JPH05503819A - 偏向ビームの位置エラーの補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 偏向ビームの位置エラーの補正方法および装置本発明は、電子複製技術の分野に 関連しかつフライング・スポット・レーザスキャナにおいて少なくとも１つの鏡 面を有する偏向系によって、例えば多面回転鏡によって点状および線（走査線） 状に偏向される光ビームの位置エラーの補正方法および装置に関する。

フライング・スポット・レーザスキャナは、電子複製技術において、原画を点状 および線状に走査するための入力スキャナまたは情報を記録するための出力スキ ャナとして使用される。入力スキャナでは、ビームは偏向系を用いて原画上を点 状および線状に案内され、かつ原画を透過したまたは原画によって反射された走 査光は光電変換器において画像信号に変換される。出力スキャナ（記録器）では 、画像信号によって輝度変調された光ビームは偏向系を用いて点状および線状に 記録媒体上に案内される。その際原画または以下面と称する記録媒体は連続的に またはステップ毎に偏向された光ビームの線方向に対して垂直に運動する。

高い複製品質を得るために、原画走査および記録の際に光ビームの高い偏向精度 が維持されなければならない。とりわけ、線間の間隔が同じであること、および 面上の線始端および線終端が線方向に対して垂直に延在するライン上に正確に位 置していることが要求される。

偏向系の光学−幾何学的なエラーに基づいて、面上に偏向される光ビームの位置 エラーが生じ、これにより精度が損なわれる。

この種の光学−幾何学的なエラーの原因は例えば、偏向系の製造の際の公差およ び機械的な構造における欠陥である。

偏向系の回転軸に対して平行に配設されていない鏡面および回転軸の不安定な状 態により、線方向を横断する方向にある光ビームの位置エラー、ひいては面上で の等しくない線間の間隔が惹き起こされる。互いに突き合わされた鏡面間の異な った角度により、面上での線始端および線終端は等しくなくなる。鏡面が平坦で なければ別の位置エラーが生じる。偏向系の不均一な角速度によって、ひいては 線内の歪みにまって顕著になる位置エラーは、高い精度、即ち高い複製品質が要 求されるとき特に障害となる。

ヨーロッパ特許第００５４１７０号明細書から既に、フライング・スポット・レ ーザスキャナにおいて多面回転鏡の形の偏向系によって偏向される光ビームを補 正する装置が公知である。この公知の装置では、光ビームを発生するためのレー ザ発生器と偏向系との間に、偏向系によって惹き起こされる、光ビームの位置エ ラーを補償するための光ビームに対する補正用偏向子が配設されている。本来の 作動の前の測定フェーズにおいてビームの位置エラーが測定される。それから補 正用偏向子を制御するための補正値が発生されかつ位置エラーを連続的に検査し ながら補正値は、この位置エラーが補正用偏向子によって補償されるまで変化さ れる。位置エラーを補償するために必要な補正値は記憶されかつ偏向系の回転運 動と同期して本来の作動の期間に位置エラーを連続的に補償するために出力され る。

補正用偏向子は圧！駆動されるシーソー鏡または音響光学的な偏向子である。

この公知の装置には、そこでは位置エラーを補償するために付加的な補正用偏向 子が必要であること、および圧電駆動されるシーソー鋺または音響光学的な偏向 子が、最適な補正を実現できない固有エラーを有しているという欠点がある。圧 電駆動されるシーソー鏡は例えば、ヒステリスの伴うノンリニヤな特性を有して おりかつその比較的大きな質量のために制限された偏向速度しか実現できない。

更に、温度依存性および圧電セラミックの老化のため、装置の頻繁な調整が必要 になる。

音響光学的な偏向子では不都合にも、偏向角度によって光学的な効率が変化し、 かつ音響光学的な偏向子は小さな光ビーム直径しか許容しないので、使用領域が 制限される。更に、この種の音響光学的な偏向子の作動のために比較的繁雑な周 波数制御部が必要である。

従って本発明の課題は、付加的な補正用偏向子を使用しないことによって上述の 欠点が回避され、ひいては高い補正精度が実現されるようにした、少なくとも１ つの鏡面を有する偏向系によって面上を点状および線状に偏向される光ビームの 位置エラーを補正するための方法および装置を提供することである。

この課題は、請求項１に記載の特徴を有する方法および請求項１４に記載の特徴 を有する装置によって解決される。有利な実施例はその他の請求項に記載されて いる。

ドイツ連邦共和国特許出願公告第３４４５７５１号公報から、レーザダイオード によって光ビームを発生しかつ光ビームの位置偏差を測定しかつ検出された位置 偏差をレーザダイオードを、光ビームの光軸を横断する方向に移動することによ って調整する、所定の光軸に関して複数の光ビームを保持するための装置が公知 である。この装置は別の設定課題に基づいている。

即ちこの公知の装置を用いて、光ビームの位置が、一層高い出力の光ビームを得 るために光ビームが一点に集束されるように調整されるか、または複数の光ビー ムが位置的に、それらが同じ間隔を有するように調整される。しかしこの公知の 装置は、偏向系によって、殊に多面形回転鏡によって惹き起こされる、光ビーム の位置エラーを高精度で補償するのには適していない次に本発明を図面を用いて 詳細に説明する：第１図は、平床形装置としてのフライング・スポット・レーザ スキャナの基本構造を示す略図および所属の位置エラーを補正するための装置の ブロック回路図あり、第２図は、位置エラーを補正するための装置の別の実施例 を示すブロック回路図であり、 第３図は、位置エラーを補正するための装置の有利な実施例を示すブロック回路 図であり、 第４図は、別の有利な実施例を示すブロック回路図である。

第１図には、この実施例では平床形装置として形成されておりかつ出力スキャナ として動作するフライング・スポット・スキャナの基本構造が示されている。

レーザダイオード１、例えば日立社製の型名ＨＬ７８０１Ｅが光ビーム２を発生 する。レーザダイオードｌは、２つの互いに垂直に位置する方向４および５にお いて座標式にかつ射出光ビームに対しては垂直に移動されるスライダ３に配設さ れている。Ｘ−調整段６およびＹ−調整段７はそれぞれ、例えばＢｕｒｌｅｉｇ ｈ社製の型名ＰＺＬＯ３０の圧電駆動素子（ピエゾステーブル）、およびこの駆 動素子を電気的に制御するための高電圧発生器を含んでいる。駆動素子は圧電効 果を利用して電気的な制御に依存して長さの変化を行う。駆動素子は、駆動素子 の長さ変化が方向４および５におけるスライダの相応の移動に変化されるように 機械的にスライダ３に連結されており、その際移動の大きさは線８および９にお けるＸ−補正値およびＹ−補正値に依存している。

レーザダイオード１は線１０を介して、ドライバ段１１において発生されるドラ イバ電流によって給電される。記録のために必要な記録データはデジタルメモリ １２に格納されておりかつ情報記録のためにデジタルメモリ１２から呼び出され かっ線１３を介してドライバ段１１に供給される。ドライバ１１においてレーザ ダイオードｌに対するドライバ電流は供給された記録データに依存して調整され かつこれによりレーザダイオード１から射出する光ビーム２が輝度変調される輝 度変調された光ビーム２は、外部ビームを阻止するための孔絞り１４および光ビ ーム２を拡大するためのレンズ１５および１６を介して、ｎ個の鏡面１８を有す る回転する多面回転Ｒ（多角形ミラー）に入射する。ビーム２の光軸に対して垂 直に配向されている、多面回転ｆｉ１７の回転軸１９は、モータ２０によって矢 印２１の方向に一定の角速度で駆動される。平床形記録支持体２２に、例えばフ ィルムの形の記録媒体２３が配設されている。多面回転鏡１７の回転によって、 鏡面１８によって反射されかっｆ−０−補正用レンズ２４を通って記録媒体２３ 上に集束された光ビーム２′が連続的に線方向（記録方向；Ｘ方向）に記録媒体 ２３上を偏向される。同時に平床形記録支持体２２は、線方向に対して垂直に配 向された歩進または連続的な送り運動（Ｙ方向）を実施する。このようにして多 面回転鏡１７によって偏向された光ビーム２′は記録媒体２３において順次並ん だ線２５を露光する。多面回転＄１７は図示の実施例においてはｎ＝６個の鏡面 １８を有しているので、従って鏡の１回転のまたはに６本の線２５が記録される 。

平床形記録支持体２２の外部であって、光ビーム２′の偏向面内に配設されてい る光電パルス発生器２６は、光ビーム２′が入射する都度スタートパルス（ＴＳ ）を線２７に、従ってｎ＝６個の鏡面１８の場合鏡の回転当たりに６つのスター トパルス（ＴＳ）を発生する。多面回転ｊ！１７の回転軸１９に連結されている 別のパルス発生器２８は、鏡の１回転後にその都度終了パルス（ＴＥ）を線２９ に発生する。

冒頭で既に述べたように、多面回転鏡１７の回転軸１９に平行に配向されていな い鏡面１８および回転軸１９の不安定な姿勢により、記録媒体２３上に記録光ビ ーム２′の、線方向に対して垂直な方向に関する位置偏差が惹き起こされる。以 下簡単にＹ−位置エラーと称するこの位置偏差により結果的に線２５の間の間隔 が等しくなくなる。

互いに突き合わされた鏡面１８間の角度が相異なると、線毎に線始端および線終 端が異なってくる。鏡面１８に凹凸があると、光記録ビーム２′はそれが本来所 定の時間においてとるはずの、線方向における位置からずれてくる。即ち光ビー ムの角速度は不均一になる。以下Ｘ−位置エラーと称するこの偏差は結果的に線 ２５内に歪みをもたらす。

しかし申し分ない記録品質を得るためには、線２５は、線方向に対して垂直に延 在する仮想の線３０上で始まり、かつこの線に平行な線３１において終わり、か つ線間の間隔は一定であることが要求される。

Ｘ−位置エラーおよびＹ−位置エラーを測定するために、測定装置３２が設けら れている。

Ｘ−位置エラーを補償するための補正装置は、Ｘ−測定段３３と、Ｘ−補正値発 生器３４と、Ｘ−調整段６およびこれに機械的に連結されているスライダ３から なるＸ−補正素子とを有している。

Ｙ−位置エラーを補償するための補正装置は、Ｙ−測定段３５と、Ｙ−補正値発 生器３６と、Ｙ−調整段７およびこれに機械的に連結されているスライダ３から 成るＹ−補正素子とを有している。

凋定バーの形の測定装置３２は、平床形の記録支持体２２の有効幅内にある数の 測定ユニットを有している。これらユニットは基準ライン３７上に順次並べて配 設されておりかつＸ方向およびＹ方向における光ビームの偏差を検出する。図示 の実施例においては３つの測定ユニット３２ａ、３２ｂおよび３２ｃがそれぞれ の測定点Ａ、ＢおよびＣに設けられており、その際測定ユニット３２ａは線始端 の領域に設けられており、測定ユニット３２ｃは線終端の領域に設けられており かつ測定ユニット３２ｂはほぼ線中央に設けられている。測定装置３２は、平床 形記録支持体２２の定置の構成部分である。これに代わって測定装置３２は、位 置ニラ−を測定するために単に平床形記録支持体２２上に固定することができる かまたは平床形記録支持体２２ではなくて光ビーム路内に挿入することができる 位置エラーは記録の前に存在する測定フェーズにおいて検出される。この測定フ ェーズにおいて多面の回転鏡１７は回転しかつ平床形記録支持体２２は、測定ユ ニット３２ａ、３２ｂおよび３２ｃが第１図に示されているように、光ビーム２ ′の偏向面内に位置するところまで、Ｙ方向に移動される。Ｘ−位置エラーの検 出のために、光ビーム２′に対して、パルス発生器２６と測定ユニット３２ａと の間の走行時間差測定（△ｔ＋）　、　ｉｌｌ！定ユニツユニット３２ａユニッ ト３２ｂとの間の走行時間差測定（Δ℃ユ）並びに測定ユニット３２ｂと測定ユ ニット３２ｃとの間の走行時間差測定（Δｔｉ）が実施される。パルス発生器２ ６および測定ユニット３２ａ、３２ｂおよび３２ｃにおいて光ビーム２′の通過 した際に測定されたパルスがＸ−測定段３３に線２７および線３８を介して供給 されかつそこで差測定のために使用される。洞室された時間差（Δｉｌ＋　Δ仁 ２および△ｔ３）は、多面回転鏡１７のそれぞれの鏡面１８に対する測定値トリ プルＸ＊、。

ＸＩ、およびＸＩｏに変換される。

線方向に沿って個々の訓定点Ａ、ＢおよびＣにおいて測定ユニット３２ａ、３２ ｂおよび３２ｃによって測定されたＹ−位置エラーは、１ａ３９を介してＹ−測 定段３５に伝送されかつそこで多面回転鏡１７のそれぞれの境面１８に対する測 定値トリプルＹ　＊　ａ　Ａ、　Ｙ＊８およびＹ＊ｏに変換される。

測定フェーズに続く補正フェーズにおいて、Ｘ−補正値発生器３４およびＹ補正 値発生器３６は、必要な補正の方向において変化する補正値トリプルＸ　Ａ　、 　Ｘ　１１およびＸｃ並びにＹＡ、Ｙ、およびＹｃを発生する。これらは直列に 光ビーム２の光ビーム路にちょうど位置する、多面回転鏡１７の鏡面１８と一致 して線８および９を介してＸ−調整段６およびＸ−調整段７に供給される。調整 段６および７はスライダ３を、Ｘ−補正値発生器３４およびＹ−補正値発生器３ ６から送出された補正値に相応して方向４および５に移動させる。これにより偏 向された光ビーム２′はそのＸ−位置エラーを補正する目的でレーザダイオード １を矢印４の方向において線方向に移動することによって偏向されかつＹ−位置 エラーを補正する目的でレーザダイオード１を矢印５の方向において線方向に対 して垂直に移動することによって偏向される。

位置エラーの歩道的補正は、測定された偏差が補償されるまでの間続けられる。

その際得られた補正値は相応の補正値発生器３４および３６において記憶されか つ本来の記録フェーズの間、位置エラーの引き続く補正のために出力される。記 録フェーズにおいてスタートパルス（ＴＳ）は遅延段４２において、パルス発生 器２６と記録媒体２３上の所望の線始端との間のビーム２′の走行時間に相応す る時間だけ遅延される。

クロック発生器４３は、デジタルメモリ１２に対する読み出しクロックを発生す る。その都度遅延されたスタートパルス（ＴＳ）は読み出しクロックを新たに遅 延し、その結果その都度線の最初の画像情報は所望の線スタートにおいて正確に 読み出されかつ記録される測定装置３２．ｉｉＡ定段３３および３５および補正 値発生器３４および３６は、ヨーロッパ特許第００５４１７０号明細書により詳 細に開示されている。この明細書の第２図には、測定装置３２およびＹ−ｆｉ定 段３５に対する実施例、第４図にはＸ−７１１定段３３に対する実施例および第 ５図には、Ｘ−補正値発生器３４ないし同一に構成されたＹ−補正値発生器３６ に対する実施例が示されている。

補正精度を改善するための実施例においてＸ−補正値発生器３４およびＹ−補正 値発生器３６はそれぞれ、その都度の補正値トリプルＸＡ、Ｘ、およびＸｏない しＹＡ、Ｙ＠およびＹｃから線形補間によって多面回転鏡１７のそれぞれの鏡面 １８に対する補間関数Ｘ＝ｆ（ｘ）ないしＹ＝ｆ　（ｘ）を形成する補間段を有 しており、その際（Ｘ）は、偏向された光ビーム２′が、鏡面内の進行距離であ る。このようにして偏向されたビーム２′のそれぞれの到着点に対して補正値が 決定されかつそれぞれの鏡面１８内部での連続的なエラー補正が実施され、これ により殊に凹凸のあるまたは面平行でない鏡面によって惹き起こされるエラーが 補償されかつ高い精度が実現される。

第１図に示された補正装置においてはＸ−位置エラーもＹ−位置エラーも補償さ れる。補正装置を、必要に応じてその都度Ｘ−位置エラーのみまたはＹ−位置エ ラーのみを補正するように変形することも本発明の範囲内にある。

第１図の実施例においてフライング・スポット・レーザスキャナは平床形装置と して形成されていた。しかしフライング・スポット・レーザスキャナは勿論、ド ラム形装置であってもよい。この場合多面回転ｊ！！１７はドラムに関して、偏 向された光ビーム２′が軸方向（線方向）においてドラムの表面上を案内される ように配設されている。その場合測定フェーズにおいて訓電装置３２は、基準ラ イン３７が軸方向に延在するようにドラムに対して位置調整される。

第２図には、第１図の補正装置の変形例が示されている。第１図との相異は、Ｘ −位置エラーの補正を、レーザダイオード１を有するスライダ３を矢印４の方向 に移動させることによって行うのではなく、記録データのデジタルメモリ１２か らの相応の出力制御によって行う点にある。従ってこの実施例ではＸ−調整段６ が省略されており、かつスライダ３は相応に筒単に構成されている。というのは スライダは矢印５の方向における移動のみを実施すればよいからである。

Ｘ−補正値発生器３４から出力されるＸ−補正値はここでは線８を介してクロッ ク発生器４３に達しかつデジタルメモリ１２に対する読み出しクロック列（ＴＬ ）の周波数を制御する。周波数制御は、データ出力の時間間隔が光ビーム２′の 検出されたＸ−位置エラーに依存して変化されかつこのようにＸ−位置エラーが 線の相応の圧縮または伸長によって補償されるように行われる。読み出しクロッ ク列（ＴＬ）の周波数変化に代わって、Ｘ−補正値によって制御される遅延素子 をデジタルメモリ１２とドライバ段１１との間に設けることもできる。

第３図には、補正精度を改善するための、第２図の補正装置の有利な実施例が示 されている。

Ｙ−調整段７における圧電駆動素子は非線形の特性を有しており、即ち電気的な 補正値とこの駆動素子によって実現される長さ変化ないしスライダ３の移動との 間の関係は非線形である。駆動素子のこの非線形特性は、位置エラーの補正の際 に補正フェーズにおいて自動的に補償される。しかしこの位置エラー補正を測定 フェーズにおいてめられた補正値に応じて新たにエラー訓電することなく行う動 作フェーズにおいて、駆動素子の非線形特性は温度の影響および老化に基づいて 変化する可能性がある。この場合スライダ３は、補正値によって予め決められた 目標位置に達せず、このために光ビーム２′の誤った補正偏向、ひいては誤った 位置補正が生じることになる。

これに基づいて第３図の補正装置では有利にも、スライダ３、ひいてはレーザダ イオード１の位置エラーを自動的に出力調整する調整ループが挿入されているこ のためにまず、レーザダイオードｌによって発生される、レーザダイオード１の 有効開口の外側のビームから測定ビーム４４を導出しかつレンズ４５を用いてそ れを位置検出器４６に集束することによって、レーザダイオード１の実際位置が 矢印５の方向において連続的に測定される。位置検出器４６は、レーザダイオー ド１の測定された実際位置に関する尺度である信号値を線４７を介して比較器４ ８に送出する。Ｙ−補正値発生器３６から読み出された、レーザダイオードｌの 目標位置に対する尺度である補正値は、線９を介して比較器４８に送出される。

従って比較器４８においてレーザダイオードｌの実際位置および目標位置の間の 位置偏差が検出され、かつそれは信号として線４１′　を介してＹ−調整段７を 制御するために送出される。位置検出器４６は例えば差動ホトダイオードとする ことができる。

この種の調整ループは勿論、第１図の補正装置において、Ｘ−補正値発生器３４ とＸ−調整段との間および／またはＹ−補正値発生器３６とＹ−調整段７との間 に挿入することもできる。

従ってこの調整ループによって圧電駆動素子の温度および長時間特性が補償され 、これにより有利にも位置エラー補正の精度が高められかつ補償調整過程の必要 な頻度が低減される。

第４図には、第１図ないし第３図の装置において使用することができる別の実施 例が示されている。

補正精度を高めるためにレーザダイオード１のケーシングの温度を調整すれば効 果的であることが実証されている。このためにレーザダイオード１のケーシング に熱的に結合されている温度センサ５０がスライダ３上に設けられている。温度 センサ５０は、測定された温度に依存した信号を線５１を介して温度調整段５２ に送出し、温度調整段は相応の制御電流を冷却素子５３（ペルチェ効果素子）に 通じる線に発生する。この定置の冷却素子５３は、フレキシブルな温度伝達橋絡 片５４を介して可動のスライダ３に熱結合されている。必要な温度変化に相応し て、制御電流は冷却素子５３を冷却または加熱し、その除熱は温度伝達橋絡片５ ４を介してスライダ３に伝導されるかまたはスライダから放出される。

要　約　書 本発明は、少なくとも１つの鏡面（１８）を有する偏向系（１７）によって面（ ２３）上を点状および線状に偏向される、偏向系（１７）に対して相対的に線方 向を横断する方向に移動する光ビーム（２）の位置エラーの補正方法および装置 に関する。光ビーム（２）は、補正値に依存して射出光ビーム（２）の方向を横 断する方向に移動可能であるレーザダイオード（１）を用いて発生される。本来 の作動の前に、偏向系（１７）のそれぞれの鏡面（１８）に対しである数の、ビ ーム（２）の、線方向における位置エラー（Ｘ−位置エラー）およびこれに対し て垂直な位置エラー（Ｙ−位置エラー）が面（２３）内で線方向に配向された測 定点（３２ａ；３２ｂ；３２ｃ）において測定される。

それぞれの鏡面（１８）に対して少なくとも１つのＸ−補正値およびＹ−補正値 が発生される。レーザダイオード（１）はＸ−補正値およびＹ−補正値に依存し て、面（２３）上に到達する光ビーム（２）がＸ−位１エラーおよびＹ−位置エ ラーを取り除くために線方向おおよび線方向に垂直な方向の補正移動が行われる ように移動される。補正値は、同時に位置エラーを検査しながら、位置エラーが 補償されるまでの間、変化される。このようにしてめられた補正値は、記憶され かつ本来の作動の期間に、偏向系（１７）の運動と同期して、連続的にエラー補 償するために出力される。

手続補正書（自発） 平成　４年　７月　３日

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. １．少なくとも１つの鏡面を有する偏向系によって面上を点状および線状に偏向 される、偏向系に対して相対的に線方向を横断する方向に移動する光ビームの位 置エラーの補正方法において、 ａ）前記光ビームを、射出光ビームの方向を横断する方向において補正値に依存 して移動可能であるレーザダイオードを用いて発生し、 ｂ）本来の作動の前に、前記偏向系のそれぞれの鏡面に対してある数の、線方向 における光ビームの位置エラー（Ｘ−位置エラー）およびそれに対して垂直であ る位置エラー（Ｙ−位置エラー）を線方向に配向されている、前記面の領域内の 測定点において測定し、 ｃ）前記偏向系のそれぞれの鏡面に対して少なくとも１つのＸ−補正値およびＹ −補正値を発生し、ｄ）レーザダイオードをＹ−補正値に依存して、面上に到達 する光ビームがＹ−位置エラーを取り除くために線方向に対して垂直である補正 移動が行われるように移動させ、 ｅ）前記補正値を、同時に位置エラーを検査しながら、位置エラーが補償されか つ該補償のために必要な補正値が記憶されるまでの間変化し、かつｆ）個々の鏡 面に対して求められかつ記憶された補正値を、本来の作動期間中、前記偏向系の 運動と同期して連続的にエラー補償するために出力することを特徴とする位置エ ラーの補正方法。
2. ２．レーザダイオードをＸ−補正値に依存して、面上に到達するビームがＸ−位 置エラーを取り除くために線方向に対して垂直である補正移動が行われるように 移動させる 請求項１記載の方法。
3. ３．ａ）光ビームを、面上に線毎に記録する目的で画像信号に依存して輝度変調 し、かつ ｂ）Ｘ−位置エラーを、Ｘ−補正値によって制御される、前記画像信号の走行時 間変化によって線毎に補正する 請求項１記載の方法。
4. ４．ａ）光ビームを、面上に線毎に記録する目的で、読み出しクロックを用いて 記憶媒体から読み出される画像データに依存して輝度変調し、かつｂ）Ｘ−位置 エラーを、Ｘ−補正値によって制御される、前記読み出しクロックの周波数変化 によって線毎に補正する 請求項１記載の方法。
5. ５．それぞれの鏡面に対して所属の補正値から補間によって補正関数を発生する 請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
6. ６．偏向系として多面回転鏡（多角形鏡）を使用する請求項１から５までのいず れか１項記載の方法。
7. ７．ａ）Ｙ−位置エラーを測定するためにその都度、線方向を横断する方向に配 置されている２つの光感応面を有する光電測定ユニットを使用しかつｂ）各面の ホト電流をまとめかつまとめれたホト電流の差形成によってＹ−位置エラーを求 める請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
8. ８．測定ユニットとして差動ホトダイオードを使用する 請求項７記載の方法。
9. ９．Ｘ−位置エラーを測定点間の光ビームの走行時間差測定によって検出する 請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
10. １０．レーザダイオードのケーシングの温度を一定の値に調整する 請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
11. １１．ビームをレーザダイオードによって輝度変調する請求項１から１０までの いずれか１項記載の方法。
12. １２．ａ）レーザダイオードの移動の際にレーザダイオードのそのときの実際位 置を検出し、 ｂ）該実際値を補正値によって予め決められた、レーザダイオードの目標位置と 比較しかつｃ）レーザダイオードの移動を比較の際に検出された位置偏差によっ て制御する 請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
13. １３．ａ）レーザダイオードによって発生される光ビームから、該レーザダイオ ードの有効開口の外側にある測定ビームを導出し、かつ ｂ）レーザダイオードの実際位置を位置検出器を用いた測定光ビームの位置の検 出によって検出する請求項１２記載の方法。
14. １４．少なくとも１つの鏡面を有する偏向系によって面上を点状および線状に偏 向される、偏同系に対して相対的に線方向を横断する方向に移動可能である光ビ ームの位置エラーの補正装置において、ａ）偏向すべきビームを発生するための レーザダイオード（１）と、 ｂ）該レーザダイオード（１）が配設されている移動可能なスライダ（３）と、 ｃ）前記面内に偏向された光ビームの偏差を測定するための、線方向に配向され た、多数の測定ユニット（３２ａ；３２ｂ；３２ｃ）を有する前記面内に配設さ れた測定装置（３２）と、 ｄ）光ビームの、線方向における位置エラー（Ｘ−位置エラー）およびこれに対 して垂直である位置エラー（Ｙ−位置エラー）を前記測定された偏差から求める ための、前記測定ユニット（３２ａ；３２ｂ；３２ｃ）に接続されているＸ−測 定段（３３）およびＹ−測定段（３５）と、 ｅ）Ｘ−補正値およびＹ−補正値を発生し、変更しかつ記憶するための、前記Ｘ −測定段（３３）、Ｙ−測定段（３５）および前記測定ユニット（３２ａ；３２ ｂ；３２ｃ）に接続されているＸ−補正値発生器（３４）およびＹ−補正値発生 器（３５）と、ｆ）前記スライダ（３）を、偏向されたビームが前記Ｙ−位置エ ラーを取り除くために線方向に対して垂直に補正移動されるように移動するため の、前記Ｙ−補正値発生器（３６）に接続されておりかつ前記スライダ（３）に 機械的に連結されている、前記Ｙ−補正値によって制御可能なＹ−調整段（７） と、ｇ）前記補正値発生器（３４；３６）からの補正値の出力と前記偏向系の移 動に同期するための手段（２６；２８）と を備えている ことを特徴とする位置エラーの補正装置。
15. １５．スライダ（３）を、偏向された光ビームがＸ−位置エラーを取り除くため に線方向に補正移動されるように移動するための、Ｘ−補正値発生器（３４）に 接続されておりかつ前記スライダ（３）に機械的に連結されている、Ｘ−補正値 によって制御可能なＸ−調整段（６）を備えている 請求項１４記載の装置。
16. １６．ａ）画像データを記憶するためのデジタルメモリ（１２）と、 ｂ）レーザダイオード（１）を前記画像データに依存して輝度変調するための、 前記デジタルメモリ（１２）および前記レーザダイオード（１）に接続されてい るドライバ段（１１）と、 ｃ）前記デジタルメモリ（１２）に対する読み出しクロックを発生するための、 前記デジタルメモリ（１２）およびＸ−補正値発生器（３４）に接続されている クロック発生器（４３）と を備え、前記読み出しクロックはＸ−位置エラーを取り除くために前記Ｘ−補正 値によって周波数が変化される 面上で線毎に記録するための、請求項１４記載の装置。
17. １７．Ｙ−偏差に対する測定ユニット（３２ａ；３２ｂ；３２ｃ）は差動ホトダ イオードである請求項１４から１６までのいずれか１項記載の装置。
18. １８．ａ）レーザダイオード（１）の有効開口の外側にある測定ビームを発生す るための、レーザダイオード（１）のビーム路内に配設されているレンズ（４５ ）と、 ｂ）レーザダイオード（１）の実際位置を検出するための、測定ビーム路内に存 在する位置検出器（４６）と、 ｃ）入力側が前記位置検出器（４６）および補正値発生器（３４；３６）の一方 に接続されておりかつ出力側が設定段（６；７）の一方に接続されている少なく とも１つの比較器（４８）と を備えている 請求項１４から１７までのいずれか１項記載の装置。