CN214817722U - 一种晶圆贴片环快速打磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆贴片环快速打磨装置，包括加工台，所述加工台的内部活动设置有活动板，所述活动板的数量为两个，两个所述活动板相对面的顶部均分别固定连接有第一支架，所述第一支架远离活动板位置的一端固定连接有固定块，所述固定块的顶部固定连接有第二支架。本实用新型通过将晶圆贴片环放置在第一支架的表面，此时两个第一支架相互远离，两个第一支架通过固定块、固定轴、滚轮和驱动辊将不同直径的晶圆贴片环进行固定，通过驱动电机配合第二传动轮和传动带带动其中一个转轴转动，并使得转轴通过驱动辊带动晶圆贴片环转动，方便进行打磨，从而实现可根据晶圆贴片环不同直径进行固定并提高打磨速度的目的。

Description

一种晶圆贴片环快速打磨装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴片环打磨领域，具体为一种晶圆贴片环快速打磨装置。

背景技术

在半导体晶圆加工中，会使用一种晶圆贴片环。该晶圆贴片环先于其中一个表面黏贴一层胶膜，以刀具切割去除多余胶膜，将晶圆贴片环以胶膜黏固着晶圆，以利后续加工作业顺利进行，该胶膜也能避免晶圆贴片环刮伤晶圆。在每次使用后，先以清洁浸润装置溶解晶圆贴片环表面的残胶，再由一刮除装置进行后续残胶刮除作业。最后以人工目视方式确认是否完全除胶、表面是否有刮伤或变形，检验合格就待下次再度使用，晶圆贴片环进行加工时需要固定晶圆贴片环并对晶圆贴片环进行打磨，且在打磨时需要对晶圆贴片环进行夹持。

但是现有技术在实际使用时，无法根据晶圆贴片环的不同直径对夹具进行调节，从而影响打磨的速度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆贴片环快速打磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括加工台，所述加工台的内部活动设置有活动板，所述活动板的数量为两个，两个所述活动板相对面的顶部均分别固定连接有第一支架，所述第一支架远离活动板位置的一端固定连接有固定块，所述固定块的顶部固定连接有第二支架，所述第一支架和第二支架的内壁通过轴承转动连接有转轴，所述转轴的表面分别固定连接有导向辊和驱动辊，所述固定块相对应转轴位置的内部开设有安装槽，且转轴通过轴承转动连接在安装槽的内壁，其中一个所述转轴相对应安装槽位置的表面固定连接有第一传动轮，所述第一传动轮的表面传动连接有传动带，所述固定块的内壁固定连接有固定轴，所述固定轴的表面通过轴承转动连接有滚轮。

优选的，所述加工台相对应活动板位置的顶部开设有活动槽，且活动槽的内壁与活动板的表面活动连接。

优选的，所述活动槽的内壁固定连接有限位杆，所述限位杆活动贯穿并延伸至活动板的两端。

优选的，所述活动槽的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆与活动板的中部螺纹连接，所述螺纹杆通过轴承活动贯穿并延伸至加工台的一端，所述螺纹杆远离加工台位置的一端固定连接有正反电机，所述正反电机通过驱动电机支架固定连接在加工台的一端。

优选的，所述传动带活动贯穿并延伸至固定块的外部，所述传动带远离固定块位置的一端传动连接有第二传动轮，所述第二传动轮的中部固定连接有传动轴。

优选的，所述传动轴通过轴承转动连接在第一支架的底部，所述传动轴的一端固定连接有驱动电机，且驱动电机固定连接在第一支架的底部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过将晶圆贴片环放置在第一支架的表面，此时两个第一支架相互远离，两个第一支架通过固定块、固定轴、滚轮和驱动辊将不同直径的晶圆贴片环进行固定，通过驱动电机配合第二传动轮和传动带带动其中一个转轴转动，并使得转轴通过驱动辊带动晶圆贴片环转动，方便进行打磨，从而实现可根据晶圆贴片环不同直径进行固定并提高打磨速度的目的；

2、本实用新型同时还通过正反电机通电带动螺纹杆转动，并使得螺纹杆与活动板的中部螺纹连接，且当螺纹杆转动时，会使得螺纹杆带动两个活动板相互靠近和相互远离，进而使得活动板为第一支架的移动提供动力，通过设置导向辊，使得导向辊可以对晶圆贴片环进行引导作用，并使得晶圆贴片环置于两个驱动辊之间，方便对晶圆贴片环进行固定。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆贴片环快速打磨装置整体结构正剖图；

图2为本实用新型一种晶圆贴片环快速打磨装置第一支架结构正剖图；

图3为本实用新型一种晶圆贴片环快速打磨装置固定块结构正剖图。

图中：1、加工台；2、活动板；3、第一支架；4、固定块；5、第二支架； 6、转轴；7、导向辊；8、驱动辊；9、安装槽；10、第一传动轮；11、传动带；12、固定轴；13、滚轮；14、第二传动轮；15、传动轴；16、驱动电机； 17、活动槽；18、限位杆；19、螺纹杆；20、正反电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：包括加工台1，加工台1 的内部活动设置有活动板2，活动板2的数量为两个，两个活动板2相对面的顶部均分别固定安装有第一支架3，第一支架3远离活动板2位置的一端固定安装有固定块4，固定块4的顶部固定安装有第二支架5，第一支架3和第二支架5的内壁通过轴承转动连接有转轴6，转轴6的表面分别固定安装有导向辊7和驱动辊8，固定块4相对应转轴6位置的内部开设有安装槽9，且转轴 6通过轴承转动连接在安装槽9的内壁，其中一个转轴6相对应安装槽9位置的表面固定安装有第一传动轮10，第一传动轮10的表面传动连接有传动带11，固定块4的内壁固定安装有固定轴12，固定轴12的表面通过轴承转动连接有滚轮13。

加工台1相对应活动板2位置的顶部开设有活动槽17，且活动槽17的内壁与活动板2的表面活动连接。

活动槽17的内壁固定安装有限位杆18，限位杆18活动贯穿并延伸至活动板2的两端。

活动槽17的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆19，螺纹杆19两端的螺纹方向相反，螺纹杆19与活动板2的中部螺纹连接，螺纹杆19通过轴承活动贯穿并延伸至加工台1的一端，螺纹杆19远离加工台1位置的一端固定安装有正反电机20，正反电机20通过驱动电机支架固定安装在加工台1的一端。

传动带11活动贯穿并延伸至固定块4的外部，传动带11远离固定块4 位置的一端传动连接有第二传动轮14，第二传动轮14的中部固定安装有传动轴15。

传动轴15通过轴承转动连接在第一支架3的底部，传动轴15的一端固定安装有驱动电机16，且驱动电机16固定安装在第一支架3的底部，通过正反电机20通电带动螺纹杆19转动，并使得螺纹杆19与活动板2的中部螺纹连接，且当螺纹杆19转动时，会使得螺纹杆19带动两个活动板2相互靠近和相互远离，进而使得活动板2为第一支架3的移动提供动力，通过设置导向辊7，使得导向辊7可以对晶圆贴片环进行引导作用，并使得晶圆贴片环置于两个驱动辊8之间，方便对晶圆贴片环进行固定。

工作原理：在使用时，该实用新型通过将晶圆贴片环放置在第一支架3 的表面，此时两个第一支架3相互远离，通过导向辊7的导向作用下，会使得晶圆贴片环置于两个驱动辊8之间，并使得晶圆贴片环的内壁与滚轮13的表面转动连接，直至两个第一支架3通过固定块4、固定轴12、滚轮13和驱动辊8将不同直径的晶圆贴片环进行固定，且当驱动电机16通电工作时，会使得驱动电机16带动传动轴15转动，进而使得传动轴15通过第二传动轮14 和传动带11带动其中一个转轴6转动，且当转轴6转动时，会使得转轴6通过驱动辊8带动晶圆贴片环转动，以方便对晶圆贴片环进行打磨，从而实现可根据晶圆贴片环不同直径进行调节的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆贴片环快速打磨装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)的内部活动设置有活动板(2)，所述活动板(2)的数量为两个，两个所述活动板(2)相对面的顶部均分别固定连接有第一支架(3)，所述第一支架(3)远离活动板(2)位置的一端固定连接有固定块(4)，所述固定块(4)的顶部固定连接有第二支架(5)，所述第一支架(3)和第二支架(5)的内壁通过轴承转动连接有转轴(6)，所述转轴(6)的表面分别固定连接有导向辊(7)和驱动辊(8)，所述固定块(4)相对应转轴(6)位置的内部开设有安装槽(9)，且转轴(6)通过轴承转动连接在安装槽(9)的内壁，其中一个所述转轴(6)相对应安装槽(9)位置的表面固定连接有第一传动轮(10)，所述第一传动轮(10)的表面传动连接有传动带(11)，所述固定块(4)的内壁固定连接有固定轴(12)，所述固定轴(12)的表面通过轴承转动连接有滚轮(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环快速打磨装置，其特征在于：所述加工台(1)相对应活动板(2)位置的顶部开设有活动槽(17)，且活动槽(17)的内壁与活动板(2)的表面活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆贴片环快速打磨装置，其特征在于：所述活动槽(17)的内壁固定连接有限位杆(18)，所述限位杆(18)活动贯穿并延伸至活动板(2)的两端。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆贴片环快速打磨装置，其特征在于：所述活动槽(17)的内壁通过轴承转动连接有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆(19)与活动板(2)的中部螺纹连接，所述螺纹杆(19)通过轴承活动贯穿并延伸至加工台(1)的一端，所述螺纹杆(19)远离加工台(1)位置的一端固定连接有正反电机(20)，所述正反电机(20)通过驱动电机支架固定连接在加工台(1)的一端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环快速打磨装置，其特征在于：所述传动带(11)活动贯穿并延伸至固定块(4)的外部，所述传动带(11)远离固定块(4)位置的一端传动连接有第二传动轮(14)，所述第二传动轮(14)的中部固定连接有传动轴(15)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴片环快速打磨装置，其特征在于：所述传动轴(15)通过轴承转动连接在第一支架(3)的底部，所述传动轴(15)的一端固定连接有驱动电机(16)，且驱动电机(16)固定连接在第一支架(3)的底部。

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