JPH0736601B2 - 偏向ビームの位置エラーの補正装置 - Google Patents

偏向ビームの位置エラーの補正装置

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JPH0736601B2
JPH0736601B2 JP3500931A JP50093191A JPH0736601B2 JP H0736601 B2 JPH0736601 B2 JP H0736601B2 JP 3500931 A JP3500931 A JP 3500931A JP 50093191 A JP50093191 A JP 50093191A JP H0736601 B2 JPH0736601 B2 JP H0736601B2
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ツェレンカ，トーマス
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ライノタイプ―ヘル アクチエンゲゼルシャフト
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    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
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    • G06K15/02—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using printers
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    • G06K15/1219—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position, e.g. synchronisation

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子複製技術の分野に関連しかつフライング
・スポット・レーザスキャナにおいて少なくとも１つの
鏡面を有する偏向系によって、例えば多面回転鏡によっ
て点状および線（走査線）状に偏向される光ビームの位
置エラーの補正装置に関する。
フライング・スポット・レーザスキャナは、電子複製技
術において、原画を点状および線状に走査するための入
力スキャナまたは情報を記録するための出力スキャナと
して使用される。入力スキャナでは、ビームは偏向系を
用いて原画上を点状および線状に案内され、かつ原画を
透過したまたは原画によって反射された走査光は光電変
換器において画像信号に変換される。出力スキャナ（記
録器）では、画像信号によって輝度変調された光ビーム
は偏向系を用いて点状および線状に記録媒体上に案内さ
れる。その際原画または以下面と称する記録媒体は連続
的にまたはステップ毎に偏向された光ビームの線方向に
対して垂直に運動する。
高い複製品質を得るために、原画走査および記録の際に
光ビームの高い偏向精度が維持されなければならない。
とりわけ、線間の間隔が同じであること、および面上の
線始端および線終端が線方向に対して垂直に延在するラ
イン上に正確に位置していることが要求される。
偏向系の光学−幾何学的なエラーに基づいて、面上に偏
向される光ビームの位置エラーが生じ、これにより精度
が損なわれる。
この種の光学−幾何学的なエラーの原因は例えば、偏向
系の製造の際の公差および機械的な構造における欠陥で
ある。
偏向系の回転軸に対して平行に配設されていない鏡面お
よび回転軸の不安定な状態により、線方向を横断する方
向にある光ビームの位置エラー、ひいては面上での等し
くない線間の間隔が惹き起こされる。互いに突き合わさ
れた鏡面間の異なった角度により、面上での線始端およ
び線終端は等しくなくなる。鏡面が平坦でなければ別の
位置エラーが生じる。偏向系の不均一な角速度によっ
て、ひいては線内の歪みによって顕著になる位置エラー
は、高い精度、即ち高い複製品質が要求されるとき特に
障害となる。
ヨーロッパ特許第0054170号明細書から既に、フライン
グ・スポット・レーザスキャナにおいて多面回転鏡の形
の偏向系によって偏向される光ビームを補正する装置が
公知である。この公知の装置では、光ビームを発生する
ためのレーザ発生器と偏向系との間に、偏向系によって
惹き起こされる、光ビームの位置エラーを補償するため
の光ビームに対する補正用偏向子が配設されている。本
来の作動の前の測定フェーズにおいてビームの位置エラ
ーが測定される。それから補正用偏向子を制御するため
の補正値が発生されかつ位置エラーを連続的に検査しな
がら補正値は、この位置エラーが補正用偏向子によって
補償されるまで変化される。位置エラーを補償するため
に必要な補正値は記憶されかつ偏向系の回転運動と同期
して本来の作動の期間に位置エラーを連続的に補償する
ために出力される。補正用偏向子は圧電駆動されるシー
ソー鏡または音響光学的な偏向子である。
この公知の装置には、そこでは位置エラーを補償するた
めに付加的な補正用偏向子が必要であること、および圧
電駆動されるシーソー鏡または音響光学的な偏向子が、
最適な補正を実現できない固有エラーを有しているとい
う欠点がある。圧電駆動されるシーソー鏡は例えば、ヒ
ステリスの伴うノンリニヤな特性を有しておりあつその
比較的大きな質量のために制限された偏向速度しか実現
できない。更に、温度依存性および圧電セラミックの老
化のため、装置の頻繁な調整が必要になる。
音響光学的な偏向子では不都合にも、偏向角度によって
光学的な効率が変化し、かつ音響光学的な偏向子は小さ
な光ビーム直径しか許容しないので、使用領域が制限さ
れる。更に、この種の音響光学的な偏向子の作動のため
に比較的繁雑な周波数制御部が必要である。
従って本発明の課題は、付加的な補正用偏向子を使用し
ないことによって上述の欠点が回避され、ひいては高い
補正精度が実現されるようにした、少なくとも１つの鏡
面を有する偏向系によって面上を点状および線状に偏向
される光ビームの位置エラーを補正するための装置を提
供することである。
この課題は、請求項１、請求項４および請求項５に記載
の特徴を有する装置によって解決される。請求項２およ
び３には請求項１の有利な実施例が記載されている。
ドイツ連邦共和国特許出願公告第3445751号公報から、
レーザダイオードによって光ビームを発生しかつ光ビー
ムの位置偏差を測定しかつ検出された位置偏差をレーザ
ダイオードを、光ビームの光軸を横断する方向に移動す
ることによって調整する、所定の光軸に関して複数の光
ビームを保持するための装置が公知である。この装置は
別の設定課題に基づいている。即ちこの公知の装置を用
いて、光ビームの位置が、一層高い出力の光ビームを得
るために光ビームが一点に集束されるように調整される
か、または複数の光ビームが位置的に、それらが同じ間
隔を有するように調整される。しかしこの公知の装置
は、偏向系によって、殊に多面形回転鏡によって惹き起
こされる、光ビームの位置エラーを高精度で補償するの
には適していない。
次に本発明を図面を用いて詳細に説明する： 第１図は、平床形装置としてのフライング・スポット・
レーザスキャナの基本構造を示す略図および所属の位置
エラーを補正するための装置のブロック回路図であり、
第２図は、位置エラーを補正するための装置の別の実施
例を示すブロック回路図であり、 第３図は、位置エラーを補正するための装置の有利な実
施例を示すブロック回路図であり、 第４図は、別の有利な実施例を示すブロック回路図であ
る。
第１図には、この実施例では平床形装置として形成され
ておりかつ出力スキャナとして動作するフライング・ス
ポット・スキャナの基本構造が示されている。
レーザダイオード１、例えば日立社製の型名HL7801Eが
光ビーム２を発生する。レーザダイオード１は、２つの
互いに垂直に位置する方向４および５において座標式に
かつ射出光ビームに対しては垂直に移動されるスライダ
３に配設されている。Ｘ−調整段６およびＹ−調整段７
はそれぞれ、例えはBurleigh社製の型名PZL030の圧電駆
動素子（ピエゾステープル）、およびこの駆動素子を電
気的に制御するための高電圧発生器を含んでいる。駆動
素子は圧電効果を利用して電気的な制御に依存して長さ
の変化を行う。駆動素子は、駆動素子の長さ変化が方向
４および５におけるスライダの相応の移動に変化される
ように機械的にスライダ３に連結されており、その際移
動の大きさは線８および９におけるＸ−補正値およびＹ
−補正値に依存している。
レーザダイオード１は線10を介して、ドライバ段11にお
いて発生されるドライバ電流によって給電される。記録
のために必要な記録データはデジタルメモリ12に格納さ
れておりかつ情報記録のためにデジタルメモリ12から呼
び出されかつ線13を介してドライバ段11に供給される。
ドライバ11においてレーザダイオード１に対するドライ
バ電流は供給された記録データに依存して調整されかつ
これによりレーザダイオード１から射出する光ビーム２
が輝度変調される。
輝度変調された光ビーム２は、外部ビームを阻止するた
めの孔絞り14および光ビーム２を拡大するためのレンズ
15および16を介して、ｎ個の鏡面18を有する回転する多
面回転鏡（多角形ミラー）に入射する。ビーム２の光軸
に対して垂直に配向されている、多面回転鏡17の回転軸
19は、モータ20によって矢印21の方向に一定の角速度で
駆動される。平床形記録支持体22に、例えばフィルムの
形の記録媒体23が配設されている。多面回転鏡17の回転
によって、鏡面18によって反射されかつｆ−０−補正用
レンズ24を通って記録媒体23上に集束された光ビーム
２′が連続的に線方向（記録方向;X方向）に記録媒体23
上を偏向される。同時に平床形記録支持体22は、線方向
に対して垂直に配向された歩進または連続的な送り運動
（Ｙ方向）を実施する。このようにして多面回転鏡17に
よって偏向された光ビーム２′は記録媒体23において順
次並んだ線25を露光する。多面回転鏡17は図示の実施例
においてはｎ＝６個の鏡面18を有しているので、従って
鏡の１回転の間に６本の線25が記録される。
平床形記録支持体22の外部であって、光ビーム２′の偏
向面内に配設されている光電パルス発生器26は、光ビー
ム２′が入射する都度スタートパルス（Ts）を線27に、
従ってｎ＝６個の鏡面18の場合鏡の回転当たりに６つの
スタートパルス（TS）を発生する。多面回転鏡17の回転
軸19に連結されている別のパルス発生器28は、鏡の１回
転後にその都度終了パルス（TE）を線29に発生する。
冒頭で既に述べたように、多面回転鏡17の回転軸19に平
行に配向されていない鏡面18および回転軸19の不安定な
姿勢により、記録媒体23上に記録光ビーム２′の、線方
向に対して垂直な方向に関する位置偏差が惹き起こされ
る。以下簡単にＹ−位置エラーと称するこの位置偏差に
より結果的に線25の間の間隔が等しくなくなる。
互いに突き合わされた鏡面18間の角度が相異なると、線
毎に線始端および線終端が異なってくる。鏡面18に凹凸
があると、光記録ビーム２′はそれが本来所定の時間に
おいてとるはずの、線方向における位置からずれてく
る。即ち光ビームの角速度は不均一になる。以下Ｘ−位
置エラーと称するこの偏差は結果的に線25内に歪みをも
たらす。
しかし申し分ない記録品質を得るためには、線25は、線
方向に対して垂直に延在する仮想の線30上で始まり、か
つこの線に平行な線31において終わり、かつ線間の間隔
は一定であることが要求される。
Ｘ−位置エラーおよびＹ−位置エラーを測定するため
に、測定装置32が設けられている。
Ｘ−位置エラーを補償するための補正装置は、Ｘ−測定
段33と、Ｘ−補正値発生器34と、Ｘ−調整段６およびこ
れに機械的に連結されているスライダ３からなるＸ−補
正素子とを有している。
Ｙ−位置エラーを補償するための補正装置は、Ｙ−測定
段35と、Ｙ−補正値発生器36と、Ｙ−調整段７およびこ
れに機械的に連結されているスライダ３から成るＹ−補
正素子とを有している。
測定バーの形の測定装置32は、平床形の記録支持体22の
有効幅内にある数の測定ユニットを有している。これら
ユニットは基準ライン37上に順次並べて配設されており
かつＸ方向およびＹ方向における光ビームの偏差を検出
する。図示の実施例においては３つの測定ユニット32a,
32bおよび32cがそれぞれの測定点A,BおびＣに設けられ
ており、その際測定ユニット32aは線始端の領域に設け
られており、測定ユニット32cは線終端の領域に設けら
れておりかつ測定ユニット32bはほぼ線中央に設けられ
ている。測定装置32は、平床形記録支持体22の定置の構
成部分である。これに代わって測定装置32は、位置エラ
ーを測定するために単に平床形記録支持体22上に固定す
ることができるかまたは平床形記録支持体22ではなくて
光ビーム路内に挿入することができる。
位置エラーは記録の前に存在する測定フェーズにおいて
検出される。この測定フェーズにおいて多面の回転鏡17
は回転しかつ平床形記録支持体22は、測定ユニット32a,
32bおよび32cが第１図に示されているように、光ビーム
２′の偏向面内に位置するところまで、Ｙ方向に移動さ
れる。Ｘ−位置エラーの検出のために、光ビーム２′に
対して、パルス発生器26と測定ユニット32aとの間の走
行時間差測定（Δt1），測定ユニット32aと測定ユニッ
ト32bとの間の走行時間差測定（Δt2）並びに測定ユニ
ット32bと測定ユニット32cとの間の走行時間差測定（Δ
t3）が実施される。パルス発生器26および測定ユニット
32a,32bおよび32cにおいて光ビーム２′の通過した際に
測定されたパルスがＸ−測定段33に線27および線38を介
して供給されかつそこで差測定のために使用される。測
定された時間差（Δt1，Δt2およびΔt3）は、多面回転
鏡17のそれぞれの鏡面18に対する測定値トリプルＸ＊A,
X＊BおよびＸ＊Cに変換される。
線方向に沿って個々の測定点A,BおよびＣにおいて測定
ユニット32a,32bおよび32cによって測定されたＹ−位置
エラーは、線39を介してＹ−測定段35に伝送されかつそ
こで多面回転境17のそれぞれの鏡面18に対する測定値ト
リプルＹ＊ａA,Y＊BおよびＹ＊Cに変換される。
測定フェーズに続く補正フェーズにおいて、Ｘ−補正値
発生器34およびＹ補正値発生器36は、必要な補正の方向
において変化する補正値トリプルXA,XBおよびXC並びにY
A,YBおよびYCを発生する。これらは直列に光ビーム２の
光ビーム路にちょうど位置する、多面回転鏡17の鏡面18
と一致して線８および９を介してＸ−調整段６およびＸ
−調整段７に供給される。調整段６および７はスライダ
３を、Ｘ−補正値発生器34およびＹ−補正値発生器36か
ら送出された補正値に相応して方向４および５に移動さ
せる。これにより偏向された光ビーム２′はそのＸ−位
置エラーを補正する目的でレーザダイオード１を矢印４
の方向において線方向に移動することによって偏向され
かつＹ−位置エラーを補正する目的でレーザダイオード
１を矢印５の方向において線方向に対して垂直に移動す
ることによって偏向される。
位置エラーの歩進的補正は、測定された偏差が補償され
るまでの間続けられる。その際得られた補正値は相応の
補正値発生器34および36において記憶されかつ本来の記
録フェーズの間、位置エラーの引き続く補正のために出
力される。記録フェーズにおいてスタートパルス（TS）
は遅延段42において、パルス発生器26と記録媒体23上の
所望の線始端との間のビーム２′の走行時間に相応する
時間だけ遅延される。クロック発生器43は、デジタルメ
モリ12に対する読み出しクロックを発生する。その都度
遅延されたスタートパルス（TS）は読み出しクロックを
新たに遅延し、その結果その都度線の最初の画像情報は
所望の線スタートにおいて正確に読み出されかつ記録さ
れる。
測定装置32,測定段33および35および補正値発生器34お
よび36は、ヨーロッパ特許第0054170号明細書により詳
細に開示されている。この明細書の第２図には、測定装
置32およびＹ−測定段35に対する実施例、第４図にはＸ
−測定段33に対する実施例および第５図には、Ｘ−補正
値発生器34ないし同一に構成されたＹ−補正値発生器36
に対する実施例が示されている。
補正精度を改善するための実施例においてＸ−補正値発
生器34およびＹ−補正値発生器36はそれぞれ、その都度
の補正値トリプルXA,XBおよびXCないしYA,YBおよびYCか
ら線形補間によって多面回転鏡17のそれぞれの鏡面18に
対する補間関数Ｘ＝ｆ（ｘ）ないしＹ＝ｆ（ｘ）を形成
する補間段を有しており、その際（ｘ）は、偏向された
光ビーム２′が、鏡面内で進行した距離である。このよ
うにして偏向されたビーム２′のそれぞれの到着点に対
して補正値が決定されかつそれぞれの鏡面18内部での連
続的なエラー補正が実施され、これにより殊に凹凸のあ
るまたは面平行でない鏡面によって惹き起こされるエラ
ーが補償されかつ高い精度が実現される。
第１図に示された補正装置においてはＸ−位置エラーも
Ｙ−位置エラーも補償される。補正装置を、必要に応じ
てその都度Ｘ−位置エラーのみまたはＹ−位置エラーの
みを補正するように変形することも本発明の範囲内にあ
る。
第１図の実施例においてフライング・スポット・レーザ
スキャナは平床形装置として形成されていた。しかしフ
ライング・スポット・レーザスキャナは勿論、ドラム形
装置であってもよい。この場合多面回転鏡17はドラムに
関して、偏向された光ビーム２′が軸方向（線方向）に
おいてドラムの表面上を案内されるように配設されてい
る。その場合測定フェーズにおいて測定装置32は、基準
ライン37が軸方向に延在するようにドラムに対して位置
調整される。
第２図には、第１図の補正装置の変形例が示されてい
る。第１図との相異は、Ｘ−位置エラーの補正を、レー
ザダイオード１を有するスライダ３を矢印４の方向に移
動させることによって行うのではなく、記録データのデ
ジタルメモリ12からの相応の出力制御によって行う点に
ある。従ってこの実施例ではＸ−調整段６が省略されて
おり、かつスライダ３は相応に簡単に構成されている。
というのはスライダは矢印５の方向における移動のみを
実施すればよいからである。
Ｘ−補正値発生器34から出力されるＸ−補正値はここで
は線８を介してクロック発生器43に達しかつデジタルメ
モリ12に対する読み出しクロック列（TL）の周波数を制
御する。周波数制御は、データ出力の時間間隔が光ビー
ム２′の検出されたＸ−位置エラーに依存して変化され
かつこのようにＸ−位置エラーが線の相応の圧縮または
伸長によって補償されるように行われる。読み出しクロ
ック列（TL）の周波数変化に代わって、Ｘ−補正値によ
って制御される遅延素子をデジタルメモリ12とドライバ
段11との間に設けることもできる。
第３図には、補正精度を改善するための、第２図の補正
装置の有利な実施例が示されている。
Ｙ−調整段７における圧電駆動素子は非線形の特性を有
しており、即ち電気的な補正値とこの駆動素子によって
実現される長さ変化ないしスライダ３の移動との間の関
係は非線形である。駆動素子のこの非線形特性は、位置
エラーの補正の際に補正フェーズにおいて自動的に補償
される。しかしこの位置エラー補正を測定フェーズにお
いて求められた補正値に応じて新たにエラー測定するこ
となく行う動作フェーズにおいて、駆動素子の非線形特
性は温度の影響および老化に基づいて変化する可能性が
ある。この場合スライダ３は、補正値によって予め決め
られた目標位置に達せず、このために光ビーム２′の誤
った補正偏向、ひいては誤った位置補正が生じることに
なる。
これに基づいて第３図の補正装置では有利にも、スライ
ダ３、ひいてはレーザダイオード１の位置エラーを自動
的に出力調整する調整ループが挿入されている。
このためにまず、レーザダイオード１によって発生され
る、レーザダイオード１の有効開口の外側のビームから
測定ビーム44を導出しかつレンズ45を用いてそれを位置
検出器46に集束することによって、レーザダイオード１
の実際位置が矢印５の方向において連続的に測定され
る。位置検出器46は、レーザダイオード１の測定された
実際位置に関する尺度である信号値を線47を介して比較
器48に送出する。Ｙ−補正値発生器36から読み出され
た、レーザダイオード１の目標位置に対する尺度である
補正値は、線９を介して比較器48に送出される。従って
比較器48においてレーザダイオード１の実際位置および
目標位置の間の位置偏差を検出され、かつそれは信号と
して線41′を介してＹ−調整段７を制御するために送出
される。位置検出器46は例えば差動ホトダイオードとす
ることができる。
この種の調整ループは勿論、第１図の補正装置におい
て、Ｘ−補正値発生器34とＸ−調整段との間および／ま
たはＹ−補正値発生器36とＹ−調整段７との間に挿入す
ることもできる。
従ってこの調整ループによって圧電駆動素子の温度およ
び長時間特性が補償され、これにより有利にも位置エラ
ー補正の精度が高められかつ補償調整過程の必要な頻度
が低減される。
第４図には、第１図ないし第３図の装置において使用す
ることができる別の実施例が示されている。
補正精度を高めるためにレーザダイオード１のケーシン
グの温度を調整すれば効果的であることが実証されてい
る。このためにレーザダイオード１のケーシングに熱的
に結合されている温度センサ50がスライダ３上に設けら
れている。温度センサ50は、測定された温度に依存した
信号を線51を介して温度調整段52に送出し、温度調整段
は相応の制御電流を冷却素子53（ペルチェ効果素子）に
通じる線に発生する。この定値の冷却素子53は、フレキ
シブルな温度伝達橋絡片54を介して可動のスライダ３に
熱結合されている。必要な温度変化に相応して、制御電
流は冷却素子53を冷却または加熱し、その際熱は温度伝
達橋絡片54を介してスライダ３に伝導されるかまたはス
ライダから放出される。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】少なくとも１つの鏡面（18）を有する偏向
    系（17）によって、該偏向系に対して相対的に線方向を
    横断する方向に移動可能である面（22）上を点状および
    線状に偏向される光ビーム（２）の位置エラーの補正装
    置であって、 ａ） 偏向すべき光ビーム（２）を発生するためのレー
    ザダイオード（１）と、 ｂ） 該レーザダイオード（１）が配設されている移動
    可能なスライダ（３）と、 ｃ） 前記面（22）内に偏向された光ビーム（２）の偏
    差を測定するための、線方向に配向された、多数の測定
    ユニット（32a;32b;32c）を有する前記面（22）内に配
    設された測定装置（32）と、 ｄ） 光ビーム（２）の、線方向における位置エラー
    （Ｘ−位置エラー）およびこれに対して垂直である位置
    エラー（Ｙ−位置エラー）を前記測定された偏差から求
    めるための、前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−測定段（33）およびＹ−測定段（35）
    と、 ｅ） Ｘ−補正値およびＹ−補正値を発生し、変更しか
    つ記憶するための、前記Ｘ−測定段（33）、Ｙ−測定段
    （35）および前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−補正値発生器（34）およびＹ−補正値発
    生器（36）と、 ｆ） 前記スライダ（３）を、偏向された光ビーム
    （２）が前記Ｘ−位置エラーを取り除くために線方向に
    おいて補正移動されるように移動するための、前記Ｘ−
    補正値発生器（34）に接続されておりかつ前記スライダ
    （３）に機械的に連結されている、前記Ｘ−補正値によ
    って制御可能なＸ−調整段（６）と、 ｇ） 前記スラライダ（３）を、偏向された光ビーム
    （２）が前記Ｙ−位置エラーを取り除くために線方向に
    対して垂直に補正移動されるように移動するための、前
    記Ｙ−補正値発生器（36）に接続されておりかつ前記ス
    ライダ（３）に機械的に連結されている、前記Ｙ−補正
    値によって制御可能なＹ−調整段（７）と、 ｈ） 前記補正値発生器（34;36）からの補正値の出力
    を前記偏向系（17）の移動に同期する手段（26;28）と を備えている ことを特徴とする位置エラーの補正装置。
  2. 【請求項２】Ｙ−偏差に対する測定ユニット（32a:32b;
    32c）は差動ホトダイオードである 請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】ａ） レーザダイオード（１）の有効開口
    の外側にある測定光ビーム（44）を発生するための、レ
    ーザダイオード（１）の光ビーム（２）路内に配設され
    ているレンズ（45）と、 ｂ） レーザダイオード（１）の実際位置を検出するた
    めの、測定光ビーム（44）路内に存在する位置検出器
    （46）と、 ｃ） 入力側が前記位置検出器（46）および補正値発生
    器（34;36）の一方に接続されておりかつ出力側が調整
    段（6;7）の一方に接続されている少なくとも１つの比
    較器（48）と を備えている 請求項１記載の装置。
  4. 【請求項４】少なくとも１つの鏡面（18）を有する偏向
    系（17）によって、該偏向系に対して相対的に線方向を
    横断する方向に移動可能である面（22）上を点状および
    線状に偏向される光ビーム（２）の位置エラーの補正装
    置であって、 ａ） 偏向すべき光ビーム（２）を発生するためのレー
    ザダイオード（１）と、 ｂ） 該レーザダイオード（１）が配設されている移動
    可能なスライダ（３）と、 ｃ） 前記面（22）内に偏向された光ビーム（２）の偏
    差を測定するための、線方向に配向された、多数の測定
    ユニット（32a;32b;32c）を有する前記面（22）内に配
    設された測定装置（32）と、 ｄ） 光ビーム（２）の、線方向における位置エラー
    （Ｘ−位置エラー）およびこれに対して垂直である位置
    エラー（Ｙ−位置エラー）を前記測定された偏差から求
    めるための、前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−測定段（33）およびＹ−測定段（35）
    と、 ｅ） Ｘ−補正値およびＹ−補正値を発生し、変更しか
    つ記憶するための、前記Ｘ−測定段（33）、Ｙ−測定段
    （35）および前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−補正値発生器（34）およびＹ−補正値発
    生器（36）と、 ｆ） 前記スライダ（３）を、偏向された光ビーム
    （２）が前記Ｙ−位置エラーを取り除くために線方向に
    対して垂直に補正移動されるように移動するための、前
    記Ｙ−補正値発生器（36）に接続されておりかつ前記ス
    ライダ（３）に機械的に連結されている、前記Ｙ−補正
    値によって制御可能なＹ−調整段（７）と、 ｇ） 前記補正値発生器（34;36）からの補正値の出力
    を前記偏向系（17）の移動に同期する手段（26;28）
    と、 ｈ） 画像データを記憶するためのデジタルメモリ（1
    2）と、 ｉ） 前記画像データに依存して前記レーザダイオード
    （１）を強度変調するための、前記デジタルメモリ（1
    2）と前記レーザダイオード（１）に接続されるドライ
    バ段（11）と、 ｊ） 前記デジタルメモリ（12）に対する読出しクロッ
    クを発生するための、前記デジタルメモリ（12）および
    前記Ｘ補正値発生器（34）に接続されるクロック発生器
    （43）と を備えており、その際前記読出しクロックは前記Ｘ補正
    値によって前記Ｘ位置エラーを取除く目的で周波数が変
    化されることを特徴とする位置エラーの補正装置。
  5. 【請求項５】少なくとも１つの鏡面（18）を有する偏向
    系（17）によって、該偏向系に対して相対的に線方向を
    横断する方向に移動可能である面（22）上を点状および
    線状に偏向される光ビーム（２）の位置エラーの補正装
    置であって、 ａ） 偏向すべき光ビーム（２）を発生するためのレー
    ザダイオード（１）と、 ｂ） 該レーザダイオード（１）が配設されている移動
    可能なスライダ（３）と、 ｃ） 前記面（22）内に偏向された光ビーム（２）の偏
    差を測定するための、線方向に配向された、多数の測定
    ユニット（32a;32b;32c）を有する前記面（22）内に配
    設された測定装置（32）と、 ｄ） 光ビーム（２）の、線方向における位置エラー
    （Ｘ−位置エラー）およびこれに対して垂直である位置
    エラー（Ｙ−位置エラー）を前記測定された偏差から求
    めるための、前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−測定段（33）およびＹ−測定段（35）
    と、 ｅ） Ｘ−補正値およびＹ−補正値を発生し、変更しか
    つ記憶するための、前記Ｘ−測定段（33）、Ｙ−測定段
    （35）および前記測定ユニット（32a;32b;32c）に接続
    されているＸ−補正値発生器（34）およびＹ−補正値発
    生器（36）と、 ｆ） 前記スライダ（３）を、偏向された光ビーム
    （２）が前記Ｙ−位置エラーを取り除くために線方向に
    対して垂直に補正移動されるように移動するための、前
    記Ｙ−補正値発生器（36）に接続されておりかつ前記ス
    ライダ（３）に機械的に連結されている、前記Ｙ−補正
    値によって制御可能なＹ−調整段（７）と、 ｇ） 前記補正値発生器（34;36）からの補正値の出力
    を前記偏向系（17）の移動に同期する手段（26;28）
    と、 ｈ） 画像データを記憶するためのデジタルメモリ（1
    2）と、 ｉ） 前記画像データに依存して前記レーザダイオード
    （１）を強度変調するための、前記デジタルメモリ（1
    2）と前記レーザダイオード（１）に接続されるドライ
    バ段（11）と、 ｊ） 前記Ｘ補正値発生器（34）によって制御される、
    前記デジタルメモリ（12）と前記ドライバ段（11）との
    間に位置する遅延素子と を備えており、その際前記Ｘ位置エラーは線毎に、前記
    Ｘ補正値発生器（34）から送出されるＸ補正値によって
    制御される、前記画像信号の遅延時間変化によって補正
    される ことを特徴とする位置エラーの補正装置。
JP3500931A 1990-01-05 1990-12-16 偏向ビームの位置エラーの補正装置 Expired - Lifetime JPH0736601B2 (ja)

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