JP2001355964A - エアーナイフ乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水滴を完全に吹き飛ばしたうえで、パーティ
クル等の不純物質を含むミストの再付着を防止したエア
ーナイフ乾燥装置を提供する。 【解決手段】 基板１の搬送の上流側に配置された第１
のエアーナイフ２と、下流側に配置された第２のエアー
ナイフ３とを備え、第１および第２のエアーナイフは、
搬送方向に沿って見て、被乾燥物に対して互いに逆方向
から気体を吹き付け、かつ、平面的に見て、互いに他方
の吹出口の全幅についての吹出し方向の範囲内に位置し
ない配置を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エアーナイフを用
いたエアーナイフ乾燥装置に関し、より具体的には、液
晶表示装置等のガラス基板を乾燥するエアーナイフ乾燥
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の乾燥装置は、液晶表示装
置等の製造工程において、洗浄処理後のガラス基板に付
着した水滴を除去することを目的として用いられてき
た。従来のエアーナイフ装置は、図３に示すように、乾
燥槽１０６内において水平搬送される基板１０１をはさ
んで上下に配置された第１のエアーナイフ１０２と、第
１のエアーナイフの後方に配置された同じ構成の第２の
エアーナイフ１０３とを備えている。これら２つのエア
ーナイフは、ともに、基板の搬送方向に対して傾斜した
状態で、平行に配置される。また、このエアーナイフの
吹き出し方向の所定の位置に、搬送方向に直交する方向
に排気をする排気ダクト１０４，１０５が設けられてい
る。ナイフ状ノズルは、エアーナイフの部分であるノズ
ルをさすが、以後の説明でとくに断らないかぎり、両者
は区別しないで用いる。

【０００３】まず、第１のナイフ状ノズル１０２から、
基板１０１の上下両面に向けて気体を吹き出すことによ
り、基板の上下両面に付着した水滴を吹き飛ばし、この
とき発生するミストを排気ダクト１０４から吸引排気し
て、ミストが基板に再付着するのを防止する。第２のナ
イフ状ノズル１０３は、第１のナイフ状ノズル１０２で
除去することができなかった水滴を、基板の上下両面に
エアーを吹き出して吹き飛ばし、発生するミストを排気
ダクト１０５にて吸引排気をする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来のエアーナ
イフ乾燥装置では、後置された第２のエアーナイフ１０
３の気体吹き出し方向の延長線上に第１のエアーミスト
１０２が配置されているため、第２のエアーミストで吹
き飛ばされた水滴から生成するミストが、連続して搬送
されてくる基板に再付着する。すなわち、この生成した
ミストは第１のエアーナイフ１０２およびその第１のエ
アーナイフ上に設置された遮蔽板（図示せず）で跳ね返
り基板に再付着してウォータマークとして残り、その後
の製造工程で弊害を生じていた。

【０００５】そこで、本発明は、ウォータマーク等の発
生を防止した、乾燥能力の高いエアーナイフ乾燥装置を
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のエアーナイフ乾
燥装置は、被乾燥物の搬送の上流側に配置された第１の
エアーナイフと、下流側に配置された第２のエアーナイ
フとを備え、第１および第２のエアーナイフは、搬送方
向に沿って見て、被乾燥物に対して互いに逆方向から気
体を吹き付け、かつ、平面的に見て、互いに他方の吹出
口全幅についての吹出し方向の範囲内に位置しない配置
を有している（請求項１）。

【０００７】この構成により、被乾燥物に付着した水滴
を２つのエアーナイフで完全に吹き飛ばしたうえで、水
滴を含む気体が被乾燥物の上方で乱気流を形成すること
がなくなる。このため、パーティクル等の不純物質を含
むミストが被乾燥物に再付着することがなくなり、例え
ば、ガラス基板におけるウォータマークの発生を抑止す
ることができる。上記のエアーナイフの配置では、搬送
路の上方、下方の空間にノズルを配置することができる
ので、上方、下方空間を有効活用して搬送路の側部等に
装置を広げなくてすむ。上記の第１および第２のエアー
ナイフは、被乾燥物の表側または裏側に配置される。言
うまでもないが、両側にともに配置されていてもよい。
また、上記第１および第２のエアーナイフのほかに、ど
のようなエアーナイフが配置されていてもよい。しか
し、任意の隣接するエアーナイフが上記のように他方の
エアーの流れを阻止しない配置であることが望ましい。
なお、エアーナイフとは、ナイフ状の細長いノズルを含
み、そのノズルからナイフ状の気体を吹き出すエアー吹
出し装置をさす。また、エアーナイフから吹き出される
気体は、空気、乾燥空気、その他の気体を用いることが
できる。

【０００８】上記本発明のエアーナイフ乾燥装置では、
平面的に見て、第１のエアーナイフの吹出口は搬送装置
の一方の側端の方向に向き、第２のエアーナイフの吹出
口は一方の側端と対になっている他方の側端の方向に向
いている。

【０００９】第１のエアーナイフで被乾燥物上の水滴を
吹き飛ばし、この後、続いて第２のエアーナイフによ
り、第１のエアーナイフで除去しきれなかった水滴を吹
き飛ばすことができる。上記両方のエアーナイフは、搬
送方向に直交する方向を間に挟んで配置されているの
で、第２のエアーナイフで舞いあがったミストが第１の
エアーナイフの背面でまともに阻止されることがなくな
る。このため、気体流れの方向が少し変わることはあっ
ても、気体流れが阻止されて乱気流を生じてまともに跳
ね返る量が非常に少なくなる。このため、例えば被乾燥
物である基板においては、ウォータマークの発生はいち
じるしく抑制され、後の生産工程において、本工程に起
因する弊害が生じなくなる。

【００１０】上記本発明のエアーナイフ乾燥装置では、
第１のエアーナイフと第２のエアーナイフとは、それぞ
れの長手方向どうしが、９０°以上の角度をなすように
配置されている（請求項２）。

【００１１】この配置構成によれば、第２のエアーナイ
フによって生成したミストは、第１のエアーナイフの背
面に触れる量がなくなり、したがって跳ね返る量はなく
なる。このため、エアーナイフで吹き飛ばされ、パーテ
ィクル等を含んだミストが被乾燥物に再付着することが
ないので、例えば基板ではウォータマークの発生が解消
され、後の生産工程において本工程に起因する弊害が生
じなくなる。上記２つのエアーナイフの長手方向の角度
が、搬送面側で９０°未満の場合には、後置された第２
のエアーナイフから吹き出した気体流が前置された第１
のエアーナイフの背面に当り反射するものがある。この
結果、前置エアーナイフの背部に漂っているミストは、
後置エアーナイフからの気体流により例えば基板上に落
下する。一方、浮遊しているミストは排気装置によって
吸い込まれてゆく。なお、エアーナイフの長手方向と
は、気体が吹き出る方向からノズル口を見て、そのノズ
ル口を構成する辺のうち長いほうの辺の長さ方向をさ
す。

【００１２】上記本発明のエアーナイフ乾燥装置では、
第１および第２のエアーナイフは、ともに、搬送面の表
側に配置されて被乾燥物の表面側に気体を吹き付ける表
側エアーナイフと、裏側に配置されて被乾燥物の裏面側
に気体を吹き付ける裏側エアーナイフとを備え、平面的
に見て、表側エアーナイフと裏側エアーナイフとは大略
同じ位置に位置する（請求項３）。

【００１３】この構成により、被乾燥物の上下面に水滴
が付着している場合には、被乾燥物の上下面から水滴を
除去することができる。上側と下側とに配置されたノズ
ルは、共通の１つの排気装置で排気されたほうが望まし
いので、平面的に見て、両方の気体流が重なるように、
配置されることが望ましい。むしろ、上側および下側の
ノズルに、それぞれ排気装置を配置するよりも、上記し
たように、両者に共通に１つの排気装置を設けるほうが
普通である。

【００１４】上記本発明のエアーナイフ乾燥装置では、
平面的に見て、第１のエアーナイフの吹き出し方向にお
ける所定位置に設けられた第１の排気口と、第２のエア
ーナイフの吹き出し方向における所定位置に設けられた
第２の排気口とを備えている（請求項４）。

【００１５】上記の構成により、乾燥槽内の乱気流の発
生を抑制し、ミストの飛散を防止することができる。す
なわち、例えば、被乾燥物である基板上の水滴は、基板
から吹き飛ばされて、そのまま排気口に吸い込まれる量
が多くなり、空中に飛散して漂うミストを抑制すること
ができる。なお、上記排気口は、表側と裏側とに設けら
れた対のエアーナイフに共通に１つの排気口を設けても
よく、上記したように、そのほうが普通である。また、
第１の排気口と第２の排気口とを合体させて、一つの大
きな排気口とした構成にしてもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。

【００１７】図１において、エアーナイフ乾燥装置は、
乾燥槽６の内部に配置されている。乾燥槽には、洗浄後
の基板１を搬入するための搬入口１０と、乾燥後に基板
を搬出する搬出口１１が設けられている。搬入口１０か
ら搬出口１１までの間には、基板１を搬送するための搬
送ローラ８が設置され、搬送経路が構成されている。乾
燥槽の内部に設置されたエアーナイフ乾燥装置の各エア
ーナイフは、基板の搬送方向に対して傾斜して配置され
る。図１において、前置されたエアーナイフ２は、上側
と下側とにエアーナイフが配置され、基板１の上下面に
向けて気体を吹き付けている。後置されたエアーナイフ
３は、前置したエアーナイフ２の長手方向に対して、そ
の長手方向が９０°以上の角度をなすように配置され
る。エアーナイフ３も、上側と下側とにエアーナイフを
有し、基板の上下面にエアーを吹き付けている。

【００１８】エアーナイフ２からの吹き出し方向には、
排気ダクト５が配置され、搬送装置にその排気口端部を
沿わせている。各排気ダクト４，５は、平面的に見て、
基板搬送方向に沿わせて吸込口端部を配置し、搬送方向
に直交する方向に向けて排気を行う。

【００１９】図２において、エアーナイフ２，３のノズ
ル９から基板１の上下両面に向けて気体を吹き出して急
速乾燥させる。エアーナイフ３は、エアーナイフ２に対
して９０°以上の角度で交差する配置とされている。こ
のため、エアーナイフ３からの気体吹き出しによって発
生するミストが、前方のエアーナイフ２で跳ね返ること
なく、ミストが、連続して搬送されてくる基板に再付着
する事態が避けられる。排気ダクト４，５は、エアーナ
イフ２,３からの気体吹き出しにより基板１から水滴を
吹き飛ばしたときに発生するミストをそれぞれ吸込み排
気する。基板上から吹き飛ばされた水滴ミストは、その
まま排気ダクトから吸い出される。このため、上記水滴
ミストが、前置エアーナイフのみならず、乾燥槽壁２０
によって跳ね返って基板に再付着する事態も防止するこ
とができる。前置および後置のエアナイフ２,３の間の
角度が、平面的に見て、搬送面側で９０°未満の場合に
は、後置エアナイフ３から吹き出した気体流が前置エア
ーナイフ２の背面に当り反射する。このため、前置エア
ーナイフ２の背部に漂っているミストが後置エアーナイ
フ３からの空気流によって基板上に落下する。一方、乾
燥槽内に浮遊しているミストは、排気ダクト５に吸い込
まれて排気される。

【００２０】また、エアーナイフ２，３それぞれの上に
は、遮蔽板７が設置されており、ミストがエアーナイフ
の後方へ回り込み、基板に再付着することを防止してい
る。

【００２１】上記において、本発明の実施の形態につい
て説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の
形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら
発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特
許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の
範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更
を含む。

【００２２】

【発明の効果】本発明に基くエアーナイフ乾燥装置を設
けることにより、被乾燥物上の水滴を完全に吹き飛ばし
たうえで、パーティクル等の不純物質を含むミストが被
乾燥物に再付着することを防止することができる。この
ため、例えば、基板に本発明を適用した場合、ウォータ
マークの発生を抑止し、その後での製造工程における弊
害を未然に解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態におけるエアーナイフ乾
燥装置の平面図である。

【図２】 図１におけるＡ-Ａ’断面図である。

【図３】 従来のエアーナイフ乾燥装置の平面図であ
る。

【符号の説明】

１ 基板、２ 前置エアーナイフ、３ 後置エアーナイ
フ、４ 前置エアーナイフに対応する排気ダクト、５
後置エアーナイフに対応する排気ダクト、６乾燥槽、７
遮蔽板、８ 搬送ローラ、９ ナイフ状ノズル、１０
搬入口、１１ 搬出口、２０ 乾燥槽壁。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被乾燥物の搬送の上流側に配置された第
   １のエアーナイフと、下流側に配置された第２のエアー
   ナイフとを備え、 前記第１および第２のエアーナイフは、搬送方向に沿っ
   て見て、前記被乾燥物に対して互いに逆方向から気体を
   吹き付け、かつ、平面的に見て、互いに他方の吹出口全
   幅についての吹出し方向の範囲内に位置しない配置を有
   する、エアーナイフ乾燥装置。
2. 【請求項２】 前記第１のエアーナイフと第２のエアー
   ナイフとは、それぞれの長手方向どうしが、９０°以上
   の角度をなすように配置されている、請求項１に記載の
   エアーナイフ乾燥装置。
3. 【請求項３】 前記第１および第２のエアーナイフは、
   ともに、搬送面の表側に配置されて前記被乾燥物の表面
   側に気体を吹き付ける表側エアーナイフと、裏側に配置
   されて前記被乾燥物の裏面側に気体を吹き付ける裏側エ
   アーナイフとを備え、平面的に見て、前記表側エアーナ
   イフと裏側エアーナイフとは大略同じ位置に位置する、
   請求項１または２に記載のエアーナイフ乾燥装置。
4. 【請求項４】 平面的に見て、前記第１のエアーナイフ
   の吹き出し方向における所定位置に設けられた第１の排
   気口と、前記第２のエアーナイフの吹き出し方向におけ
   る所定位置に設けられた第２の排気口とを備える、請求
   項１〜３のいずれかに記載のエアーナイフ乾燥装置。