JP2002042459A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JP2002042459A
JP2002042459A JP2000225228A JP2000225228A JP2002042459A JP 2002042459 A JP2002042459 A JP 2002042459A JP 2000225228 A JP2000225228 A JP 2000225228A JP 2000225228 A JP2000225228 A JP 2000225228A JP 2002042459 A JP2002042459 A JP 2002042459A
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Akira Yamazaki
彰 山崎
Gen Morishita
玄 森下
Yasuhiko Tatewaki
恭彦 帶刀
Nobuyuki Fujii
信行 藤井
Mihoko Akiyama
実邦子 秋山
Masako Kobayashi
真子 小林
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多電源構成の半導体集積回路装置において、
電源投入時における消費電流を低減する。 【解決手段】 複数の電源電圧(VDDL,VDDH)
に対し電源投入検出回路を設け、これらの電源投入検出
信号の少なくとも一方が活性状態の間主電源投入検出信
号を活性状態に維持して内部ノードをリセットする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、多電源の半導体
集積回路装置に関し、特にロジック回路とメモリとが同
一半導体チップ上に集積化される多電源半導体集積回路
装置に関する。より特定的には、ロジックとDRAM
(ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)が同一
半導体チップ上に集積化されるシステムLSIの電源構
成に関する。
【0002】
【従来の技術】図16は、従来の汎用DRAM(ダイナ
ミック・ランダム・アクセス・メモリ)の構成を概略的
に示す図である。図16において、従来のDRAMは、
メモリセルが行列状に配列されるメモリセルアレイMA
と、メモリセルアレイMAの選択行に接続されるメモリ
セルのデータの検知、増幅およびラッチを行なうセンス
アンプSAと、メモリセルアレイMAのアドレス指定さ
れた行を選択するためのロウデコーダRDと、DRAM
の内部動作を制御する制御回路CTLと、外部からの電
源電圧VDDHを受けて内部(電源)電圧VDDS、V
PPおよびVDDPを発生する内部電圧発生回路IVG
を含む。
【0003】内部電圧VDDSは、センスアンプSAへ
動作電源電圧として与えられる。このセンスアンプ用電
源電圧(アレイ電源電圧)VDDSにより、メモリセル
アレイMAにおけるメモリセルの記憶データのHレベル
の電圧レベルが決定される。
【0004】内部電圧VPPはロウデコーダRDを介し
てメモリセルアレイMAの選択行に対応して配置される
ワード線に伝達される。この電圧VPPは、外部からの
電源電圧VDDHを昇圧して生成される。
【0005】内部電圧VDDPは制御回路CTLへ動作
電源電圧として与えられる。電源電圧VDDSおよびV
DDPは、それぞれ外部電源電圧VDDHを降圧して生
成される。
【0006】汎用DRAMは、一般には、外部電源入力
として単一の電源電圧VDDHを受け、内部で必要な電
圧レベルの内部電圧を生成して動作する。外部電源電圧
VDDHの電圧レベルは、一般的に、DRAMが用いら
れるシステム内に供給される電源電圧という外部的な要
因で決定される。また、内部(電源)電圧VDDS、V
DDPおよびVPPは、内部のトランジスタの微細化に
伴うゲート長によりそれらの電圧レベルが決定される。
微細化時においてはスケーリング則に沿ってゲート長お
よびゲート絶縁膜が比例縮小される。したがって、MO
Sトランジスタのゲート長により、耐圧が決定され、応
じて内部電圧の電圧レベルが決定される。たとえば、外
部電源電圧VDDHが3.3V、昇圧電圧VPPが3.
6V、センスアンプ用電源電圧(アレイ電源電圧)VD
DSが2.0V、および周辺回路の制御回路に対する電
源電圧(周辺電源電圧)VDDPが、2.5Vである。
【0007】これに対し、近年、ロジック回路と大記憶
容量のDRAMを同一半導体基板上に集積化するシステ
ムLSIが普及してきている。このシステムLSIにお
いては、ロジック回路部の性能を向上しかつ集積度を向
上するため、ロジック回路部には、DRAM部よりも微
細化の進んだトランジスタが構成要素として用いられ
る。したがって、ロジック回路部の電源電圧としては、
DRAMに対する電源電圧よりもより低い電源電圧が利
用される。
【0008】図17は、このようなシステムLSIの電
源構成を概略的に示す図である。図17において、シス
テムLSI SLSは、ロジックLGとDRAMマクロ
DMを含む。DRAMマクロDMは、図16に示す汎用
DRAMと同様、メモリセルアレイMA、ロウデコーダ
RD、センスアンプSAおよび制御回路CTLを含む。
この制御回路CTLは、ロジックLGに用いられるトラ
ンジスタと同じサイズ(ゲート絶縁膜膜厚)のMOSト
ランジスタが用いられる。DRAMマクロDMには、内
部電圧発生回路IVGAが設けられる。内部電圧発生回
路IVGAは、外部の電源電圧VDDHからセンスアン
プ用電源電圧VDDSおよびワード線駆動用の昇圧電圧
VPPを生成する。ロジックLGへは、外部から専用の
電源電圧VDDLが与えられる。DRAM用の外部電源
電圧VDDHを降圧して、ロジック用の電源電圧VDD
Lを発生した場合、降圧回路における無効電力が大きく
なり、消費電力が増大する。したがって、ロジックLG
に対する電源電圧VDDLは、外部から与えられる。こ
のロジック用の外部電源電圧VDDLはまた、制御回路
CTLに与えられる。制御回路CTLに、ロジックLG
と同じトランジスタ(ゲート絶縁膜膜厚および材料が同
じトランジスタ)を利用することにより、制御回路CT
Lを高速で動作させる。
【0009】したがって、この図17に示すようにこの
ようなシステムLSI SLSに対しては、DRAM用
外部電源電圧VDDHおよびロジック用電源電圧VDD
Lの2電源が用いられる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】図16および図17に
示すようなロウデコーダRDにおいては、電源電圧VD
DPまたはVDDLレベルの振幅の信号に従って昇圧電
圧VPPレベルの信号を駆動する必要があり、したがっ
て、その入力信号のレベル変換を行なう必要がある。
【0011】図18は、VDDL/VPPレベル変換回
路の構成の一例を示す図である。図18において、VD
DL/VPPレベル変換回路は、振幅VDDLレベルの
入力信号SigLを受けるインバータIV1と、インバ
ータIV1の出力信号を受けるインバータIV2と、イ
ンバータIV1の出力信号に従ってノードND1を接地
ノードに結合するNチャネルMOSトランジスタNTR
1と、インバータIV2の出力信号に従ってノードND
2を接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジス
タNTR2と、ノードND2の信号に従って昇圧電圧ノ
ードをノードND1に結合するPチャネルMOSトラン
ジスタPTR1と、ノードND1の信号に従って昇圧ノ
ードをノードND2に結合するPチャネルMOSトラン
ジスタPTR2と、ノードND2の信号を反転して、昇
圧電圧VPPレベルの振幅を有する出力信号SigPを
生成するインバータIV3を含む。インバータIV1お
よびIV2は、電圧VDDL(またはVDDP)を一方
動作電源電圧として受ける。インバータIV3は昇圧電
圧VPPを、一方動作電源電圧として受ける。
【0012】この図18に示すレベル変換回路において
は、入力信号SigLが電圧VDDLレベルのHレベル
のときには、MOSトランジスタNTR1がオフ状態、
MOSトランジスタNTR2がオン状態となり、ノード
ND2は接地電圧レベル、ノードND1が昇圧電圧VP
Pレベルに駆動される。したがって、出力信号SigP
は、昇圧電圧VPPレベルのHレベルとなる。
【0013】一方、入力信号SigLがLレベルのとき
には、MOSトランジスタNTR1がオン状態、MOS
トランジスタNTR2がオフ状態となり、ノードND1
が接地電圧レベル、ノードND2が昇圧電圧VPPレベ
ルとなる。したがって、出力信号SigPは、接地電圧
レベルのLレベルとなる。
【0014】図16に示す汎用DRAMにおいては、外
部単一電源であり、外部電源電圧VDDHに従って内部
電圧VDDS、VPPおよびVDDPが生成される。し
たがって、電源投入時においては、昇圧電圧VPPは、
ほとんど遅延なく、外部電源電圧VDDHに追随して発
生されるため、このレベル変換回路32のノードが中間
電圧レベルに駆動される期間は、ほとんど生じない。
【0015】しかしながら、図17に示すようなシステ
ムLSIにおいては、2電源構成であり、ロジック用の
電源電圧VDDLとDRAM用の電源電圧VDDHが利
用される。これらの電源電圧VDDLおよびVDDHの
電源投入順序、および電圧立上がり時間(確定状態まで
に要する時間)は仕様では規定されていない。たとえば
図19に示すように、電源電圧VDDHが先に投入さ
れ、続いて、電源電圧VDDLが投入される場合を考え
る。昇圧電圧VPPは、DRAM用の電源電圧VDDH
に従って生成される。時刻T1において電源電圧VDD
Hが投入され、続いて、時刻T2において電源電圧VD
DLが投入される。この場合、時刻T2以前において
は、インバータIV1およびIV2の出力信号はともに
Lレベルとなっているため、MOSトランジスタNTR
1およびNTR2がともにオフ状態を維持する。この場
合、ノードND1およびND2は、MOSトランジスタ
PTR1およびPTR2に従って、接地電圧GNDから
昇圧電圧VPPの間の予め特定することのできない中間
電圧レベルに保持される。インバータIV3は、昇圧電
圧VPPを一方動作電源電圧として受けている。したが
って、ノードND2の電圧レベルが中間電圧レベルのと
きには、インバータIV3において昇圧電源ノードから
接地ノードへ貫通電流が流れ、電源投入時の消費電流が
増大するという問題が生じる。昇圧電圧VPPは、通
常、キャパシタのチャージポンプ動作を利用するチャー
ジポンプ回路から生成される。したがって、昇圧電圧V
PPが貫通電流により消費された場合、昇圧電圧を発生
するチャージポンプ回路の消費電流がさらに増大し(チ
ャージポンプの効率は1より低い)、消費電力が増大す
るという問題が生じる。これは、他の電圧VDDS、お
よびVDDPについても同様である。すなわち、振幅V
DDLの信号を振幅VDDSおよびVDDPの信号に変
換する回路において貫通電流が生じ消費電流が増加する
という問題が生じる。
【0016】それゆえ、この発明の目的は、多電源構成
の半導体集積回路装置における電源投入時の消費電力を
小さくすることのできる半導体集積回路装置を提供する
ことである。
【0017】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体集
積回路装置は、第1の電源電圧を受け、この第1の電源
電圧の投入を検出し、該検出結果に従って第1の電源投
入検出信号を活性化するための第1の電源投入検出回路
と、第2の電源電圧を受け、この第2の電源電圧の投入
を検出し、該検出結果に従って第2の電源投入検出信号
を活性化するための第2の電源投入検出回路と、第1お
よび第2の電源投入検出回路に結合され、第1および第
2の電源投入検出信号の少なくとも一方が活性状態の間
活性状態となる主電源投入検出信号を発生する主電源投
入検出回路を備える。
【0018】主電源投入検出回路は、好ましくは、第1
の電源投入検出信号の活性化に応答して第1のノードを
第1の電圧レベルにリセットする第1のリセット素子
と、第2の電源投入検出信号の活性化に応答して、第1
のノードを第1の電圧レベルにリセットする第2のリセ
ット素子と、これら第1および第2のリセット素子に結
合され、第1の電源電圧を動作電源電圧として受けて、
第1および第2の電源投入検出信号が共に非活性化する
と第1のノードを第2の電圧レベルに設定しかつ主電源
投入信号を活性化する回路を備える。
【0019】好ましくは、さらに、第2の電源電圧と異
なる電圧レベルの電圧を動作電源電圧として受け、主電
源投入検出信号をレベル変換して変換電圧投入検出信号
を発生する回路が設けられる。
【0020】また、さらに好ましくは、第1の電源電圧
から第2の電源電圧と電圧レベルの異なる電圧レベルの
内部電圧を生成する内部電圧発生回路と、主電源投入検
出信号の活性化に応答してリセットされかつ主電源投入
検出信号の非活性化時活性化され、第2の電源電圧レベ
ルの振幅を有する信号から内部電圧レベルの振幅を有す
る内部信号を生成する内部電圧発生回路が設けられる。
【0021】この内部電圧は、第1の電源電圧よりも電
圧レベルの高い昇圧電圧である。また、これに代えて好
ましくは、内部電圧は、第1の電源電圧よりも電圧レベ
ルの低い降圧電圧である。
【0022】また、好ましくは、これに代えて、内部電
圧は、第1の電源電圧と電圧レベルの等しい電圧であ
る。
【0023】好ましくは、主電源投入検出信号は、第1
の電源電圧レベルの振幅を有する。さらに、この場合、
第1の電源電圧から第2の電源電圧と電圧レベルの異な
る内部電圧を発生する内部電圧発生回路と、第2の電源
電圧レベルの信号から内部電圧レベルの振幅の内部信号
を発生する内部信号発生回路が設けられる。この内部信
号発生回路は、レベル変換された信号をバッファ処理し
て出力するバッファ回路を含む。好ましくは、さらに、
主電源投入検出信号を内部電圧レベルの振幅を有する変
換投入検出信号に変換してバッファ回路へ与えるリセッ
ト回路が設けられる。バッファ回路は、変換投入検出信
号の活性化時リセットされる。
【0024】内部電圧発生回路は、好ましくは、第1の
電源電圧を昇圧して内部電圧を生成する昇圧回路であ
る。
【0025】またこれに代えて好ましくは、内部電圧発
生回路は、第2の電源電圧を降圧して内部電源電圧を内
部電圧として生成する内部降圧回路で構成される。
【0026】またこれに代えて、好ましくは内部電圧発
生回路は、第1の電源電圧レベルの電圧を内部電圧とし
て生成する回路である。
【0027】別の観点に従う半導体集積回路装置は、第
1の電源電圧を受け、この第1の電源電圧と電圧レベル
の異なる内部電圧を生成する内部電圧生成回路と、この
内部電圧の電圧レベルに従って内部電圧投入検出信号を
活性化する内部電圧投入検出回路と、第2の電源電圧の
投入を検出し、該検出結果に従って電源投入検出信号を
活性化する電源投入検出回路と、内部電圧投入検出信号
と電源投入検出信号とに従って内部電圧投入検出信号と
電源投入検出信号の少なくとも一方が活性状態の間活性
状態となる主電源投入検出信号を発生する主電源検出回
路を含む。
【0028】好ましくは、さらに、主電源投入検出信号
の活性化時非活性化され、かつ主電源投入検出信号の非
活性化時活性化され、第2の電源電圧レベルの振幅の信
号から内部電圧レベルの振幅の内部信号を発生する内部
信号発生回路が設けられる。
【0029】好ましくは、内部信号発生回路は、レベル
変換された信号をバッファ処理して出力するバッファ回
路を含む。このバッファ回路は、主電源投入検出信号の
活性化時非活性化(リセット)される。
【0030】好ましくは、主電源投入検出信号は、内部
電圧レベルの振幅を有する信号である。また好ましくは
さらに、主電源投入検出信号をレベル変換して変換投入
検出信号を発生するレベル変換回路と、この変換投入検
出信号の活性化時非活性化されかつ変換投入検出信号の
非活性化時活性化され、第2の電源電圧レベルの信号を
レベル変換して変換投入信号の振幅と等しい電圧レベル
の第2の内部信号を発生する内部信号発生回路が設けら
れる。
【0031】好ましくは、内部信号発生回路は、その出
力段に内部電源電圧を動作電源電圧として受けて内部信
号を発生するためのバッファ回路を有し、このバッファ
回路は変換投入検出信号の活性化時その出力がリセット
される。
【0032】好ましくは、内部電圧生成回路は、第1の
電源電圧を昇圧する昇圧回路を備える。
【0033】またこれに代えて、好ましくは、内部電圧
生成回路は、第1の電源電圧を降圧して内部電圧を発生
する降圧回路を備える。
【0034】これら第1および第2の電源電圧は記憶装
置に与えられ、かつ第2の電源電圧は、記憶装置と同一
半導体チップに集積化されるロジック回路へ与えられ
る。
【0035】複数の電源構成を有する場合、これら複数
の電源投入を個々に検出し、少なくとも一つの電源投入
検出信号が活性状態の間主電源投入検出信号を活性状態
に維持することにより、複数の電源電圧が安定化するま
で、内部回路をリセット状態に保持することができ、内
部ノードを所定の状態にリセットでき、貫通電流を抑制
することができる。
【0036】また、内部電圧の電圧レベルをモニタし、
この内部電圧が所定の電圧レベルに到達するまでの期間
および外部の電源電圧が不安定な状態の間、主電源投入
検出信号を活性状態に維持することにより、内部での必
要な電圧が安定化するまでの期間、内部ノードを初期状
態に維持することができ、内部ノードが不安定な中間電
圧レベルに浮き上がるのを防止することができ、回路誤
動作および貫通電流を確実に抑制することができる。
【0037】
【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、この発
明の実施の形態1に従う半導体集積回路装置の全体の構
成を概略的に示す図である。図1において、半導体集積
回路装置1に対し外部からロジック用の電源電圧VDD
LおよびDRAM用の電源電圧VDDHが与えられる。
この半導体集積回路装置1は、ロジックLGと、データ
の記憶を行なうDRAMマクロDMと、電源電圧VDD
LおよびVDDHの投入を検出する電源投入検出器2を
含む。
【0038】DRAMマクロDMは、行列状に配列され
る複数のメモリセルを有するメモリセルアレイMAと、
メモリセルアレイMAのアドレス指定された行を選択す
るためのロウデコーダRDと、メモリセルアレイMAの
選択メモリセルのデータの検知、増幅およびラッチを行
なうセンスアンプSAと、メモリセルアレイMAの選択
メモリセルへデータを書込むライトドライバWDと、メ
モリセルアレイMAのメモリセル選択およびデータの書
込/読出等に必要な動作を制御する制御回路CTLと、
DRAM電源電圧VDDHからアレイ電源電圧(センス
アンプ用電源電圧)VDDSおよび昇圧電圧VPPを発
生する内部電圧発生回路IVGAを含む。
【0039】アレイ電源電圧VDDSは、センスアンプ
SAに対し一方動作電源電圧として与えられ、かつライ
トドライバWDに対しても、一方動作電源電圧として与
えられる。昇圧電圧VPPは、一例としてロウデコーダ
RDへ与えられる。制御回路CTLおよびロジックLG
は、ロジック用電源電圧VDDLを動作電源電圧として
受ける。
【0040】ロウデコーダRDは、選択ワード線を昇圧
電圧VPPレベルに駆動するために、制御回路CTLか
らのロジック用電源電圧VDDLレベルの信号を受け
て、昇圧電圧VPPレベルの信号を生成する。またライ
トドライバWDは、外部からのロジック電源電圧VDD
Lレベルの振幅の信号を受け、アレイ電源電圧VDDS
レベルの振幅の内部書込データを生成する。したがって
ロウデコーダRDおよびライトドライバWDにおいて
は、いわゆるレベル変換回路が設けられている。
【0041】電源投入検出器2は、ロジック用電源電圧
VDDLの電源投入を検出し、このロジック用電源電圧
VDDLが不安定状態のときには、電源投入検出信号
(パワーオンリセット信号)/PORLを活性状態(Lレ
ベル)に保持する電源投入検出回路10と、DRAM用
電源電圧VDDHを受けるように結合され、DRAM用
電源電圧VDDHの投入時、電源電圧VDDHが安定化
するまで、電源投入検出信号(パワーオンリセット信号)
/PORHを活性状態(Lレベル)に保持する電源投入
検出回路11と、これらの電源投入検出信号/PORL
および/PORHを受け、少なくとも一方が活性状態の
ときには、主電源投入検出信号/POROHを活性状態
(Lレベル)に維持する主電源投入検出回路12を含
む。この主電源投入検出回路12からの主電源投入検出
信号/POROHが、DRAMマクロDMにおけるロウ
デコーダRDおよびライトドライバWD等へ与えられ
る。すなわち、この主電源投入検出信号/POROH
は、レベル変換機能を有する回路部分へ与えられる。
【0042】図2は、これらの電源投入検出信号を受け
る回路の構成を概略的に示す図である。図2において、
DRAMマクロDMは、電源投入検出信号/PORLの
活性化時非活性状態に維持されるVDDL使用回路13
aと、電源投入検出信号/PORHの活性化時非活性状
態に維持されるVDDH使用回路13bと、主電源投入
検出信号/POROHの活性化時初期状態にリセットさ
れる2電圧使用回路13cを含む。VDDL使用回路1
3aは、例えば、制御回路CTLに含まれる周辺制御回
路であり、ロジック用電源電圧VDDLを使用する回路
であり、レベル変換機能は有していない。VDDH使用
回路13bは、アレイ電源電圧VDDSよりも高いDR
AM用電源電圧VDDHを使用する回路であり、例えば
ビット線イコライズ制御信号発生回路である。または、
VDDH使用回路13bは、DRAM電源電圧VDDH
を供給する電源系またはDRAM電源電圧VDDHから
内部電圧を生成する電源系に対する制御信号を発生する
回路である。2電圧使用回路13cは、2つの異なる電
圧レベルの電圧を使用する回路であり、レベル変換機能
を有し、図1に示すロウデコーダRDおよびライトドラ
イバWDに相当する。この2電圧使用回路13cとし
て、さらに、後に詳細に説明するが、ワード線ドライ
バ、階層ワード線構成におけるメインワード線ドライバ
およびサブデコード信号発生部、およびシェアードセン
スアンプ構成におけるビット線分離指示信号発生部など
の昇圧信号を発生する回路および周辺電源電圧(ロジッ
ク電源電圧VDDL)の振幅の信号をアレイ電源電圧V
DDSレベルの振幅の信号に変換する例えば列選択信号
を発生するコラムデコーダ回路を含む。
【0043】この主電源投入検出回路12は、電源投入
検出信号/PORLおよび/PORHの少なくとも一方
が活性状態のときには、主電源投入検出信号/PORO
Hを活性状態に維持する。すなわち、電源電圧VDDL
およびVDDHがともに安定化するまで、電源投入検出
信号/POROHは、活性状態を維持する。したがっ
て、異なる電圧を使用するレベル変換回路等において、
確実にこれらの電源電圧VDDLおよびVDDHが安定
状態となるまで、その内部ノードが初期状態にリセット
され、中間電圧レベルに内部ノードの電圧レベルが浮き
上がるの防止でき、応じて貫通電流が生じるのを防止で
き、また回路誤動作が発生するのを防止することができ
る。
【0044】この電源投入検出回路10からの電源投入
検出信号/PORLの振幅は、ロジック電源電圧VDD
Lレベルであり、一方、電源投入検出回路11からの電
源投入検出信号/PORHの振幅は、DRAM用電源電
圧VDDHレベルである。主電源投入検出回路12から
の主電源投入検出信号/POROHの振幅は、DRAM
用電源電圧VDDHレベルである。これは、振幅VDD
Lの信号を振幅VPPなどの内部電圧レベルの振幅の信
号に変換するためである。
【0045】電源投入検出回路10および11は、通常
の電源投入検出回路の構成により実現され、キャパシタ
と抵抗素子により対象電源電圧レベルを容量結合または
キャパシタの充電電圧により検出し、インバータ回路に
よりキャパシタと抵抗素子との接続ノードの電圧レベル
を検出して、電源投入検出信号/PORLおよび/PO
RHを生成する。
【0046】図3は、図1に示す主電源投入検出回路1
2の構成の一例を示す図である。図3において、主電源
投入検出回路12は、電源電圧VDDHを動作電源電圧
として受け、電源投入検出信号/PORHを反転するイ
ンバータ12aと、ロジック用電源電圧VDDLを動作
電源電圧として受け、電源投入検出信号/PORLを反
転するインバータ12bと、インバータ12aの出力信
号がHレベルのとき導通しノード12mを接地ノードに
結合するNチャネルMOSトランジスタ12dと、イン
バータ12cの出力信号がHレベルのときに導通しノー
ド12mを接地ノードに結合するNチャネルMOSトラ
ンジスタ12cと、ノード12mの信号/電圧を反転し
てノード12nに伝達するインバータ12eと、ノード
12nの信号を反転してノード12mに伝達するインバ
ータ12fを含む。インバータ12eおよび12fは、
電源電圧VDDHを動作電源電圧として受け、インバー
タラッチを構成する。
【0047】主電源投入検出回路12は、さらに、電源
電圧VDDHを動作電源電圧として受け、ノード12n
上の信号を反転して主電源投入検出信号/PORHを生
成するインバータ12kと、電源電圧VDDHを動作電
源電圧として受け、インバータ12aの出力信号を反転
するインバータ12gと、電源電圧VDDLを動作電源
電圧として受け、インバータ12bの出力信号を反転す
るインバータ12hと、ノード12nと接地ノードの間
に直列に接続されるNチャネルMOSトランジスタ12
iおよび12jを含む。MOSトランジスタ12iはイ
ンバータ12gの出力信号をゲートに受け、MOSトラ
ンジスタ12jはインバータ12hの出力信号をゲート
に受ける。次に、この図3に示す主電源投入検出回路1
2の動作を、図4および図5に示す信号波形図を参照し
て説明する。
【0048】まず、図4を参照して電源電圧VDDHが
先に投入された時の動作について説明する。電源電圧V
DDHが時刻Taにおいて投入され、その電圧レベルが
上昇する。電源投入検出信号/PORHは、この電源電
圧VDDHの投入に従ってその電圧レベルが上昇するも
のの、すぐにLレベルに固定される。電源電圧VDDH
が安定化すると、時刻Tbにおいて、電源投入検出信号
/PORHがHレベルに立上がる。電源投入検出信号/
PORHがLレベルの期間、インバータ12aからは、
電源電圧VDDHレベルのHレベルの信号が出力され、
MOSトランジスタ12dがオン状態となり、ノード1
2mが接地電圧レベルに初期設定(リセット)される。電
源電圧VDDHの投入に従ってインバータ12eおよび
12fが動作し、ノード12mのLレベルの信号をラッ
チし、応じてノード12nがHレベルとなる。このと
き、電源電圧VDDLはまだ投入されていないため、イ
ンバータ12hの出力信号はLレベルであり、MOSト
ランジスタ12jはオフ状態であり、ノード12nは電
源電圧VDDHのHレベルに保持される。
【0049】時刻Tcにおいて、電源電圧VDDLが投
入されると、電源投入検出信号/PORLが一旦、電源
電圧VDDLに従ってそのレベルが上昇した後、Lレベ
ルに固定され、応じてインバータ12bの出力信号が電
源電圧VDDLレベルのHレベルとなり、MOSトラン
ジスタ12cがオン状態となる。再びノード12mが確
実に接地ノードに結合されて接地電圧レベルに保持され
る。
【0050】時刻Tdにおいて、電源電圧VDDLが安
定化すると、電源投入検出信号/PORLがHレベルと
なり、応じてインバータ12hからの信号も電源電圧V
DDLレベルのHレベルとなる。応じて、MOSトラン
ジスタ12iおよび12jがともにオン状態となり、ノ
ード12nが接地電圧レベルに放電され、応じてインバ
ータ12kからの主電源投入検出信号/POROHがH
レベルとなる。したがって、電源電圧VDDLおよびV
DDHはともに安定状態となったときに、主電源投入検
出信号/POROHがHレベルの非活性状態となる。
【0051】次に、図5を参照して、電源電圧VDDL
が先に投入された場合の動作について説明する。時刻T
eにおいて電源電圧VDDLが投入され、電源投入検出
信号/PORLがLレベルに固定される。そのとき、イ
ンバータ12bの出力信号が電源電圧VDDLレベルの
Hレベルとなり、応じてMOSトランジスタ12cがオ
ン状態となり、ノード12mが接地電圧レベルに固定さ
れる。電源電圧VDDHが投入されていないために、イ
ンバータ12eおよび12fの出力信号がともにLレベ
ルである。この状態においては、ノード12nの電圧レ
ベルは、不定状態であるが、ノード12mがLレベルで
あり、インバータ12eのPチャネルMOSトランジス
タを介して電源電圧VDDHを供給する電源ノードに結
合され、最悪でもこのインバータ12eのPチャネルM
OSトランジスタのしきい値電圧の絶対値の電圧レベル
に固定される。この場合でも、電源電圧VDDHは未だ
供給されていないので、出力段のインバータ12kにお
いては何ら貫通電流は流れず、何ら問題は生じない。ノ
ード12nも安定にLレベルに固定される(MOSトラ
ンジスタのしきい値電圧はここでは無視している)。イ
ンバータ12hの出力信号はまた、この電源投入検出信
号/PORLがLレベルであるため、Lレベルの信号を
出力する。主電源投入検出信号/POROHは、インバ
ータ12kに対する電源電圧VDDHが投入されていな
いため、Lレベルを維持する。したがって、ノード12
nの電圧レベルが浮き上がっていても何ら電源投入検出
信号/POROHの電圧レベルには影響を及ぼさない。
【0052】時刻Tfにおいて、電源投入検出信号/P
ORLがHレベルとなり、応じてインバータ12hの出
力信号がHレベル(電源電圧VDDLレベル)となり、
MOSトランジスタ12jがオン状態となり、一方、M
OSトランジスタ12cは、インバータ12bの出力信
号がLレベルとなり、オフ状態となる。電源電圧VDD
Hはまだ投入されていないため、ノード12mは、接地
ノードから切離される。ノード12mおよび12nは、
インバータ12eおよび12fにより、電源電圧VDD
Hを供給する電源電圧ノードに結合されており、Lレベ
ルを維持する。この状態であっても、電源電圧VDDH
はまだ投入されていないため、電源投入検出信号/PO
ROHはLレベルを維持する。
【0053】時刻Tgにおいて、電源電圧VDDHが投
入され、その電圧レベルが上昇する。電源投入検出信号
/PORHは、Lレベルであり、MOSトランジスタ1
2dがオン状態となり、ノード12mが接地電圧レベル
に駆動され、インバータ12eおよび12fにより、ノ
ード12nが、Hレベルに駆動されてラッチされる。イ
ンバータ12kは、ノード12nがHレベル(電源電圧
VDDHレベル)に充電されるため、主電源投入検出信
号/POROHをLレベルに保持する。
【0054】時刻Thにおいて、電源投入検出信号/P
ORHがHレベルに立上がると、MOSトランジスタ1
2jがオン状態、かつMOSトランジスタ12iがオン
状態となる。MOSトランジスタ12iおよび12j
が、したがってともにオン状態となり、ノード12nが
接地電圧レベルに放電され、インバータ12kからの主
電源投入検出信号/POROHがHレベルとなる。
【0055】ここで、インバータ12eの電流駆動能力
は、MOSトランジスタ12iおよび12jの電流駆動
能力よりも十分小さくされる。
【0056】したがって、この電源電圧VDDLが先に
投入される場合においても、電源電圧VDDLおよびV
DDHがともに安定状態となったときに、主電源投入検
出信号/POROHがHレベルに駆動される。
【0057】図6は、レベル変換回路の構成の一例を示
す図である。図6において、レベル変換回路は、電源電
圧VDDLレベルの振幅を有する入力信号SigLと主
電源投入検出信号/POROHを受けるNAND回路N
A1と、ノードNDaと接地ノードの間に結合され、か
つそのゲートにNAND回路NA1の出力信号を受ける
NチャネルMOSトランジスタNQ1と、主電源投入検
出信号/POROHを受けるインバータIVaと、NA
ND回路NA1の出力信号を受けるインバータIVb
と、ノードNDbと接地ノードの間に結合されかつその
ゲートにインバータIVbの出力信号を受けるNチャネ
ルMOSトランジスタNQ2と、ノードNDaと接地ノ
ードの間に結合されかつそのゲートにインバータIVa
の出力信号を受けるNチャネルMOSトランジスタNQ
3と、昇圧電圧VPPを受ける昇圧電源ノードとノード
NDaの間に結合されかつそのゲートがノードNDbに
結合されるPチャネルMOSトランジスタPQ1と、昇
圧電源ノードとノードNDbの間に結合されかつそのゲ
ートがノードNDaに結合されるPチャネルMOSトラ
ンジスタPQ2と、昇圧電圧VPPを動作電源電圧とし
て受けてノードNDbの信号を反転して昇圧電圧VPP
レベルの振幅を有する出力信号SigPを生成するイン
バータIVcを含む。
【0058】インバータIVbは、ロジック用電源電圧
VDDLを動作電源電圧として受け、インバータIVa
は、DRAM用電源電圧VDDHを動作電源電圧として
受ける。インバータIVbは、レベル変換のために用い
られ、インバータIVaは、電源投入時の内部ノードリ
セットのために用いられる。次に、この図6に示すレベ
ル変換回路の動作について簡単に説明する。
【0059】主電源投入検出信号/POROHがLレベ
ルのとき、電源電圧VDDHが投入されかつ電源電圧V
DDLが投入されていないときには、インバータIVa
の出力信号が電源電圧VDDHに従ってHレベルとな
り、MOSトランジスタNQ3がオン状態となり、ノー
ドNDaが接地電圧レベルにリセットされる。電源電圧
VDDLが投入されていないため、NAND回路NA1
の出力信号およびインバータIVbの出力信号はともに
Lレベルである。電源電圧VDDHに従って昇圧電圧V
PPが生成されるため、この電源電圧VDDHに従って
昇圧電圧VPPの電圧レベルも上昇する。ノードNDa
がLレベルであるため(リセットされているため)、M
OSトランジスタPQ2がオン状態となり、ノードND
bは昇圧電圧VPPレベルに駆動され、出力信号Sig
Pは、Lレベルを維持する。
【0060】次いで、電源電圧VDDLが投入される
と、主電源投入検出信号/POROHがLレベルであれ
ば、NAND回路NA1の出力信号がHレベルとなり、
応じてインバータIVbの出力信号がLレベルとなる。
ノードNDaは、MOSトランジスタNQ1およびNQ
3により接地電圧レベルに駆動されるため、接地電圧レ
ベルのLレベルを維持する。
【0061】電源電圧VDDHおよびVDDLがともに
安定化し、主電源投入検出信号/POROHがHレベル
となると、インバータIVaの出力信号がLレベルとな
る。このときには、NAND回路NA1およびインバー
タIVbの出力信号は、入力信号SigLの論理レベル
に従って変化する。入力信号SigLがLレベルであれ
ば、NAND回路NA1の出力信号はHレベルであり、
出力信号SigPは、Lレベルを維持する。一方、入力
信号SigLがHレベルとなれば、NAND回路NA1
の出力信号がLレベルとなり、インバータIVbの出力
信号がHレベルとなり、ノードNDbがMOSトランジ
スタNQ2により接地電圧レベルに放電される。応じ
て、出力信号SigPが昇圧電圧VPPレベルに駆動さ
れる。
【0062】電源電圧VDDLが先に投入された場合、
主電源投入検出信号/POROHがLレベルであり、ノ
ードNDcが、この電源電圧VDDLに従ってHレベル
となり、ノードNDaが接地電圧レベルに保持される。
また、NAND回路NA1の出力信号がHレベルのと
き、インバータIVbの出力信号はLレベルである。こ
の状態においては、電源電圧VDDHが投入されていな
いため昇圧電圧VPPがLレベルであり、インバータI
Vcにおいて貫通電流は流れない。
【0063】電源電圧VDDHが投入されると昇圧電圧
VPPの電圧レベルが上昇する。ノードNDaは、Lレ
ベルに固定されており、昇圧電圧VPPの電圧レベルの
上昇時においてインバータIVcには貫通電流は流れな
い。電源投入検出信号/POROHがHレベルとなる
と、入力信号SigLに従って出力信号SigPが生成
される。
【0064】したがって、電源電圧VDDHが投入さ
れ、電源電圧VDDLが投入されない場合、主電源投入
検出信号/POROHがLレベルであり、応じてMOS
トランジスタNQ3により、ノードNDaがLレベルに
固定される。昇圧電圧VPPが、電源電圧VDDHより
生成されている場合においても、ノードNDbは、昇圧
電圧VPPレベルに保持される。したがって、ノードN
DcおよびNDdはともにLレベルであっても、ノード
NDaがLレベル、NDbが昇圧電圧VPPレベルに駆
動され、ノードNDbが中間電圧レベルで保持されるの
を防止でき、インバータIVcにおける貫通電流を抑制
することができる。
【0065】また、NAND回路NA1を利用すること
により、内部ノードNDaの電圧レベルの浮き上がりを
防止できる。すなわち、電源電圧VDDLが電源電圧V
DDHよりも先に投入された場合、主電源投入検出信号
/POROHがLレベルであるため、ノードNDcをH
レベルに駆動して、ノードNDaをLレベルに保持する
ことができる。昇圧電圧VPPは発生されていないた
め、Lレベルであり、ノードNDaがMOSトランジス
タNQ1によりLレベルに固定された場合、ノードND
bは最悪、MOSトランジスタPQ2のしきい値電圧の
絶対値の電圧レベルに固定される。この状態で、電源電
圧VDDHおよび昇圧電圧VPPが立上がった場合で
も、ノードNDaがLレベルに固定されているため(電
源投入検出信号/POROHがLレベル)、ノードND
bが昇圧電圧VPPレベルに駆動され、応じてインバー
タIVcの入力信号(この動作期間中はHレベル)が中間
電圧レベルとなるのを防止でき、貫通電流を抑制するこ
とができる。
【0066】この出力信号SigPは、ワード線駆動信
号WL、または階層ワード線構成におけるサブワード線
ドライバに与えられるサブデコード信号(サブワード線
選択用の信号)、またはビット線分離指示信号BLIと
して用いられる。
【0067】[レベル変換回路の変更例]図7は、レベ
ル変換回路の変更例を示す図である。この図7に示すレ
ベル変換回路は、図1に示すライトドライバWDに含ま
れるライトドライブ回路であり、振幅VDDLの入力信
号WDLを、振幅VDDSの信号(内部書込データ)に
変換する。
【0068】図7において、ライトドライブ回路は、電
源電圧VDDLを動作電源電圧として受け、振幅VDD
Lの書込データWDLと主電源投入検出信号/PORO
Hを受けるNAND回路NA2と、電源電圧VDDHを
動作電源電圧として受け、主電源投入検出信号/POR
OHを反転するインバータIVdと、電源電圧VDDL
を動作電源電圧として受け、NAND回路NA2の出力
信号を反転するインバータIVeと、NAND回路NA
2の出力信号に従ってノードNDsを接地ノードに選択
的に結合するNチャネルMOSトランジスタNQ4と、
インバータIVeの出力信号に従ってノードNDtを選
択的に接地ノードに結合するNチャネルMOSトランジ
スタNQ5と、インバータIVdの出力信号に従ってノ
ードNDsを接地ノードに結合するNチャネルMOSト
ランジスタNQ6と、アレイ電源電圧VDDSを供給す
るアレイ電源ノードとノードNDsの間に結合され、か
つそのゲートがノードNDtに結合されるPチャネルM
OSトランジスタPQ3と、アレイ電源ノードとノード
NDtの間に結合されかつそのゲートがノードNDsに
接続されるPチャネルMOSトランジスタPQ4と、ア
レイ電源電圧VDDSを動作電源電圧として受け、ノー
ドNDt上の信号を反転して内部書込データWDSを生
成するインバータIVfと、アレイ電源電圧VDDSを
動作電源電圧として受け、ノードNDsの信号を反転し
て補の内部書込データ/WDSを生成するインバータI
Vgを含む。
【0069】この図7に示すライトドライブ回路は、内
部書込データWDSおよび/WDSを2値駆動してお
り、出力ハイインピーダンス状態とはならない。すなわ
ち、この図7に示すライトドライブ回路は、リードデー
タ線とライトデータ線とが別々に設けられ、かつライト
データ線のプリチャージが行なわれない構成に対して適
用される。
【0070】この図7に示すライトドライブ回路(レベ
ル変換回路)においては、図6に示すレベル変換回路の
構成と同様、電源電圧VDDLおよびVDDHの投入順
序に関わらず、主電源投入検出信号/POROHがLレ
ベルの期間、NAND回路NA2の出力信号をHレベル
またはインバータIVdの出力信号をHレベルとして、
ノードNDsを接地電圧レベルに固定する。電源電圧V
DDHが電源電圧VDDLよりも先に投入された場合に
は、このDRAM用の電源電圧VDDHに従ってアレイ
電源電圧VDDSが生成される。したがってノードND
sがLレベルに初期設定された場合、MOSトランジス
タPQ4によりノードNDtがアレイ電源電圧VDDS
レベルにプリチャージされる。したがってノードNDs
およびNDtが、電源電圧と接地電圧の間の中間電圧レ
ベルにその電圧レベルが浮き上がるのを防止することが
でき、インバータIVfおよびIVgにおける貫通電流
を防止できる。このとき、内部書き込みデータWDSお
よび/WDSは、電源電圧VDDSにしたがってそれぞ
れLおよびHレベルとなる。
【0071】電源電圧VDDLが電源電圧VDDHより
も先に投入された場合には、電源電圧VDDLにしたが
って、NAND回路NA2の出力信号がHレベルとな
り、MOSトランジスタNQ4により、ノードNDsが
接地電圧レベルに駆動される。電源電圧VDDHが投入
されていないときにはまだアレイ電源電圧VDDSもL
レベルである。したがってインバータIVfおよびIV
gにおいても、その動作電源電圧は供給されていないた
め、貫通電流は生じない。電源電圧VDDHが投入さ
れ、アレイ電源電圧VDDSもその電圧レベルが上昇す
ると、ノードNDsは、接地電圧レベルに固定されてい
るため、ノードNDtの電圧レベルも、アレイ電源電圧
VDDSの電圧レベルの上昇に従って上昇する。したが
って、このノードNDtの電圧レベルは、インバータI
Vfに対して、常に論理Hレベルであり、この電源電圧
VDDH投入時においても、インバータIVfおよびI
Vgにおいて、貫通電流は生じない。
【0072】主電源投入検出信号/POROHがHレベ
ルの非活性状態となると、インバータIVeの出力信号
はLレベルとなり、またNAND回路NA2は、内部書
込データWDLの電圧レベルに応じて出力信号を生成す
る。したがって、内部書き込みデータWDSおよび/W
DSの電圧レベルも内部書き込みデータWDLにしたが
って決定される。
【0073】図8は、この発明の実施の形態1に従う半
導体記憶装置の要部の構成を概略的に示す図である。メ
モリセルMCの各行に対応してサブワード線SWLが配
設され、メモリセルMCの各列に対応してビット線BL
および/BLが配設される。図8において、1つのサブ
ワード線SWLおよび1対のビット線を代表的に示す。
メモリセルMCが、サブワード線SWLとビット線BL
の交差部に対応して配置される。ビット線BLおよび/
BLはビット線分離ゲートBIGを介してセンスアンプ
回路S/Aに結合される。センスアンプ回路S/Aは、
列選択ゲートCSGを介して内部書込データ線対IWD
Lに結合される。この列選択ゲートCSGに与えられる
列選択信号CSLは、電源電圧VDDLの振幅を有する
ように示す。しかしながら、この列選択信号CSLは、
アレイ電源電圧VDDHの振幅を有してもよい。この列
選択信号CSLがアレイ電源電圧VDDHの振幅を有す
る場合には、この列選択信号CSLを発生する部分にレ
ベル変換回路が設けられる。
【0074】内部書込データ線IWDLには、ライトド
ライブ回路WDRが結合される。このライトドライブ回
路WDRは、図7に示す構成を有し、アレイ電源電圧V
DDSを動作電源電圧として受けて書込データWDLか
ら相補内部書込データWDSおよび/WDSを生成す
る。
【0075】サブワード線SWLに対し、サブワード線
ドライブ回路SWDが設けられる。このサブワード線ド
ライブ回路SWDは、メインワード線MWL上のメイン
ワード線駆動信号ZMWLとサブデコード信号伝達線S
DL上のサブデコード信号SDに従ってサブワード線S
WLを選択状態(昇圧電圧VPPレベル)に駆動する。
補のサブデコード信号/SDも用いられるが、これは示
していない。
【0076】メインワード線MWLは、同一行に配列さ
れる複数のサブワード線SWLに共通に設けられる。こ
のメインワード線MWLは、メインワード線ドライブ回
路20により駆動される。このメインワード線ドライブ
回路20は、ロウデコーダRDに含まれ、高電圧VPP
を動作電源電圧として受け、ロウデコード回路からのワ
ード線選択信号MXT(振幅VDDLレベル)の信号に
従って振幅VPPのメインワード線駆動信号ZMWLを
生成する。このメインワ−ド線ドライブ回路20は、先
の図6に示す構成を含む。または、このメインワード線
ドライブ回路20が図6に示す回路からの振幅VPPの
信号にしたがって、対応のメインワード線MWLを駆動
してもよい。この場合、図6の構成は、ロウデコード回
路とメインワード線駆動回路の間に設けられる。
【0077】サブデコード信号伝達線SDLは、サブデ
コーダ21に結合される。このサブデコーダ21は、プ
リデコード信号XDをプリデコードし、高電圧VPPレ
ベルのサブデコード信号SDを生成する。サブデコード
信号SDは振幅VPPを有し、選択サブワード線上にサ
ブワード線ドライブ回路SWDを介して伝達される。
【0078】ビット線BLおよび/BLには、スタンバ
イ状態時ビット線BLおよび/BLを中間電圧(=VD
DS/2)の電圧レベルにプリチャージするビット線プ
リチャージ/イコライズ回路BPEが設けられる。この
ビット線プリチャージ/イコライズ回路BPEは、ビッ
ト線プリチャージ/イコライズ制御回路22からのビッ
ト線イコライズ指示信号BLEQにより、そのプリチャ
ージ/イコライズ動作が制御される。このビット線プリ
チャージ/イコライズ制御回路22は、DRAM用の電
源電圧VDDHを受ける。内部の行系制御回路からの行
選択動作活性化信号RACT(振幅VDDLレベル)に
従って、振幅VDDHのビット線イコライズ指示信号B
LEQを生成する。
【0079】ビット線分離ゲートBIGは、その導通/
非導通が、ビット線分離制御回路23からのビット線分
離指示信号BLIにより制御される。このビット線分離
制御回路23は、行選択動作活性化信号RACT(振幅
VDDL)の信号に従って振幅VPPレベルのビット線
分離指示信号BLIを生成する。
【0080】センスアンプ回路S/Aは、センスアンプ
制御回路24からのセンスアンプ活性化信号SOPおよ
びSONに従って図示しないセンス電源線およびセンス
接地線に結合されてセンス動作を行なう。このセンスア
ンプ制御回路24は、センスアンプイネーブル信号SA
E(振幅VDDL)に従って振幅VDDSのセンスアン
プ活性化信号SOPおよびSONを生成する。
【0081】なお、ビット線プリチャージ/イコライズ
制御回路22、ビット線分離制御回路23、センスアン
プ制御回路24、メインワード線ドライブ回路20およ
びサブデコーダ21が、図6に示すレベル変換回路と同
様の構成を有し、その出力信号の振幅に応じて、高電圧
VPPまたはDARM用電源電圧VDDHまたはアレイ
電源電圧VDDSを受ける。これらのメインワード線ド
ライブ回路20、サブデコーダ21、ビット線プリチャ
ージ/イコライズ制御回路22、ビット線分離制御回路
23およびセンスアンプ制御回路24に、主電源投入検
出信号/POROHが与えられる。ライトドライブ回路
WDRに対しても、主電源投入検出信号/POROHが
与えられる。
【0082】なお、センスアンプ回路S/Aは、隣接ビ
ット線対により共有されており、シェアードセンスアン
プ構成である。この場合、メモリアレイはブロック分割
されており、図8に示す各制御信号発生部に対してはブ
ロック選択信号が与えられる。このブロック選択信号
は、振幅VDDLレベルであり、各制御信号またはデコ
ード信号とブロック選択信号との合成信号が、各回路2
0−24へ与えられる。
【0083】メインワード線MWLは、メモリセル行に
対応してメモリセルアレイにおいて数多く設けられてお
り、応じてメインワード線ドライブ回路20も、数多く
設けられる。したがって、電源投入時の出力段のバッフ
ァの貫通電流を抑制することにより、電源投入時の消費
電流を低減することができる。
【0084】また、混載DRAMにおいては、列選択信
号CSLは、行方向に延在して配設され、ライトデータ
線対IWDLは、メモリアレイ上にわたって行方向に延
在して配設される。この場合、たとえば128ビットの
書込データ線対IWDLが配設される。したがって、ラ
イトドライブ回路WDRの電源投入時の消費電流を低減
することにより、電源投入時のライトドライバ全体の消
費電流を低減することができる。
【0085】なお、ビット線プリチャージ/イコライズ
制御回路22の具体的構成を示していない。しかしなが
ら、図6に示すレベル変換回路の構成において、高電圧
VPPに代えて、DRAM用の電源電圧VDDHが用い
られれば、ビット線プリチャージ/イコライズ制御回路
22を構成するレベル変換回路を実現することができ
る。
【0086】以上のように、この発明の実施の形態1に
従えば、複数電源構成において各電源に対し電源投入検
出回路を設け、少なくとも1つの電源投入検出信号が活
性状態の間、レベル変換回路に対する電源投入検出信号
を活性状態として内部ノードをリセットしており、電源
投入順序にかかわらず、レベル変換回路における貫通電
流を防止することができ、電源投入時の消費電流を低減
することができる。
【0087】[実施の形態2]図9は、この発明の実施
の形態2に従う半導体集積回路装置の要部の構成を概略
的に示す図である。図9においては、振幅VDDLの信
号SigLを、高電圧VPPレベルの振幅の信号Sig
Pに変換する回路を示す。この図9においては、信号S
ig1Lを振幅VPPの信号Sig1Pに変換する内部
ドライブ回路26aと、振幅VDDLの信号Sig2L
を振幅VPPの信号Sig2Pに変換する内部ドライブ
回路26bを代表的に示す。これらの内部ドライブ回路
26aおよび26bは、図8に示す構成において、高電
圧VPPを動作電源電圧として使用するメインワード線
ドライブ回路20、サブデコーダ21、ビット線分離制
御回路23に相当する。
【0088】内部ドライブ回路26aおよび62bの各
々は、入力信号SigL(Sig1L,Sig2L)を
高電圧VPPレベルの信号に変換するレベル変換回路2
7と、このレベル変換回路27の出力信号をバッファ処
理して振幅VPPレベルの信号SigP(Sig1P,
Sig2P)を生成するバッファ回路28を含む。バッ
ファ回路28は、NAND回路28aと、このNAND
回路28aの出力信号を受けて信号SigPを生成する
インバータとを含む。
【0089】これらのドライブ回路26a、26b…に
共通に、変換電圧投入検出回路25が設けられる。この
変換電圧投入検出回路25は、図1に示す主電源投入検
出回路12からの主電源投入検出信号/POROHを振
幅VPPレベルの変換電圧投入検出信号/POROPに
変換する。変換電圧投入検出信号/POROPが、内部
ドライブ回路26a、26b…各々のバッファ回路28
の初段のNAND回路28aに与えられる。
【0090】変換電圧投入検出回路25は、ノードND
eと接地ノードの間に結合され、主電源投入検出信号/
POROHをゲートに受けるNチャネルMOSトランジ
スタNQ7と、主電源投入検出信号/POROHを受け
るインバータIVhと、インバータIVhの出力信号に
従ってノードNDfを接地ノードに結合するNチャネル
MOSトランジスタNQ8と、昇圧電圧供給ノードとノ
ードNDeの間に結合され、かつそのゲートがノードN
Dfに結合されるPチャネルMOSトランジスタPQ5
と、昇圧電圧供給ノードとノードNDfの間に結合され
かつそのゲートがノードNDeに結合されるPチャネル
MOSトランジスタPQ6と、ノードNDfの出力信号
を反転して変換電圧投入検出信号/POROPを生成す
るインバータIViを含む。インバータIVhはDRA
M用電源電圧VDDHを動作電源電圧として受け、イン
バータIViは昇圧電圧VPPを動作電源電圧として受
ける。
【0091】内部ドライブ回路26aおよび26bにお
いてレベル変換回路27は、すべて同一構成を有し、図
9においては、内部ドライブ回路26aに含まれるレベ
ル変換回路27の構成要素に対して参照番号を付す。レ
ベル変換回路27は、入力信号Sig1Lに従ってノー
ドNDgを接地ノードに結合するNチャネルMOSトラ
ンジスタ27aと、入力信号SigLを受けるインバー
タ27cと、インバータ27cの出力信号に従ってノー
ドNDhを接地ノードに結合するNチャネルMOSトラ
ンジスタ27bを含む。ノードNDgからバッファ回路
28に対する信号が取出される。インバータ27cは、
ロジック用電源電圧VDDLを動作電源電圧として受け
る。
【0092】このレベル変換回路27は、さらに、昇圧
電圧供給ノードとノードNDgの間に接続されかつその
ゲートがノードNDhに接続されるPチャネルMOSト
ランジスタ12dと、昇圧電圧供給ノードとノードND
hの間に接続されかつそのゲートがノードNDeに接続
されるPチャネルMOSトランジスタ12eを含む。こ
のレベル変換回路27においては、内部ノードNDgお
よびNDhの電圧レベルを電源投入時初期設定(リセッ
ト)するためのNAND回路は設けられていない。次
に、この図9に示す構成の動作を図10に示す信号波形
図を参照して説明する。
【0093】時刻T10においてDRAM用の電源電圧
VDDHが投入され、その電圧レベルが上昇する。この
DRAM用の電源電圧VDDHの投入に従って昇圧電圧
VPPの電圧レベルが上昇する。電源電圧VDDHがあ
る電圧レベルを超えると、この昇圧電圧VPPが高速で
上昇する(昇圧回路がチャージポンプ動作を完全に行な
うため)。
【0094】電源電圧VDDHおよび昇圧電圧VPPが
安定化しても、ロジック用の電源電圧VDDLはまだ投
入されていないため、主電源投入検出信号/POROH
はLレベルの活性状態を維持する。したがって、変換電
圧投入検出回路25においては、MOSトランジスタN
Q7がオン状態であり、ノードNDfが、昇圧電圧VP
Pレベルに駆動され、インバータIViの出力する変換
電圧投入検出信号/POROPは、Lレベルを維持す
る。
【0095】時刻T11においてロジック用の電源電圧
VDDLが投入され、その電圧レベルが上昇する。時刻
T12においてこのロジック用の電源電圧VDDLが安
定化すると、主電源投入検出信号POROHがHレベル
となり、応じて、変換電圧投入検出信号/POROPも
Hレベル(昇圧電圧VPPレベル)となる。
【0096】時刻P12以前においては、変換電圧投入
検出信号/POROPはLレベルであるため、内部ドラ
イブ回路26a、26b…においてはバッファ回路28
からの信号SigPはすべてLレベルを維持する。時刻
T11以前において、内部ドライブ回路26a、26b
のレベル変換回路27において、入力信号SigL(S
ig1L,Sig2L)がLレベルであり、またインバ
ータ27cの出力信号もLレベルであり、ノードNDg
およびNDhが中間電圧レベルに上昇することが考えら
れる。しかしながら、バッファ回路28においては、こ
の変換電圧投入検出信号/POROPにより、初段のN
AND回路の出力信号はHレベルであり、レベル変換回
路27のノードNDgが中間電圧レベルとなっても、貫
通電流が流れるのが防止される。レベル変換回路27に
おいては、MOSトランジスタ27aおよび27bはオ
フ状態であり、貫通電流は流れない。これにより、電源
投入時の消費電流を低減することができる。
【0097】ロジック用の電源電圧VDDLが投入され
た後に、DRAM用の電源電圧VDHが投入された場
合、内部ドライブ回路26a、26b…において、レベ
ル変換回路27の入力信号SigL(Sig1L,Si
g2L)の電圧レベルがロジック電源電圧VDDLに対
する電源投入検出信号/PORLに従って初期設定さ
れ、MOSトランジスタ27aおよび72bの一方がオ
ン状態、他方がオフ状態となる。しかしながら、この場
合DRAM用の電源電圧VDDHが投入されていないた
め、昇圧電圧VPPは、Lレベルを維持しており、この
状態においてバッファ回路28において貫通電流は流れ
ない。DRAM用の電源電圧VDDHが投入され、昇圧
電圧VPPの電圧レベルが上昇すると、内部ドライブ回
路26a、26b…のレベル変換回路27においてノー
ドNDeおよびNDhの一方がLレベル、他方が昇圧電
圧VPPレベルに駆動される。この過渡状態時において
も、変換電圧投入検出信号/POROPはLレベルを維
持しており、バッファ回路28において貫通電流は流れ
ない。レベル変換回路27においても、ノードNDeお
よびNDhの一方が昇圧電圧VPPの電圧レベルに従っ
てその電圧レベルが上昇する。したがって、このレベル
変換回路27においても、貫通電流が流れる経路は存在
せず、電源投入時の消費電流は低減される。
【0098】この図9に示す構成においては、内部ドラ
イブ回路26a、26b…のレベル変換回路27におい
ては、内部ノードNDeおよびNDhの電圧レベルをリ
セット(初期設定)するためのNAND回路、インバー
タ回路およびノードNDgをDRAM電源電圧VDDH
投入時リセットするためのインバータおよびMOSトラ
ンジスタが不要となり、レベル変換回路の占有面積を低
減することができる。
【0099】[変更例1]図11は、この発明の実施の
形態2の変更例1の構成を示す図である。この図11に
おいては、内部ドライブ回路32a、32bは、ロジッ
ク用の電源電圧VDDLレベルの振幅の入力信号Sig
L(Sig1L,Sig2L)を、アレイ電源電圧VD
DSレベルの振幅の信号SigS(Sig1s,Sig
2S)に変換する。これらの内部ドライブ回路32aお
よび32bの各々は、電源電圧VDDLレベルの振幅を
有する入力信号SigL(Sig1L,Sig2L)
を、アレイ電源電圧VDDSの振幅を有する信号に変換
するレベル変換回路33と、レベル変換回路33の出力
信号をバッファ処理して出力信号SigS(Sig1
s,Sig2S)を生成するバッファ回路34を含む。
バッファ回路34は、初段にNAND回路34aを含
む。
【0100】これらの内部ドライブ回路32a、32b
…に共通に、振幅VDDHの主電源投入検出信号/PO
ROHのレベル変換を行なって振幅VDDSの変換電圧
投入検出信号/POROSを生成する変換電圧投入検出
回路30が設けられる。この変換電圧投入検出信号/P
OROSは、内部ドライブ回路32a、32b…のバッ
ファ回路34の初段のNAND回路34aに与えられ
る。変換電圧投入検出回路30は、2段の縦続接続され
るインバータ30aおよび30bを含み、これらのイン
バータ30aおよび30bへは、アレイ電源電圧VDD
Sが動作電源電圧として与えられる。アレイ電源電圧V
DDSは、DRAM用の電源電圧VDDHよりもその電
圧レベルは低いため、アレイ電源電圧VDDSを動作電
源電圧として受けるインバータ30aおよび30bによ
り、振幅VDDHの主電源投入検出信号/POROHの
レベル変換を行なって変換電圧投入検出信号/PORO
Sを生成することができる。
【0101】この図11に示す構成においても、アレイ
電源電圧VDDSは、DRAM用電源電圧VDDHを降
圧して生成される。したがって、DRAM用の電源電圧
VDDHが投入された後に、ロジック用の電源電圧VD
DLが投入されても、変換電圧投入検出信号/PORO
SがLレベルの間、バッファ回路34においてNAND
回路34aは、対応のレベル変換回路33の内部ノード
の電圧が中間電圧レベルに浮上がっても、貫通電流を生
じさせることなく、Hレベルの信号を出力する。
【0102】主電源投入検出信号/POROHがHレベ
ルとなると、変換電圧投入検出信号/POROSもHレ
ベルとなり、内部ドライブ回路32a、32b…が、入
力信号SigL(Sig1L,Sig2L)に従って出
力信号SigS(Sig1S,Sig2S)を生成す
る。
【0103】この図11に示すように、振幅VDDLの
信号を振幅VDDSの信号に変換する回路においても、
振幅VDDSの変換電圧投入検出信号/POROSを利
用することにより、電源電圧投入シーケンスにかかわら
ず、この電源投入時の消費電流を低減することができ、
また、内部ドライブ回路32(32a、32b)のレベル
変換回路33の占有面積を低減することができる。
【0104】[変更例2]図12は、この発明の実施の
形態2の変更例2の構成を概略的に示す図である。図1
2において、内部ドライブ回路36a、36b…は、ロ
ジック用の電源電圧VDDLの振幅を有する入力信号S
igL(Sig1L,Sig2L)をDRAM用の電源
電圧VDDHの振幅の信号SigH(Sig1H,Si
g2H)に変換する。これらの内部ドライブ回路36
a、36b…の各々は、振幅VDDLの入力信号Sig
Lを、振幅VDDHの信号に変換するレベル変換回路3
8と、レベル変換回路38の出力信号と主電源投入検出
信号/POROHとに従って振幅VDDHの出力信号S
igHを生成するバッファ回路39を含む。バッファ回
路39は、入力初段のNAND回路と、このNAND回
路の出力信号を受けるインバータとを含む。この初段の
NAND回路39に主電源投入検出信号/POROHが
与えられる。
【0105】主電源投入検出信号/POROHは、振幅
VDDHである。したがって、このような、振幅VDD
Lの信号を振幅VDDHの信号に変換する回路において
も、振幅VDDHの主電源投入検出信号/POROHを
バッファ回路へ入力信号として与えることにより、電源
投入シーケンスにかかわらず、電源投入時の消費電流を
低減することができる(バッファ段における貫通電流が
抑制されるため)。
【0106】なお、図9、図11および図12に示す構
成は組合せて用いられてもよい。すなわち、図13に示
すように、主電源投入検出回路12からの振幅VDDH
の主電源投入検出信号/POROHから、レベル変換回
路25および30により、それぞれ、振幅VPPの変換
電圧投入検出信号/POROPおよび振幅VDDSの変
換電圧投入検出信号/POROSを生成する。
【0107】主電源投入検出信号/POROHを、図1
2に示すように、振幅VDDLの信号を振幅VDDHの
信号に変換する内部ドライブ回路(VDDL/VDDH
変換部)36に含まれるバッファ回路39へ与える。レ
ベル変換回路25からの変換電圧投入検出信号/POR
OPを、図9に示すような振幅VDDLの信号を振幅V
PPの信号に変換するVDDL/VPP変換部(内部ド
ライブ回路)26に含まれるバッファ28へ与える。レ
ベル変換回路30からの変換電圧投入検出信号/POR
OSを、図11に示すような、振幅VDDLの信号を振
幅VDDSの信号に変換するVDDL/VDDS変換部
(内部ドライブ回路)32のバッファ回路34へ与え
る。
【0108】電源電圧VDDHおよびVDDLの投入シ
ーケンスにかかわらず、振幅VDDLの信号を、DRA
M用電源電圧VDDHおよびこのDRAM用電源電圧V
DDHから生成される内部電圧の振幅の信号に変換する
レベル変換回路における貫通電流を確実に防止すること
ができる。
【0109】以上のように、この発明の実施の形態2に
従えば、レベル変換を行なう回路において、このレベル
変換後の信号の振幅と同じ振幅を有する電源投入検出信
号を生成して、レベル変換後の信号をバッファ処理する
回路へ入力信号として与えることにより、確実に、電源
投入シーケンスにかかわらず電源投入時の貫通電流を抑
制し、応じて消費電流を低減することができる。また、
レベル変換回路においては、電源投入時の内部ノードの
電圧レベルをリセット(初期設定)するための構成要素
が不要となり、その占有面積が低減される。
【0110】[実施の形態3]図14は、この発明の実
施の形態3に従う電源投入検出信号発生部の構成を概略
的に示す図である。図14において、電源投入検出信号
発生部は、ロジック用の電源電圧VDDLの投入を検出
する電源投入検出回路40と、DRAM用電源電圧VD
DHから昇圧電圧VPPを生成する昇圧回路42と、昇
圧回路42からの昇圧電圧VPPの電圧レベルに従って
高電圧投入検出信号/PORPを生成する高電圧投入検
出回路44と、電源投入検出信号/PORLおよび高電
圧投入検出信号/PORPがともに非活性状態となると
非活性化される主電源投入検出信号/POROPを生成
する主電源投入検出回路46とを含む。主電源投入検出
回路46からの主電源投入検出信号/POROPは、振
幅VPPを有する。この主電源投入検出回路46の構成
は、先の図3に示す主電源投入検出回路12の構成にお
いて、DRAM用電源電圧VDDHに代えて昇圧電圧V
PPが用いられる。また、検出信号/PORHに代え
て、信号/PORPが用いられる。振幅VDDHの主電
源投入検出信号/POROHに代えて、昇圧電圧VPP
レベルの振幅を有する主電源検出信号/POROPを生
成することができる。
【0111】この電源投入検出信号発生部は、さらに、
主電源投入検出信号/POROPをアレイ電源電圧VD
DSレベルの振幅を有する変換電圧検出信号/PORO
Sに変換するレベル変換回路50と、DRAM用電源電
圧VDDHの振幅を有する信号/PORHにこの主電源
投入検出信号/POROPを変換するレベル変換回路5
2を含む。主電源投入検出信号/POROPは、振幅V
DDLの信号を振幅VPPの信号に変換するVDDL/
VPP変換部26(図9参照)のバッファ回路28へ与
えられる。
【0112】レベル変換回路50からの変換電圧投入検
出信号/POROSは、振幅VDDLの信号を振幅VD
DSの信号に変換するVDDL/VDDS変換部32
(図11参照)のバッファ回路34へ与えられる。レベ
ル変換回路52からの変換電圧投入検出信号/PORO
Hは、振幅VDDLの信号を振幅VDDHの信号に変換
するVDDL/VDDH変換部36(図12参照)のバ
ッファ回路39へ与えられる。
【0113】この図14に示す構成においても、昇圧電
圧VPPは、DRAM用電源電圧VDDHから生成され
ており、昇圧電圧VPPが安定化した場合、DRAM用
の電源電圧VDDHも安定化している。したがって、こ
の主電源投入検出回路46からの主電源投入検出信号/
POROPは、ロジック用の電源電圧VDDLが投入さ
れて安定化され、またDRAM用電源電圧VDDHが投
入されて安定化し、また応じて、昇圧電圧VPPが安定
化すると非活性状態となる。したがって、内部電圧(電
源電圧)が安定化するまで、内部のレベル変換回路をリ
セット状態に保持することができ、電源投入時の貫通電
流を抑制することができる。
【0114】電源投入検出信号/PORLは、電源電圧
VDDLを使用する(レベル変換を行なわない)回路の
内部ノードを初期設定(リセット)するために利用され
る。また、高電圧投入検出信号/PORPは、この昇圧
電圧(高電圧)を消費する(電圧レベル変換を行なわな
い)回路の内部ノードをリセットするために利用され
る。
【0115】[変更例]図15は、この発明の実施の形
態3の変更例の構成を概略的に示す図である。図15に
おいて、電源投入検出信号発生部は、DRAM用電源電
圧VDDHを降圧してアレイ電源電圧VDDSを生成す
る降圧回路(内部電源回路)60と、この降圧回路60
からのアレイ電源電圧VDDSが安定状態になるのを検
出する内部電源投入検出回路62と、ロジック用電源電
圧VDDLの投入を検出する電源投入検出回路40と、
電源投入検出回路40からの電源投入検出信号/POR
Lと内部電源投入検出回路62からの内部電源投入検出
信号/PORSに従って主電源投入検出信号/PORO
Sを生成する主電源投入検出回路64を含む。この主電
源投入検出回路64は、図3に示す構成と同様の構成を
有し、振幅VDDSの主電源投入検出信号/POROS
を生成する。この主電源投入検出回路64は、図3に示
す構成において、電源電圧VDDHに代えて、アレイ電
源電圧VDDSが用いられる。また、信号/PORHに
代えて信号/PORSが用いられる。
【0116】降圧回路60は、基準電圧とアレイ電源電
圧VDDSの差に応じて電源ノードから出力ノード(ア
レイ電源線)へ電流を供給する回路で構成され、外部か
らのDRAM用電源電圧VDDHを降圧して、アレイ用
電源電圧VDDSを生成する。
【0117】電源投入検出信号発生部は、さらに、主電
源投入検出回路64からの振幅VDDSの主電源投入検
出信号/POROSを振幅VPPの変換電圧投入検出信
号/PORPを生成するレベル変換回路66と、振幅V
DDSの主電源投入検出信号/PORSを振幅VDDH
の電源投入検出信号/POROHに変換するレベル変換
回路68を含む。電圧VDDSは、電圧VPPおよび電
圧VDDHよりも低いため、これらのレベル変換回路6
6および68の構成は、先の図9に示すレベル変換回路
25の構成と同じである。
【0118】DRAM用電源電圧VDDHに従ってアレ
イ電源電圧VDDSが生成される。アレイ電源電圧VD
DSが安定化するときには、DRAM用電源電圧VDD
Hも安定化している。したがって、主電源投入検出回路
64からの主電源投入検出信号/POROSを、投入検
出信号/PORLおよび/PORSに従って生成するこ
とにより、アレイ電源電圧、およびDRAM用電源電圧
VDDH、およびロジック用の電源電圧VDDLが安定
した状態を検出することができる。DRAM用の電源電
圧VDDHが安定した状態では、昇圧電圧VPPも安定
化している。したがって、アレイ電源電圧VDDSおよ
びロジック用の電源電圧VDDLの安定タイミングを主
電源投入検出信号/POROSで検出し、この主電源検
出信号/POROSに従って、VDDL/VPP変換部
に対する投入検出信号/POROPおよびVDDL/V
DDH変換部に対する投入検出信号/POROHを生成
することにより、各レベル変換回路において、電源投入
時の貫通電流を防止することができ、応じて消費電流を
低減することができる。
【0119】図14および図15に示す構成において、
主電源投入検出信号としては、内部で最も遅いタイミン
グで安定状態となる電圧に対する投入検出信号が用いら
れればよい。たとえば、昇圧電圧VPPが、アレイ電源
電圧VDDSよりも遅いタイミングで安定状態となる場
合には、昇圧電圧VPPに対する電源投入検出信号/P
OROPを、主電源投入検出信号として利用すればよ
い。昇圧電圧VPPが、アレイ電源電圧VDDSよりも
早いタイミングで確定状態となる場合には、このアレイ
電源電圧VDDSを用いた主電源投入検出信号/POR
OSを利用すればよい。これにより、内部の電圧がすべ
て安定した状態で、内部をリセット状態から開放するこ
とができる。
【0120】[他の適用例]上述の説明において、ロジ
ックとDRAMとが混載されるシステムLSIについて
説明した。しかしながら、たとえばロジックとフラッシ
ュEEPORM(電気的に書込消去可能な不揮発性メモ
リ)とが同一半導体チップ上に形成され、ロジック電源
電圧およびメモリ電源電圧が別系統で与えられる構成に
おいて、フラッシュEEPROM内において、信号のレ
ベル変換を行なう必要がある場合、本発明は適用可能で
ある。すなわち、複数系統の電源電圧が用いられ、その
内部で、複数種類の内部電圧を生成する半導体集積回路
装置に本発明は一般に適用可能である。
【0121】
【発明の効果】以上のように、この発明に従えば、複数
系統の電源が設けられているとき、すべての電源電圧が
安定化するまで内部ノードをリセットするための主電源
投入検出信号を活性状態に維持しており、内部ノードの
電圧レベルが不安定となり、応じて内部で貫通電流が生
じるのを防止することができ、電源投入時の消費電流を
低減することができる。
【0122】すなわち、第1および第2の電源電圧の投
入を検出し、これらの第1および第2の電源投入検出信
号の少なくとも一方が活性状態の間主電源投入検出信号
を活性状態としており、この第1および第2の電源電圧
を動作電源電圧として受ける回路の内部ノードを正確に
リセット状態に維持することができ、内部ノードの電圧
のレベルの浮き上がりによる貫通電流が生じるのを防止
することができ、電源投入時の消費電流を低減すること
ができる。
【0123】また、主電源投入検出回路を、第1および
第2の電源投入検出信号に応答して第1のノードをそれ
ぞれリセットする第1および第2のリセット素子を設
け、この第1および第2の電源投入検出信号がともに非
活性化するとこの第1のノードを第2の電圧レベルに設
定して主電源投入検出信号を非活性化することにより、
正確にこれらの第1および第2の電源電圧の投入シーケ
ンスに関わらず主電源投入検出信号を、これらの第1お
よび第2の電源電圧が安定化するまで活性状態に維持す
ることができる。
【0124】また、主電源投入検出回路を、第1および
第2の電源投入検出信号の少なくとも一方が活性状態の
間第1の電源電圧レベルの振幅を有する主電源投入検出
信号を活性化することにより、この第2の電源電圧レベ
ルの振幅を有する信号を第1の電源電圧レベルの振幅を
有する信号に変換する回路を正確に初期状態にリセット
して、貫通電流の発生を防止することができる。
【0125】また、この主電源投入検出信号に従って第
2の電源電圧の振幅の信号を内部電圧の振幅の信号に変
換するレベル変換回路を主電源投入検出信号で初期状態
にリセットすることにより、この電源投入時において、
このレベル変換回路における電源投入時の貫通電流を防
止することができる。
【0126】また、内部電圧がこの第2の電源電圧より
も電圧の高い昇圧電圧の場合、主電源投入検出信号の振
幅をこの昇圧電圧レベルとすることにより、正確にこの
昇圧電圧レベルの信号を生成する回路における電源投入
時の消費電流を抑制することができる。
【0127】また、内部電圧が第1の電源電圧よりも電
圧レベルの低い降圧電圧の場合、主電源投入検出信号の
振幅をこの降圧電圧レベルとすることにより、正確にこ
の降圧電圧レベルの信号を生成する回路の電源投入時の
貫通電流を防止することができる。
【0128】また、第1の電源電圧レベルの振幅の主電
源投入検出信号を生成して、第2の電源電圧レベルの振
幅の信号を第1の電源電圧レベルの振幅の信号に変換す
る回路へ与えることにより、容易にこのレベル変換回路
における電源投入時の貫通電流を抑制することができ
る。
【0129】また、第1の電源電圧レベルの振幅の主電
源投入検出信号を内部電圧レベルの振幅の信号に変換し
た後、第2の電源電圧レベルに振幅を有する信号を内部
電圧レベルの振幅を有する信号に変換する回路のレベル
変換された信号をバッファ処理する回路へ与えることに
より、確実に、およびレベル変換回路およびバッファ回
路における貫通電流が生じるのを防止することができ
る。またレベル変換回路の構成を簡略化することがで
き、レイアウト面積を低減することができる。
【0130】この内部電圧を、第1の電源電圧を昇圧す
る回路で生成することにより、昇圧信号の振幅を有する
信号生成部における電源投入時の貫通電流を抑制するこ
とができる。
【0131】また、第1の電源電圧を降圧して内部電圧
を生成する回路を設けることにより、この降圧信号の振
幅を有する回路の電源投入時の貫通電流を抑制すること
ができる。
【0132】また、第1の電源電圧を内部電圧として伝
達することにより、第2の電源電圧レベルの振幅の信号
を第1の電源電圧レベルの信号に変換する回路における
電源投入時の貫通電流を抑制することができる。
【0133】また、第1の電源電圧が第1の内部電圧を
生成し、この内部電圧の電圧レベルに従って内部電圧投
入検出信号を活性化し、かつ第2の電源電圧の投入を検
出する回路とを設け、これらの内部電圧投入検出信号と
電源投入検出信号とに従って少なくとも一方が活性状態
の間活性状態を維持する主電源投入検出信号を生成する
ことにより、正確にこの内部電圧および第2の電源電圧
が安定化するまで内部ノードを初期状態にリセットする
ことができ、第2の電源電圧の振幅を有する信号を内部
電圧レベルの信号に変換する回路の貫通電流を抑制する
ことができる。
【0134】また、この主電源投入検出信号を、レベル
変換回路へ与えることにより、容易にこのレベル変換回
路における電源投入時の貫通電流を抑制することができ
る。
【0135】主電源電圧投入検出信号をさらにレベル変
換して変換投入検出信号を生成し、この変換投入検出信
号の振幅と等しい振幅の信号を第2の電源電圧レベルの
振幅の信号から生成するレベル変換回路へ与えることに
より、正確にこのレベル変換回路における電源投入時の
消費電流を提言することができる。
【0136】また、この変換投入検出信号を、レベル変
換回路の出力段のバッファ回路に与えることにより、容
易にバッファ回路およびレベル変換回路の貫通電流を抑
制することができる。
【0137】また、これらの内部電圧として、昇圧電圧
または降圧電圧をそれぞれ利用することにより、これら
の内部昇圧電圧レベルの振幅を有する信号または降圧電
圧レベルの振幅を有する信号を生成する回路の電源投入
時の消費電流を抑制することができる。
【0138】また、これらの第1および第2の電源電圧
を記憶装置に与え、また第2の電源電圧をロジック回路
へ与えることにより、ロジックと記憶装置とが同一半導
体チップ上に集積化される半導体集積回路装置におい
て、電源投入シーケンスに関わらず正確に電源投入時の
消費電流を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明に従う半導体集積回路装置の全体の
構成を概略的に示す図である。
【図2】 この発明に従う半導体集積回路装置における
電源投入検出信号の分配を概略的に示す図である。
【図3】 図1に示す主電源投入検出回路の構成の一例
を示す図である。
【図4】 図3に示す主電源投入検出回路の動作を示す
信号波形図である。
【図5】 図3に示す主電源投入検出回路の動作を示す
信号波形図である。
【図6】 図2に示す2電圧使用回路の構成の一例を示
す図である。
【図7】 図2に示す2電圧使用回路の他の構成を示す
図である。
【図8】 この発明の実施の形態1における半導体記憶
装置の要部の構成を概略的に示す図である。
【図9】 この発明の実施の形態2における半導体集積
回路装置の要部の構成を概略的に示す図である。
【図10】 図9に示す主電源投入検出回路の動作を示
す信号波形図である。
【図11】 この発明の実施の形態2の変更例1の構成
を示す図である。
【図12】 この発明の実施の形態2の変更例2の構成
を示す図である。
【図13】 この発明の実施の形態2の変更例3の構成
を概略的に示す図である。
【図14】 この発明の実施の形態3に従う電源投入検
出部の構成を概略的に示す図である。
【図15】 この発明の実施の形態3の変更例1の構成
を概略示す図である。
【図16】 従来の半導体記憶装置の構成を概略的に示
す図である。
【図17】 この発明が適用される半導体集積回路装置
の構成の一例を示す図である。
【図18】 図17に示す半導体集積回路装置における
レベル変換回路の構成を示す図である。
【図19】 図17に示す内部電圧発生回路の電圧発生
シーケンスの一例を示す図である。
【符号の説明】
1 半導体集積回路装置、DM DRAMマクロ、LG
ロジック、IVGA内部電圧発生回路、2 電源投入
検出器、10,11 電源投入検出回路、12 主電源
投入検出回路、13a VDDL使用回路、13b V
DDH使用回路、13c 2電圧使用回路、20 メイ
ンワード線ドライブ回路、21 サブデコーダ、22
ビット線プリチャージ/イコライズ制御回路、23 ビ
ット線分離制御回路、24 センスアンプ制御回路、W
DR ライトドライブ回路、25 変換電圧投入検出回
路、26a,26b 内部ドライブ回路、27 レベル
変換回路、28 バッファ回路、30 変換電圧投入検
出回路、32a,32b内部ドライブ回路、33 レベ
ル変換回路、34 バッファ回路、36a,36b 内
部ドライブ回路、38 レベル変換回路、39 バッフ
ァ回路、40電源投入検出回路、42 昇圧回路、44
高電圧投入検出回路、46 主電源投入検出回路、5
0,52 レベル変換回路、60 降圧回路、62 内
部電源投入回路、64 主電源投入検出回路、66,6
8 レベル変換回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森下 玄 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 帶刀 恭彦 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 藤井 信行 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 秋山 実邦子 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 小林 真子 兵庫県伊丹市荻野1丁目132番地 大王電 機株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA01 AA03 BA21 BA27 BA29 CA11 CA15

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の電源電圧を受けて、前記第1の電
    源電圧の投入を検出し、該検出結果に従って第1の電源
    投入検出信号を活性化するための第1の電源投入検出回
    路、 第2の電源電圧を受けて、前記第2の電源電圧の投入を
    検出し、該検出結果に従って第2の電源投入検出信号を
    活性化するための第2の電源投入検出回路、および前記
    第1および第2の電源投入検出回路に結合され、前記第
    1および第2の電源投入検出信号の少なくとも一方が活
    性状態の間活性状態となる主電源投入検出信号を発生す
    る主電源投入検出回路を備える、半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 前記主電源投入検出回路は、 前記第1の電源投入検出信号の活性化に応答して第1の
    ノードを第1の電圧レベルにリセットする第1のリセッ
    ト素子と、 前記第2の電源投入検出信号の活性化に応答して、前記
    第1のノードを前記第1の電圧レベルにリセットする第
    2のリセット素子と、 前記第1のノードに結合され、かつ前記第1の電源電圧
    を動作電源電圧として受けて、前記第1および第2の電
    源投入検出信号が共に非活性化すると前記主電源投入信
    号を非活性化しかつ前記第1のノードを第2の電圧レベ
    ルに設定する回路を備える、請求項1記載の半導体集積
    回路装置。
  3. 【請求項3】 前記第2の電源電圧と異なる電圧レベル
    の電圧を動作電源電圧として受け、前記主電源投入検出
    信号の電圧レベルを変換して変換電圧投入検出信号を発
    生する変換電圧投入検出回路をさらに備える、請求項1
    記載の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の電源電圧から前記第2の電源
    電圧と電圧レベルの異なる内部電圧を生成する内部電圧
    発生回路と、 前記主電源投入検出信号の活性化時リセットされかつ前
    記主電源投入検出信号の非活性化時活性化され、前記第
    2の電源電圧レベルの振幅を有する信号を前記内部電圧
    レベルの振幅を有する信号に変換する内部回路をさらに
    備える、請求項1記載の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 前記内部電圧は、前記第1の電源電圧よ
    りも電圧レベルの高い昇圧電圧である、請求項4記載の
    半導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 前記内部電圧は、前記第1の電源電圧よ
    りも電圧レベルの低い降圧電圧である、請求項4記載の
    半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 前記内部電圧は、前記第1の電源電圧と
    電圧レベルの等しい電圧である、請求項4記載の半導体
    集積回路装置。
  8. 【請求項8】 前記主電源投入検出信号は、前記第1の
    電源電圧レベルの振幅を有し、前記半導体集積回路装置
    は、さらに、 前記第1の電源電圧から前記第2の電源電圧と電圧レベ
    ルの異なる内部電圧を生成する内部電圧生成回路、およ
    び前記第2の電源電圧レベルの振幅を有する信号から前
    記内部電圧レベルの振幅を有する内部信号を発生する内
    部信号発生回路を備え、前記内部信号発生回路は、前記
    内部電圧を動作電源電圧として受けて前記内部信号を発
    生するバッファ回路を含み、さらに前記主電源投入検出
    信号を前記内部電圧レベルの振幅を有する変換投入検出
    信号に変換して前記バッファ回路へ与える変換電圧投入
    検出回路を備え、前記バッファ回路は、前記変換投入検
    出信号の活性化時リセットされる、請求項1記載の半導
    体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 前記内部電圧生成回路は、前記第1の電
    源電圧を昇圧して前記内部電圧を生成する昇圧回路を備
    える、請求項8記載の半導体集積回路装置。
  10. 【請求項10】 前記内部電圧生成回路は、前記第1の
    電源電圧を降圧して内部電源電圧を前記内部電圧として
    生成する内部降圧回路を備える、請求項8記載の半導体
    集積回路装置。
  11. 【請求項11】 前記内部電圧生成回路は、前記第1の
    電源電圧レベルの電圧を前記内部電圧として伝達する回
    路を備える、請求項8記載の半導体集積回路装置。
  12. 【請求項12】 第1の電源電圧を受け、前記第1の電
    源電圧と電圧レベルの異なる内部電圧を生成する内部電
    圧生成回路と、 前記内部電圧の電圧レベルに従って内部電圧投入検出信
    号を活性化する内部電圧投入検出回路、 第2の電源電圧の投入を検出し、該検出結果に従って電
    源投入検出信号を活性化する電源投入検出回路、および
    前記内部電圧投入検出信号と前記電源投入検出信号とに
    従って、前記内部電圧投入検出信号と前記電源投入検出
    信号の少なくとも一方が活性状態の間活性状態となる主
    電源投入検出信号を発生する主電源検出回路を備える、
    半導体集積回路装置。
  13. 【請求項13】 前記主電源検出回路からの主電源投入
    検出信号の活性化時非活性化され、かつ前記主電源投入
    検出信号の非活性化時活性化され、前記第1の電源電圧
    レベルの振幅の信号から前記内部電圧レベルの振幅の内
    部信号を発生する内部信号発生回路をさらに備える、請
    求項12記載の半導体集積回路装置。
  14. 【請求項14】 前記内部信号発生回路は、前記内部電
    圧を動作電源電圧として受けて、前記内部信号を発生す
    るバッファ回路を含み、前記バッファ回路は前記主電源
    投入検出信号の活性化時リセットされかつ前記主電源投
    入検出信号の非活性化時レベル変換された信号をバッフ
    ァ処理して前記内部信号を生成する、請求項13記載の
    半導体集積回路装置。
  15. 【請求項15】 前記主電源投入検出信号は、前記内部
    電圧レベルの振幅を有する信号であり、 前記半導体集積回路装置はさらに、 前記主電源投入検出信号をレベル変換して変換投入検出
    信号を発生するレベル変換回路、および前記変換投入検
    出信号の活性化時非活性化されかつ前記変換投入検出信
    号の非活性化時活性化され、前記第2の電源電圧レベル
    の振幅の信号をレベル変換して前記変換投入検出信号の
    振幅と等しい振幅の内部信号を発生する内部信号発生回
    路を備える、請求項12記載の半導体集積回路装置。
  16. 【請求項16】 前記第1の電源電圧から前記内部電圧
    と電圧レベルの異なる内部電源電圧を生成する内部電源
    回路をさらに備え、 前記内部信号発生回路は、前記内部電源電圧を動作電源
    電圧として受けレベル変換された信号をバッファ処理し
    て出力するバッファ回路を有し、前記バッファ回路は前
    記変換投入検出信号の活性化時その出力がリセットされ
    る、請求項15記載の半導体集積回路装置。
  17. 【請求項17】 前記内部電圧生成回路は、前記第1の
    電源電圧を昇圧する昇圧回路を備える、請求項12記載
    の半導体集積回路装置。
  18. 【請求項18】 前記内部電圧生成回路は、前記第1の
    電源電圧を降圧して前記第1の内部電圧を発生する降圧
    回路を備える、請求項12記載の半導体集積回路装置。
  19. 【請求項19】 前記第1および第2の電源電圧は記憶
    装置に与えられ、かつ前記第2の電源電圧は、前記記憶
    装置と同一半導体チップに集積化されるロジック回路へ
    与えられる、請求項1または12記載の半導体集積回路
    装置。
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