CN213635945U - 一种晶圆贴片环加工旋转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆贴片环加工旋转装置，包括活动块，所述活动块的内部开设有容纳槽，所述活动块的顶部分别开设有滑槽和凹槽，所述容纳槽内壁的底部转动连接有驱动盘，所述驱动盘的中部开设有驱动槽，所述驱动槽的内壁活动连接有活动柱，所述活动柱的顶部通过轴承转动连接有固定杆。本实用新型通过转动驱动盘，并使得驱动盘带动驱动槽转动，通过活动柱配合固定杆和滑槽，使得驱动槽会带动活动柱和固定杆沿着滑槽的方向直线移动，从而使得当驱动盘转动时，会使得驱动槽带动三个活动柱相互靠近，并使得三个固定杆将晶圆贴片环进行固定，从而实现了便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，以提高该装置适用性的目的。

Description

一种晶圆贴片环加工旋转装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴片环加工设备领域，具体为一种晶圆贴片环加工旋转装置。

背景技术

在半导体晶圆加工中，会使用一种晶圆贴片环。该晶圆贴片环先于其中一个表面黏贴一层胶膜，以刀具切割去除多余胶膜，将晶圆贴片环以胶膜黏固着晶圆，以利后续加工作业顺利进行，该胶膜也能避免晶圆贴片环刮伤晶圆。在每次使用后，先以清洁浸润装置溶解晶圆贴片环表面的残胶，再由一刮除装置进行后续残胶刮除作业。最后以人工目视方式确认是否完全除胶、表面是否有刮伤或变形，检验合格就待下次再度使用，晶圆贴片环进行加工时需要固定晶圆贴片环并带动晶圆贴片环转动。

但是现有技术在实际使用时，不便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，适用性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆贴片环加工旋转装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括活动块，所述活动块的内部开设有容纳槽，所述活动块的顶部分别开设有滑槽和凹槽，所述容纳槽内壁的底部转动连接有驱动盘，所述驱动盘的中部开设有驱动槽，所述驱动槽的内壁活动连接有活动柱，所述活动柱的顶部通过轴承转动连接有固定杆，且固定杆活动连接在滑槽的内壁，所述固定杆的表面固定连接有传动轮，所述传动轮的表面传动连接有传动带，所述传动带远离传动轮位置的一端传动连接有调节辊，所述调节辊的顶部和底部均分别固定连接有固定座，两个所述固定座相对面的一端固定连接有连接板，且连接板远离调节辊位置的一端固定连接有第一伸缩杆，且第一伸缩杆固定连接在容纳槽的内壁，所述第一伸缩杆的表面固定连接有第一阻尼弹簧。

优选的，所述滑槽和凹槽的内部相连通，且凹槽为锥形结构，其中一个所述活动柱的内部固定嵌入有驱动电机，且驱动电机的输出轴固定连接在固定杆的底部。

优选的，所述驱动槽为等边三角形结构，所述活动柱的数量为三个，且三个活动柱圆心之间的连线为等边三角形。

优选的，所述驱动盘的表面啮合有蜗杆，所述活动块相对应蜗杆位置的表面开设有活动槽，且活动槽的内壁与蜗杆的表面转动连接，所述活动槽的内部与容纳槽的内部相连通。

优选的，所述活动块相对应活动槽位置的一端固定连接有连接座，且蜗杆通过轴承转动连接在连接座的内部。

优选的，所述蜗杆远离连接座位置的一端固定连接有正反电机，且正反电机固定连接在活动块的表面。

优选的，所述固定杆的表面固定连接有挤压辊，所述固定杆的中部通过轴承转动连接有第二阻尼弹簧，且第二阻尼弹簧固定连接在滑槽的内壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过转动驱动盘，并使得驱动盘带动驱动槽转动，通过活动柱配合固定杆和滑槽，使得驱动槽会带动活动柱和固定杆沿着滑槽的方向直线移动，从而使得当驱动盘转动时，会使得驱动槽带动三个活动柱相互靠近，并使得三个固定杆将晶圆贴片环进行固定，从而实现了便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，以提高该装置适用性的目的；

2、本实用新型同时还通过正反电机通电带动蜗杆转动，使得蜗杆带动驱动盘转动，从而为驱动盘带动驱动槽转动提供动力，且通过设置挤压辊使得挤压辊可以对晶圆贴片环起到保护作用，通过设置第二阻尼弹簧，使得当驱动槽不再驱动活动柱移动时，通过第二阻尼弹簧复位收缩的作用下，会使得第二阻尼弹簧通过固定杆带动活动柱恢复至初始状态，以便可以持续工作。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆贴片环加工旋转装置整体结构俯视图；

图2为本实用新型一种晶圆贴片环加工旋转装置整体结构俯剖图；

图3为本实用新型一种晶圆贴片环加工旋转装置活动柱结构侧剖图。

图中：1、活动块；2、容纳槽；3、滑槽；4、凹槽；5、驱动盘；6、驱动槽；7、活动柱；8、固定杆；9、传动轮；10、传动带；11、调节辊；12、固定座；13、连接板；14、第一伸缩杆；15、第一阻尼弹簧；16、蜗杆；17、活动槽；18、连接座；19、正反电机；20、挤压辊；21、第二阻尼弹簧；22、驱动电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：包括活动块1，活动块1的内部开设有容纳槽2，活动块1的顶部分别开设有滑槽3和凹槽4，容纳槽2内壁的底部转动连接有驱动盘5，驱动盘5的中部开设有驱动槽6，驱动槽6的内壁活动连接有活动柱7，活动柱7的顶部通过轴承转动连接有固定杆8，且固定杆8活动连接在滑槽3的内壁，固定杆8的表面固定安装有传动轮9，传动轮9的表面传动连接有传动带10，传动带10远离传动轮9位置的一端传动连接有调节辊11，调节辊11的顶部和底部均分别固定安装有固定座12，两个固定座12相对面的一端固定安装有连接板13，且连接板13远离调节辊11位置的一端固定安装有第一伸缩杆14，且第一伸缩杆14固定安装在容纳槽2的内壁，第一伸缩杆14的表面固定安装有第一阻尼弹簧15。

滑槽3和凹槽4的内部相连通，且凹槽4为锥形结构，其中一个活动柱7的内部固定嵌入有驱动电机22，且驱动电机22的输出轴固定安装在固定杆8的底部。

驱动槽6为等边三角形结构，活动柱7的数量为三个，且三个活动柱7圆心之间的连线为等边三角形。

驱动盘5的表面啮合有蜗杆16，活动块1相对应蜗杆16位置的表面开设有活动槽17，且活动槽17的内壁与蜗杆16的表面转动连接，活动槽17的内部与容纳槽2的内部相连通。

活动块1相对应活动槽17位置的一端固定安装有连接座18，且蜗杆16通过轴承转动连接在连接座18的内部。

蜗杆16远离连接座18位置的一端固定安装有正反电机19，且正反电机19固定安装在活动块1的表面。

固定杆8的表面固定安装有挤压辊20，固定杆8的中部通过轴承转动连接有第二阻尼弹簧21，且第二阻尼弹簧21固定安装在滑槽3的内壁，通过正反电机19通电带动蜗杆16转动，使得蜗杆16带动驱动盘5转动，从而为驱动盘5带动驱动槽6转动提供动力，且通过设置挤压辊20使得挤压辊20可以对晶圆贴片环起到保护作用，通过设置第二阻尼弹簧21，使得当驱动槽6不再驱动活动柱7移动时，通过第二阻尼弹簧21复位收缩的作用下，会使得第二阻尼弹簧21通过固定杆8带动活动柱7恢复至初始状态，以便可以持续工作，通过驱动电机22配合固定杆8可以带动晶圆贴片转动。

工作原理：在使用时，该实用新型通过先将晶圆贴片环置于凹槽4的内壁，在凹槽4内壁倾斜作用下，会使得晶圆贴片环向凹槽4内壁的底部掉落，转动驱动盘5，并使得驱动盘5带动驱动槽6转动，且当驱动槽6转动时会使得驱动槽6带动活动柱7移动，通过活动柱7配合固定杆8和滑槽3，使得驱动槽6会带动活动柱7和固定杆8沿着滑槽3的方向直线移动，从而使得当驱动盘5转动时，会使得驱动槽6带动三个活动柱7相互靠近，并使得三个固定杆8将晶圆贴片环进行固定，从而实现了便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，以提高该装置适用性的目的，通过设置调节辊11、固定座12、连接板13、第一伸缩杆14和第一阻尼弹簧15，使得当三个活动柱7相互靠近和远离时，调节辊11可以始终将传动带10处于紧绷状态，以使得传动带10可以正常的带动传动轮9转动。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆贴片环加工旋转装置，包括活动块（1），其特征在于：所述活动块（1）的内部开设有容纳槽（2），所述活动块（1）的顶部分别开设有滑槽（3）和凹槽（4），所述容纳槽（2）内壁的底部转动连接有驱动盘（5），所述驱动盘（5）的中部开设有驱动槽（6），所述驱动槽（6）的内壁活动连接有活动柱（7），所述活动柱（7）的顶部通过轴承转动连接有固定杆（8），且固定杆（8）活动连接在滑槽（3）的内壁，所述固定杆（8）的表面固定连接有传动轮（9），所述传动轮（9）的表面传动连接有传动带（10），所述传动带（10）远离传动轮（9）位置的一端传动连接有调节辊（11），所述调节辊（11）的顶部和底部均分别固定连接有固定座（12），两个所述固定座（12）相对面的一端固定连接有连接板（13），且连接板（13）远离调节辊（11）位置的一端固定连接有第一伸缩杆（14），且第一伸缩杆（14）固定连接在容纳槽（2）的内壁，所述第一伸缩杆（14）的表面固定连接有第一阻尼弹簧（15）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述滑槽（3）和凹槽（4）的内部相连通，且凹槽（4）为锥形结构，其中一个所述活动柱（7）的内部固定嵌入有驱动电机（22），且驱动电机（22）的输出轴固定连接在固定杆（8）的底部。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述驱动槽（6）为等边三角形结构，所述活动柱（7）的数量为三个，且三个活动柱（7）圆心之间的连线为等边三角形。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述驱动盘（5）的表面啮合有蜗杆（16），所述活动块（1）相对应蜗杆（16）位置的表面开设有活动槽（17），且活动槽（17）的内壁与蜗杆（16）的表面转动连接，所述活动槽（17）的内部与容纳槽（2）的内部相连通。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述活动块（1）相对应活动槽（17）位置的一端固定连接有连接座（18），且蜗杆（16）通过轴承转动连接在连接座（18）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述蜗杆（16）远离连接座（18）位置的一端固定连接有正反电机（19），且正反电机（19）固定连接在活动块（1）的表面。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述固定杆（8）的表面固定连接有挤压辊（20），所述固定杆（8）的中部通过轴承转动连接有第二阻尼弹簧（21），且第二阻尼弹簧（21）固定连接在滑槽（3）的内壁。

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