射ミラー１６を揺動
させない周波数の信号を発生させるものであればどのよ
うなものでもよく、適当な周波数の発振器であればよい
。　外部信号の周波数は、非共振周波数であれば特に制
限はないが、共振周波数ｆの２〜３倍の高周波数とする
ことができる。　また、外部信号の波形は、どのような
波形でもよく、正弦波、矩形波、三角波およびのこぎり
波など任意の波形を有するものであればよい。
ところで、自助共振モードと外部信号モードとのモード
切換を行う信号切換装置４４のタイミング制御は、図示
しない検出装置により、適用される光ビーム走査装置の
走査光を検出することにより行ってもよいが、この光ビ
ーム走査装置の制御装置、例えば画像処理装置６４など
からのタイミング制御信号により行うように構成しても
よい。
外部信号モードでは、スキャナ本体１２は駆動されない
ので、ピックアップコイル３８には誘導起電力は生じな
いので、ピーク電圧値はほぼＯとなると考えられるので
、基準電圧器５４による基準電圧値がコントローラ５８
を通して、また、外部信号発生装置４２において発生さ
れた非共振周波数の電圧信号が信号切換装置４４を通し
て、乗算器６０に伝送され、乗算器６０で掛は合わせら
れ、所定振幅の非共振周波数信号とされた後、出力アン
プ６２で、自助共振モードにおけるドライブ電流とほぼ
同程度の電力となるドライブ電流とされた後、ドライブ
コイル３６に加えられる。　ここで、外部信号モードで
も自動共振モードでもほぼ同じ電力の電流が加えられる
ので、両モードにおけるドライブコイル３６からの発熱
量およびスキャナ全体の温度分布はほぼ同一となる。　
従って、モード切換によってコイル部３４に生じる温度
変動は小さい。
第３図に、本発明の第１の態様のレゾナントスキャナ１
０の偏向器状態（ａ）、コイル部３４の温度Ｔ（ｂ）、
反射ミラー１６の偏向周波数（Ｃ）、ドライブコイル３
６の偏向器駆動周波数（ｄ）およびドライブコイル３６
の偏向器駆動電流（ｅ）の時間（１）に対するグラフを
示す。
本発明の第２の態様のレゾナントスキャナ１０は、光ビ
ーム走査装置の光走査を開始する前に、第３図偏向器駆
動周波数（ｄ）に示すように、外部信号モードで外部信
号発生装置４２により発生された非共振周波数である５
ｏ。
Ｈｚの外部信号によるドライブ（駆動）電流がドライブ
コイル３６に加えられることにより駆動されるが、共振
しないので、スキャナ本体１２は動き出さず第３図（ａ
）の偏向器の状態すなわち反射ミラー１６は揺動せず停
止（ＯＦＦ）の状態であるが、第３図（ｂ）のコイル部
３４の温度（Ｔ）は始め上昇し、はぼ−定値または所定
温度範囲内に安定する。
温度安定後、信号切換装置４４により外部信号モードか
ら自励共振モードに切り換えられ、光走査が開始される
が、この光走査時Ａでは、スキャナ１０は共振周波数２
００Ｈｚで駆動され、偏向器状態第３図（ａ）は駆動（
ＯＮ）の状態になり、反射ミラー１６は揺動する。　こ
の時、ドライブコイル３６に加えられる偏向器駆動電流
ｍｅ）の最大振幅（ｐｅａｋ　　ｔ。
ｐｅａｋ）は同じであるので、コイル部３４における発
熱もほぼ同じである。　従って、第３図（ｂ）のコイル
部３４の温度（Ｔ）もほぼ−定値または所定温度範囲内
で変化するので、反射ミラー１６の偏向周波数第３図（
ｃ）もほぼ２００Ｈｚの一定値を保つ。
光走査すなわち、露光または読取が終了すると、信号切
換装置４４は、自励共振モードから外部共振モードに切
り換えて、非走査時Ｂとなる。　非走査時Ｂでは、偏向
器状態第３図（ａ）は停止（ＯＦＦ）となり、反射ミラ
ー１６は揺動しないが、ドライブコイル３６には、第３
図（ｄ）と（ｅ）に示すように同じ最大振幅を持ち、非
共振周波数の５αＯＨｚ交流が流れるので第３図（ｂ）
のようにコイル部３４の温度Ｔはあまり変動せず、はぼ
一定値を保つ。
このように、非走査時Ｂにおいても周波数が非共振周波
数であり、振幅が同じである電流を光走査時Ａと同様に
、スキャナ１０を駆動するためのドライブコイル３６に
流しておくので、非走査時Ｂから光走査時Ａにモードが
変わっても、コイル部３４の温度変動が極めて小さいの
で、モード切換の際の共振周波数の変動が極めて小さい
。
従って、レゾナントスキャナ１０の使用中の温度の変動
を極めて小さくすることができ、スキャナ！Ｏの光走査
中の共振周波数の変動を極めて小さくすることができる
ので、光走査、例えば、露光または読取時における副走
査方向の出力寸法（露光長または読取長）の変動を極め
て小さくすることができる。　従って、本発明のレゾナ
ントスキャナ１０を用いる光ビーム走査装置は高精度の
光走査が可能である。
以下に、本発明の第３の態様に係る共振型光偏向器を第
４図に示すレゾナントスキャナ７０を好適実施例として
詳細に説明する。
第４図に示すレゾナントスキャナ７０は、本発明の加熱
装置を構成するセラミックヒータ７２およびヒータ駆動
電源７４さらにそのタイミングを制御するタイミング制
御回路７６を除き第１図および第２図に示すレゾナント
スキャナ１０と同様の構成を有するものであり、同じ構
成要素には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する
。
セラミックヒータ７２は、スキャナ本体１２のコイル部
３４を加熱するものであるが、第３図（ａ）に示すよう
なスキャナ７０の非走査時Ｂに光走査時Ａにコイル部３
４に発生する熱量と同じ熱量をコイル部３４に付与し、
光走査時Ａと非走査時Ｂとのスキャナ７０の駆動状態の
変化の際のスキャナフ０、特に、第３図（ｂ）に示すよ
うにコイル部３４の温度変化が極めて小さくほぼ所定の
温度範囲内に納まるようにすることができるものであれ
ばよい。
ヒータ駆動電源７４は、セラミックヒータ７２に必要な
発熱量、すなわち光走査時Ａにおいてコイル部３４に発
生する熱量に相当する熱量を発生させるのに必要な電流
を流すためのものである。
タイミング制御回路７６は、光ビーム走査装置の制御回
路、例えば画像処理装置６４からの１枚、１頁あるいは
複数行からなる１走査単位の光走査タイミング情報を受
けて、走査時には、セラミックヒータフ２の電源７４を
停止（ＯＦＦ）し、共振ＩＩＪ　１回路フ８からドライ
ブコイル３６への駆動電流を流すのに対し、非走査時に
は、共振制御回路７８からドライブコイル３６への駆動
電流が流れないので、セラミックヒータ７２の電源７４
を駆動（ＯＮ）するもので、少なくともセラミックヒー
タ７２のオン−オフ（ＯＮ−ＯＦＦ）制御することがで
きるものであればよい。
なお、スキャナ本体１２の構成は第１図および第２図に
示すものと全く同一であり、共振制御回路７８の構成は
、位相補償回路５ｏと乗算器６０が直接接続されている
こと以外は第１図および第２図に示す共振制御回路４ｏ
と全く同一であり、その説明は省略する。
前述したように一般的に、レゾナントスキャナは、その
共振周波数に温度依存性を有するものであり、その共振
周波数の温度変化すなわち共振周波数変化率は、 （Δｆ／ｆ）／ΔＴ−−２Ｘ　１０”４／を程度である
。
このような周波数の変動を生じる温度変化にの原因とし
ては、光走査時にドライブコイル３６から発生する熱が
マグネット３２、固定部材３０、ロータ１８あるいはハ
ウジング２８などを介して板バネ２０〜２６に伝達され
るので、特に光走査時と非走査時とにおけるスキャナ本
体１２の温度が変化してしまい、板バネ２０〜２６の温
度が変化することが挙げられる。　このような温度変化
による共振周波数の変動の原因としては、温度変化によ
る板バネのバネ特性の変化や、マグネット３２の磁束の
変化、さらにそれらによるロータ１８（ミラー１６）振
幅の変化が主たる原因として挙げられる。
従って、本発明の第３の態様における加熱装置としては
、第４図に示すセラミックヒータ７２に限定されず、ス
キャナ７０の駆動時（光走査時）におけるスキャナ７０
の各部の温度状態をスキャナ７０の非駆動時（非走査時
）にも保持することができるものであればどのようなも
のでもよいが、発熱量制御およびオン−オフ制御が容易
な発熱体が好ましい。　また、トランジスタを発熱体と
して用いてもよい。　従って、セラミックヒータ７２な
どの発熱体の配置場所も図示例のコイル部３４に限定さ
れるものではなく、ハウジング２８やスキャナ本体１２
内部の板バネ２０〜２６の近辺等、スキャナ本体１２の
温度、特に板バネ２０〜２６の温度とコイル部３４の温
度をほぼ一定に維持可能な各種の場所が適用可能である
。
レゾナントスキャナ７０は、以上のような構成を有し、
非走査時Ｂにおいても、コイル部３４をセラミックヒー
タフ２により加熱して光走査時Ａと同様な一定温度に保
持することにより、光走査時Ａと非走査時Ｂどのスキャ
ナの駆動状態の切換を行っても、常に光走査時Ａにおけ
るミラー１６の共振周波数を一定のものとすることがで
きる。
以上、本発明の第２および第３のいずれの態様において
も、用いられるレゾナントスキャナのスキャナ本体およ
び共振制御回路は上述の実施例に限定されるわけではな
く、様々なバネおよびミラーを含む可動部からなる共振
駆動系を有するものであってよい。
従って、本発明のレゾナントスキャナを適用することに
より、副走査方向の画像サイズの狂いの少ない画像記録
ができる画像記録装置や、画像読取装置を実現すること
が可能である。
第５図に、前述のレゾナントスキャナ１０を画像記録装
置に適用した一例を示す。
第５図に示す画像記録装置８０は、前記本発明の第１の
態様のレゾナントスキャナ１０を光偏向器として適用し
、ラスタースキャンを適用する文字・線画像記録装置で
あって、基本的に、記録用レーザービーム８２ａ（以下
、記録ビーム８２ａとする）を射出する記録ユニット４
２と、格子用レーザービーム８４ａ（以下、格子ビーム
８４ａとする）を射出する格子ユニット８４と、ｆθレ
ンズ８６と、記録材料Ｓを所定の位置に保持するための
露光ドラム８８と、露光ドラム８８と共に記録材料Ｓを
挟持搬送するニップローラ９０および９２と、格子ビー
ム８４ａを所定の方向に反射する長尺ミラー９４と、画
像同期信号発生手段である格子９６および集光バー９８
とから構成されるものである。
このような画像記録装置８０においては、各光ビームユ
ニットより射出された記録ビーム８２ａおよび格子ビー
ム８４ａは、レゾナントスキャナ１０によって矢印Ｃで
示される主走査方向に反射・偏向され、次いでｆθレン
ズ８６によって記録材料Ｓ上において所定のビームスポ
ットとなるように調整され、記録ビーム８２ａは、露光
ドラム８８とニップローラ９０および９２とによフて矢
印ｄで示される副走査方向に挟持搬送される記録材料Ｓ
上に結像し、これを２次元的に走査露光して画像を記録
し、方、格子ビーム８４ａは長尺ミラー９４に反射され
て格子９６を走査し、記録ビーム８２ａの位置検出信号
、つまり画像同期信号とされる。
記録ユニット８２は、記録ビーム８２ａを射出するもの
で、記録用光ビームを射出する半導体レーザーと、この
半導体レーザーから射出されたレーザービームを整形す
るコリメータレンズとが一体的にユニット化されて構成
されるものである。
一方、格子ユニット８４は格子ビーム８４ａを射出する
もので、基本的に前述の記録ユニット８２と同様の構成
を有し、格子走査用光ビーム光源としての半導体レーザ
ーと、この半導体レーザーから射出されたレーザービー
ムを整形するコリメータレンズとが一体的にユニット化
されて構成される。
それぞれの光ビームユニットより射出された記録ビーム
８２ａおよび格子ビーム８４ａは、次いで１本発明のレ
ゾナントスキャナ１０によフて矢印Ｃで示される主走査
方向に反射・偏向される。
レゾナントスキャナ１０によって反射・偏向された各光
ビームは、次いでｆθレンズ８６に入射し、所定の位置
に所定のビームスポット形状で結像するように調整され
る。
ｆθレンズ８６を通過した格子ビーム８４ａは長尺ミラ
ー９４によって上方に反射され、格子９６を走査する。
格子９６を通過した格子ビーム８４ａは、集光バー９８
によって集光され、その光量がフォトマルチプライヤ−
等の光検出器１００によって測光され、電気信号に変換
される。
格子９６に入射した格子ビーム８４ａは、記録材料Ｓを
走査する記録ビーム８２ａと全く同様にレゾナントスキ
ャナ１０によって矢印Ｃで示される主走査方向に反射・
偏向されたものである。　従って、格子ビーム８４ａに
よる格子９６の走査に応じた周期的な光量変化より得ら
れた電気信号より、記録ビーム８２ａの正確な位置を検
出するための同期信号を得ることができ、この同期信号
より記録材料Ａ上における記録ビーム８２ａの主走査を
より高精度のものとすることができる。
一方、ｆθレンズ８６を通過した記録ビーム８２ａは、
露光ドラム８８とニップローラ９０および９２とによっ
て所定の画像記録位置に保持されつつ、矢印ｄで示され
る副走査方向に挟持搬送される記録材料Ｓ上に結像して
、記録材料Ｓを２次元的に走査露光して画像を記録する
。
このような画像記録装置８０はご本発明のレゾナントス
キャナ１０を適用するものであるので、光走査時と非走
査時におけるレゾナントスキャナの駆動と停止に伴う温
度変化によって記録材料Ｓの主走査の周波数が変更する
ことがなく、副走査方向の画像サイズの正確な画像記録
を行なうことができる。　従って、画像サイズに高い精
度を要求される印刷製版用、特にカラー印刷製版用の画
像記録装置に好適に適用される。
ところで、本発明の共振型光偏向器を用いる光ビーム走
査装置において、光走査開始毎に共振周波数を周波数検
出器により測定し、使用環境温度などの変動によって、
共振周波数ｆがΔｆ変動したとするとき、副走査速度、
例えば感光材料、記録材料などの被走査体の副走査搬送
速度Ｖ　を、Δ１を走査線間隔とする時、Ｖ′冨Δｌ・
（ｆ＋Δｆ） に設定するように、副走査搬送用モータ、例えばサーボ
モータを制御する副走査速度制御装置を併用することに
より、副走査方向寸法精度をさらに高精度のものとする
ことができる。
このように、室温、使用環境温度の変化を補償する共振
周波数１点補正力式の副走査速度制御装置に関しては、
本出願人の出願に係る特願昭６２−２２０２５７号明細
書に開示された「被走査体の搬送速度制御装置」を用い
ることができる。
以上、本発明に係る共振型光偏向器、すなわちレゾナン
トスキャナについて添付の図面に示される好適実施例を
基に詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において、各
種の変更および改良が可能であるのはもちろんのことで
ある。
〈発明の効果〉 以上詳述したように、本発明の第１の態様に示す共振周
波数安定化方法によれば、非走査時においても、共振型
光偏向器の共振駆動系に熱量を加えることにより、すな
わち、これを具法的に実施する本発明の第２の態様の共
振型光偏向器によれば、非走査時においても、非共振周
波数の信号による駆動電流を共振駆動系に流すことによ
り、また、本発明の第３の態様の共振型光偏向器によれ
ば、非走査時において、共振駆動系に加熱装置により、
光走査時におけると前記共振駆動系の発熱量とほぼ同じ
熱量を与えることにより、光走査時と非走査時との切換
による前記共振駆動系の温度変動を小さなものとし、共
振周波数の変動を抑え、光走査時において常に一定の共
振周波数を得ることを可能としたものである。
従って、本発明の共振型光偏向器を適用することにより
、特に副走査方向の画像サイズの正確な画像記録装置や
、画像読取装置が実現可能で、印刷製版分野のように画
像サイズに高い精度を要求される分野には好適に適用可
能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に係る共振型光偏向器の制御回路を含
む一実施例の概略斜視図である。 第２図は、第１図に示す共振型光偏向器のコイル部およ
び制御回路を概念的に示す図である。 第３図は、第１図に示す共振型光偏向器のタイムチャー
トの一実施例である。 第４図は、本発明に係る共振型光偏向器の制御回路を含
む別の実施例の概略斜視図である。 第５図は、第１図に示す共振型光偏向器を通用する画像
記録装置の概略斜視図である。 第６図は、従来の共振型光偏向器のタイムチャートであ
る。 符号の説明 １０．７０・・・レゾナントスキャナ、１２・・・スキ
ャナ本体、 １４・・・制御回路、 １６・・・ミラー １８・・・ロータ、 ２０．２２，２４．２６・・・板バネ、２８・・・ハウ
ジング、 ３０・・・固定部材、 ３２・・・マグネット、 ３４・・・コイル部、 ３６・・・ドライブコイル、 ３８・・・ピックアップコイル、 ４０．７８・・・共振制御回路、 ４２・・・外部信号発生装置、 ４４・・・信号切換装置、 ４６・・・波形整形器、 ４８・・・フィードバック信号アンプ、５０・・・位相
補償回路、 ５２・・・ピーク電圧検出器、 ５４・・・基準電圧器、 ５８・・・コントローラ、 ６０・・・乗算器、 ６２・・・出力アンプ、 ６４・・・画像処理装置、 ７２・・・セラミックヒータ、 ７４・・・ヒータ駆動電源、 ７６・・・タイミング制御回路、 Ｓ・・・記録材料

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）反射ミラーを固有の共振周波数で揺動させること
    により、入射光を反射して一次元方向に偏向して光走査
    を行う共振型光偏向器を用いる際に、 非走査時に熱量を与えて、前記共振型光偏向器の温度変
    動を所定範囲内に抑え、前記揺動の共振周波数を安定化
    することを特徴とする共振型光偏向器の共振周波数安定
    化方法。
  2. （２）入射光を反射して１次元方向に偏向して光走査を
    行う揺動反射ミラーと、該反射ミラーを固有の共振周波
    数で揺動させる共振駆動系と、該共振駆動系を制御する
    制御手段と、前記共振周波数以外の周波数の信号を発生
    する信号発生装置と、前記反射ミラーの非走査時に前記
    共振駆動系に流す信号を前記信号に切り換える信号切換
    装置とを有することを特徴とする共振型光偏向器。
  3. （３）入射光を反射して１次元方向に偏向して光走査を
    行う揺動反射ミラーと、該反射ミラーを固有の共振周波
    数で揺動させる共振駆動系と、該共振駆動系を制御する
    制御手段と、前記反射ミラーの非走査時に前記共振駆動
    系を加熱する加熱装置とを有することを特徴とする共振
    型光偏向器。
JP1294726A 1989-11-13 1989-11-13 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器 Expired - Fee Related JP2711158B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294726A JP2711158B2 (ja) 1989-11-13 1989-11-13 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器
US07/611,621 US5247384A (en) 1989-11-13 1990-11-09 Method of stabilizing resonant frequency and resonant scanner using the same
DE69028597T DE69028597T2 (de) 1989-11-13 1990-11-12 Resonanzabtaster
EP90121623A EP0428100B1 (en) 1989-11-13 1990-11-12 Resonant scanner

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294726A JP2711158B2 (ja) 1989-11-13 1989-11-13 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03154019A true JPH03154019A (ja) 1991-07-02
JP2711158B2 JP2711158B2 (ja) 1998-02-10

Family

ID=17811520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1294726A Expired - Fee Related JP2711158B2 (ja) 1989-11-13 1989-11-13 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5247384A (ja)
EP (1) EP0428100B1 (ja)
JP (1) JP2711158B2 (ja)
DE (1) DE69028597T2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003029193A (ja) * 2001-07-13 2003-01-29 Olympus Optical Co Ltd 光スキャナ駆動回路
WO2006001235A1 (en) * 2004-06-29 2006-01-05 Canon Kabushiki Kaisha Method for controlling image-forming apparatus
JP2008228524A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Hitachi Via Mechanics Ltd 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置
JP2009025795A (ja) * 2007-06-21 2009-02-05 Canon Inc 光偏向器
US7619798B2 (en) 2005-12-27 2009-11-17 Konica Minolta Holdings, Inc. Optical deflector and light beam scanning apparatus having a control mechanism utilizing electromechanical transducers for adjusting resonant frequency for stable scanning
US8345339B2 (en) 2007-06-21 2013-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical deflector

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5581067A (en) * 1990-05-08 1996-12-03 Symbol Technologies, Inc. Compact bar code scanning module with shock protection
US5900961A (en) * 1992-03-13 1999-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Scanning optical device
WO1996013892A1 (en) * 1994-10-31 1996-05-09 Psc Inc. System for driving and controlling the motion of an oscillatory electromechanical system especially suitable for use in an optical scanner
WO1996037797A1 (en) * 1995-05-26 1996-11-28 General Scanning, Inc. Wide field of view microscope and scanning system useful in the microscope
US5521740A (en) * 1995-07-11 1996-05-28 General Scanning, Inc. Resonant optical scanner
US5909302A (en) * 1996-08-02 1999-06-01 Guissin; Rami Staring scanner
US7098871B1 (en) * 1998-08-05 2006-08-29 Microvision, Inc. Optical scanning system with correction
US6384406B1 (en) 1999-08-05 2002-05-07 Microvision, Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
US6661393B2 (en) 1999-08-05 2003-12-09 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6795221B1 (en) 1999-08-05 2004-09-21 Microvision, Inc. Scanned display with switched feeds and distortion correction
US6362912B1 (en) 1999-08-05 2002-03-26 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6654158B2 (en) 2001-04-20 2003-11-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms
US6433907B1 (en) * 1999-08-05 2002-08-13 Microvision, Inc. Scanned display with plurality of scanning assemblies
US6515781B2 (en) * 1999-08-05 2003-02-04 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6245590B1 (en) 1999-08-05 2001-06-12 Microvision Inc. Frequency tunable resonant scanner and method of making
US6882462B2 (en) * 2002-11-01 2005-04-19 Microvision, Inc. Resonant scanner with asymmetric mass distribution
US6445362B1 (en) 1999-08-05 2002-09-03 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6653621B2 (en) * 2001-03-23 2003-11-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner and method of making
US7262765B2 (en) * 1999-08-05 2007-08-28 Microvision, Inc. Apparatuses and methods for utilizing non-ideal light sources
US6924476B2 (en) * 2002-11-25 2005-08-02 Microvision, Inc. Resonant beam scanner with raster pinch compensation
US6256131B1 (en) 1999-08-05 2001-07-03 Microvision Inc. Active tuning of a torsional resonant structure
US6285489B1 (en) 1999-08-05 2001-09-04 Microvision Inc. Frequency tunable resonant scanner with auxiliary arms
JP4590081B2 (ja) * 2000-09-26 2010-12-01 オリンパス株式会社 アクチュエータ駆動装置
US7023402B2 (en) * 2001-09-21 2006-04-04 Microvision, Inc. Scanned display with pinch, timing, and distortion correction
US6836349B2 (en) 2001-12-07 2004-12-28 Jds Uniphase Corporation Optical performance monitoring device
US20050050562A1 (en) * 2003-04-02 2005-03-03 Staar S.A. Information carrier loading device
CN100443947C (zh) * 2004-06-29 2008-12-17 佳能株式会社 控制图像形成装置的方法
US7436566B2 (en) * 2005-11-22 2008-10-14 Canon Kabushiki Kaisha Oscillating device, optical deflector and method of controlling the same
JP4986479B2 (ja) * 2006-03-03 2012-07-25 株式会社リコー 光走査装置および画像形成装置
US20080001850A1 (en) * 2006-06-06 2008-01-03 Mark Champion Beam scanner with reduced phase error
KR100766600B1 (ko) * 2006-07-18 2007-10-12 삼성전자주식회사 스캐너
CN100495103C (zh) * 2006-07-21 2009-06-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 取样反射镜驱动平台的锁紧机构
JP5089205B2 (ja) * 2007-03-19 2012-12-05 キヤノン株式会社 画像形成装置、及びその制御方法
JP5220120B2 (ja) * 2008-10-17 2013-06-26 パナソニック株式会社 走査型画像表示装置
WO2011091093A1 (en) * 2010-01-22 2011-07-28 Cambridge Technology, Inc. Low wobble wide scan angle taut-band resonant scanners with matched coefficients of thermal expansion and interchangeable mirrors
DE102010039762A1 (de) 2010-08-25 2012-03-01 Carl Zeiss Ag Anordnung zum Beeinflussen der Leistungsaufnahme eines optischen Scanners

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6440923A (en) * 1987-08-07 1989-02-13 Fuji Photo Film Co Ltd Optical unit

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6053855B2 (ja) * 1977-10-24 1985-11-27 キヤノン株式会社 ガルバノ・ミラ−・スキヤナ装置
US4370019A (en) * 1978-12-23 1983-01-25 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning device with temperature control means
US4502752A (en) * 1982-11-08 1985-03-05 General Scanning, Inc. Resonant actuator for optical scanning
DE3538898A1 (de) * 1985-11-02 1987-05-07 Zeiss Carl Fa Elektro-magnetisch angetriebener schwingspiegel
US4686363A (en) * 1986-01-21 1987-08-11 Printware, Inc. Self-resonant scanner biasing system
US4990808A (en) * 1987-02-17 1991-02-05 General Scanning, Inc. Symmetrical resonant scanner and drive
JP2584224B2 (ja) * 1987-03-30 1997-02-26 富士写真フイルム株式会社 光ビ−ム記録装置
US4874215A (en) * 1987-04-23 1989-10-17 General Scanning, Inc. Tunable resonant mechanical system
JPS63311321A (ja) * 1987-06-15 1988-12-20 Sharp Corp 走査型光プリンタ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6440923A (en) * 1987-08-07 1989-02-13 Fuji Photo Film Co Ltd Optical unit

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003029193A (ja) * 2001-07-13 2003-01-29 Olympus Optical Co Ltd 光スキャナ駆動回路
JP4562960B2 (ja) * 2001-07-13 2010-10-13 オリンパス株式会社 光スキャナ駆動回路
WO2006001235A1 (en) * 2004-06-29 2006-01-05 Canon Kabushiki Kaisha Method for controlling image-forming apparatus
JP2006047977A (ja) * 2004-06-29 2006-02-16 Canon Inc 揺動体を有する光偏向装置の調整方法
US7843618B2 (en) 2004-06-29 2010-11-30 Canon Kabushiki Kaisha Method for controlling image-forming apparatus
US7619798B2 (en) 2005-12-27 2009-11-17 Konica Minolta Holdings, Inc. Optical deflector and light beam scanning apparatus having a control mechanism utilizing electromechanical transducers for adjusting resonant frequency for stable scanning
JP2008228524A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Hitachi Via Mechanics Ltd 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置
JP2009025795A (ja) * 2007-06-21 2009-02-05 Canon Inc 光偏向器
US8345339B2 (en) 2007-06-21 2013-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical deflector

Also Published As

Publication number Publication date
EP0428100A3 (en) 1992-12-23
DE69028597D1 (de) 1996-10-24
US5247384A (en) 1993-09-21
DE69028597T2 (de) 1997-01-30
EP0428100B1 (en) 1996-09-18
EP0428100A2 (en) 1991-05-22
JP2711158B2 (ja) 1998-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2711158B2 (ja) 共振周波数安定化方法および共振型光偏向器
US8400698B2 (en) Oscillator device, optical deflecting device and method of controlling the same
US4816920A (en) Planar surface scanning system
JP3543473B2 (ja) 光走査装置
JP3414416B2 (ja) ミラー振動型光偏向器の制御回路
US4856858A (en) Optical scanner
JPH05503819A (ja) 偏向ビームの位置エラーの補正装置
RU2339176C2 (ru) Устройство формирования изображения и способ управления для него
JP2009229517A (ja) アクチュエータ
US8159513B2 (en) Image forming apparatus and control method for same
JP2009058616A (ja) 揺動体装置、光偏向装置、及びそれを用いた画像形成装置
JP2005241482A (ja) 光偏向器、光偏向器における偏向手段の共振周波数を検出する検出装置及び方法
JP2011112975A (ja) 光走査装置
JP2009198839A (ja) 揺動体装置
JP3787877B2 (ja) 光走査装置
JP2015099270A (ja) 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置
JPH01302317A (ja) 画像形成装置
JPS63158579A (ja) レ−ザ−ビ−ム・プリンタ
JPH03134613A (ja) 共振型光偏向器
JPH0743631A (ja) 共振型光偏向器を用いた走査装置
JP2009265285A (ja) 揺動体装置
JP2761723B2 (ja) 走査光学装置
US7952779B2 (en) Stabilizing oscillation amplitude of torsion oscillator at predetermined frequency
JP6224432B2 (ja) 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置
JP2828695B2 (ja) 画像記録装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees