JP2002052370A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板の周縁部を把持して該基板を回転させる複数の基板回転用ローラと、
   基板の端面及び／またはベベル面に接触して該端面及び／またはベベル面をスクラブ洗浄する洗浄部材を有する回転自在な洗浄ローラと、
   前記基板回転用ローラのうちの少なくとも一つのローラの動力を前記洗浄ローラに伝達して該洗浄ローラを回転させる動力伝達機構とを有することを特徴とする基板洗浄装置。
2. 前記動力伝達機構は、前記洗浄部材の回転周速度と前記基板の回転周速度との間に相対速度差が生じるように、その回転伝達比が設定されていることを特徴とする請求項１記載の基板洗浄装置。
3. 前記洗浄部材の前記基板に接触する面に向けて洗浄液を噴出する洗浄ノズルを有することを特徴とする請求項１または２記載の基板洗浄装置。
4. 前記洗浄部材の前記基板の端面及び／またはベベル面への押付け量を調節する押付け量調節機構を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
5. 前記洗浄ローラは、揺動自在な揺動アームの自由端に回転自在に支承され、この揺動アームは、前記洗浄部材を前記基板の端面及び／またはベベル面に接触させる方向に付勢されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板洗浄装置。
6. 前記洗浄部材の高さ方向における該洗浄部材と前記基板との接触位置を調節する接触位置調節機構を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の基板洗浄装置。
7. 基板の周縁部を複数の基板回転用ローラで把持し該ローラを回転させて基板を回転させ、
   前記基板回転用ローラのうちの少なくとも一つのローラの回転で、基板の端面及び／またはベベル面に接触して該端面及び／またはベベル面をスクラブ洗浄する洗浄部材を有する洗浄ローラを回転させることを特徴とする基板洗浄方法。
8. 前記基板回転用ローラのうちの少なくとも一つのローラの回転で中間ローラを回転させ、この中間ローラの回転で前記洗浄ローラを回転させることを特徴とする請求項７記載の基板洗浄方法。