JP2002016121A - ウェーハの収納装置 - Google Patents
ウェーハの収納装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハ１０を搬送用カセット３０へ安全に
好適に収納することができると共に、水の使用量を低減
することができること。 【解決手段】 ウェーハ１０を、シュータ２０の上面で
ある水が流された傾斜面２２に沿って降下させ、ウェー
ハ搬送用のカセット３０へ収納させるウェーハ１０の収
納装置において、傾斜面２２に水の吐出口２４が複数設
けられたシュータ２０の内部に、少ない流量の水が吐出
口２４から傾斜面２２の広範囲に広がって吐出するよ
う、複数の吐出口２４に連通する水の流路が水の直進性
を阻害するように多層構造に形成されている。
好適に収納することができると共に、水の使用量を低減
することができること。 【解決手段】 ウェーハ１０を、シュータ２０の上面で
ある水が流された傾斜面２２に沿って降下させ、ウェー
ハ搬送用のカセット３０へ収納させるウェーハ１０の収
納装置において、傾斜面２２に水の吐出口２４が複数設
けられたシュータ２０の内部に、少ない流量の水が吐出
口２４から傾斜面２２の広範囲に広がって吐出するよ
う、複数の吐出口２４に連通する水の流路が水の直進性
を阻害するように多層構造に形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ搬送用の
カセット（以下、「搬送用カセット」という）に、ウェ
ーハを収納するウェーハの収納装置に関する。さらに詳
細には、ウェーハの収納装置とは、薄板状のワークであ
るウェーハを、複数の収容棚を有する搬送用カセット等
の収納部へ自動的に収納する装置のことである。このよ
うなウェーハの収納装置を用いる工程の例としては、半
導体チップの原料となるシリコンウェーハを研磨する場
合が該当する。例えば、シリコンウェーハの表面を研磨
した後、保持装置による保持が解除されたシリコンウェ
ーハを収納する場合、或いはプレートに接着保持されて
いたシリコンウェーハを剥離した後に収納する場合など
がある。
カセット（以下、「搬送用カセット」という）に、ウェ
ーハを収納するウェーハの収納装置に関する。さらに詳
細には、ウェーハの収納装置とは、薄板状のワークであ
るウェーハを、複数の収容棚を有する搬送用カセット等
の収納部へ自動的に収納する装置のことである。このよ
うなウェーハの収納装置を用いる工程の例としては、半
導体チップの原料となるシリコンウェーハを研磨する場
合が該当する。例えば、シリコンウェーハの表面を研磨
した後、保持装置による保持が解除されたシリコンウェ
ーハを収納する場合、或いはプレートに接着保持されて
いたシリコンウェーハを剥離した後に収納する場合など
がある。
【０００２】なお、ウェーハを研磨する工程としては、
ウェーハの平坦度を向上させるラッピング工程があり、
また、ラッピングされたウェーハの表面を鏡面研磨する
ポリシング工程などがある。勿論、ウェーハの研磨工程
以外の分野でも、搬送用カセットを介したウェーハの搬
送が一般的になされているため、ウェーハを傷つけない
で、効率的に搬送用カセットへ収納するウェーハの収納
装置が必要となる。
ウェーハの平坦度を向上させるラッピング工程があり、
また、ラッピングされたウェーハの表面を鏡面研磨する
ポリシング工程などがある。勿論、ウェーハの研磨工程
以外の分野でも、搬送用カセットを介したウェーハの搬
送が一般的になされているため、ウェーハを傷つけない
で、効率的に搬送用カセットへ収納するウェーハの収納
装置が必要となる。
【０００３】
【従来の技術】表面を研磨後のウェーハは、研磨剤や粉
塵等が、乾燥付着しないように搬送用カセットに収納
し、一時的に水中保管をする。従来の収納方法には、ウ
ォータースライダー方式がある。その方式では傾斜面に
水を流し、その水流を利用して、傾斜面と平行に配設さ
れた搬送用カセットへウェーハを収納する。
塵等が、乾燥付着しないように搬送用カセットに収納
し、一時的に水中保管をする。従来の収納方法には、ウ
ォータースライダー方式がある。その方式では傾斜面に
水を流し、その水流を利用して、傾斜面と平行に配設さ
れた搬送用カセットへウェーハを収納する。
【０００４】図３は、従来のウェーハの収納装置を示す
説明図であり、図３（ａ）は側断面図、図３（ｂ）は平
面図である。図３（ａ）に示すように、シュータ２０
は、その傾斜面２２で、プレート１２等による保持が解
除されて移送されたウェーハ１０を受け、そのウェーハ
１０の重力降下を案内してカセット３０内へ収納させ
る。カセット３０は、シュータ２０に向かって開口した
複数の収納棚（収納部３２）を有し、シュータ２０から
落下してくるウェーハ１０を収納する。また、このカセ
ット３０は、シュータ２０に隣接して傾斜されており、
下方に設けられた昇降装置４０によって所定のピッチで
上下動可能に保持されている。ウェーハ１０が収納され
る際には、上側位置から順次下動され、ウェーハ１０が
進入する部位（収納棚）は下方から順次水没される。４
２は水槽（液体の貯留槽の一例）であり、５０は水面
（液面）を示している。
説明図であり、図３（ａ）は側断面図、図３（ｂ）は平
面図である。図３（ａ）に示すように、シュータ２０
は、その傾斜面２２で、プレート１２等による保持が解
除されて移送されたウェーハ１０を受け、そのウェーハ
１０の重力降下を案内してカセット３０内へ収納させ
る。カセット３０は、シュータ２０に向かって開口した
複数の収納棚（収納部３２）を有し、シュータ２０から
落下してくるウェーハ１０を収納する。また、このカセ
ット３０は、シュータ２０に隣接して傾斜されており、
下方に設けられた昇降装置４０によって所定のピッチで
上下動可能に保持されている。ウェーハ１０が収納され
る際には、上側位置から順次下動され、ウェーハ１０が
進入する部位（収納棚）は下方から順次水没される。４
２は水槽（液体の貯留槽の一例）であり、５０は水面
（液面）を示している。
【０００５】ウェーハ１０が、シュータの傾斜面２２と
略平行に傾斜した状態で落下されたり、図３に示すよう
にプレート１２側からシュータの傾斜面２２沿って供給
されれば、ウェーハ１０の全面がシュータの傾斜面２２
に好適に当接することができ、衝撃を緩和できる。シュ
ータの傾斜面２２からは水５２が噴出しており、ウェー
ハはその水の抵抗によっても衝撃なく、シュータの傾斜
面２２で受けられる。そして、そのシュータの傾斜面２
２及び両側のガイド側面２８によって案内されて移動
（図３矢印参照）し、水の抵抗によって衝撃なくカセッ
ト３０内に収納される。すなわち、シュータ２０上面か
ら、水を噴出させ、その水の膜の上を滑らせて、ウェー
ハ１０をカセット３０の中に収納している。これによ
り、ウェーハ１０が傷つくことを防止して収納できると
同時に、ウェーハ１０を洗浄できる利点がある。なお、
６０はセンサーであり、ウェーハ１０が通過したか否か
を確認するため、傾斜面２２の下端２３から所定の間隔
Ｂを置いて取り付けられている。
略平行に傾斜した状態で落下されたり、図３に示すよう
にプレート１２側からシュータの傾斜面２２沿って供給
されれば、ウェーハ１０の全面がシュータの傾斜面２２
に好適に当接することができ、衝撃を緩和できる。シュ
ータの傾斜面２２からは水５２が噴出しており、ウェー
ハはその水の抵抗によっても衝撃なく、シュータの傾斜
面２２で受けられる。そして、そのシュータの傾斜面２
２及び両側のガイド側面２８によって案内されて移動
（図３矢印参照）し、水の抵抗によって衝撃なくカセッ
ト３０内に収納される。すなわち、シュータ２０上面か
ら、水を噴出させ、その水の膜の上を滑らせて、ウェー
ハ１０をカセット３０の中に収納している。これによ
り、ウェーハ１０が傷つくことを防止して収納できると
同時に、ウェーハ１０を洗浄できる利点がある。なお、
６０はセンサーであり、ウェーハ１０が通過したか否か
を確認するため、傾斜面２２の下端２３から所定の間隔
Ｂを置いて取り付けられている。
【０００６】また、従来の他の収納方法としては、縦型
多関節ロボットを使用する方式がある。その方式では、
ウェーハを真空チャックし、搬送用カセットへウェーハ
を収納する。但し、この方式はウェーハへの接触による
キズの発生が懸念されるため、最終工程では使用されな
い。
多関節ロボットを使用する方式がある。その方式では、
ウェーハを真空チャックし、搬送用カセットへウェーハ
を収納する。但し、この方式はウェーハへの接触による
キズの発生が懸念されるため、最終工程では使用されな
い。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記のウォータースラ
イダー方式は、傾斜面２２とウェーハ１０の間に水５２
を流すことにより、水の表面張力で、ウェーハ１０が傾
斜面２２に対して非接触の状態で水流により搬送され
る。この際、傾斜面２２全体に均一に水が流れるよう
に、その傾斜面２２に複数の水５２の吐出口を設けるこ
とで、ウェーハ１０の搬送を好適に行うようにしてい
る。しかしながら、水量が少ないと、水の表面張力によ
り傾斜面２２上に筋状に水路が形成されることになり、
水路が形成されていない傾斜面２２の部分とウェーハ１
０の接触が生じ、ウェーハ表面のキズの原因となる。こ
れに対し、水量を多くすると、図４に示すような傾斜面
２２に垂直な吐出口６２により水が空中放射となり、周
囲への飛散が多くなってしまう。また、水流が強くなる
ため、ウェーハ端面の左右壁（ガイド側面２８）への衝
突が多くなり、ウェーハ端面のキズの発生と共に、さら
にはウェーハ１０の欠けの原因となり得る。また、傾斜
面２２上部の水不足が生じ易くなり、ウェーハ表面のキ
ズの発生原因となる。なお、傾斜面２２にあける吐出口
６４（図４参照）を、傾斜面２２に垂直ではなく、でき
るだけ水平に近くなるようにあけることが考えられる
が、技術的には非常に困難である。
イダー方式は、傾斜面２２とウェーハ１０の間に水５２
を流すことにより、水の表面張力で、ウェーハ１０が傾
斜面２２に対して非接触の状態で水流により搬送され
る。この際、傾斜面２２全体に均一に水が流れるよう
に、その傾斜面２２に複数の水５２の吐出口を設けるこ
とで、ウェーハ１０の搬送を好適に行うようにしてい
る。しかしながら、水量が少ないと、水の表面張力によ
り傾斜面２２上に筋状に水路が形成されることになり、
水路が形成されていない傾斜面２２の部分とウェーハ１
０の接触が生じ、ウェーハ表面のキズの原因となる。こ
れに対し、水量を多くすると、図４に示すような傾斜面
２２に垂直な吐出口６２により水が空中放射となり、周
囲への飛散が多くなってしまう。また、水流が強くなる
ため、ウェーハ端面の左右壁（ガイド側面２８）への衝
突が多くなり、ウェーハ端面のキズの発生と共に、さら
にはウェーハ１０の欠けの原因となり得る。また、傾斜
面２２上部の水不足が生じ易くなり、ウェーハ表面のキ
ズの発生原因となる。なお、傾斜面２２にあける吐出口
６４（図４参照）を、傾斜面２２に垂直ではなく、でき
るだけ水平に近くなるようにあけることが考えられる
が、技術的には非常に困難である。
【０００８】そこで、本発明の目的は、ウェーハを搬送
用カセットへ安全に好適に収納することができると共
に、水の使用量を低減することができるウェーハの収納
装置を提供することにある。
用カセットへ安全に好適に収納することができると共
に、水の使用量を低減することができるウェーハの収納
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次の構成を備える。すなわち、本発明は、
ウェーハを、シュータの上面である水が流された傾斜面
に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセットへ収納さ
せるウェーハの収納装置において、前記傾斜面に水の吐
出口が複数設けられた前記シュータの内部に、少ない流
量の水が前記吐出口から前記傾斜面の広範囲に広がって
吐出するよう、前記複数の吐出口に連通する水の流路が
水の直進性を阻害するように多層構造に形成されている
ことを特徴とする。
成するために次の構成を備える。すなわち、本発明は、
ウェーハを、シュータの上面である水が流された傾斜面
に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセットへ収納さ
せるウェーハの収納装置において、前記傾斜面に水の吐
出口が複数設けられた前記シュータの内部に、少ない流
量の水が前記吐出口から前記傾斜面の広範囲に広がって
吐出するよう、前記複数の吐出口に連通する水の流路が
水の直進性を阻害するように多層構造に形成されている
ことを特徴とする。
【００１０】また、前記多層構造が、水が供給されるよ
うに前記シュータの裏面に設けられた供給ポートと、前
記シュータの前記裏面側内部に前記傾斜面と平行の層状
に設けられ、前記供給ポートから水が供給される第１流
路層と、前記シュータの前記傾斜面側内部に前記傾斜面
と平行の層状に設けられ、前記第１流路層から水が供給
される第２流路層と、前記供給ポートからの水が直進し
ないようにずれた位置に穿設され、前記第１流路層と前
記第２流路層とを連通する複数の連通路と、前記傾斜面
を形成する表層部に、前記連通路からの水が直進しない
ようにずれた位置に穿設された複数の前記吐出口とを具
備することで、水が供給される際の動圧を好適に緩和す
ることができ、水を傾斜面から好適に吐出することがで
きる。
うに前記シュータの裏面に設けられた供給ポートと、前
記シュータの前記裏面側内部に前記傾斜面と平行の層状
に設けられ、前記供給ポートから水が供給される第１流
路層と、前記シュータの前記傾斜面側内部に前記傾斜面
と平行の層状に設けられ、前記第１流路層から水が供給
される第２流路層と、前記供給ポートからの水が直進し
ないようにずれた位置に穿設され、前記第１流路層と前
記第２流路層とを連通する複数の連通路と、前記傾斜面
を形成する表層部に、前記連通路からの水が直進しない
ようにずれた位置に穿設された複数の前記吐出口とを具
備することで、水が供給される際の動圧を好適に緩和す
ることができ、水を傾斜面から好適に吐出することがで
きる。
【００１１】また、本発明は、ウェーハを、シュータの
上面である水が流された傾斜面に沿って降下させ、ウェ
ーハ搬送用のカセットへ収納させるウェーハの収納装置
において、前記傾斜面を流れる水流とは逆方向へ水を吐
出するように、前記傾斜面に対して斜め上方向へ穿設さ
れた吐出口が設けられたことを特徴とするウェーハの収
納装置にもある。
上面である水が流された傾斜面に沿って降下させ、ウェ
ーハ搬送用のカセットへ収納させるウェーハの収納装置
において、前記傾斜面を流れる水流とは逆方向へ水を吐
出するように、前記傾斜面に対して斜め上方向へ穿設さ
れた吐出口が設けられたことを特徴とするウェーハの収
納装置にもある。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
例を添付図面と共に詳細に説明する。 （第１実施例）図１は本発明にかかるウェーハの収納装
置の要部であるシュータの一実施例（第１実施例）を示
す断面図である。この実施例は、研磨後のウェーハ１０
を、シュータ２０の上面である水が流された傾斜面２２
に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセット３０（図
３参照）へ収納させるものである。なお、このウェーハ
の収納装置にかかる他の構成は、従来技術の構成と同等
であり、説明を省略する。
例を添付図面と共に詳細に説明する。 （第１実施例）図１は本発明にかかるウェーハの収納装
置の要部であるシュータの一実施例（第１実施例）を示
す断面図である。この実施例は、研磨後のウェーハ１０
を、シュータ２０の上面である水が流された傾斜面２２
に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセット３０（図
３参照）へ収納させるものである。なお、このウェーハ
の収納装置にかかる他の構成は、従来技術の構成と同等
であり、説明を省略する。
【００１３】図１に示すように、第１実施例の構成によ
れば、傾斜面２２に水５２の吐出口２４が複数設けられ
たシュータ２０の内部に、少ない流量の水５２が吐出口
２４から傾斜面２２の広範囲に広がって吐出するよう、
複数の吐出口２４に連通する水の流路が水５２の直進性
を阻害するように多層構造に形成されている。
れば、傾斜面２２に水５２の吐出口２４が複数設けられ
たシュータ２０の内部に、少ない流量の水５２が吐出口
２４から傾斜面２２の広範囲に広がって吐出するよう、
複数の吐出口２４に連通する水の流路が水５２の直進性
を阻害するように多層構造に形成されている。
【００１４】さらに詳細には、多層構造が、水５２が供
給されるようにシュータ２０の裏面に設けられた供給ポ
ート２５と、シュータ２０の裏面側内部に傾斜面２２と
平行の層状に設けられ、供給ポート２５から水５２が供
給される第１流路層２６と、シュータ２０の傾斜面側内
部に傾斜面２２と平行の層状に設けられ、第１流路層２
６から水５２が供給される第２流路層３６と、供給ポー
ト２５からの水５２が直進しないようにずれた位置に穿
設され、第１流路層２６と第２流路層３６とを連通する
複数の連通路３５と、傾斜面２２を形成する表層部に、
連通路３５からの水５２が直進しないようにずれた位置
に穿設された複数の吐出口２４とを具備する。これによ
り、水５２が供給される際の動圧を好適に緩和すること
ができ、水５２を傾斜面２２から好適に吐出することが
できる。従って、ウェーハ１０を搬送用カセット３０へ
安全に好適に収納することができると共に、水の使用量
を低減することができる。
給されるようにシュータ２０の裏面に設けられた供給ポ
ート２５と、シュータ２０の裏面側内部に傾斜面２２と
平行の層状に設けられ、供給ポート２５から水５２が供
給される第１流路層２６と、シュータ２０の傾斜面側内
部に傾斜面２２と平行の層状に設けられ、第１流路層２
６から水５２が供給される第２流路層３６と、供給ポー
ト２５からの水５２が直進しないようにずれた位置に穿
設され、第１流路層２６と第２流路層３６とを連通する
複数の連通路３５と、傾斜面２２を形成する表層部に、
連通路３５からの水５２が直進しないようにずれた位置
に穿設された複数の吐出口２４とを具備する。これによ
り、水５２が供給される際の動圧を好適に緩和すること
ができ、水５２を傾斜面２２から好適に吐出することが
できる。従って、ウェーハ１０を搬送用カセット３０へ
安全に好適に収納することができると共に、水の使用量
を低減することができる。
【００１５】また、供給ポート２５には、清浄化された
水５２である純水等が、図示しない供給ポンプから供給
される。ウェーハ１０の水中保管は、ウェーハ１０に関
する一種の洗浄工程も兼ねており、使用される水は単な
る純水に限定されず、適宜な成分が含有されていてもよ
いのは勿論である。
水５２である純水等が、図示しない供給ポンプから供給
される。ウェーハ１０の水中保管は、ウェーハ１０に関
する一種の洗浄工程も兼ねており、使用される水は単な
る純水に限定されず、適宜な成分が含有されていてもよ
いのは勿論である。
【００１６】また、第１実施例のシュータ２０の構造
は、前述した多層構造を構成するように、３層構造にな
っている。３７はベース層板部であり、下面側に供給ポ
ート２５が形成されていると共に、このベース層板部の
上面に第１流路層２６となる溝が形成されている。３８
は中間層板部であり、上面に第２流路層３６となる溝が
形成されていると共に、この中間層板部３８の下面と上
面とを貫通する孔である連通路３５が形成されている。
すなわち、第１実施例では、第２流路層３６が、中間層
板部３８の上面の全面に形成されているものではなく、
複数の枝に分かれたような形状に形成されている。別言
すれば、千鳥状等の好適な配置に複数の連通路３５を設
けることができるように、限定された所定の部分が凹部
（溝）となって、第２流路層３６が形成されている。
は、前述した多層構造を構成するように、３層構造にな
っている。３７はベース層板部であり、下面側に供給ポ
ート２５が形成されていると共に、このベース層板部の
上面に第１流路層２６となる溝が形成されている。３８
は中間層板部であり、上面に第２流路層３６となる溝が
形成されていると共に、この中間層板部３８の下面と上
面とを貫通する孔である連通路３５が形成されている。
すなわち、第１実施例では、第２流路層３６が、中間層
板部３８の上面の全面に形成されているものではなく、
複数の枝に分かれたような形状に形成されている。別言
すれば、千鳥状等の好適な配置に複数の連通路３５を設
けることができるように、限定された所定の部分が凹部
（溝）となって、第２流路層３６が形成されている。
【００１７】また、３９は表層板部であり、前述したよ
うに複数の吐出口２４が形成されている表層部である。
複数の吐出口２４は、中間層板部３８の連通路３５の位
置と揃わないように設けられると共に、均一に水５２を
吐出できるように、千鳥状等の適宜の配列に設けられる
とよい。この表層板部３９は、第２流路層３６が形成さ
れていない部分の中間層板部３８の上面によって受けら
れ、好適に支持されている。また、この表層板部３９
は、例えば、テフロン（商標）製のシート状の部材等で
形成できる。テフロン製であることで、より滑り性が向
上し、ウェーハ１０を好適に収納できるようになる。以
上のように、第１実施例では、流路層が２層設けられた
場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、３層以上にしてもよい。
うに複数の吐出口２４が形成されている表層部である。
複数の吐出口２４は、中間層板部３８の連通路３５の位
置と揃わないように設けられると共に、均一に水５２を
吐出できるように、千鳥状等の適宜の配列に設けられる
とよい。この表層板部３９は、第２流路層３６が形成さ
れていない部分の中間層板部３８の上面によって受けら
れ、好適に支持されている。また、この表層板部３９
は、例えば、テフロン（商標）製のシート状の部材等で
形成できる。テフロン製であることで、より滑り性が向
上し、ウェーハ１０を好適に収納できるようになる。以
上のように、第１実施例では、流路層が２層設けられた
場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、３層以上にしてもよい。
【００１８】（第２実施例）次に、図２は本発明にかか
るウェーハの収納装置の要部であるシュータ２０の第２
実施例を示す断面図である。第２実施例は、ウェーハ１
０を、シュータ２０の上面である水が流された傾斜面２
２に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセット３０
（図３参照）へ収納させるウェーハの収納装置におい
て、傾斜面２２を流れる水流とは逆方向へ重力に逆らっ
て水を吐出するように、傾斜面２２に対して斜め上方向
へ穿設された吐出口３４が設けられたことを特徴とす
る。
るウェーハの収納装置の要部であるシュータ２０の第２
実施例を示す断面図である。第２実施例は、ウェーハ１
０を、シュータ２０の上面である水が流された傾斜面２
２に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセット３０
（図３参照）へ収納させるウェーハの収納装置におい
て、傾斜面２２を流れる水流とは逆方向へ重力に逆らっ
て水を吐出するように、傾斜面２２に対して斜め上方向
へ穿設された吐出口３４が設けられたことを特徴とす
る。
【００１９】このように、傾斜面２２に対して水流方向
を逆にすることにより、ウェーハ１０の自重による自然
落下が好適になされ、スムーズな搬送ができる。すなわ
ち、噴出した水５２が重力によって戻され、傾斜面２２
を好適に覆うことができる。このため、飛散してしまう
水の量を低減できると共に、傾斜面２２の上部から全面
的に少ない水５２で好適に覆うことが可能となる。つま
り、ウェーハ１０を搬送用カセット３０へ安全に好適に
収納することができると共に、水の使用量を低減するこ
とができる。
を逆にすることにより、ウェーハ１０の自重による自然
落下が好適になされ、スムーズな搬送ができる。すなわ
ち、噴出した水５２が重力によって戻され、傾斜面２２
を好適に覆うことができる。このため、飛散してしまう
水の量を低減できると共に、傾斜面２２の上部から全面
的に少ない水５２で好適に覆うことが可能となる。つま
り、ウェーハ１０を搬送用カセット３０へ安全に好適に
収納することができると共に、水の使用量を低減するこ
とができる。
【００２０】以上、本発明につき好適な実施例を挙げて
種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定される
ものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの
改変を施し得るのは勿論のことである。
種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定される
ものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの
改変を施し得るのは勿論のことである。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ウェーハをシュータ表
面に接触することなく搬送用カセットへ安全に好適に収
納し、水中保管を好適にすることができると共に、周囲
への水の飛散を低減し、水の使用量を低減することがで
きるという著効を奏する。
面に接触することなく搬送用カセットへ安全に好適に収
納し、水中保管を好適にすることができると共に、周囲
への水の飛散を低減し、水の使用量を低減することがで
きるという著効を奏する。
【図１】本発明にかかるウェーハの収納装置の要部であ
るシュータの一実施例を説明する断面図である。
るシュータの一実施例を説明する断面図である。
【図２】本発明にかかるウェーハの収納装置の要部であ
るシュータの他の実施例を説明する断面図である。
るシュータの他の実施例を説明する断面図である。
【図３】従来の技術を説明する説明図である。
【図４】従来の技術を説明する断面図である。
１０ ウェーハ ２０ シュータ ２２ 傾斜面 ２４ 吐出口 ２５ 供給ポート ２６ 第１流路層 ３０ 搬送用カセット ３２ 収納部 ３４ 吐出口 ３５ 連通路 ３６ 第２流路層 ４０ 昇降装置 ４２ 貯留糟
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 毅 長野県長野市松代町清野1650番地 不二越 機械工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C033 BB04 LL01 MM02 3F011 AA01 BA04 BB05 BC03 3F022 CC02 EE05 JJ18 MM02 MM11 MM51 5F031 CA02 FA01 FA11 FA18 GA62 GA63 PA20
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェーハを、シュータの上面である水が
流された傾斜面に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカ
セットへ収納させるウェーハの収納装置において、 前記傾斜面に水の吐出口が複数設けられた前記シュータ
の内部に、少ない流量の水が前記吐出口から前記傾斜面
の広範囲に広がって吐出するよう、前記複数の吐出口に
連通する水の流路が水の直進性を阻害するように多層構
造に形成されていることを特徴とするウェーハの収納装
置。 - 【請求項２】 前記多層構造が、 水が供給されるように前記シュータの裏面に設けられた
供給ポートと、 前記シュータの前記裏面側内部に前記傾斜面と平行の層
状に設けられ、前記供給ポートから水が供給される第１
流路層と、 前記シュータの前記傾斜面側内部に前記傾斜面と平行の
層状に設けられ、前記第１流路層から水が供給される第
２流路層と、 前記供給ポートからの水が直進しないようにずれた位置
に穿設され、前記第１流路層と前記第２流路層とを連通
する複数の連通路と、 前記傾斜面を形成する表層部に、前記連通路からの水が
直進しないようにずれた位置に穿設された複数の前記吐
出口とを具備することを特徴とする請求項１記載のウェ
ーハの収納装置。 - 【請求項３】 ウェーハを、シュータの上面である水が
流された傾斜面に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカ
セットへ収納させるウェーハの収納装置において、 前記傾斜面を流れる水流とは逆方向へ水を吐出するよう
に、前記傾斜面に対して斜め上方向へ穿設された吐出口
が設けられたことを特徴とするウェーハの収納装置。
Priority Applications (1)
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| JP2000197439A JP4510241B2 (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | ウェーハの収納装置 |
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| JP2002016121A true JP2002016121A (ja) | 2002-01-18 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2000
- 2000-06-30 JP JP2000197439A patent/JP4510241B2/ja not_active Expired - Fee Related
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